JP2007142265A - 露光装置及び露光方法 - Google Patents

Abstract

【課題】筐体を持ち運びが狭い部分にも搬送可能なで保守、点検が容易な露光装置及び露光方法を得る。
【解決手段】上下に配設した被露光部材を露光部へ交互に搬送して、被露光部材の表裏を同時露光するようになした露光装置の筐体は、少なくとも被露光部材載置部筐体ユニットと、上下露光装置部筐体ユニットと、被露光部材載置部筐体ユニットと上下露光装置部筐体ユニットの後部に配設した電源部筐体ユニットとより成る複数の筐体ユニットで構成して被露光部材の露光を行なう露光装置及び露光方法を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明はプリント基板や半導体等の被露光部材のパターン露光に用いて有用な露光装置及び露光方法に係わり、特に、露光装置の筐体をユニット化し電源保守組み立て、搬送を容易にした露光装置及び露光方法に関する。

プリント基板や半導体パターンの表裏面を同時に露光、焼付けを行なう露光装置として本出願人は特許文献１に示す様な露光装置及び露光方法を提案している。

図７は、特許文献１に開示の露光装置の筐体を示し、露光装置１の筺体はピアノ型に一体に構成され、前面はプリント回路基板等のパターンが露光される上下被露光部材７Ａ及び７Ｂを装着或は取り出すための被露光部材載置部４はテーブル状と成され、このテーブル上に上下露光枠３Ａ、３Ｂの表面が露呈される開口部が形成されている。

上記した被露光部材載置部４内には露光装置１の奥行方向に延設したレール５Ｌ及び５Ｒに沿って摺動自在にされた上下露光枠３Ａ及び３Ｂが配設され、この上下露光枠３Ａ及び３Ｂ内にプリント回路基板等の上下被露光部材７Ａ及び７Ｂ並びにマスクパターン等が配設される。この上下露光枠３Ａ及び３Ｂにはパターンマスク等を押圧する透明な押圧蓋（図８参照）１８がヒンジを介して開閉自在と成されている。

上下に設けられた上露光枠３Ａ及び下露光枠３Ｂは、これら上下露光枠３Ａ及び３Ｂの左右に設けられた左右駆動部２Ｌ及び２Ｒの左右に設けた夫々の左右レール５Ｌ及び５Ｒ上で駆動される様に、左右駆動部２Ｌ及び２Ｒ間に摺動可能に架橋されている。

上述の左右レール５Ｌ及び５Ｒは被露光部材載置部４の後方に設けられた上下露光部８Ａ及び８Ｂの奥方向まで延設され、上下露光枠３Ａ及び３Ｂは上下露光部８Ａ及び８Ｂの露光すべき所定位置で停止出来る様になされている。

上下露光部８Ａ及び８Ｂ内には夫々反射用のミラー１０Ａ及び１０Ｂが傾斜して設けられている。上露光部８Ａ内のミラー１０Ａは図７の破線の様に手前から後方に上り坂の様に傾斜し、下露光部８Ｂ内のミラー１０Ｂは手前から後方に下り坂の様に傾斜して配設され、更に、図７の略中央位置からの側断面図である、図８に示す様に上下露光部８Ａ及び８Ｂの筺体の背面中央部に設けた断面Ｌ字状の載置台１１Ａ及び１１Ｂ上に光源となる高圧水銀灯９Ａ及び９Ｂを固定し、ミラー１０Ａ及び１０Ｂに照射した紫外光を下方及び上方に反射させて順次被露光部材載置部４の奥行き方向に移動される上下露光枠３Ａ及び３Ｂ内の上下被露光部材７Ａ及び７Ｂを夫々交互に露光する様に成されている。

又、被露光部材載置部４の下側には図８に示す様に上記した高圧水銀灯９Ａ及び９Ｂを点灯し、光強度などを制御する電源制御回路部が挿入された電源部筐体６が設けられている。

