JP2006308996A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 走査方向に沿って生じる温度分布や温度変化を抑制する空調を行うことで、高精度な露光を実現する。
【解決手段】 露光装置１０の装置本体２０が収容されたカバー体１２の収容室１３（露光室１５）を、空調機で生成した冷却空気によって空調する際に、ダクト８２の吹出口８２Ｂから露光室１５に吹き出された冷却空気を、風向変更板９０によって走査方向に沿った方向へ送風する。この走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気によって、収容室１３における走査方向に沿った温度分布が均一になり、また走査方向に沿った温度変化も起こりにくくなる。ステージ２８によって走査方向へ搬送される感光材料４０では、走査方向に沿った温度分布や温度変化で熱変形し、露光位置ずれなどの精度低下を招くことが抑えられる。
【選択図】 図３

Description

本発明は露光装置に関し、特に、装置本体が収容された収容室の測定温度に基づいて空調機から温度調整した空気を収容室に供給し空調する空調機能を備えた露光装置に関する。

副走査方向へ搬送される感光性フィルム等の感光材料に対してレーザ光を主走査しながら照射し所定のパターンを描画するレーザ描画装置（例えば、特許文献１参照）などの走査露光装置、あるいは、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子（ＳＬＭ）を利用し、画像データに応じて変調した光ビームを走査方向へ搬送される感光材料に照射し画像露光を行う画像露光装置では、光ビームを照射する露光ヘッド、回転ドラムやステージ等の感光材料搬送手段を駆動する駆動モータ、装置各部を制御する制御基板等が装備されて露光室（収容室）内に多数の発熱部品が存在している。そのため、これら発熱部品が発する熱によって露光室の温度が変化し、それに伴う感光材料の熱変形（膨張／収縮）による露光位置ずれなどの精度低下を抑えるために、露光室の測定温度に基づいて空調機から温度調整した空気（冷気）を露光室に供給し、室温を所定の範囲に保つよう空調制御を行っている。
特開２００２−８２４４６号公報

しかしながら、上述した空調機能を備える露光装置では、露光室の大幅な温度上昇（温度変化）は抑えられるが、各発熱部品が露光室内に散在しているため、冷気を単に露光室に供給するだけでは室温が均一になりにくく、少なからず温度分布を生じてしまう。

例えば、感光材料を走査方向に搬送するステージとともに駆動モータが移動し、ステージ移動路の途中に露光ヘッドが配置される構成等では、特に高温となるそれらの駆動モータや露光ヘッドが走査方向に沿って配設されるため、室温が走査方向に沿って不均一になり、走査方向に沿って温度分布が形成されやすくなる。さらに、この温度分布も一定ではなく、露光動作時のステージ移動に伴う露光室内の空気流動状態の変化や駆動モータ（発熱部品）の移動によって、走査方向に沿った各位置で室温が微妙に変化し、これを受けて装置各部にも温度変化が生じる。

そのため、ステージによって走査方向に搬送される感光材料では、この露光室の走査方向に沿った温度分布や温度変化によってやはり熱変形が起きてしまい、露光精度の低下を招く問題がある。

特に、空間光変調素子を用いた画像露光装置では、露光する画像パターンの微細化、狭ピッチ化、及び露光位置の高精度化に対応し、超高精細で高精度な画像露光を実現するために、上記の温度分布や、空気流動状態の変化による露光室内の各位置の温度変化を抑制できる空調を行う必要がある。

本発明は上記事実を考慮して、走査方向に沿って生じる温度分布や温度変化を抑制する空調を行うことにより、高精度な露光を実現できる露光装置を提供することを課題とする。

上記目的を達成するために請求項１に記載の発明は、光ビームを照射し感光材料を走査露光する露光手段と、前記露光手段に対して相対移動し載置面に載置されて保持した感光材料を走査方向に沿って搬送する搬送手段と、前記露光手段、及び前記搬送手段が移動可能に収容された収容室と、前記収容室に温度調整した空気を供給して空調する空調手段と、前記収容室に設けられ前記空調手段からの空気を前記走査方向に沿った方向へ送風する送風手段と、を有することを特徴している。

また、請求項２に記載の発明は、光ビームを照射し感光材料を走査露光する露光手段と、前記露光手段に対して相対移動し載置面に載置されて保持した感光材料を走査方向に沿って搬送する搬送手段と、前記露光手段、及び前記搬送手段が移動可能に収容された収容室と、前記収容室に温度調整した空気を供給して空調する空調手段と、前記収容室の温度を測定する室温測定手段と、前記室温測定手段による測定温度に基づいて前記空調手段を制御し前記空気の調整温度を変更する制御手段と、前記収容室に設けられ前記空調手段からの空気を前記走査方向に沿った方向へ送風する送風手段と、を有することを特徴している。

請求項１に記載の発明では、光ビームを照射し感光材料を走査露光する露光手段、及び、露光手段に対して相対移動し感光材料を走査方向に沿って搬送する搬送手段を移動可能に収容した収容室は、室温を測定する室温測定手段による測定温度に基づいて、制御手段が空調手段を制御することにより、空調手段から温度調整された空気が供給され空調される。

また、請求項２に記載の発明では、露光手段、及び、搬送手段を移動可能に収容した収容室は、空調手段から温度調整された空気が供給され空調される。

この空調で、収容室に供給された空気は、送風手段によって走査方向に沿った方向へ送風されるため、収容室における走査方向に沿った温度分布は均一になり、走査方向に沿った温度変化も起こりにくくなる。これにより、搬送手段によって走査方向へ搬送される感光材料がその走査方向に沿った温度分布や温度変化で熱変形し、露光位置ずれなどの精度低下を招くことが抑えられ、高精度な露光を実現することができる。

また、搬送手段における感光材料の載置面上や、載置面に載置された感光材料上は、この走査方向に沿った方向へ送風される空気によって清掃され、塵埃等が蓄積することなくクリーンな状態に保たれる。これにより、搬送手段の載置面に載置される感光材料の浮きや位置ずれ、あるいは感光材料上における塵埃等の蓄積が抑えられ、それらを要因とする露光精度の低下を防止することができる。

請求項３に記載の発明は、請求項２記載の露光装置において、前記制御手段は、前記搬送手段の移動に応じて前記空調手段を制御し空調風量を変更することを特徴としている。

請求項３に記載の発明では、例えば空調手段からの空気が収容室に吹き出される吹出口に対して、搬送手段が離間している場合には空調風量を多くし、近接している場合には空調風量を少なくする、あるいは、搬送手段と吹出口の距離に比例して空調風量の増減を連続的（無段階）又は段階的に変化させるなどのように、空調手段による空調風量を搬送手段の移動に応じて変更する。これにより、収容室内に走査方向に沿って配設された装置主要部の熱的平衡状態を保つことができ、感光材料の熱変形を抑えたより高精度な露光を行うことができる。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３の何れか１項記載の露光装置において、前記送風手段は、前記空調手段からの空気を前記収容室に吹き出すダクトと、前記ダクトから吹き出された空気の送風方向を前記走査方向に沿った方向へ変更する風向変更手段と、を有することを特徴としている。

請求項４に記載の発明では、空調手段からダクトを介して収容室に吹き出された空気は、風向変更手段によって送風方向が走査方向に沿った方向へ変更される。これにより、例えば収容室内に配設される装置構成部との関係でダクトの設置位置や吹き出し方向が制限されるような場合でも、ダクトから吹き出された空気を上記の風向変更手段によって容易に走査方向に沿った方向へ変更し送風することができる。また、例えば風向変更手段を可動式とした場合には、送風方向を微調整するようなことも可能となる。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項３の何れか１項記載の露光装置において、前記送風手段は、前記空調手段からの空気を前記走査方向に沿った方向へ吹き出すダクトを有することを特徴としている。

請求項５に記載の発明では、空調手段からダクトを介して収容室に吹き出された空気は、ダクトから直接的に走査方向に沿った方向へ送風される。これにより、空調手段からの空気を簡単な構成で確実に走査方向に沿った方向へ送風することができる。

請求項６に記載の発明は、請求項４又は請求項５記載の露光装置において、前記ダクトには、前記空気を吹き出す吹出口まで所定の長さ以上直線状に形成された直線状部が設けられていることを特徴としている。

請求項６に記載の発明では、空調機からの空気がダクトの直線状部を通過し吹出口から吹き出されるため、吹出口以降の空気の流れ（送風方向）が安定し、所望の方向（走査方向に沿った方向）、あるいは空気供給部位に正確に送風することができる。

請求項７に記載の発明は、請求項１〜請求項６の何れか１項記載の露光装置において、前記搬送手段は、前記載置面に対し、前記走査方向に沿った方向へ送風される空気の流動方向における上流側に設けられ、その走査方向に沿った方向へ送風される空気を載置面上へ導く導風手段を有することを特徴としている。

請求項７に記載の発明では、搬送手段に設けられた導風手段により、走査方向に沿った方向へ送風される空気がより多く載置面上へ導かれるようになるため、載置面、及び載置面に載置された感光材料の温度変化が更に起こりにくくされ、温度の安定性が高められる。さらに、載置面上の送風量が増加することにより、送風による載置面上の清掃性も向上する。

請求項８に記載の発明は、請求項１〜請求項７の何れか１項記載の露光装置において、前記露光手段と前記搬送手段との間に設けられた空間形状がほぼ変化しない範囲で搬送手段を移動させることを特徴としている。

請求項８に記載の発明では、搬送手段が移動しても、露光手段と搬送手段との間に設けられた空間形状はほぼ変化しないため、この空間に送風される空気の流動状態がほぼ一定となり露光手段の空冷状態が安定する。これにより、露光手段の温度変化が抑えられて温度は一定に保たれ、この温度変化を要因とする露光手段の熱変形による露光位置（光ビーム照射位置）の精度低下が抑えられる。さらに、搬送手段によって搬送され露光手段に対し相対移動する感光材料の空冷状態も安定し、熱変形が抑えられる。

請求項９に記載の発明は、請求項１〜請求項８の何れか１項記載の露光装置において、前記搬送手段の移動路上に設けられた取付部材と、前記取付部材に取り付けられ、前記感光材料に対する露光位置を補正するために感光材料に設けられた露光位置の基準を示す基準マークを読み取る読取手段と、を有し、前記取付部材は、前記搬送手段が移動されても前記走査方向に沿った方向へ送風される空気の流れをほぼ変化させない形状とされていることを特徴としている。

請求項９に記載の発明では、感光材料に対する露光位置を補正するために感光材料に設けられた露光位置の基準を示す基準マークを読み取る読取手段は、搬送手段の移動路上に設けられた取付部材に取り付けられて、搬送手段の移動路に配設される。ここで、搬送手段が移動しても、走査方向に沿った方向へ送風される空気の流れ（流動状態）は、取付部材によって変化されずにほぼ一定となり取付部材及び読取手段の空冷状態が安定する。これにより、取付部材及び読取手段の温度変化が抑えられて温度は一定に保たれ、この温度変化を要因とする読取手段の位置ずれ、すなわち基準マーク読取位置の精度低下が抑えられる。さらに、搬送手段によって搬送され、取付部材及び読取手段に対し相対移動する感光材料の空冷状態も安定し、熱変形が抑えられる。

請求項１０に記載の発明は、請求項９記載の露光装置において、前記取付部材は、前記走査方向に沿った方向へ送風される空気を整流する整流手段を有することを特徴としている。

請求項１０に記載の発明では、取付部材付近を走査方向に沿った方向へ送風される空気が整流手段によって整流され、その空気の流動状態が安定するため、取付部材の温度変化及びそれを要因とする悪影響をより効果的に抑えることができる。

請求項１１に記載の発明は、請求項１〜請求項８の何れか１項記載の露光装置において、前記露光手段に対し前記走査方向に沿った方向に並列して設けられ、前記感光材料に対する露光位置を補正するために感光材料に設けられた露光位置の基準を示す基準マークを読み取る読取手段と、前記露光手段及び前記読取手段と、前記搬送手段との間に設けられ、前記走査方向に沿った平面状で且つ透明な隔壁部材と、を有することを特徴としている。

