JPH04121615A - ウエーハ傾き検出器 - Google Patents
ウエーハ傾き検出器Info
- Publication number
- JPH04121615A JPH04121615A JP2242160A JP24216090A JPH04121615A JP H04121615 A JPH04121615 A JP H04121615A JP 2242160 A JP2242160 A JP 2242160A JP 24216090 A JP24216090 A JP 24216090A JP H04121615 A JPH04121615 A JP H04121615A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- circle
- center
- contour
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 244000208060 Lawsonia inermis Species 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェーハ傾き検出器に関し、特に、ウェーハの
傾きを非接触状態で検出するためのつ工−ハ傾き検出器
に関する。
傾きを非接触状態で検出するためのつ工−ハ傾き検出器
に関する。
従来のウェーハ傾き検出器は、光学式センサと、ウェー
ハ回転機構と、オリエンテーションフラット突当て機構
とを備えて構成されている。
ハ回転機構と、オリエンテーションフラット突当て機構
とを備えて構成されている。
第３図は上述のような従来のウェーハ傾き検出器の一例
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
第３図に示すウェーハ傾き検出器は、ウェーハ回転台３
０と、ウェーハのオリエンテーションフラットの間隔だ
け離れた位置に設けた二つの光学式センサ３１および３
２と、ウェーハのオリエンテーションフラットの間隔だ
け離れた位置に設けた基準突当て棒３３および外周押え
３４とを有している。
０と、ウェーハのオリエンテーションフラットの間隔だ
け離れた位置に設けた二つの光学式センサ３１および３
２と、ウェーハのオリエンテーションフラットの間隔だ
け離れた位置に設けた基準突当て棒３３および外周押え
３４とを有している。
ウェーハ１をウェーハ回転台３０の上に載せて回転し、
ウェーハのオリエンテーションフラットが光学式センサ
３１および３２を通過したときζ；ウェーハ１の回転を
停止し、ウェーハ１の回転ｇ止後５回転の精度によって
ウェーハｌがやや傾くため、外周押え３４によってウェ
ーハ１を基準り当て棒３３に突当ててウェーハ１の傾き
を検出して補正する。
ウェーハのオリエンテーションフラットが光学式センサ
３１および３２を通過したときζ；ウェーハ１の回転を
停止し、ウェーハ１の回転ｇ止後５回転の精度によって
ウェーハｌがやや傾くため、外周押え３４によってウェ
ーハ１を基準り当て棒３３に突当ててウェーハ１の傾き
を検出して補正する。
上述したような従来のウェーハ傾き検出器は、ウェーハ
を回転し、光学式センサによって回転するウェーハのオ
リエンテーションフラットがらつ工−ハの傾きを検出し
ており、傾きの検出の精度を上げるために、外周押えに
よってウェーハを基準突当て棒に突当てなければならな
いため、ウェーハの傾きを非接触状態で検出することが
できないという欠点がある。
を回転し、光学式センサによって回転するウェーハのオ
リエンテーションフラットがらつ工−ハの傾きを検出し
ており、傾きの検出の精度を上げるために、外周押えに
よってウェーハを基準突当て棒に突当てなければならな
いため、ウェーハの傾きを非接触状態で検出することが
できないという欠点がある。
本発明のウェーハ傾き検出器は、ウェーハの全面を見る
ことができる倍率のレンズを有するイメージセンサと、
前記イメージセンサによる前記ウェーハ像の輪郭を判定
する輪郭判定器と、前記イメージセンサによる前記ウェ
ーハの像の中心を求める中心検出器と、前記中心検出器
が求めた中心によって円を発生する円発生器と、前記輪
郭判定器が判定した前記ウェーハの輪郭と前記円発生器
が発生した円とが交わるか否かを判定し交わらないとき
は前記円発生器に対して円の半径を増大させるように指
示する交点検出器と、前記交点検出器が検出した交点と
前記中心検出器か求めた中心とから前記ウェーハの傾斜
角度を求める傾き算出器とを備えている。
ことができる倍率のレンズを有するイメージセンサと、
前記イメージセンサによる前記ウェーハ像の輪郭を判定
する輪郭判定器と、前記イメージセンサによる前記ウェ
ーハの像の中心を求める中心検出器と、前記中心検出器
が求めた中心によって円を発生する円発生器と、前記輪
郭判定器が判定した前記ウェーハの輪郭と前記円発生器
が発生した円とが交わるか否かを判定し交わらないとき
は前記円発生器に対して円の半径を増大させるように指