上述の構成で、上下露光枠３Ａ及び３Ｂ内にはプリント回路基板等の上下被露光部材７Ａ及び７Ｂの上下に２枚のパターンマスク等が配設され、これら被露光部材７Ａ及び７Ｂは被露光部材載置部４の前面側から露光枠３Ａ及び３Ｂに載置される。上下露光枠３Ａ及び３Ｂの左右側壁部に回動自在に設けたローラ１２が左右レール５Ｌ、５Ｒに転接して、図示しない左右駆動部２Ｌ、２Ｒ内の駆動モータ等の駆動力で上下露光部８Ａ及び８Ｂの照射範囲内に搬入されると、露光装置１内の後部に配設されている上下側の高圧水銀灯９Ａ及び９Ｂからの紫外光を上下のミラー１０Ａ及び１０Ｂを介して露光部位置に持ち来された上又は下露光枠３Ａ及び３Ｂ内の上被露光部材７Ａ又は下被露光部材７Ｂを露光する。

上下露光枠３Ａ及び３Ｂは先ず、上露光枠３Ａが図８に示す矢印Ａ方向に駆動手段を介して左右レール５Ｌ、５Ｒに沿って上露光部８Ａの上側ミラー１０Ａの真下に持ち来されて、上露光枠３Ａ内に配設した上被露光部材７Ａは上側高圧水銀灯９Ａ及びミラー１０Ａを介して所定の露光光路を経由して上被露光部材７Ａの表側のパターンマスクを介して所定のパターンを露光する。

同様に上被露光部材７Ａの裏側も裏側のパターンマスクを介して下側高圧水銀灯９Ｂ及びミラー１０Ｂにより所定の露光光路を経由して上被露光部材７Ａの裏側に所定のパターンを露光する。

上被露光部材７Ａの表裏側のパターンが同時に露光を終了すると上露光枠３ＡはＡと逆方向の被露光部材載置部４の前方側に移動し、次に下露光枠３Ｂが矢印Ａ方向に左右レール５Ｌ、５Ｒに沿って奥行き方向に移動して、上下露光部８Ａ、８Ｂの真下で停止し、下露光枠３Ｂ内の下被露光部材７Ｂの表側のパターンを上側高圧水銀灯９Ａとミラー１０Ａを介して露光し、裏側のパターンを下側高圧水銀灯９Ｂとミラー１０Ｂを介して露光して同時に表裏パターンの露光を行なっている。
特開２００２−２２１７９９号公報

上述の特許文献１で説明した図７及び図８の露光装置によると、下記に示す様な課題を有していた。
（イ）露光装置１の筐体の被露光部材載置部４、上下露光部８Ａ及び８Ｂ、電源部筐体６はＬ型アングル等を用いてピアノ型に一体に構成しているために、露光装置全体が大型化し、運搬や設置に手間を要するだけでなく設置場所に配設するまでの通路や扉が狭い場合は扉等を壊さなくては搬入出来ない場合が生ずる。
（ロ）露光装置１の電源部筐体６を被露光部材載置部４の下部に配したため、電源部筐体６の保守、点検は点検者が屈んだ状態で電源部筐体６の前扉のみを開いて行うため開閉面積も小さく極めてやり難くなる。
（ハ）従来の露光装置１では電源部筐体６を下露光部１１Ｂの前方に配設したために電源部筐体６から上下高圧水銀灯９Ａ，９Ｂまでの電源配線や水冷用の配管を大きく回さなくてはならないための配線や配管を設ける必要があり機構が複雑化する等の課題を有していた。

本発明は叙上の課題を解消した露光装置及び露光方法を提供しようとするもので、発明が解決しようとする課題は筐体の持ち運びが容易で狭い部分にも搬送可能な様に複数の筐体ユニットで構成し、保守、点検が容易な露光装置及び露光方法を得ようとするものである。

第１の本発明の露光装置は、上下に配設した被露光部材を露光部へ交互に搬送して、該被露光部材の表裏を同時露光するようになした露光装置であって、露光装置の筐体は、少なくとも被露光部材載置部筐体ユニットと、上下露光装置部筐体ユニットと、被露光部材載置部筐体ユニットと上下露光装置部筐体ユニットの後部に配設した電源部筐体ユニットとより構成したものである。