請求項１１に記載の発明では、露光手段及び読取手段と、搬送手段との間に、露光手段から照射された光ビームが透過可能で、且つ、感光材料に設けられた露光位置の基準を示す基準マークを読取手段が読取可能である透明な隔壁部材を走査方向に沿った平面状に設けることにより、搬送手段が移動しても、露光手段及び読取手段の周辺の空間形状は変化することがなく、この空間に送風される空気の流動状態がほぼ一定となり、露光手段及び読取手段の空冷状態が安定する。これにより、露光手段の温度変化が抑えられて温度は一定に保たれ、この温度変化を要因とする露光手段の熱変形による露光位置（光ビーム照射位置）の精度低下が抑えられる。また、読取手段の温度変化が抑えられて温度は一定に保たれ、この温度変化を要因とする読取手段の位置ずれ、すなわち基準マーク読取位置の精度低下が抑えられる。さらに、搬送手段によって搬送され露光手段及び読取手段に対し相対移動する感光材料の空冷状態も安定し、熱変形が抑えられる。

また、露光においては、光ビームが照射された感光材料からガスが揮発し、そのガスによって露光手段や読取手段に設けられたレンズ等の光学部材が汚染されることがあるが、ここでは、露光手段及び読取手段は隔壁部材によって上記の揮発ガスから保護されるため、光学部材の汚染が防止される。

請求項１２に記載の発明は、請求項１〜請求項１１の何れか１項記載の露光装置において、前記搬送手段を駆動する駆動手段が断熱部材を介して搬送手段に取り付けられていることを特徴としている。

請求項１２に記載の発明では、例えば搬送手段を連続移動させることで駆動手段の高温状態が継続されるような場合でも、駆動手段から搬送手段に伝導される熱量は断熱部材によって低減される。これにより、搬送手段の温度上昇（温度変化）が抑えられ、搬送手段からの熱伝導による感光材料の熱変形が抑えられる。

請求項１３に記載の発明は、請求項１〜請求項１１の何れか１項記載の露光装置において、前記搬送手段を駆動する駆動手段が搬送手段の表面に露出されて取り付けられていることを特徴としている。

請求項１３に記載の発明では、例えば搬送手段を連続移動させることで駆動手段が高温となるような場合でも、搬送手段の表面に露出されて取り付けられた駆動手段は、走査方向に沿った方向へ送風される空気によって効率よく冷却される。これにより、駆動手段及び搬送手段の温度上昇（温度変化）が抑えられ、搬送手段からの熱伝導による感光材料の熱変形が抑えられる。

請求項１４に記載の発明は、請求項１２又は請求項１３記載の露光装置において、前記搬送手段は前記載置面が昇降可能とされてその載置面を含む可動部を有するとともに、前記駆動手段は前記制御手段に駆動制御されて前記可動部を駆動させるための駆動力を発生するステッピングモータを含み、前記制御手段は前記ステッピングモータの待機時にカレントダウン制御を行うことを特徴としている。

請求項１４に記載の発明では、搬送手段は、例えば感光材料が載置される載置面が昇降可能とされるなどして可動部を有し、このように載置面が昇降する場合には、例えば厚さの異なる複数種類の感光材料に対する露光などに対応できるようになる。そして可動部を駆動するための駆動力を発生するステッピングモータは、制御手段に駆動制御されるとともに、待機時には供給されるモータ駆動電流が所定量低下されカレントダウンする。これにより、待機時におけるステッピングモータの発熱が抑えられ、ステッピングモータからの熱伝導による搬送手段の温度上昇（温度変化）が抑えられる。

請求項１５に記載の発明は、請求項１２〜請求項１４の何れか１項記載の露光装置において、前記駆動手段の表面に、前記走査方向に沿って延出された放熱フィンが設けられていることを特徴としている。

請求項１５に記載の発明では、駆動手段は、表面に設けられた放熱フィンにより、表面積が拡大されて放熱が促進される。また、この放熱フィンは走査方向に沿って延出されているため、走査方向に沿った方向へ送風される空気の流れを乱すことなく、その安定して流動する空気によって放熱効率が高められる。

請求項１６に記載の発明は、請求項１２〜請求項１５の何れか１項記載の露光装置において、前記搬送手段が移動されても前記駆動手段の周囲における前記走査方向に沿った方向へ送風される空気の流動状態がほぼ変化しないように抑制する流動変化抑制手段を有することを特徴としている。

請求項１６に記載の発明では、搬送手段が移動しても、駆動手段の周囲における走査方向に沿った方向へ送風される空気の流動状態は、流動変化抑制手段によってほぼ変化しないように抑制される。これにより、駆動手段の空冷状態が安定して温度変化が抑えられ、駆動手段からの熱伝導による搬送手段の温度上昇（温度変化）が抑えられる。

請求項１７に記載の発明は、請求項１２〜請求項１６の何れか１項記載の露光装置において、前記搬送手段は、前記駆動手段に空気を吹き付けて空冷する空冷手段を有することを特徴としている。

請求項１７に記載の発明では、搬送手段に空冷手段を設けて駆動手段に空気を吹き付け空冷することにより、駆動手段の冷却作用が高められて、搬送手段の温度上昇（温度変化）を抑制する効果が高められる。

請求項１８に記載の発明は、請求項１〜請求項１７の何れか１項記載の露光装置において、前記搬送手段は、前記載置面を除く外周面の少なくとも一部に前記走査方向に沿って延出された放熱フィンが設けられていることを特徴としている。

請求項１８に記載の発明では、搬送手段は、感光材料が載置される載置面を除く外周面の少なくとも一部に設けられた放熱フィンにより、表面積が拡大されて放熱が促進される。また、この放熱フィンは走査方向に沿って延出されているため、走査方向に沿った方向へ送風される空気の流れを乱すことなく、その安定して流動する空気によって放熱効率が高められる。

請求項１９に記載の発明は、請求項１〜請求項１７の何れか１項記載の露光装置において、前記搬送手段は、前記載置面を除く外周面の少なくとも一部に遮熱部材が設けられていることを特徴としている。

請求項１９に記載の発明では、搬送手段は、感光材料が載置される載置面を除く外周面の少なくとも一部に設けられた遮熱部材によって、例えばその遮熱部材を介して取り付けられた駆動手段からの熱伝導による温度上昇や、搬送手段の近傍に配置された発熱部品からの輻射熱による温度上昇が抑えられる。

請求項２０に記載の発明は、請求項１〜請求項１９の何れか１項記載の露光装置において、前記空調手段は、吸気した外気を浄化する浄化手段を有し、その浄化手段によって浄化した空気を前記収容室に供給することを特徴としている。

請求項２０に記載の発明では、空調手段は吸気した外気を浄化手段によって浄化し、収容室にはその浄化された空気が供給されるため、収容室の空気洗浄度が向上し、収容室内を浮遊する塵埃等による露光への悪影響を防止できる。また、この浄化された空気が走査方向に沿った方向へ送風されることにより、例えば搬送手段における感光材料の載置面や搬送手段の移動路等では、塵埃等よる汚染がより確実に防止される。

請求項２１に記載の発明は、請求項２〜請求項２０の何れか１項記載の露光装置において、前記室温測定手段が前記搬送手段の近傍に設けられていることを特徴としている。

請求項２１に記載の発明では、搬送手段近傍の温度が室温測定手段によって測定され、その測定温度に基づいて空調手段による空気の温度調整が行われ、収容室が空調される。このように、収容室の空調を搬送手段近傍の測定温度を用いて行うことにより、装置外部から搬送手段の載置面に載置された感光材料の温度（装置設置環境の温度）に即した収容室の温度制御が可能となり、例えば感光材料の温度に収容室の温度（室温）を近づけることも可能となる。これにより、搬送手段への載置後に、装置設置環境と室温の温度差によって生じる感光材料の熱変形量が抑えられるようになる。

請求項２２に記載の発明は、請求項２〜請求項２１の何れか１項記載の露光装置において、前記空調手段は、外気を吸い込む吸気口にその外気の温度を測定する外気温測定手段が設けられ、前記制御手段は、前記外気温測定手段による測定温度及び前記室温測定手段による測定温度に基づいて前記空調手段を制御し前記空気の調整温度を変更することを特徴としている。

請求項２２に記載の発明では、空調手段の吸気口に設けた外気温測定手段によって、外気の温度を測定することにより、露光前の感光材料が置かれる装置設置環境の温度が把握でき、制御手段はその外気の測定温度及び収容室の測定温度に基づいて空調手段を制御し、収容室に供給する空気の調整温度を変更する。このように、収容室の空調に装置設置環境の温度を利用することでも、装置外部から搬送手段に載置された感光材料の温度（装置設置環境の温度）に即した収容室の温度制御が可能であり、例えば収容室の温度（室温）を装置設置環境の温度に近づける空調を行うことにより、搬送手段に載置された感光材料における装置設置環境と室温の温度差によって生じる熱変形量が抑えられるようになる。また、この場合は、収容室の室温測定とは無関係に、装置設置環境の温度、すなわち感光材料の温度が外気の温度測定を通して把握できるため、上記の収容室の温度制御が迅速に行えるようになる。

請求項２３に記載の発明は、請求項１〜請求項２２の何れか１項記載の露光装置において、前記収容室とは独立して設けられた部品収容室を有し、装置動作時に発熱する発熱部品が前記部品収容室に収容されていることを特徴としている。

請求項２３に記載の発明では、装置動作時に発熱する制御基板や電源ユニット等の発熱部品を、収容室とは独立して設けた部品収容室に収容することにより、収容室に設けられる発熱部品（熱源）の数を少なくすることができる。これにより、収容室の温度変化が抑えられて空調制御が容易となり、走査方向に沿って生じる温度分布や温度変化が抑制しやすくなる。

請求項２４に記載の発明は、請求項２３記載の露光装置において、内部に前記収容室が設けられて装置本体が収容されたカバー体を有し、前記部品収容室は前記カバー体の壁面に沿って形成されていることを特徴としている。

請求項２４に記載の発明では、制御基板や電源ユニット等の発熱部品を収容するための部品収容室を、内部に収容室が設けられて装置本体を収容したカバー体の壁面に沿って形成することにより、装置本体の被制御部や電力供給部に制御基板や電源ユニット等を近づけて配置することができる。これにより、それらの間を電気的に接続する配線の経路が短縮され、配線処理が簡素化されるとともに配線の耐ノイズ性を向上することができる。

本発明の露光装置は上記構成としたので、走査方向に沿って生じる温度分布や温度変化を抑制する空調が行われ、高精度な露光を実現できる。

以下、本発明の実施形態に係る露光装置について図面を参照して説明する。

（第１の実施形態）
図１〜図５には本発明の第１の実施形態に係る露光装置が示されている。また、図６及び図７には本実施形態に係る露光装置に設けられた感光材料搬送用のステージが示されている。

図１〜図５に示すように、露光装置１０は装置本体２０が大型のカバー体１２に収容されて構成されており、図示の状態で、室内の温度及び湿度が管理されるとともに、室内の空気中を浮遊する塵埃や微粒子等が除去されて高い空気洗浄度に保たれたクリーンルーム等の空調環境に設置されている。

カバー体１２は、棒状の角パイプ１４（図５参照）を枠状に組み付けて形成した枠体に、内外を遮断する複数枚のパネル１６が装着されて構成されており、下面部のみが開口して内部に装置本体２０を収容する収容室１３が形成され、下部の角パイプ１４が床面上に設置された一対の架台２４に連結されて支持されている。

このカバー体１２は、内部に収容室１３の一部を構成する露光室（チャンバ）１５が設けられて装置本体２０の主要部が収容されている略立方体形状のカバー本体部１２Ａ、及び、カバー本体部１２Ａの一側面に突設されて装置本体２０のステージ２８等を収容するとともにステージ２８に基板等の感光材料４０を着脱するためのセット部１２Ｂにより構成されている。

図５に示すように、カバー本体部１２Ａに設けられたパネル１６は、カバー本体部１２Ａの内壁面を構成して露光室１５を形成する内パネル１６Ａと、内パネル１６Ａの外側に所定の間隔で配置されカバー本体部１２Ａの外装面を構成する外パネル１６Ｂとで構成されており、これにより、カバー体１２の壁面は２層構造とされている。また、内パネル１６Ａと外パネル１６Ｂの間には部品収容室１７が設けられており、この部品収容室１７は略密閉された層状空間とされてカバー体１２の壁面に沿って形成されている。