示する交点検出器と、前記交点検出器が検出した交点と
前記中心検出器か求めた中心とから前記ウェーハの傾斜
角度を求める傾き算出器とを備えている。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図の実施例の動作原理を示す説明図である。
第１図の実施例の動作原理を示す説明図である。
第１図のウェーハ傾き検出器は、ウェーハ１の全面を見
ることができる倍率のレンズ２を有するイメージセンサ
３と、イメージセンサ３によるウェーハ１の像の輪郭を
判定する輪郭判定器４と、イメージセンサ３によるウェ
ーハ１の像の中心を求める中心検出器５と、中心検出器
５が求めたつ工−ハ１の像の中心によって円を発生する
円発生器６と、輪郭判定器４が判定したウェーハｌの像
の輪郭と円発生器６が発生した円とが交わるか否かを判
定し、それらが交わらないときは円発生器６に対して円
の半径を大きくするように指令する交点検出器７と、交
点検出器７が検出した交点と中心検出器５が求めた中心
とからウェーハ１の傾斜角度を求める傾き算出器８とを
備えている。
ることができる倍率のレンズ２を有するイメージセンサ
３と、イメージセンサ３によるウェーハ１の像の輪郭を
判定する輪郭判定器４と、イメージセンサ３によるウェ
ーハ１の像の中心を求める中心検出器５と、中心検出器
５が求めたつ工−ハ１の像の中心によって円を発生する
円発生器６と、輪郭判定器４が判定したウェーハｌの像
の輪郭と円発生器６が発生した円とが交わるか否かを判
定し、それらが交わらないときは円発生器６に対して円
の半径を大きくするように指令する交点検出器７と、交
点検出器７が検出した交点と中心検出器５が求めた中心
とからウェーハ１の傾斜角度を求める傾き算出器８とを
備えている。
ウェーハ１のイメージセンサ３による像は、第２図に示
すように、中心Ｃと輪郭０とを有する画像であり、中心
Ｃは中心検出器５により、輪郭０は輪郭判定器４によっ
て求められる。円発生器６は、中心Ｃがら半径ｒの円を
発生する。交点検出器７．は、輪郭Ｏと半径ｒの円との
交点を求め、輪郭Ｏと半径ｒの円とが交わらないときは
、円発生器６に対して半径を大きくするように指示する
。
すように、中心Ｃと輪郭０とを有する画像であり、中心
Ｃは中心検出器５により、輪郭０は輪郭判定器４によっ
て求められる。円発生器６は、中心Ｃがら半径ｒの円を
発生する。交点検出器７．は、輪郭Ｏと半径ｒの円との
交点を求め、輪郭Ｏと半径ｒの円とが交わらないときは
、円発生器６に対して半径を大きくするように指示する
。
このようにして順次に円発生器６の発生する円の半径を
−に八〈すム）−叱侶ｉ′ したヘナ・し謳 ｍと輪郭
Ｏとが点Ｐにおいて接触する。この交点Ｐの位置は、傾
き算出器８によって中心検出器５が求めた中心から角度
θとして求ちれる。
−に八〈すム）−叱侶ｉ′ したヘナ・し謳 ｍと輪郭
Ｏとが点Ｐにおいて接触する。この交点Ｐの位置は、傾
き算出器８によって中心検出器５が求めた中心から角度
θとして求ちれる。
以上説明したように、本発明のウェーハ傾き検出器は、
ウェーハの輪郭の像に対してその中心位置から円を発生
させ、円の半径を円かウェーハの輪郭に接するまで増大
させることにより、ウェーハのオリエンテーションフラ
ットの傾きを非接触状態で精度よく検出することができ
るという効果がある。
ウェーハの輪郭の像に対してその中心位置から円を発生
させ、円の半径を円かウェーハの輪郭に接するまで増大
させることにより、ウェーハのオリエンテーションフラ
ットの傾きを非接触状態で精度よく検出することができ
るという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図の実施例の動作原理を示す説明図、第３図は従来
のウェーハ傾き検出器の一例を示すブロック図である。 ■・−・・・・ウェーハ、２・・・・・・レンズ、３・
・・・・・イメージセンサ、４・・・内輪郭判定器、５
・・・・・・中心検出器−６１，・・−、ｐｑ番外興
７ 、、、 、、、六六輪山￥ ０傾き算出器、３０・
・・・・・ウェーハ回転台、３１３２・・・・・・光学
式センサ、３３・・・・・・基準突当て棒、３４・・・
・・外周押え。
第１図の実施例の動作原理を示す説明図、第３図は従来
のウェーハ傾き検出器の一例を示すブロック図である。 ■・−・・・・ウェーハ、２・・・・・・レンズ、３・
・・・・・イメージセンサ、４・・・内輪郭判定器、５
・・・・・・中心検出器−６１，・・−、ｐｑ番外興
７ 、、、 、、、六六輪山￥ ０傾き算出器、３０・
・・・・・ウェーハ回転台、３１３２・・・・・・光学
式センサ、３３・・・・・・基準突当て棒、３４・・・
・・外周押え。
Claims (1)
- ウェーハの全面を見ることができる倍率のレンズを有す
るイメージセンサと、前記イメージセンサによる前記ウ
ェーハ像の輪郭を判定する輪郭判定器と、前記イメージ
センサによる前記ウェーハの像の中心を求める中心検出
器と、前記中心検出器が求めた中心によって円を発生す