第２の本発明の露光方法は上下に配設した被露光部材を露光部へ交互に搬送して、被露光部材の表裏を同時露光するようになした露光方法であって、露光装置の筐体は、少なくとも被露光部材載置部筐体ユニットと、上下露光装置部筐体ユニットと、被露光部材載置部筐体ユニットと上下露光装置部筐体ユニットの後部に配設した電源部筐体ユニットとから構成され、電源部筐体ユニット内に摺動自在に枢着した２個の電源用放電光を介して上下露光筐体ユニット内のミラーを照射し、被露光部材載置部筐体ユニット内の露光部材を上下方向より露光するように成したものである。

斯かる、第１に本発明によれば、複数に分割した筐体ユニットとしたために持ち運びが容易で狭い部分でも搬送可能となり、電源部筐体も背面側に配したので保守、点検が容易な露光装置及び露光方法が得られる。

第２の本発明によれば上下露光部８Ａ、８Ｂの後部にユニット化した電源部筐体６と上下高圧水銀灯９Ａ、８Ｂを設けたので配線や配管の引き回しが容易な構造の露光方法が得られる。

以下、図１乃至図６を用いて、本発明の露光装置の１形態例を詳記する。図１は本発明の露光装置の１形態例の筐体の組み立て状態を示す全体の斜視図、図２は本発明の露光装置の露光手順の１形態例を示す側断面図、図３は本発明の露光装置の１形態例を示す正面図、図４は本発明の露光装置に用いる１形態例を示す遮蔽手段の取り付け状態の正面図及び側面図、図５は本発明の露光装置の１形態例を示す電源部筐体ユニットの詳細図、図６は本発明の露光装置の１形態例を示す配管系統図である。

図１は、本発明の露光装置２０の各ユニット筐体を組み立てた全体的外観斜視図を示すものでる。以下、従来の図７及び図８で説明した露光装置１に於いての対応部分には同一番号を付して説明を進める。本発明の露光装置２０を構成する各種筺体ユニットは全体としてピアノ型に組み立てられている。テーブル状に形成した前面はプリント回路基板等のパターンが露光される上下被露光部材７Ａ及び７Ｂを装着或は取り出すための略直方体状にＬアングルで構成したラックに各板材を固定した被露光部材載置部筐体ユニット２１をテーブル状と成し、このテーブル上に形成した上下露光枠３Ａ、３Ｂの開口部上に上下被露光部材７Ａ，７Ｂが載置される。

この被露光部材載置部筐体ユニット２１内には図７及び図８で説明したと同様に露光装置２０の奥行方向に延設した左右レール５Ｌ及び５Ｒに沿って摺動自在にされた上下露光枠３Ａ及び３Ｂが配設され、この上下露光枠３Ａ及び３Ｂ内にプリント回路基板等の上下被露光部材７Ａ及び７Ｂ並びに２枚のマスクパターン等が上下被露光部材７Ａ、７Ｂの上下に夫々配設される。この上下露光枠３Ａ及び３Ｂはガラス等の押圧蓋（図２（Ａ）参照）１３で押圧可能にヒンジ等を介して開閉自在とされ、上下露光枠３Ａ、３Ｂを夫々押圧している。

上下に設けられた上露光枠３Ａ及び下露光枠３Ｂは、これら上下露光枠３Ａ及び３Ｂの左右に設けられた左右駆動部２Ｌ及び２Ｒに設けた夫々の左右レール５Ｌ及び５Ｒ間駆動される様に左右駆動部２Ｌ及び２Ｒが内蔵された左右駆動部筐体ユニット２２Ｌ、２２Ｒ間に摺動可能に架橋されている。この左右駆動部２Ｌ、２Ｒは図３の正面図の一部を断面とした左右駆動部２Ｌ、２Ｒに示す様に、上記した被露光部材載置部筐体ユニット２１の左右駆動部筐体ユニット２２Ｌ、２２Ｒと一体に構成されている。右駆動部筐体ユニット２２Ｒ上には図３に示す様に操作用キー群２７や表示装置２８が取り付けられた操作部筐体２６が固定されている。

上述のレール５Ｌ及び５Ｒは図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示す被露光部材載置部筐体ユニット２１の後方に設けられた上下露光部筐体ユニット２３Ｕ、２３Ｄの上下位置まで延設され、上下露光枠３Ａ及び３Ｂは上下露光部筐体ユニット２３Ｕ、２３Ｄの上下から電源用の高圧水銀灯９Ａ、９Ｂからの紫外光が照射される所定位置で停止可能とされている。