図１〜図３に示すように、セット部１２Ｂは、上面がカバー本体部１２Ａよりも低くされて、セット部１２Ｂの前に立つオペレータのほぼ腰の高さになるように設定されている。セット部１２Ｂの上面には、ステージ２８との対応部位に矩形状の開口１８が形成され、更に開口１８を開放及び閉塞する開閉パネル１９が設けられている。開閉パネル１９は、カバー本体部１２Ａ側の辺縁部が図示しないヒンジを介してセット部１２Ｂに取り付けられており、オペレータの手動操作でヒンジを中心に回動されることにより開口１８を開閉する。また、開閉パネル１９の裏面には、収容室１３の温度を測定する温度センサ７２が取り付けられている。

この開閉パネル１９が開放されると、ステージ２８の上面である感光材料載置面２８Ａが開口１８を介して露出され、開閉パネル１９が閉塞されると、ステージ２８は隠蔽されて温度センサ７２がステージ２８の上方近傍に配置され、セット部１２Ｂでは下面部のみが開放された状態となる。なお、このステージ２８の近傍に配置された温度センサ７２は、ステージ２８に載置された直後の感光材料４０の温度を測定する非接触型の赤外線温度センサ等に代えてもよい。

上記のカバー体１２の収容室１３に収容された露光装置１０の装置本体２０は、ベース部となる矩形の厚板状に形成された定盤２２を備えている。定盤２２は、カバー体１２を構成する角パイプ１４が連結された架台２４に支持されており、図示のようにセット部１２Ｂ内からカバー本体部１２Ａ内（露光室１５）に掛けて配置されている。

定盤２２の上面には、長手方向（矢印Ｙ方向）に沿って直線状に延出され互いに平行に配置された一対のガイドレール２６が敷設されている。この一対のガイドレール２６によって、定盤２２上には直線状のステージ移動路が形成されており、また一対のガイドレール２６上には、矩形の平盤状に形成された上記のステージ２８と、ステージ２８を移動可能に支持する基盤３０、ステージ２８を昇降する昇降機構３２、及び、詳細については後述する光量測定手段、ビーム位置検出手段、及びカメラ校正用基準板を備える測定ユニット７０とがステージ２８にユニット化されて配設されている。

基盤３０は矩形の平板状とされ、下面の四隅近傍に、ガイドレール２６に摺動可能に係合した４本の脚部３４が取り付けられている。基盤３０の上面には、基盤３０に対しステージ２８を所定の間隔で平行に配置するとともに上下方向（矢印Ｚ方向）へ移動させる昇降機構３２が設けられている。また、図１〜図３では奥側に位置する昇降機構３２の側面部には、図５及び図６に示すように、昇降動作のための駆動力を発生するステッピングモータ３６が昇降機構３２の側面部から突出（露出）して取り付けられている。

そしてステージ２８は、長手方向がガイドレール２６の延出方向に沿った向きにされて定盤２２上に配置され、一対のガイドレール２６に係合した基盤３０の各脚部３４が各ガイドレール２６に対して摺動可能であることにより、各ガイドレール２６にガイドされて定盤２２上に直線状に設けられたステージ移動路を矢印Ｙ方向に往復移動可能とされている。

定盤２２の上面における一対のガイドレール２６の間には、ステージ移動用の駆動源となる直動型のリニアサーボモータ３８が配設されており、更にリニアエンコーダ３７がリニアサーボモータ３８に付設されている。

リニアサーボモータ３８は、定盤２２の長手方向（矢印Ｙ方向）に沿ってガイドレール２６と平行に延設された丸棒状のステータ部（磁石部）３８Ａと、基盤３０の下面に取り付けられてステータ部３８Ａが挿通された筒状のコイル部３８Ｂとにより構成されている（図３及び図５参照）。

図７（Ｃ）に示すように、コイル部３８Ｂの下面と両側面には複数の放熱フィン３８Ｃが一体的に設けられており、この放熱フィン３８Ｃは、コイル部３８Ｂの軸心方向（矢印Ｙ方向）に沿って延出されている。また、基盤３０の下面に設置されたこのコイル部３８Ｂは、上面が基盤３０の下面に直接接触しておらず、図７（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、リング状に形成された複数の断熱ブッシュ３９を介して基盤３０下面との間に隙間が設けられ、更に基盤３０の下面から突出（露出）した状態で取り付けられている。なお、この断熱ブッシュ３９は、例えばガラスやセラミック等の低熱伝導性／低熱膨張性材料によって形成されている。

そして上記のリニアサーボモータ３８では、コイル部３８Ｂへの通電によって形成される磁界とステータ部３８Ａの磁界との磁力作用により、ステータ部３８Ａに対してコイル部３８Ｂに軸心方向への駆動力が発生する。この駆動力によって、ステージ２８は一対のガイドレール２６にガイドされ、定盤２２上のステージ移動路を矢印Ｙ方向に往復移動する（図１０参照）。なお、図中ではステージ２８の往路移動方向（アライメント計測方向）は矢印ＹＡで示し、復路移動方向（露光方向／走査方向）は矢印ＹＢで示している。また、リニアエンコーダ３７は、ステージ２８とともにコイル部３８Ｂがステータ部３８Ａに対して相対移動する際に、往復移動方向に対応する所定極性のパルス信号を移動量に比例するパルス数だけパルスカウンタへ出力する。このリニアエンコーダ３７からのパルス信号に基づいて、ステージ２８の定速移動や反転移動、停止等の移動制御が行われる。

上述したステージ２８の上面に設けられた感光材料載置面２８Ａには、本実施形態の露光装置１０によって画像露光される露光対象物である、例えば配線パターン等を形成するためにそのパターン等が画像露光されるプリント配線板材料等の感光材料４０が、図示しない位置決め部により所定の載置位置に位置決めされた状態でセットされる。

感光材料４０には、図４に示すように、露光位置の基準を示すアライメントマークＭが角部近傍に複数設けられており（本実施形態では各角部の近傍に４個）、これらのアライメントマークＭは例えば円形の貫通孔等によって形成されている。また、ステージ２８の感光材料載置面２８Ａには、図示しない複数の溝部が形成されており、それらの溝部内が負圧供給源によって負圧とされることにより、感光材料４０はステージ２８上に吸着されて保持される。そして、このステージ２８上への感光材料４０のセット及び取り外しは、図１〜図４に示すように、ステージ２８が移動路の原点位置となるセット部１２Ｂ側に配置されて停止した状態で、オペレータにより開閉パネル１９が開放されて行われる。

定盤２２上に設けられたステージ移動路のほぼ中間位置には、定盤２２上面の幅方向（矢印Ｘ方向）両端部に一対の支柱４２が立設されている。この一対の支柱４２の一方側（セット部１２Ｂ側）の上部には、ステージ２８の復路移動で走査方向（矢印ＹＢ方向）へ搬送される感光材料４０に対し、上方から光ビームを照射して走査露光する複数の露光ヘッド４６を備えた露光ユニット４４が取り付けられている。また、他方側の上部には、幅方向（矢印Ｘ方向）に沿って移動可能とされるとともに、ステージ２８の往路移動でアライメント計測方向（矢印ＹＡ方向）へ搬送される感光材料４０に対し、アライメントマークＭの位置の合わせて配置され、上方からアライメントマークＭを撮影する複数のカメラ６２を備えたアライメントユニット６０が取り付けられている。これらの露光ユニット４４、アライメントユニット６０、及び各ユニットの両端部を支持する一対の支柱４２は、図１に示すようにステージ移動路を跨いでステージ２８を通過可能としたゲート状に構成され、露光室１５内に配置されている。

図１及び図４に示すように、露光ユニット４４は、一対の支柱４２に架設されたユニットベース４８を備え、このユニットベース４８に、ステージ２８の移動方向（矢印Ｙ方向）と直交する方向（矢印Ｘ方向）に沿ってｍ行ｎ列（例えば２行４列）の略マトリックス状に配列された複数（例えば８個）の露光ヘッド４６が取り付けられている。

また図１及び図２に示すように、カバー本体部１２Ａの他側部には、露光室１５とは区画構成された部品収容室４９が設けられており、この部品収容室４９には光源ユニット５０や、電源ユニット７４及び制御ユニット７６等、露光装置１０の動作時に発熱する多数の発熱部品が収容されている。また、カバー本体部１２Ａの側面（外パネル１６Ｂ）には、部品収容室４９内の空気（高温空気）を外部に排気し、部品収容室４９内の温度上昇を抑える送風ファン７８が取り付けられている。

光源ユニット５０には複数のレーザ光源（半導体レーザ）が内蔵されており、各レーザ光源から出射されるレーザ光は図示しない光ファイバを介して露光ユニット４４の各露光ヘッド４６に導かれる。

各露光ヘッド４６は、光源ユニット５０から入射されたレーザ光を画像データに応じて画素毎に変調する空間光変調素子として、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）を備えている（図示省略）。各露光ヘッド４６では、このＤＭＤによって、光源ユニット５０からの入射光（レーザ光）が画素単位で変調され露光ビーム（レーザビーム）として出射される。これにより、露光ユニット４４は、露光装置１０の露光動作においてステージ２８が一定速度で下方を通過する際に、各露光ヘッド４６から所定のタイミングでステージ２８上の感光材料４０の表面にそれぞれ光ビームを照射し、画素パターンを露光（画像露光）する。

図８（Ｂ）に示すように、各露光ヘッド４６から照射された光ビームで露光される各露光エリア５２は、走査方向を短辺とする矩形状であり、走査方向に対して所定角度傾斜している。また、ステージ２８の移動に伴い、図８（Ａ）に示すように、感光材料４０には露光ヘッド４６毎に帯状の露光済み領域５４が形成される。

図９に示すように、アライメントユニット６０は、一対の支柱４２に取り付けられるユニットベース６４を備えており、このユニットベース６４は、図３にも示すように断面がＴ字状に形成されている。

ユニットベース６４における露光ユニット４４側の面には、ステージ２８の移動方向（矢印Ｙ方向）と直交する方向（矢印Ｘ方向）に沿って一対のガイドレール６６が延設されており、各カメラ６２は、この一対のガイドレール６６に摺動可能にガイドされるとともに、各々に個別に用意されたボールねじ機構６８及びそれを駆動する図示しないステッピングモータ等の駆動源により駆動されて、ステージ２８の移動方向と直交する方向に独立して移動する。また、各カメラ６２は、カメラ本体６２Ａの先端に設けられたレンズ部６２Ｂを下方へ向けるとともにレンズ光軸が略垂直になる姿勢で配置されており、このレンズ部６２Ｂの先端部にはリング状のストロボ光源（ＬＥＤストロボ光源）６２Ｃが取付けられている。

そして各カメラ６２は、感光材料４０のアライメントマークＭを撮影する際に、上記の駆動源及びボールねじ機構６８により矢印Ｘ方向に移動されてそれぞれ所定の撮影位置に配置され、すなわち、レンズ光軸が、ステージ２８によって搬送される感光材料４０のアライメントマークＭの通過位置に合うように配置され、アライメントマークＭが所定の撮影位置に至ったタイミングで、ストロボ光源６２Ｃを発光させ、感光材料４０へ照射したストロボ光の感光材料４０上面での反射光をレンズ部６２Ｂを介してカメラ本体６２Ａに入力させることにより、アライメントマークＭを撮影する。

また、上述したように、露光ユニット４４の各露光ヘッド４６では、光源ユニット５０から入射されたレーザ光をＤＭＤにより変調して光ビームを感光材料４０に照射し画像露光を行うが、その動作中に生じる外乱、あるいは経時的な変化等によって、ＤＭＤで反射されて出射される光ビームにおける、走査方向に直交する方向に対する光量分布が不均一になったり、感光材料４０上における所定の露光量の値で露光されるべき各部分の露光量が、所定の露光量の値から変化してしまう場合がある。そこで、この露光装置１０では、光量分布を均一化するシェーディング調整と露光量の調整をするために、ＤＭＤ側から出射される光ビームにおける光量分布と露光量を測定するための光量測定器（光量測定手段）が備えられている。