る円発生器と、前記輪郭判定器が判定した前記ウェーハ
の輪郭と前記円発生器が発生した円とが交わるか否かを
判定し交わらないときは前記円発生器に対して円の半径
を増大させるように指示する交点検出器と、前記交点検
出器が検出した交点と前記中心検出器が求めた中心とか
ら前記ウェーハの傾斜角度を求める傾き算出器とを備え
ることを特徴とするウェーハ傾き検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2242160A JPH04121615A (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | ウエーハ傾き検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2242160A JPH04121615A (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | ウエーハ傾き検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04121615A true JPH04121615A (ja) | 1992-04-22 |
Family
ID=17085225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2242160A Pending JPH04121615A (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | ウエーハ傾き検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04121615A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007170920A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Konica Minolta Opto Inc | 光学素子測定用治具、並びに、光学素子の面形状測定装置及び方法 |
-
1990
- 1990-09-12 JP JP2242160A patent/JPH04121615A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007170920A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Konica Minolta Opto Inc | 光学素子測定用治具、並びに、光学素子の面形状測定装置及び方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS58167902A (ja) | 物体検出装置 | |
| JP2002328094A (ja) | Ｌｅｄリング照明及びそれを備えた画像検査装置 | |
| JPH04121615A (ja) | ウエーハ傾き検出器 | |
| JP2000031245A (ja) | ウェーハノッチ位置検出装置 | |
| JP2000019638A (ja) | プロジェクタ | |
| JPS6210361B2 (ja) | ||
| JPS59125627A (ja) | ウエハ外周座標測定装置 | |
| JPH07198336A (ja) | 位置決め装置 | |
| JPS615245A (ja) | 複写機 | |
| JPH0575050B2 (ja) | ||
| JP5380889B2 (ja) | 屈折率測定方法、分散測定方法、屈折率測定装置、及び分散測定装置 | |
| JPH02183107A (ja) | 円筒状物体の真円度測定方法 | |
| JPS6488206A (en) | Apparatus for measuring diameter of circular object | |
| JPS63314449A (ja) | びん口部の欠陥検出方法 | |
| JPH08247780A (ja) | 移動体の位置および方位角検出装置 | |
| JP2011007506A (ja) | 偏芯測定装置および偏芯測定方法 | |
| JPS58103133A (ja) | 板状物の位置合わせ法 | |
| JPH07332933A (ja) | 光学式寸法測定装置 | |
| JPH05187830A (ja) | 円形基板の外形測定装置 | |
| JPH03254383A (ja) | レーザ加工用ノズルの傾斜角度検出方法 | |
| JPH0936206A (ja) | 半導体ウエハの位置合わせ装置 | |
| JPH03120640A (ja) | 偏心測定方法 | |
| JPS59125008A (ja) | 移動体の位置検出方法 | |
| JPS6266106A (ja) | 光学的傾斜情報取得方法 | |
| JPH04301503A (ja) | ウェ−ハ中心検出装置 |