上下露光部筐体ユニット２３Ｕ、２３Ｄの上下露光部筺体はＬ型アングルを略直方体状に組み立て上下左右前後に側板を固定させ、上下露光部筐体ユニット２３Ａ、２３Ｂ内には夫々反射用のミラー１０Ａ及び１０Ｂが傾斜して設けられている。上露光部筐体ユニット２３Ａ内のミラー１０Ａは手前から後方に上り坂の様に傾斜し、下露光部筐体ユニット２３Ｂ内のミラー１０Ｂは手前から後方に下り坂の様に傾斜して配設されている。図２（Ａ）に示す様に上露光部筐体ユニット２３Ａの左下方隅にはミラー１０Ａに向けて高圧水銀灯９Ａからの照射光を照射可能な照射窓が形成されている。同様に、下露光部筐体ユニット２３Ｂの左上方隅にはミラー１０Ｂに向けて高圧水銀灯９Ｂからの照射光を照射可能な照射窓が形成されている。

下露光部筐体ユニット２３Ｄの下端には図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図３に示す様に略扁平Ｌ型アングルを略直方体状に溶接形成した基台２４が設けられ、この基台２４上に下露光部筐体ユニット２３Ｄは載置固定されている。下側のミラー１０Ｂを固定するミラー取付金具２９は図２（Ａ）に示す様に基台２６に固定されている。

上露光部筐体ユニット２３Ｕの前面板側には図４によって後述するも被露光部材載置部筐体ユニット２１の前方への露光時の光漏れを遮蔽する遮光手段３０が取り付けられている。

更に、上下露光部筐体ユニット２３Ｕ、２３Ｄと被露光部材載置筐体ユニット２１の背面側に同じくＬ字型アングル等で略直方体状に形成した電源部等を内蔵した電源部筐体ユニット２５を基台２４上に載置固定して、露光装置２０を構成する。

上記した図２（Ａ）の上露光筐体ユニット２３Ｕの取り付け構造を図４に示す。図４（Ａ）は上露光部筐体ユニット２３Ｕと被露光部材載置部筐体ユニット２１の後部が挿入される筺体内部側から見た正面図、図４（Ｂ）は遮光手段（以下、シャッタと記す）３０の右側面図であり、上露光部筐体ユニット２３Ｕのシャッタ３０は上露光筐体ユニット２３Ｕの前面上下部枠間に架橋させたシャッタ取付金具３１Ａ、３１Ｂにシャッタ駆動部３２及びシャッタのスライドガイド３３Ａ、３３Ｂを配設する。

図４（Ａ）に於いて、シャッタ駆動部３２はシャッタ取付金具３１Ａに固定したＬ字状金具上に配設した電磁ブレーキ付のモータ３４はギヤヘッドやカップリングを介してボールネジ３５に回転力を与えて、ボールネジ３５の先端に取り付けられた略長方形のシャッタ板３６をスライドガイド３３Ａ、３３Ｂに沿って被露光部材載置部筐体ユニット２１内に上下動させることで上下被露光部材７Ａ、７Ｂの露光時に被露光部材載置部筐体ユニット２１の手前側の操作部側に漏れる紫外光を遮断する様になされている。

次に、図５（Ａ）乃至図５（Ｅ）によって、電源部筐体ユニット２５及び筐体内の各電機部品の配置を説明する。図５（Ａ）は電源部筐体ユニット２５の正面図を示すものであり、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＫ−Ｋ断面矢視図、図５（Ｃ）は、図５（Ａ）のＭ−Ｍ断面矢視図、図５（Ｄ）は図５（Ａ）のＣ−Ｃ断面矢視図、図５（Ｅ）は図５（Ａ）のＦ−Ｆ断面矢視図である。

電源部筐体ユニット２５は、図５（Ａ）に示す様に、Ｌ字状アングルを用いて、直方体の枠部材のラックを構成し、中央枠２５Ａ、左右枠２５Ｌ、２５Ｒ、上下枠２５Ｂ、２５Ｃに分け、下枠２５Ｃは左下枠２５ＣＬ、中央下枠２５ＣＣ、右下枠２５ＣＲに分割されて、棚板や側板が固定され背面側は両扉を開閉自在に構成し、背面からの保守、点検が容易になるように形成される。