また、各露光ヘッド４６では、光源から結像面に至るまでに多数の光学部材や機構部材等が設けられているため、温度変化による熱膨張や熱収縮、及び長期間使用による経時変化の蓄積等により、各露光ヘッド４６からの光ビームにより形成される画像（露光済み領域５４）が、つなぎ目において無視できない程度のずれを起こし、画像品質が低下する場合がある。そこで、この露光装置１０では、複数の露光ヘッド４６が出射する光ビームによって形成される各画像（露光エリア５２）のつなぎを補正するために、各光ビームの露光位置を検出するためのビーム位置検出用基準板及び受光素子（ビーム位置検出手段）が備えられている。

さらに、アライメント機能を備える本実施形態の露光装置１０では、アライメントユニット６０の各カメラ６２が移動する際にローリング、ピッチング、及びヨーイングして姿勢変化を起こし、撮影位置に配置された状態でレンズ部６２Ｂの光軸中心が正規の位置からずれる場合があるため、その影響により、アライメント機能を用いて露光位置を補正し画像露光を行っても、露光位置が適正位置からずれて許容範囲を超えてしまう場合がある。そこで、この露光装置１０では、各カメラ６２の姿勢変化による光軸ずれ要因により精度が影響されるアライメント機能を校正するため、各カメラ６２によって撮影される校正用マークが複数設けられたカメラ校正用基準板が備えられている。

そして、これらの光量測定手段、ビーム位置検出手段、及びカメラ校正用基準板は、ステージ２８の前端部に取り付けられた測定ユニット７０に設けられて一体に構成されている。また、シェーディング調整及び露光量調整のための光量測定動作と、各露光ヘッド４６が出射する光ビームによって形成される各画像のつなぎを補正するための各光ビームの露光位置検出動作とは、露光装置１０の露光動作における所定のタイミング（例えば、所定数の感光材料に対する露光動作後等）に実施され、アライメント機能の校正については、露光装置１０の製造時やメンテナンス時、あるいは、露光動作における所定のタイミングに実施される。

図１に示すように、露光装置１０は、装置本体２０を収容したカバー体１２内の収容室１３を空調する空調機８０を備えている。空調機８０は、カバー本体部１２Ａ内の露光室１５と円筒状のダクト８２によって連通されており、吸気口８４から吸い込んだ設置環境の空気（外気）を、内蔵されたＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）８８を通過させることによって塵埃や微粒子を捕集して浄化し、さらに所定の温度及び湿度に調整してダクト８２へ噴出する。また、吸気口８４には、空調機８０に吸い込まれる外気の温度を測定する温度センサ８６が取り付けられている。

ダクト８２は、図３に示すように露光室１５内における露光ユニット４４が近接配置された内壁面と対向する内壁面１５Ａに先端部８２Ａが取り付けられており、この先端部８２Ａは内壁面１５Ａの上部位置で、且つ、図４に示すように露光室１５の幅方向（矢印Ｘ方向）におけるほぼ中央に配置されている。ダクト８２の吹出口８２Ｂは円形開口とされ、空調機８０からの冷却空気がほぼ真下へ吹き出されるよう下方へ向けられている。また、ダクト８２の先端部８２Ａは直線状に形成されており、この直線状部の長さ（吹出口８２Ｂまでの長さ：Ｌ）は所定の寸法に設定されている。

空調機８０は、ダクト８２の吹出口８２Ｂから吹き出す冷却空気の流速や流量等が調整可能であり、本実施形態では、吹出口８２Ｂでの流速が９．４ｍ／ｓ、流量（体積流量）が１０ｍ³／ｍｉｎに設定されている。また本実施形態のダクト８２は、先端部８２Ａ（直線状部）の長さ（Ｌ）が３０ｃｍ以上とされており、吹出口８２Ｂの直径（Ｄ）が１５ｃｍとされている。

ダクト８２の吹出口８２Ｂの下方には、矩形平板状に形成された風向変更板９０が設けられている。風向変更板９０は、図４に示すように、ステージ２８とほぼ同じ幅寸法にされて中央部がダクト８２の吹出口８２Ｂのほぼ真下に位置するよう、露光室１５の幅方向におけるほぼ中央に配置されており、図３に示すように、一方の長辺縁部（基端部）がヒンジ９２を介して露光室１５の内壁面１５Ａに取り付けられ、ヒンジ９２を中心に回動可能とされている。また、先端側が角度調整機構９４に支持されており、この角度調整機構９４を手動操作することで傾斜角度が調整可能とされている。

そして、この風向変更板９０は、基端側から、露光室１５の内方へ向けられた先端側へ掛けて所定の角度（例えば４５度程度）で下り傾斜するよう傾斜角度が調整されており、この状態で先端部がステージ２８の移動を妨げない高さに配置されている。これにより、ダクト８２の吹出口８２Ｂから下方へ吹き出されて露光室１５内に供給された冷却空気は、風向変更板９０によって送風方向が略水平方向に変えられ、走査方向（矢印ＹＢ方向）に沿った方向へ送風される。

また、図３及び図４に示すように、ステージ２８側には導風板９６が設けられている。図６に示すように、導風板９６は、矩形平板状の板金等を長手方向にて鋭角に屈曲して作製したものであり、角部を挟んだ一方が導風板本体部９６Ａ、他方が取付板部９６Ｂとされ、取付板部９６Ｂの先端部（後端部）が基盤３０の前端部に取り付けられてステージ２８の前方に配置されている。

この導風板９６は、図４に示すように、幅寸法がステージ２８の幅寸法の１／２程度とされ、ステージ２８（基盤３０）に対して幅方向におけるほぼ中央に配置されている。また、図３に示すように、基盤３０から前方へ突出された取付板部９６Ｂがほぼ水平に配置され、取付板部９６Ｂの上側に位置する導風板本体部９６Ａが、基端側（角部側）からステージ２８側へ向けられた先端側へ掛けて所定の角度（例えば４５度程度）で上り傾斜して配置されている。また導風板９６は、ステージ２８が図３及び図４に示す原点位置に配置されると、アライメントユニット６０に設けられたカメラ６２のほぼ真下に配置され、図１０に示すように、ステージ２８が露光室１５内へ移動すると、露光室１５を構成する内壁面１５Ａの下部に凹設された退避空間１５Ｂに測定ユニット７０とともに進入する。

これにより、ステージ２８が原点位置で停止しているとき、及び、原点位置と露光室１５との間を往復移動する途中では、走査方向に沿ってステージ２８側へ送風される冷却空気のうち、ステージ移動路の中央を流れる空気流は導風板９６によってステージ２８の上面（感光材料載置面２８Ａ）側へ導かれ、ステージ２８上を走査方向に沿って流動される。

また、原点位置に配置されたステージ２８前部の上方には、ステージ２８の幅方向に亘り、除電装置（イオナイザ）９８が配設されている。除電装置９８は、中空パイプ状の吹出部９８Ａと、吹出部９８Ａへイオン化されたエアを供給するイオン発生部９８Ｂとで構成されており、イオン発生部９８Ｂにおいて、アース電極と放電電極との間でコロナ放電を発生させることによりイオンを生成し、このイオンを送風源によって吹出部９８Ａに供給し、吹出部９８Ａからステージ２８の感光材料載置面２８Ａに向けてイオン化されたエアを吹き出す。これにより、ステージ２８によって搬送される感光材料４０が除電装置９８の下方を通過する際は、静電気で感光材料４０に付着している塵埃が、吹出部９８Ａから吹き出されるイオン化されたエアによって除電され、エアブローによって感光材料４０から剥離し除去される。

図１に示すように、露光装置１０は、装置本体２０及び空調機８０等を制御するコントローラ１００を備えている。このコントローラ１００には、上述した装置本体２０に設けられたステッピングモータ３６、リニアエンコーダ３７、リニアサーボモータ３８、露光ユニット４４の各露光ヘッド４６、アライメントユニット６０の各カメラ６２とカメラ移動用駆動源、測定ユニット７０、負圧供給源、収容室１３内に設けられた温度センサ７２、除電装置９８、部品収容室４９内に設けられた光源ユニット５０、電源ユニット７４、制御ユニット７６、及び、空調機８０と温度センサ８６等が接続されており、これらはコントローラ１００に制御されてそれぞれ動作する。

また、図５に示すように、前述したカバー体１２の部品収容室１７には、複数の制御基板１０２（１０２Ａ〜１０２Ｅ）が収容されている。これらの制御基板１０２はそれぞれ基台１０４に固定されて内パネル１６Ａの外側面に取り付けられており、コントローラ１００と接続されている。また、この制御基板１０２には、コントローラ１００と連動して装置本体２０の露光ユニット４４、カメラ６２、除電装置９８等を制御する基板も含まれており、それらの制御基板は、各制御対象にそれぞれ近接して配置されている。また、カバー体１２の上部に設けられた外パネル１６Ｂには、部品収容室１７内の空気（高温空気）を外部に排気し、部品収容室１７内の温度上昇を抑える送風ファン１０６が取り付けられている。

次に、上記構成とされた露光装置１０による収容室１３の空調動作（室温制御動作）、感光材料４０に対する露光動作、及び作用について説明する。

電源が遮断された非動作状態の露光装置１０では、装置本体２０に設けられたステージ２８が図１〜図４に示す原点位置に配置されている。この状態で、オペレータがコントローラ１００を操作して露光装置１０の電源を投入すると、装置本体２０の各電力供給部が通電されて発熱し、収容室１３内の空気が暖められて次第に温度上昇する。また、露光動作時に特に高温となるステージ昇降用のステッピングモータ３６やステージ移動用のリニアサーボモータ３８のコイル部３８Ｂ、露光ユニット４４、アライメントユニット６０が走査方向に沿って配設されているため、室温が走査方向に沿って不均一になり、走査方向に沿って温度分布が形成されやすくなる。

（空調動作）
電源投入後に、オペレータがコントローラ１００から空調動作の開始操作をすると、空調機８０が作動し、空調機８０は、吸気口８４から吸い込んだ外気を機内のＨＥＰＡフィルタ８８を通過させて浄化するとともに所定の温度及び湿度に調整して空調のための冷却空気（冷気）を生成し、ダクト８２へ噴出する。

この冷却空気は、コントローラ１００を通して予め設定された流速及び流量で、ダクト８２の吹出口８２Ｂからほぼ真下へ向けて吹き出され（図３の矢印ＡＲ１）、露光室１５に供給される。ダクト８２から下方へ吹き出された冷却空気は、風向変更板９０によって送風方向が略水平方向に変えられ、走査方向に沿った方向へ送風される（図３の矢印ＡＲ２）。

また、この冷却空気の流動に伴って、露光室１５内の上部に滞留している周辺の空気（高温空気）も走査方向に沿った方向へ流動する（図３の矢印ＡＲ３、ＡＲ４）。さらに、露光室１５内の下部では、走査方向に沿った方向へ送風されステージ２８側へ流動する冷却空気のうち、ステージ移動路の中央を流動する空気流が導風板９６に沿って上昇流となり、露光ユニット４４の下方へ導かれる（図３の矢印ＡＲ５、ＡＲ６）。そしてこれらの流動空気を伴い、冷却空気は更に走査方向に沿って送風され、アライメントユニット６０及び露光ユニット４４の下方を通過し（図３の矢印ＡＲ７）、ステージ２８の感光材料載置面２８Ａ上を通過して（図３の矢印ＡＲ８）、ステージ２８の後端部に至ると、セット部１２Ｂの内壁面に沿って送風方向が下方へ変えられる（図３の矢印ＡＲ９）。

また、露光室１５内の下部におけるステージ移動路の両側部を走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気は、測定ユニット７０の下側や両側に流れ込み（図３の矢印ＡＲ１０）、そのまま走査方向に沿って定盤２２と基盤３０の間や昇降機構３２の両側を流動し、それらを通過するとやはりセット部１２Ｂの内壁面に沿って流動方向が下方へ変えられる（図３の矢印ＡＲ１１）。そして、ステージ２８上からの下降流と、昇降機構３２の両側や基盤３０下面側からの下降流とは、合流してセット部１２Ｂの下面部開口を通し外部へ排気される。

