JP2007158309A - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置の放射ビームのビーム経路中に設置されるべき物品を物品支持体上で支持するように構成されている物品支持部材であって、該物品支持部材が、第1材料であるベースプレート1と、該第1材料である該ベースプレート1に接着された第2材料である複数のこぶ部5とを含む。
【選択図】図2
Description
‐リソグラフィ投影技術を用いてデバイスを製造する際に処理されるべき基板、または、
‐リソグラフィ投影装置、マスク検査もしくは洗浄装置等のマスク取扱装置、またはマスク製造装置におけるリソグラフィ投影マスクまたはマスクブランク(mask blank)、あるいは、放射線システムの光路中に固定されたその他任意の物品あるいは光学素子のような用語のうち任意のものとすることができる。
‐放射ビームB(例えばUV放射線またはEUV放射線)を調節するように構成されている照明システム(イルミネータ)ILと、
‐パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成されているとともに、一定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1位置決め装置PMに結合されている支持構造体(例えばマスクテーブル)MTと、
‐基板(例えばレジストコートされたウェーハ)Wを保持するように構成されているとともに、一定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第2位置決め装置PWに結合されている基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
‐パターニングデバイスMAにより放射ビームBに伝えられるパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ以上のダイを含むもの)へ投影するように構成されている投影システム(例えば屈折投影レンズ系)PSとを含む。
Claims (14)
- リソグラフィ装置の放射ビームのビーム経路中に設置されるべき物品を物品支持体上で支持するように構成されている物品支持部材であって、物品支持部材が、
第1材料であるベースプレートと、
第1材料であるベースプレートに接着された、第2材料である複数のこぶ部と
を有する物品支持部材。 - 第1材料が非膨脹性材料であり、第2材料が耐摩耗性材料である、請求項1記載の物品支持部材。
- 第1材料が、0.05*E−6 K−1未満の熱膨張のコージエライトを含む材料の第1グループのうちの1つであり、第2材料が、1.5MPa m1/2を超える破壊靱性(KIC)を有する材料の第2グループのうちの1つである、請求項1記載の物品支持部材。
- 第1グループがゼロデュアー、ULE、およびコージエライトを含み、第2グループがSiSiCおよびSiCを含む、請求項3記載の物品支持部材。
- こぶ部が、接着層を介して前記ベースプレートに接着されている、請求項1記載の物品支持部材。
- 接着層が耐食性である、請求項5記載の物品支持部材。
- 接着層が、こぶ部をスポット溶接/陽極接合するのに使用される金属層である、請求項5記載の物品支持部材。
- 物品支持部材を製造する方法であって、
平坦面を有するベースプレートを提供するステップと、
平坦な上面をもたらすよう形成された複数のこぶ部を有するプレートを含むこぶ部プレートを提供するステップと、
こぶ部プレートの平坦な上面をベースプレートに接着するステップと、
こぶ部プレートのプレートを除去し、したがってこぶ部プレートのこぶ部をベースプレートに接着させておくステップとを含む方法。 - 接着するステップがガラスフリットにより提供される、請求項8記載の方法。
- 接着するステップが、接着層としてのベースプレート上の金属コーティングによりこぶ部プレートをスポット溶接することにより提供される、請求項8記載の方法。
- 金属層が、こぶ部をスポット溶接した後に除去される、請求項9記載の方法。
- コージエライトをLiNbO3および/またはZrO2でドープするステップを含む、コージエライトの破壊靱性を増大する方法。
- 少なくとも1.5 mPa m1/2の破壊靱性を有し、ある比率のLiNbO3および/またはZrO2を含む、コージエライトの耐摩耗性片。
- LiNbO3および/またはZrO2の体積分率が少なくとも2%である、請求項13記載の耐摩耗性片。
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