電源部筐体ユニット２５の中央枠２５Ａには図５（Ｃ）に示す様に上枠２５Ｂに固定した棚板から垂下した摺動棒４０に光源となる高圧水銀灯９Ａ及び９Ｂを摺動可能に固定し、上下露光部筐体ユニット２３Ｕ、２３Ｄのコーナから図２（Ａ）に示す様に高圧水銀灯９Ａ及び９Ｂからの紫外光をミラー１０Ａ及び１０Ｂに照射し、この紫外光を下上方向に反射させて上下露光枠３Ａ及び３Ｂ内の置かれた上下被露光部材７Ａ及び７Ｂの表裏面を同時に夫々交互に露光する様に成されている。

図５（Ａ）の様に、左枠２５Ｌ内には電源制御用の配電盤４１が配設され、右枠２５Ｒには図５（Ａ）、（Ｂ）の様に２段に区切られ、上段には２個の真空ポンプ４２Ａ、４２Ｂが配設される。真空ポンプ４２Ａ、４２Ｂは２方弁とラジエータ用の真空ポンプよりなる。下段には５ｋｗ〜８ｋｗのトランス４４が配設されている。又、上枠２５Ｂ内には図５（Ａ）、（Ｂ）、（Ｄ）の様に２個のラジエータ４３Ａ、４３Ｂが設置され後方に排気するように成されている。

下枠２５Ｃの左下枠２５ＣＬ内には図５（Ａ）、（Ｅ）に示す様に電源用の５ｋｗ〜８ｋｗのトランス４５が、中央下枠２５ＣＣ内には保護筒３７、水位計３８、レベルスイッチ３９等を有する水槽４６が、右下枠２５ＣＲには２台の真空ポンプ４７Ａ、４７Ｂ及び圧力及び温度調整用のスイッチ基盤４８が配されホースを介して、水槽４６に接続されている。真空ポンプ４７Ａは高圧水銀灯９Ａ、９Ｂなどのランプ冷却用のポンプであり、真空ポンプ４７Ｂは循環冷却用のポンプである。この様に、高圧水銀灯９Ａ、９Ｂの近傍に電源部の各種部品を集約したので高圧水銀灯９Ａ、９Ｂへの電気周りの配線及び冷却用の水周りの配管が短くなり電源部筐体ユニットをコンパクトに構成可能となっている。

図６に上記した露光装置２０の配管系統図を示す。図６に於いて、上下ランプハウス４９Ａ、４９Ｂは高圧水銀灯９Ａ、９Ｂの管壁を水で冷却可能に成したユニット化されたランプハウジングで構成されている。

図６に於いて、上下ランプハウス４９Ａ、４９Ｂの冷却排出口からの冷却水はイオンレスフイルタ５０を介して水槽４６に注入され、ランプ冷却用の真空ポンプ４９Ａ−弁５１を介して、上下ランプハウス４９Ａ、４９Ｂに並列的に供給されている。一方、第１及び第２のラジエータ４３Ａ、４３Ｂにも水槽−循環冷却水用の真空ポンプ４７Ｂを介してラジエータ用の冷却水が並列的に供給されている。

上述の構成に於いて、本発明の露光装置の動作を図１乃至図６により説明する。

図１及び図２（Ｂ）に示す様に上露光枠３Ａに上被露光部材７Ａと上下に２枚のマスクパターンを載置し、ガラス製の押圧蓋１３を閉蓋して右駆動部筐体ユニット２２Ｒ内の駆動モータを動作させれば上露光部材７Ａは被露光部材載置部筐体ユニット２１の上下露光部筐体ユニット２３Ｕ、２３Ｄ上の所定露光位置に停止し、光源である高圧水銀灯９Ａ及び９Ｂの点灯により、水槽４６から水は上下ランプハウ４９Ａ、４９Ｂ内の高圧水銀灯９９Ａ、９Ｂの管壁を冷却すると共に第１及び第２のラジエータ４３Ａ、４３Ｂをも冷却し、上下ミラー１０Ａ、１０Ｂを介して、上被露光部材７Ａの表裏面にマスクパターンに対応した所定のパターンを同時に露光焼付される。