また、コントローラ１００は、収容室１３内におけるステージ２８の上方近傍に設けられた温度センサ７２の測定温度から収容室１３の温度を把握し、空調機８０の吸気口８４に設けられた温度センサ８６が測定する外気の温度から、露光装置１０が設置されるともに露光前の感光材料４０が置かれるクリーンルーム等の装置設置環境の温度を把握する。そしてコントローラ１００は、これらの測定温度に基づいて、収容室１３（露光室１５）に供給する空気の温度調整（空調制御）を行う。具体的には、空調機８０を制御して、収容室１３の温度（ステージ近傍の温度）が装置設置環境の温度とほぼ同じ又は所定の温度差内（例えば±０．２℃）になるよう、空調機８０が生成する冷却空気の温度を調整する。これにより、収容室１３、特にステージ２８の上方近傍では、室温が常に装置設置環境の温度とほぼ同じ又は所定の温度差内に保たれる。

このように、露光装置１０の空調動作では、露光室１５に供給された冷却空気が露光室１５を含む収容室１３内を走査方向に沿った方向へ送風されるため、収容室１３における走査方向に沿った温度分布はほぼ均一になり、走査方向に沿った温度変化も起こりにくくなる。また、露光室１５では、室内の空気が上記冷却空気の送風によって循環され、室内全体の温度上昇が抑えられる。これにより、装置本体２０の各発熱部は空冷されて温度上昇が抑えられ、さらに、収容室１３内の空気中を浮遊する塵埃が室外へ排出されて室内は高い空気洗浄度に保たれる。

一方、露光装置１０の部品収容室４９では、電源投入後に光源ユニット５０、電源ユニット７４、制御ユニット７６が通電されて発熱し、室内の空気が暖められて温度上昇する。この部品収容室４９では、送風ファン７８が作動して室内の高温空気が外部に排気され、室温及び各発熱部品の温度上昇が抑えられる。また、部品収容室１７では、各制御基板１０２が通電されて発熱し、室内の空気が暖められて温度上昇するが、送風ファン１０６が作動して室内の高温空気が外部に排気され、室温及び各発熱部品の温度上昇が抑えられる。

（露光動作）
露光装置１０の露光動作は、上記の空調動作が行われている状態で行われる。露光動作においては、まず、感光材料４０の露光パターンに応じた画像データがコントローラ１００に入力されると、コントローラ１００は内蔵されたメモリに画像データを一旦記憶する。この画像データは、画像を構成する各画素の濃度を２値（ドットの記録の有無）で表したデータである。

次に、オペレータは、装置設置環境に置かれている露光対象の感光材料４０を露光装置１０にセットするため、セット部１２Ｂの開閉パネル１９を開放して装置本体２０のステージ２８上に感光材料４０を載置する。

なお、本実施形態の露光装置１０により画像露光を行う感光材料４０としては、プリント配線板や液晶表示素子等のパターンを形成（画像露光）する材料としての基板やガラスプレート等の表面に、感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布したもの、又ドライフィルムの場合はラミネートしたものなどが挙げられる。

この感光材料４０については、製造過程で付着した塵埃等が除去しきれず、僅かに付着した状態で装置設置環境に搬入されることもある。その場合、ステージ２８上へのセット作業時にオペレータの手が感光材料４０に触れ、又、振動が加えられることで、感光材料４０から塵埃が落ちて収容室１３内に入り易くなる。

これに対し、本実施形態の露光装置１０では、開閉パネル１９が開放されると、ステージ２８上を走査方向に沿って送風される冷却空気が、セット部１２Ｂの開口１８を通して外部へ排気されるため（図３の矢印ＡＲ１３）、感光材料４０から落ちた塵埃がその風圧で吹き飛ばされ収容室１３内に入り難くされる。また、仮に収容室１３内に侵入したとしても、上記の冷却空気によってステージ２８上に落下する前にステージ２８の後方へ吹き飛ばされ、そのステージ後方で生じている下降流（図３の矢印ＡＲ９、ＡＲ１２）によって室外へ排出される。

また、ステージ２８の感光材料載置面２８Ａは、コントローラ１００によって駆動制御されるステッピングモータ３６の駆動力で、昇降機構３２が作動することにより昇降する（図1の矢印Ｚ方向）。これにより、厚さの異なる複数種類の感光材料に対する露光などにも対応できている。また、コントローラ１００は、このステージ昇降用のステッピングモータ３６に対し、待機状態となるパルス信号の停止時に、供給するモータ駆動電流を所定量（例えば約５０％）低下させるカレントダウン制御を行う。これにより、待機時におけるステッピングモータ３６の発熱が抑えられる。

オペレータは、コントローラ１００からの入力操作で、この露光する感光材料４０に応じた感光材料載置面２８Ａの高さ設定を完了させた後に、原点位置に停止されたステージ２８の感光材料載置面２８Ａに感光材料４０をセットし、開閉パネル１９を閉塞してコントローラ１００から露光動作の開始操作を行う。すると、コントローラ１００に制御されて負圧供給源が作動し、感光材料４０はステージ２８上に吸着されて保持される。

続いて、コントローラ１００によりリニアサーボモータ３８が駆動制御され、感光材料４０を保持したステージ２８は、ガイドレール２６に沿ってアライメント計測方向（矢印ＹＡ方向／往路移動方向）に一定速度で移動開始する。このステージ２８の移動に伴い、感光材料４０が除電装置９８の下方を通過する際には、コントローラ１００に制御されて動作する除電装置９８からのエアブローにより、静電気で感光材料４０に付着している塵埃が取り除かれ露光面が清掃される。また、このエアブロー清掃で感光材料４０から除去された塵埃も、ステージ２８上を走査方向に沿って送風される冷却空気によってステージ後方へ吹き飛ばされ室外へ排出される。

ステージ２８が更に移動し、感光材料４０がアライメントユニット６０の下方を通過する際には、コントローラ１００に制御された各カメラ６２によって、感光材料４０の各アライメントマークＭが撮影されアライメント計測が行われる。

このアライメント計測で、各カメラ６２は真下（レンズ部６２Ｂの光軸上）を通過するアライメントマークＭを、所定のタイミングでそれぞれ撮影し、その撮影した画像データを、すなわち、露光位置の基準がアライメントマークＭによって示された基準位置データを含む画像データをコントローラ１００へ出力する。

コントローラ１００は、入力された各アライメントマークＭの画像データ（基準位置データ）から判明する画像内におけるマーク位置及びマーク間ピッチ等と、リニアエンコーダ３７からのパルス信号から判明するそのアライメントマークＭを撮影したときのステージ２８の位置、及びカメラ６２の位置から、演算処理によって、ステージ２８上における感光材料４０の載置位置のずれ、移動方向に対する感光材料４０の傾きのずれ、及び、感光材料４０の寸法精度誤差等を把握し、感光材料４０の被露光面に対する適正な露光位置を算出する。そして、後述する露光ユニット４４による画像露光時に、メモリに記憶されている露光パターンの画像データに基づいて生成する制御信号をその適正な露光位置に合わせ込んで画像露光する露光位置ずれの補正（アライメント）を実行する。

感光材料４０がアライメントユニット６０の下方を通過するとアライメント計測が完了し、図１０に示すように、ステージ２８が往路移動方向における最下流位置に達すると、コントローラ１００は、リニアサーボモータ３８を制御して逆方向へ駆動させる。

ここで、ステージ２８がアライメント計測方向へ進行している途中や、図１０に示す最下流部に位置しているときも、上述した空調動作が継続されていることで、収容室１３内及びステージ２８上では常に冷却空気が走査方向に沿って送風されている。したがって、このようにステージ２８が移動しても収容室１３における走査方向に沿った温度分布はほぼ均一な状態に保たれ、また走査方向に沿った温度変化も起こりにくされる。

往路移動方向における最下流位置に達したステージ２８は、リニアサーボモータ３８の逆方向への駆動によって反転移動し、ガイドレール２６に沿って走査方向（矢印ＹＢ方向／復路移動方向）に一定速度で移動開始する。このステージ２８の移動に伴い、感光材料４０が露光ユニット４４の下方を通過する際には、露光面の画像露光領域が露光開始位置に達すると、コントローラ１００に制御された露光ユニット４４の各露光ヘッド４６は露光ビームを照射して感光材料４０の露光面に対する画像露光を開始する。

ここで、コントローラ１００は、メモリに記憶された画像データを複数ライン分ずつ順次読み出し、その画像データに基づいて各露光ヘッド４６の制御信号を生成する。この制御信号には、前述した露光ビームの光量分布を均一化するシェーディング調整と露光量の調整、及びアライメント計測によって得られた感光材料４０に対する露光位置ずれの補正が加えられる。そして、この生成及び補正された制御信号に基づいて各露光ヘッド４６のＤＭＤを制御する。

また、コントローラ１００に制御された光源ユニット５０はレーザ光を出射し、このレーザ光が各露光ヘッド４６のＤＭＤに照射されると、ＤＭＤの画素毎に変調された露光ビームが各露光ヘッド４６から感光材料４０に照射され、感光材料４０の露光面がＤＭＤの使用画素数と略同数の画素単位（露光エリア）で露光される。これにより、ステージ２８とともに一定速度で移動される感光材料４０は露光ユニット４４によって走査露光され、露光ヘッド４６毎に帯状の露光済み領域５４（図８参照）が形成される。

感光材料４０が露光ユニット４４の下方を通過すると画像露光が完了し、ステージ２８はリニアサーボモータ３８の駆動力でそのまま走査方向の下流側へ移動する。そして、復路移動方向における最下流位置の原点位置に戻って停止し、ステージ２８上への負圧供給源からの負圧供給が解除されて、感光材料４０に対する露光動作が終了する。

オペレータは、セット部１２Ｂの開閉パネル１９を解放してこの露光済の感光材料４０をステージ２８上から取り外し、続けて露光する場合は、新たな（未露光の）感光材料４０をステージ２８上に載置し開閉パネル１９を閉塞して、再びコントローラ１００から露光動作の開始操作を行う。この露光動作の手順を繰り返すことにより、露光装置１０によって複数枚の感光材料４０を連続的に露光することができ、これにより、露光済の感光材料４０が連続生産される。

以上説明したように、本実施形態の露光装置１０では、空調動作によって空調機８０からダクト８２を通し収容室１３（露光室１５）に供給された冷却空気は、風向変更板９０によって走査方向に沿った方向へ送風されるため、収容室１３における走査方向に沿った温度分布は均一になり、走査方向に沿った温度変化も起こりにくくなる。これにより、ステージ２８によって走査方向に沿った方向へ往復搬送される感光材料４０がその走査方向に沿った温度分布や温度変化で熱変形し、露光位置ずれなどの精度低下を招くことが抑えられる。したがって、高精度な露光を実現することができる。

また、ステージ２８の感光材料載置面２８Ａ上や、感光材料載置面２８Ａに載置された感光材料４０上は、この走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気によって清掃され、塵埃等が蓄積することなくクリーンな状態に保たれる。これにより、感光材料載置面２８Ａに載置される感光材料４０の浮きや位置ずれ、あるいは感光材料４０上における塵埃等の蓄積が抑えられ、それらを要因とする露光精度の低下を防止することができる。特にここでは、空調機８０から浄化された冷却空気が供給されるため、収容室１３の空気洗浄度が向上し、収容室１３内を浮遊する塵埃等による露光への悪影響を防止できる。また、この浄化された冷却空気が走査方向に沿った方向へ送風されることにより、ステージ２８の感光材料載置面２８Ａや測定ユニット７０、ステージ移動路上、さらに露光ユニット４４やアライメントユニット６０等の塵埃等よる汚染がより確実に防止される。

また、本実施形態では、ダクト８２から下方へ吹き出された冷却空気の送風方向を、風向変更板９０によって走査方向に沿った方向へ変更しており、これにより、例えば収容室１３内に配設される装置構成部との関係でダクト８２の設置位置や吹き出し方向が制限されるような場合でも、ダクト８２から吹き出された空気を上記の風向変更板９０によって容易に走査方向に沿った方向へ変更し送風することができる。また、本実施形態のように風向変更板９０を可動式として傾斜角度を調整可能とした構成であれば、送風方向を微調整するようなことも可能となる。

また、本実施形態では、空調機８０からの冷却空気がダクト８２の先端部８２Ａ（直線状部）を通過し吹出口８２Ｂから吹き出されるため、吹出口８２Ｂ以降の空気の流れ（送風方向）が安定し、所望の方向（風向変更板９０側）に正確に送風することができる。また、前述した流速（９．４ｍ／ｓ）及び流量（１０ｍ³／ｍｉｎ）の元では、本実施形態のようにダクト８２の直線状部の長さを３０ｃｍ以上に設定することにより、上記の効果が得られている。ただし、流速や流量は空調条件に応じて適宜設定されるものであるため、例えば流速及び流量が上記の値より大きくされる場合でも十分な効果が得られるようにするために、直線状に形成するダクト８２の先端部８２Ａの長さ（Ｌ）は長いほど好ましい。

また、本実施形態では、ステージ２８の前方、すなわち、感光材料載置面２８Ａに対し、走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気の流動方向における上流側に設けられた導風板９６によって、上記の冷却空気がより多く載置面上へ導かれるようになるため、感光材料載置面２８Ａ、及び感光材料載置面２８Ａに載置された感光材料４０の温度変化が更に起こりにくくされ、温度の安定性が高められる。さらに、感光材料載置面２８Ａ上の送風量が増加することにより、送風による感光材料載置面２８Ａ上の清掃性も向上する。

また、ステージ２８が原点位置に配置されているときは、ステージ２８の移動中に比べてステージ２８（測定ユニット７０）と露光ユニット４４との間の空間形状が大きくなり、このようにステージ２８と露光ユニット４４との間の空間形状が変化することによって、この空間に送風される空気の量や流動状態が変化し、露光ユニット４４の空冷状態が変化しやすくなる。これに対し、本実施形態では、ステージ２８が原点位置に配置されているときに、上記の導風板９６によって、走査方向に沿ってステージ２８側へ送風される冷却空気がより多く露光ユニット４４の下方に導かれるため、露光ユニット４４の下方を送風される空気の量や流動状態がステージ２８の移動中とほぼ同じにされる。これにより、露光ユニット４４の空冷状態がステージ２８の移動によって変化することが抑えられて温度変化が抑制され、この温度変化を要因とする露光ユニット４４（各露光ヘッド４６）の熱変形による露光位置（各露光ヘッド４６の光ビーム照射位置）の精度低下が抑えられる。さらに、ステージ２８によって搬送され露光ユニット４４に対し相対移動する感光材料４０の空冷状態の変化も抑えられて熱変形が抑制される。

また、本実施形態では、感光材料４０に対する露光位置を補正するために感光材料４０に設けられたアライメントマークＭを読み取る複数のカメラ６２は、ユニットベース６４に取り付けられてステージ移動路上に配設されている。このユニットベース６４は、断面がＴ字状とされて上部以外はフラットであり、特に下部側に突起等が存在しない形状とされている。そのため、このユニットベース６４の下方をステージ２８が往復移動しても、図３及び図１０のＢ部（一点鎖線の四角）に示すように、走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気の流れ（流動状態）はユニットベース６４によって変化されずにほぼ一定とり、ユニットベース６４及びカメラ６２の空冷状態が安定する。

このように、ユニットベース６４は、ステージ２８が移動しても走査方向に沿った方向へ送風される空気の流れをほぼ変化させない形状とされているため、ユニットベース６４及びカメラ６２の温度変化が抑えられて温度は一定に保たれ、この温度変化を要因とするカメラ６２の位置ずれ、すなわちアライメントマークＭの読取位置の精度低下が抑えられる。さらに、ステージ２８によって搬送され、ユニットベース６４及びカメラ６２に対し相対移動する感光材料４０の空冷状態も安定し、熱変形が抑えられる。

また、このユニットベース６４は両端部が一対の支柱４２に支持されており、この一対の支柱４２とともに、ステージ移動路上にゲート状の構造物を構成して配設されている。ユニットベース６４の下方においては、この対向して配置された一対の支柱４２が、走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気を整流する整流部（整流手段）として機能している。すなわち、図６に示すように、ユニットベース６４付近を走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気（矢印ＡＲ１４）は、対向する一対の支柱４２間を通過することで、乱流や外側へ広がる拡散流の発生が抑えられ整流される。これにより、この一対の支柱４２間を通過する冷却空気の流動状態が安定し、ユニットベース６４の温度変化及びそれを要因とする悪影響がより効果的に抑えられている。

また、本実施形態では、ステージ２８を駆動するリニアサーボモータ３８のコイル部３８Ｂが断熱ブッシュ３９を介してステージ２８を支持する基盤３０に取り付けられているため（図７参照）、例えばステージ２８を連続移動させることでコイル部３８Ｂの高温状態が継続されるような場合でも、コイル部３８Ｂから基盤３０及び昇降機構３２を介してステージ２８に伝導される熱量は断熱ブッシュ３９によって低減される。これにより、ステージ２８の温度上昇（温度変化）が抑えられ、ステージ２８からの熱伝導による感光材料４０の熱変形が抑えられる。

また、このコイル部３８Ｂは、基盤３０の下面に露出されて取り付けられているため、やはり、ステージ２８が連続移動されることで高温となるような場合でも、図７（Ａ）に示すように、基盤３０の下面側を走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気（矢印ＡＲ１５）によって効率よく冷却される。これにより、コイル部３８Ｂ及びステージ２８の温度上昇（温度変化）が抑えられ、ステージ２８からの熱伝導による感光材料４０の熱変形が抑えられる。

さらに、このコイル部３８Ｂは、下面及び両側面に設けられた放熱フィン３８Ｃにより、表面積が拡大されて放熱が促進される。また、この放熱フィン３８Ｃは走査方向に沿って延出されているため、走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気の流れを乱すことなく、その安定して流動する空気によって放熱効率が高められる。さらにここでは、コイル部３８Ｂ上面（取付面）と基盤３０下面との間に上記の断熱ブッシュ３９が介在することで隙間が設けられているため、コイル部３８Ｂの上面側も冷却空気が通過する。このように、このコイル部３８Ｂでは、放熱（空冷）可能な表面積が更に拡大されていることで、放熱効率が更に高められる。

また、ステージ２８を昇降するステッピングモータ３６についても、昇降機構３２の側面部に露出されて取り付けられているため、図６に示すように、昇降機構３２の側面側を走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気（矢印ＡＲ１６）によって効率よく冷却される。これにより、ステッピングモータ３６及びステージ２８の温度上昇（温度変化）が抑えられ、ステージ２８からの熱伝導による感光材料４０の熱変形が抑えられる。

さらに、このステッピングモータ３６は、コントローラ１００に駆動制御されて待機時にカレントダウンするため、待機時における発熱が抑えられる。これにより、このステッピングモータ３６からの熱伝導によるステージ２８の温度上昇（温度変化）が抑えられる。

また、本実施形態では、ステージ２８近傍の温度が温度センサ７２によって測定され、その測定温度に基づいて、コントローラ１００に制御された空調機８０は収容室１３（露光室１５）に供給する冷却空気の温度調整を行っている。このように、収容室１３の空調をステージ近傍の測定温度を用いて行うことにより、装置外部からステージ２８にセットされた感光材料４０の温度（装置設置環境の温度）に即した室温制御が可能となり、例えば感光材料４０の温度に収容室１３の温度（室温）を近づけることも可能となる。これにより、ステージ２８への載置後に、装置設置環境と室温の温度差によって生じる感光材料４０の熱変形量が抑えられるようになる。

さらにここでは、空調機８０の吸気口８４に設けた温度センサ８６によって、外気の温度を測定することにより、露光前の感光材料４０が置かれる装置設置環境の温度を把握し、その外気の測定温度及び収容室１３の測定温度に基づいて、コントローラ１００に制御された空調機８０が収容室１３（露光室１５）に供給する空気の調整温度を変更している。このように、収容室１３の空調に装置設置環境の温度を利用することでも、装置外部からステージ２８に載置された感光材料４０の温度（装置設置環境の温度）に即した収容室１３の温度制御が可能であり、本実施形態のように、収容室１３の温度（室温）を装置設置環境の温度に近づける空調を行うことで、ステージ２８に載置された感光材料４０における装置設置環境と室温の温度差によって生じる熱変形量が抑えられるようになる。また、この場合は、ステージ２８近傍に設けた温度センサ７２による収容室１３の室温測定とは無関係に、装置設置環境の温度、すなわち感光材料４０の温度が外気の温度測定を通して把握できるため、上記の収容室１３の温度制御が迅速に行えるようになる。

また、本実施形態では、装置動作時に発熱する光源ユニット５０、電源ユニット７４、制御ユニット７６を、収容室１３とは独立して設けた部品収容室４９に収容し、また、装置動作時に発熱する制御基板１０２を、収容室１３とは独立させてカバー体１２の壁面に沿って形成した部品収容室１７に収容していることにより、収容室１３内に設けられる発熱部品（熱源）の数を少なくすることができている。これにより、収容室１３の温度変化が抑えられて空調制御が容易となり、感光材料４０の走査方向に沿って生じる温度分布や温度変化が抑制しやすくなる。さらにここでは、制御基板１０２を収容するための部品収容室１７を、内部に収容室１３が設けられて装置本体２０を収容したカバー体１２の壁面に沿って形成していることにより、装置本体２０の被制御部や電力供給部に制御基板１０２を近づけて配置することができる。これにより、それらの間を電気的に接続する配線の経路が短縮され、配線処理が簡素化されるとともに配線の耐ノイズ性を向上することができる。

（第２の実施形態）
第２の実施形態は、第１の実施形態に係る露光装置１０において、露光動作におけるステージ２８の移動に応じて空調機８０を制御し空調風量を変更する空調風量制御技術を取り入れたものであり、以下、第２の実施形態に係る露光装置１０の空調動作（空調風量制御動作）について説明する。

本実施形態では、コントローラ１００が露光動作におけるステージ２８の移動に応じて空調機８０を制御し空調風量を変更する。

具体的には、図１１に示すように、ステージ２８がダクト８２の吹出口８２Ｂから最も離間した原点位置に配置されるときは、空調機８０がダクト８２へ噴出する冷却空気の風量、すなわちダクト８２の吹出口８２Ｂから露光室１５へ吹き出される冷却空気の流量を多くし（矢印ＡＲ２１）、図１２に示すように、ステージ２８がダクト８２の吹出口８２Ｂに近接し往路移動方向における最下流位置付近に配置されるときは、上記の空調風量を少なくする（矢印ＡＲ２２）。

また、原点位置での空調風量を最大値、最下流位置での空調風量を最小値とし、ステージ２８が原点位置と最下流位置との間を往復移動する途中は、往路移動ではステージ２８が原点位置から離れるに従い空調風量が最大値から最小値へ向けて少なくなるようにし、又、復路移動ではステージ２８が最下流位置から離れるに従い空調風量が最小値から最大値へ向けて多くなるようにするなどしてもよい。さらにこの空調風量の増減については、ステージ２８の移動距離（吹出口８２Ｂとの相対距離）に比例して連続的（無段階）又は段階的に変化させる、あるいは、予め実験等を行って、移動路上における複数ポイントにステージ２８を配置し各ポイントで風量を変化させたときの装置各部の温度変化や性能変化、ステージ２８上の感光材料４０の熱変形量を測定し、それらの変化量が最も小さくなる最適な空調風量制御条件を求め、その条件に基づいて変化させるなどしてもよい。また、この実験等で求めた空調風量制御条件はデータ化してコントローラ１００のメモリに記憶しておくことで、コントローラ１００によるそのデータを用いた空調機８０の風量制御が可能となる。

以上により、本実施形態では、露光動作においてステージ２８が原点位置側に配置される場合は、ダクト８２の吹出口８２Ｂから吹き出されて収容室１３内を走査方向に沿って送風される冷却空気の風量（流量）が多くされ風圧が強まり、又、ステージ２８が最下流位置側に配置される場合は、上記冷却空気の風量が少なくされ風圧が弱まる。これにより、収容室１３内に走査方向に沿って配設された装置主要部の熱的平衡状態を保つことができ、感光材料４０の熱変形を抑えたより高精度な露光を行うことができる。

（第３の実施形態）
第３の実施形態は、第１の実施形態に係る露光装置１０において、空調機８０から露光室１５に冷却空気を供給するためのダクトの構造を変更したものであり、以下、第３の実施形態に係る露光装置の構成について説明する。

図１３に示すように、本実施形態では、露光室１５内に第１の実施形態で説明した風向変更板９０が存在せず、退避空間１５Ｂの奥壁面１５Ｃに、空調機８０からの冷却空気を露光室１５内に導くダクト１１０の先端部１１０Ａが配置されている。