この様な露光状態では、高圧水銀灯９Ａ、９Ｂからの紫外光が被露光部材載置部筐体ユニット２１内の空間部を介して、操作部側に漏れるようになり操作者の目等に悪い影響を与えるので、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すシャッタ３０のモータ３４を動作させ、シャッタ板３６をスライドガイド３３Ａ、３３Ｂに沿って降下させる様に操作させるか、露光開始の高圧水銀灯９Ａ、９Ｂの点灯と同時に自動制御させることで図２（Ａ）に示す様に被露光部材載置部筐体ユニット２１の操作部側に漏れる光は完全に遮光される。

次に、上述の様に上露光枠３Ａ内の上被露光部材７Ａの露光中に、下露光枠３Ｂ内に下被露光部材７Ｂを装着し、上露光枠３Ａが被露光部材載置部筐体ユニット２１の前方の載置部側に戻される搬送中に右駆動部筐体ユニット２２Ｒ内の右駆動部２Ｒの駆動モータを駆動させれば下露光枠３Ｂの下被露光部材７Ｂはレール５Ｌ、５Ｒに沿って奥行方向に移動し、終端して上下露光部筐体ユニット２３Ａ、２３Ｂ位置に達することで高圧水銀灯９Ａ、９Ｂの管壁は水による冷却と共に上被露光部材７Ａと同様に下被露光部材７Ｂの表裏面に所定のパターンを同時に露光焼付される。

本発明の露光装置２０によると、基台２４上に被露光部材載置部筐体ユニット２１と、上下露光筐体ユニット２３Ｕ、２３Ｄと、電源部筐体ユニット２５を組み立て、図１に示す様に簡単に組み立て可能に構成したので、設置位置への通路が狭くても各筐体ユニットを分解した状態で設置位置に搬入可能であるだけでなく組み立てが電気配線系路及び組み立てを簡単に行うことが可能となる。

請求項１の本発明によれば、複数に分割した筐体ユニット２１、２２Ｌ、２２Ｒ、２５としたために持ち運びが容易で狭い部分でも搬送可能となり、電源部筐体ユニット２５も露光装置２０の背面側に配したので背後から保守、点検及び配線、配管が簡単な露光装置が得られる。

請求項２の本発明によれば、上下露光装置部筐体ユニット２５内の反射ミラー１０Ａ、１０Ｂを照射する上下側光源の上下高圧水銀灯９Ａ、９Ｂを電源部筐体ユニット２５内に配設したので、配線、配管の引き回しが容易で簡単な構造の露光装置が得られる。

請求項３の本発明によれば、被露光部材載置部筐体ユニット２１の上下露光部筐体ユニット２３Ａ、２３Ｂ間の露光部と上下露光部材７Ａ、７Ｂの挿入部である操作部間に光の遮光手段を介在させたので、露光時に被露光部材載置部筐体ユニット２１の操作部方向に紫外光が漏光せず、操作者に悪影響を与えない露光装置が得られる。

請求項４の本発明によれば、上下に配設した被露光部材を露光部へ交互に搬送して、被露光部材の表裏を同時露光するようになした露光方法であって、露光装置の筐体は、少なくとも被露光部材載置部筐体ユニットと、上下露光装置部筐体ユニットと、被露光部材載置部筐体ユニットと上下露光装置部筐体ユニットの後部に配設した電源部筐体ユニットとから構成され、この電源部筐体ユニット内に摺動自在に枢着した２個の電源用紫外光を介して前記上下露光筐体ユニット内のミラーを照射し、被露光部材載置部筐体ユニット内の露光部材を上下方向より露光したので、背後から保守、点検が容易な露光方法が得られる。

上述の露光装置の構成に於いては、露光装置の筐体は、少なくとも被露光部材載置部筐体ユニットと、上下露光装置部筐体ユニットと、被露光部材載置部筐体ユニットと上下露光装置部筐体ユニットの後部に配設した電源部筐体ユニットとから構成され、この電源部筐体ユニット内に摺動自在に枢着した２個の電源用放電光を介して上下露光筐体ユニット内のミラーを照射するようにしたが、複数に分割する各筐体ユニットの分割方法は適宜選択可能であり、例えば、被露光部材筐体ユニットと、左右駆動部筐体ユニットを別筐体として構成させても良い。更に、電源部筐体ユニットは実際には１８０３Ｈ×１４８０Ｌ×８００Ｗと大きいため、この電源部筐体ユニットを１／２〜１／４のラックとして電源部筐体ユニットを１／２から１／４の体積として組み立てることも出来る。