本実施形態のダクト１１０は、先端部１１０Ａが直線状に形成されてほぼ水平に配置され、退避空間１５Ｂの奥壁面１５Ｃから内方へ少し突出されている。また、吹出口１１０Ｂが導風板９６側へ向けられ、冷却空気をほぼ水平方向へ吹き出す構成とされている。さらに、このダクト１１０も、第１の実施形態と同じく先端部１１０Ａ（直線状部）の長さ（吹出口１１０Ｂまでの長さ：Ｌ）は所定の寸法（例えば３０ｃｍ以上）に設定されている。

以上により、本実施形態では、第１の実施形態で説明した空調動作により空調機８０からダクト１１０を介して露光室１５に吹き出された冷却空気は、ダクト１１０の吹出口１１０Ｂから直接的に走査方向に沿った方向へ送風される。

これにより、第１の実施形態と同様に、収容室１３における走査方向に沿った温度分布は均一になり、走査方向に沿った温度変化も起こりにくくなる。したがって、ステージ２８によって走査方向に沿った方向へ往復搬送される感光材料４０がその走査方向に沿った温度分布や温度変化で熱変形し、露光位置ずれなどの精度低下を招くことが抑えられ、高精度な露光が実現できるなどの第１の実施形態と同様の効果が得られる。また本実施形態の場合も、露光室１５に供給される冷却空気が、所定の長さ寸法に設定されたダクト１１０の先端部１１０Ａ（直線状部）を通過し吹出口１１０Ｂから吹き出されるため、吹出口１１０Ｂ以降の空気の流れ（送風方向）が安定し、所望の方向（走査方向に沿った方向）に正確に送風することができる。

さらに、本実施形態では、風向変更板等を不要とした簡単な構成で、空調機８０からの冷却空気を確実に走査方向に沿った方向へ送風することができる。

（第４の実施形態）
第４の実施形態は、第１の実施形態とほぼ同じ構成の露光装置において、露光動作におけるステージの移動によって露光ユニット４４の空冷状態が変化しないようにしたものであり、以下、第４の実施形態に係る露光装置の構成及びステージの移動動作について説明する。

図１４に示すように、本実施形態では、感光材料４０を搬送する矩形の平盤状に形成されたステージ１２０は、移動方向（矢印Ｙ方向）に沿った長手方向が第１の実施形態のステージ２８よりも長くされており、原点位置に配置されているときに、平面視方向にて感光材料載置面１２０Ａの前端部が露光ユニット４４に掛かる（重なる）ようにされている。

また、図１５に示すように、露光動作でステージ１２０が往路移動方向における最下流位置に配置されているときには、平面視方向にて感光材料載置面１２０Ａの後端部が露光ユニット４４に掛かる（重なる）ようにされている。

以上により、本実施形態では、ステージ１２０が原点位置で停止しているとき（図１４の状態）、露光動作で最下流位置に配置されたとき（図１５の状態）、及び原点位置と最下流位置との間を往復移動する途中で、露光ユニット４４とステージ１２０との間に設けられた空間Ｃの形状はほぼ変化しないようになる。このように、ステージ１２０が移動しても、露光ユニット４４とステージ１２０との間に設けられた空間形状がほぼ変化しないことにより、この空間Ｃに送風される冷却空気の流動状態がほぼ一定となり露光ユニット４４の空冷状態が安定する。これにより、露光ユニット４４の温度変化が抑えられて温度は一定に保たれ、この温度変化を要因とする露光ユニット４４の熱変形による露光位置の精度低下が抑えられる。さらに、ステージ１２０によって搬送され露光ユニット４４に対し相対移動する感光材料４０の空冷状態も安定し、熱変形が抑えられる。

また、本実施形態では、図１４及び図１５に示すように、第１の実施形態で説明した露光ユニット４４の空冷状態の変化を抑制する導風板９６等をステージ前方に設けなくとも、上述した効果が得られ好適である。

（第５の実施形態）
第５の実施形態は、第４の実施形態とは異なる構成によって、露光動作におけるステージの移動によって露光ユニット４４の空冷状態が変化しないようにしたものであり、以下、第４の実施形態に係る露光装置の構成について説明する。

図１６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、本実施形態では、走査方向（ステージ２８の移動方向）に沿って並列配置された露光ユニット４４及びアライメントユニット６０の各カメラ６２と、ステージ２８（測定ユニット７０）との間に、透明ガラス製の隔壁板１３０が設けられている。この隔壁板１３０は、両側端部が一対のガイドレール２６の外側に配置された一対の支持板１３２に取り付けられて支持されてほぼ水平に配置されており、したがって、走査方向に沿った平面状とされている。また、露光ユニット４４の各露光ヘッド４６から照射された露光ビームは、この透明な隔壁板１３０を透過することができ、各カメラ６２は、この透明な隔壁板１３０を通して感光材料４０のアライメントマークＭを読み取ることができる。

このように、本実施形態では、露光ユニット４４及びアライメントユニット６０の各カメラ６２と、ステージ２８との間に、透明な隔壁板１３０を走査方向に沿った平面状に設けることにより、露光ユニット４４の各露光ヘッド４６から照射された露光ビームによる感光材料４０の露光を妨げず、且つ、各カメラ６２による感光材料４０のアライメントマークＭの読み取りを妨げない状態を維持しつつ、ステージ２８が移動しても、露光ユニット４４及びアライメントユニット６０の周辺の空間形状が変化しない構成となる。これにより、この空間に送風される冷却空気（図１６（Ｂ）の矢印ＡＲ５１）の流動状態がほぼ一定となって、露光ユニット４４及びアライメントユニット６０の空冷状態が安定する。

したがって、露光ユニット４４の温度変化が抑えられて温度は一定に保たれ、この温度変化を要因とする露光ユニット４４の熱変形による露光位置の精度低下が抑えられる。また、アライメントユニット６０の温度変化が抑えられて温度は一定に保たれ、この温度変化を要因とするアライメントユニット６０の位置ずれ、すなわちアライメントマークＭの読取位置の精度低下が抑えられる。さらに、ステージ２８によって搬送され露光ユニット４４及びアライメントユニット６０に対し相対移動する感光材料４０の空冷状態も安定し、熱変形が抑えられる。

また、露光においては、露光ビームが照射された感光材料４０からガスが揮発し、そのガスによって露光ヘッド４６やカメラ６２に設けられたレンズが汚染され透過率が低下する不具合を生じることがあるが、本実施形態では、露光ユニット４４及びアライメントユニット６０は隔壁板１３０によって上記の揮発ガスから保護されるため、露光ヘッド４６やカメラ６２のレンズが汚染されて悪影響が及ぶことを防止できる。

（第６の実施形態）
第６の実施形態は、第１の実施形態に係る露光装置１０の装置本体２０に、ステージ２８が移動してもステージ駆動源の周囲における冷却空気の流動状態がほぼ変化しないように抑制する流動変化抑制手段を設けたものであり、以下、第６の実施形態に係る露光装置の構成について説明する。

図１７に示すように、本実施形態では、ステージ２８とユニット化された基盤３０の下面における両側部に、各脚部３４の間に形成された開口を塞ぐ一対の閉塞板１４０が基盤３０の長手方向（走査方向）と平行に配置されて取り付けられている。また、ステージ移動路には、原点位置に配置されたステージ２８の前方（往路移動方向における下流側）で、且つ、一対のガイドレール２６上を移動するステージ２８の両側方（外側）に、一対の遮蔽板１４２がガイドレール２６の延出方向（ステージ２８の移動方向）と平行に配置されて立設されている。

以上の構成により、本実施形態では、ステージ２８が一対のガイドレール２６上を移動しても、基盤３０の下面に取り付けられたステージ駆動源となるコイル部３８Ｂの周囲を走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気の流動状態は、一対の遮蔽板１４２及び一対の閉塞板１４０によってほぼ変化しないように抑制される。これにより、コイル部３８Ｂの空冷状態が安定して温度変化が抑えられ、コイル部３８Ｂからの熱伝導によるステージ２８の温度上昇（温度変化）が抑えられる。したがって、ステージ２８からの熱伝導による感光材料４０の熱変形が抑えられ、高精度な露光を行うことができる。

（第７の実施形態）
第７の実施形態は、第１の実施形態に係るステージ２８に、ステージ駆動源に冷却空気を吹き付けて空冷する空冷手段を設けたものであり、以下、第７の実施形態に係るステージの構成について説明する。

図１８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、本実施形態では、ステージ２８とユニット化された基盤３０の下面に、コイル部３８Ｂよりも前側（冷却空気の流動方向上流側）に位置して、送風ファン１５０が２個取り付けられている。この２個の送風ファン１５０は、走査方向に沿って流動する冷却空気をその流動方向に、すなわちコイル部３８Ｂに流速を増加させて送風する。

以上の構成により、本実施形態では、２個の送風ファン１５０から吹き付けられる冷却空気でコイル部３８Ｂが空冷されることにより、コイル部３８Ｂの冷却作用が高められて、ステージ２８の温度上昇（温度変化）を抑制する効果が高められる。

（第８の実施形態）
第８の実施形態は、第１の実施形態に係るステージ２８（基盤３０）に放熱フィンを設けたものであり、以下、第８の実施形態に係るステージの構成について説明する。

図１９に示すように、本実施形態では、ステージ２８とユニット化された基盤３０の下面に、複数の放熱フィン３０Ａが一体的に設けられており、この放熱フィン３０Ａは、基盤３０の長手方向（走査方向）に沿って延出されている。

以上の構成により、本実施形態では、基盤３０の下面に複数設けられた放熱フィン３０Ａにより、基盤３０の表面積が拡大されて放熱が促進される。また、この放熱フィン３０Ａは走査方向に沿って延出されているため、走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気の流れを乱すことなく、その安定して流動する空気によって放熱効率が高められる。したがって、コイル部３８Ｂからの熱伝導で温度上昇する基盤３０の冷却作用が高められ、ステージ２８の温度上昇（温度変化）を抑制する効果が高められる。

（第９の実施形態）
第９の実施形態は、第１の実施形態に係るステージ２８（基盤３０）に遮熱部材を設けたものであり、以下、第９の実施形態に係るステージの構成について説明する。

図２０に示すように、本実施形態では、ステージ２８とユニット化された基盤３０の下面に、ステンレス金属板からなる遮熱板１６０が取り付けられており、コイル部３８Ｂは、この遮熱板１６０を介して基盤３０の下面に取り付けられている。

以上の構成により、本実施形態では、遮熱板１６０を介して取り付けられたコイル部３８Ｂからの熱伝導による基盤３０及びステージ２８の温度上昇や、基盤３０の近傍に配置された発熱部品からの輻射熱による基盤３０及びステージ２８の温度上昇が遮熱板１６０によって抑えられる。

以上、本発明を上述した第１〜第９の実施形態により詳細に説明したが、本発明はそれらに限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の形態が実施可能である。

例えば、上述した実施形態では、収容室１３の室温や装置設置環境の温度を測定し、その測定温度に基づいて空調機８０を制御し冷却空気の温度を調整する空調動作（室温制御動作）の場合で説明したが、空調動作はこれに限らず、所定の温度に調整した冷却空気を空調機８０から収容室１３に供給して空調するようにしてもよい。

また、走査方向については、感光材料を搬送する搬送手段としてのステージを水平方向へ移動させることで、走査方向を水平方向とした場合で説明したが、走査方向はこれに限らず、搬送手段を垂直方向へ移動させることで垂直方向を走査方向とするなどしてもよい。また、感光材料の搬送方向（ステージの移動方向）については、アライメント計測と露光とで逆方向へ搬送する往復搬送とした場合で説明したが、感光材料を一方向のみに搬送してアライメント計測と及び露光を連続的に行う片道搬送としてもよい。

また、上記の実施形態における露光装置１０の感光材料４０に対する露光動作では、ステージ２８を移動させつつ感光材料４０を走査露光する場合について説明したが、露光動作はこのような走査露光に限らず、他にも、最初の露光位置まで移動させた感光材料４０を一旦停止して所定の露光領域のみを露光し、その露光後に、感光材料４０を次の露光位置まで移動させて再び停止し次の所定の露光領域のみを露光する、というように、感光材料４０の移動→露光位置に停止→画像露光→移動・・・・・・を繰り返すような動作としてもよい。