更にまた、各筐体ユニットを、容易に組み立て出来るように積み重ねられる筐体ユニット間に案内突部と案内孔を形成し、積み重ね或いは組み合わせ時に案内突部が案内孔に自動的に嵌り合う様にし、各筐体ユニットを固定させる様にすることも出来る、この際、案内突部を各筐体に溶接した雄螺子等とすることで組み立て、分解時に雌螺子の案内、枢着、緩めを極めて簡単に行うことが出来る。

上述の露光装置としては、プリント回路基板のパターニング用の露光装置について説明したが、ＬＣＤ等の露光装置として、利用されているプロキシミティ露光方式、レンズステッパ分割露光方式、ミラープロジェクション露光方式等の露光方式の露光装置にも本発明が適用可能である。

本発明の露光装置の組み立て状態の１形態例を示す斜視図である。 本発明の露光装置の露光方法及び遮光手段の動作を説明するための１形態例を示す側断面図である。 本発明の露光装置の１形態例を示す正面図である。 本発明の露光装置に用いる遮光手段の配設状態を示す１形態例の正面図及び側面図である。 本発明の露光装置に用いる電源部筐体ユニットの１形態例を示す各部の詳細側断面図である。 本発明の露光装置の１形態例を示す配管系統図である。 従来の露光装置の斜視図である。 従来の露光装置の側断面図である。

符号の説明

１、２０‥‥露光装置、２Ｌ、２Ｒ‥‥左右駆動部、３Ａ、３Ｂ‥‥上下露光枠、４‥‥被露光部材載置部、５Ｌ、５Ｒ‥‥レール、８Ａ、８Ｂ‥‥上下露光部、９Ａ、９Ｂ‥‥上下側高圧水銀灯、１０Ａ、１０Ｂ‥‥ミラー、２１‥‥被露光部材載置部筐体ユニット、２２Ｌ、２２Ｒ‥‥左右駆動部筐体ユニット、２３Ｕ、２３Ｄ‥‥上下露光筐体ユニット、２５‥‥電源部筐体ユニット、２６‥‥操作部筐体、３０‥‥遮光手段、３４‥‥モータ、３５‥‥ボールネジ、３６‥‥シャッタ板、４０‥‥摺動棒、４６‥‥水槽、４７Ａ、４７Ｂ‥‥真空ポンプ

Claims (4)

1. 上下に配設した被露光部材を露光部へ交互に搬送して、該被露光部材の表裏を同時露光するようになした露光装置であって、
   前記露光装置の筐体は、
   少なくとも被露光部材載置部筐体ユニットと、
   上下露光装置部筐体ユニットと、
   前記被露光部材載置部筐体ユニットと前記上下露光装置部筐体ユニットの後部に配設した電源部筐体ユニットと、
   より構成したことを特徴とする露光装置。
2. 前記上下露光装置部筐体ユニット内の反射ミラーを照射する上下側光源を前記電源部筐体ユニット内に配設したことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
3. 前記被露光部材載置部筐体ユニットの露光部と被露光部材導入部間に光遮蔽手段を介在させて成ることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
4. 上下に配設した被露光部材を露光部へ交互に搬送して、該被露光部材の表裏を同時露光するようになした露光方法であって、
   前記露光装置の筐体は、少なくとも被露光部材載置部筐体ユニットと、上下露光装置部筐体ユニットと、該被露光部材載置部筐体ユニットと前記上下露光装置部筐体ユニットの後部に配設した電源部筐体ユニットとから構成され、
   前記電源部筐体ユニット内に摺動自在に枢着した２個の電源用放電光を介して前記上下露光筐体ユニット内のミラーを照射し、前記被露光部材載置部筐体ユニット内の露光部材を上下方向より露光することを特徴とする露光方法。
   

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