また、ダクトから吹き出された冷却空気の送風方向を走査方向に沿った方向へ変更する風向変更手段については、第１の実施形態で説明したような風向変更板９０等の機構的な手段に限らず、他にも、送風ファン等の電気的な手段とする、あるいはそれらを組み合わせた構成などとすることができる。

また、アライメント計測用のカメラ６２が取り付けられるアライメントユニット６０のユニットベース６４は、断面係数を大きくして強度（剛性）を確保しつつ、ステージ２８が移動されても走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気の流れをほぼ変化させない形状とするために、第１の実施形態で説明したように断面形状をＴ字状としているが、ユニットベース６４の断面形状はこれに限らず、例えば厚さを大きくするなどして強度を確保できる場合には、Ｉ字状（フラット形状）等としてもよい。

また、収容室１３の温度を測定する温度センサ７２は、第１の実施形態で説明したように開閉パネル１９の裏面に設置してステージ２８の近傍に配置しているが、温度センサの設置位置はこれに限らず、例えば図６の温度センサ７３で示すように、基盤３０上に取付けてステージ２８の前方に近接配置するようにしてもよい。またこの場合は、温度センサ７３によって、ステージ２８と、露光ユニット４４及びアライメントユニット６０の近傍の室温が測定可能となり、その測定温度情報も利用して収容室１３の温度制御を行うことにより、すなわち、露光ユニット４４及びアライメントユニット６０の近傍の温度変化を抑えた空調を行うことにより、それらの性能変化を抑えることも可能となる。さらに、収容室１３の温度測定箇所は１箇所に限らず、複数箇所としてもよい。そしてその複数箇所の測定温度情報に基づいて収容室１３の温度制御を行うことも可能である。

また、第１の実施形態で説明したように、ステージ移動用の駆動源となるリニアサーボモータ３８のコイル部３８Ｂは、断熱ブッシュ３９を介してステージ２８（基盤３０）取り付けているが、ステージ昇降用の駆動源となるステッピングモータ３６も同様に、断熱ブッシュ等を介してステージ２８（昇降機構３２）取り付けることができる。またここでは、感光材料載置面２８Ａを構成するステージ２８が昇降可能とされてステージ２８（感光材料載置面２８Ａ）が可動部とされ、その可動部を駆動させるための駆動力を発生するステッピングモータ３６は、待機時にカレントダウンするようにしているが、例えばステージに他の可動部が設けられてその駆動源にステッピングモータが用いられる場合には、そのステッピングモータに対して同様のカレントダウン制御を行うことにより発熱を抑えるようにしてもよい。

また、上記の実施の形態における露光装置１０では、空間変調素子としてＤＭＤを備えた露光ヘッドについて説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Special Light Modulator）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Grating Light Valve（ＧＬＶ）を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。

また、上記の実施の形態における光源（光源ユニット５０）としては、合波レーザ光源を複数備えたファイバアレイ光源、１個の発光点を有する単一の半導体レーザから入射されたレーザ光を出射する１本の光ファイバを備えたファイバ光源をアレイ化したファイバアレイ光源、複数の発光点が二次元状に配列された光源（たとえば、ＬＤアレイ、有機ＥＬアレイ等）、等が適用可能である。

また、上記の露光装置１０には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ）、固体レーザが使用される。

また、本発明は、空間光変調素子を利用し、画像データに応じて変調した光ビームを走査方向へ搬送される感光材料に照射し画像露光を行う上述の画像露光装置に限らず、例えば、感光材料を副走査方向へ搬送しつつレーザ光を主走査しながら照射し所定のパターンを描画する走査露光装置等にも適用することができる。

本発明の第１の実施形態に係る露光装置を示す斜視図である。 本発明の第１の実施形態に係る装置本体がカバー体に収容された状態の露光装置を示す側面図である。 本発明の第１の実施形態に係るカバー体に収容された状態の装置本体を示す側面図である。 本発明の第１の実施形態に係る装置本体を示す平面図である。 本発明の第１の実施形態に係るカバー体に収容された状態の装置本体を示す背面図である。 本発明の第１の実施形態に係る装置本体に設けられたステージを示す斜視図である。 本発明の第１の実施形態に係るステージを示す（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は（Ｂ）のコイル部付近を拡大した拡大正面図である。 （Ａ）は本発明の第１の実施形態に係る露光ユニットによって露光された露光パターンを示す平面図、（Ｂ）は露光ユニットに設けられた複数の露光ヘッドの配列パターンを示す平面図である。 本発明の第１の実施形態に係るアライメントユニットを示す斜視図である。 図３の装置本体においてステージが往路移動方向における最下流位置に配置された状態を示す側面図である。 本発明の第２の実施形態に係るカバー体に収容された状態の装置本体を示す側面図である。 図１１の装置本体においてステージが往路移動方向における最下流位置に配置された状態を示す側面図である。 本発明の第３の実施形態に係るカバー体に収容された状態の装置本体を示す側面図である。 本発明の第４の実施形態に係るカバー体に収容された状態の装置本体を示す側面図である。 図１４の装置本体においてステージが往路移動方向における最下流位置に配置された状態を示す側面図である。 （Ａ）は本発明の第５の実施形態に係る装置本体を示す背面図、（Ｂ）は装置本体の要部を示す側面図である。 本発明の第６の実施形態に係る装置本体に設けられたステージを示す斜視図である。 本発明の第７の実施形態に係るステージを示す（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図である。 本発明の第８の実施形態に係るステージを示す正面図である。 本発明の第９の実施形態に係るステージを示す正面図である。

符号の説明

１０ 露光装置
１２ カバー体
１２Ａ カバー本体部
１２Ｂ セット部
１３ 収容室
１５ 露光室
１７ 部品収容室
２０ 装置本体
２８ ステージ（搬送手段／可動部）
２８Ａ 感光材料載置面（載置面）
３０ 基盤（搬送手段）
３０Ａ 放熱フィン
３２ 昇降機構（可動部）
３６ ステッピングモータ（駆動手段）
３８ リニアサーボモータ（駆動手段）
３８Ａ ステータ部
３８Ｂ コイル部
３８Ｃ 放熱フィン
３９ 断熱ブッシュ（断熱部材）
４０ 感光材料
４２ 支柱（整流手段）
４４ 露光ユニット（露光手段）
４６ 露光ヘッド（露光手段）
５０ 光源ユニット（発熱部品）
６０ アライメントユニット（読取手段）
６２ カメラ（読取手段）
６４ ユニットベース（取付部材）
７２ 温度センサ（室温測定手段）
７４ 電源ユニット（発熱部品）
７６ 制御ユニット（発熱部品）
８０ 空調機（空調手段）
８２ ダクト
８２Ａ 先端部（直線状部）
８２Ｂ 吹出口
８４ 吸気口
８６ 温度センサ（外気温測定手段）
８８ ＨＥＰＡフィルタ（浄化手段）
９０ 風向変更板（風向変更手段）
９６ 導風板（導風手段）
１００ コントローラ（制御手段）
１０２ 制御基板（発熱部品）
１１０ ダクト
１１０Ａ 先端部（直線状部）
１１０Ｂ 吹出口
１２０ ステージ（搬送手段）
１３０ 隔壁板（隔壁部材）
１４０ 閉塞板（流動変化抑制手段）
１４２ 遮蔽板（流動変化抑制手段）
１５０ 送風ファン（空冷手段）
１６０ 遮熱板（遮熱部材）
Ｍ アライメントマーク（基準マーク）
ＹＢ 走査方向

Claims (24)

1. 光ビームを照射し感光材料を走査露光する露光手段と、
   前記露光手段に対して相対移動し載置面に載置されて保持した感光材料を走査方向に沿って搬送する搬送手段と、
   前記露光手段、及び前記搬送手段が移動可能に収容された収容室と、
   前記収容室に温度調整した空気を供給して空調する空調手段と、
   前記収容室に設けられ前記空調手段からの空気を前記走査方向に沿った方向へ送風する送風手段と、
   を有することを特徴とする露光装置。
2. 光ビームを照射し感光材料を走査露光する露光手段と、
   前記露光手段に対して相対移動し載置面に載置されて保持した感光材料を走査方向に沿って搬送する搬送手段と、
   前記露光手段、及び前記搬送手段が移動可能に収容された収容室と、
   前記収容室に温度調整した空気を供給して空調する空調手段と、
   前記収容室の温度を測定する室温測定手段と、
   前記室温測定手段による測定温度に基づいて前記空調手段を制御し前記空気の調整温度を変更する制御手段と、
   前記収容室に設けられ前記空調手段からの空気を前記走査方向に沿った方向へ送風する送風手段と、
   を有することを特徴とする露光装置。
3. 前記制御手段は、前記搬送手段の移動に応じて前記空調手段を制御し空調風量を変更することを特徴とする請求項２記載の露光装置。
4. 前記送風手段は、前記空調手段からの空気を前記収容室に吹き出すダクトと、前記ダクトから吹き出された空気の送風方向を前記走査方向に沿った方向へ変更する風向変更手段と、を有することを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項記載の露光装置。
5. 前記送風手段は、前記空調手段からの空気を前記走査方向に沿った方向へ吹き出すダクトを有することを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項記載の露光装置。
6. 前記ダクトには、前記空気を吹き出す吹出口まで所定の長さ以上直線状に形成された直線状部が設けられていることを特徴とする請求項４又は請求項５記載の露光装置。
7. 前記搬送手段は、前記載置面に対し、前記走査方向に沿った方向へ送風される空気の流動方向における上流側に設けられ、その走査方向に沿った方向へ送風される空気を載置面上へ導く導風手段を有することを特徴とする請求項１〜請求項６の何れか１項記載の露光装置。
8. 前記露光手段と前記搬送手段との間に設けられた空間形状がほぼ変化しない範囲で搬送手段を移動させることを特徴とする請求項１〜請求項７の何れか１項記載の露光装置。
9. 前記搬送手段の移動路上に設けられた取付部材と、
   前記取付部材に取り付けられ、前記感光材料に対する露光位置を補正するために感光材料に設けられた露光位置の基準を示す基準マークを読み取る読取手段と、
   を有し、
   前記取付部材は、前記搬送手段が移動されても前記走査方向に沿った方向へ送風される空気の流動状態をほぼ変化させない形状とされていることを特徴とする請求項１〜請求項８の何れか１項記載の露光装置。
10. 前記取付部材は、前記走査方向に沿った方向へ送風される空気を整流する整流手段を有することを特徴とする請求項９記載の露光装置。
11. 前記露光手段に対し前記走査方向に沿った方向に並列して設けられ、前記感光材料に対する露光位置を補正するために感光材料に設けられた露光位置の基準を示す基準マークを読み取る読取手段と、
    前記露光手段及び前記読取手段と、前記搬送手段との間に設けられ、前記走査方向に沿った平面状で且つ透明な隔壁部材と、
    を有することを特徴とする請求項１〜請求項８の何れか１項記載の露光装置。
12. 前記搬送手段を駆動する駆動手段が断熱部材を介して搬送手段に取り付けられていることを特徴とする請求項１〜請求項１１の何れか１項記載の露光装置。
13. 前記搬送手段を駆動する駆動手段が搬送手段の表面に露出されて取り付けられていることを特徴とする請求項１〜請求項１１の何れか１項記載の露光装置。
14. 前記搬送手段は可動部を有するとともに、前記駆動手段は前記制御手段に駆動制御されて前記可動部を駆動させるための駆動力を発生するステッピングモータを含み、
    前記制御手段は前記ステッピングモータの待機時にカレントダウン制御を行うことを特徴とする請求項１２又は請求項１３記載の露光装置。
15. 前記駆動手段の表面に、前記走査方向に沿って延出された放熱フィンが設けられていることを特徴とする請求項１２〜請求項１４の何れか１項記載の露光装置。
16. 前記搬送手段が移動されても前記駆動手段の周囲における前記走査方向に沿った方向へ送風される空気の流動状態がほぼ変化しないように抑制する流動変化抑制手段を有することを特徴とする請求項１２〜請求項１５の何れか１項記載の露光装置。
17. 前記搬送手段は、前記駆動手段に空気を吹き付けて空冷する空冷手段を有することを特徴とする請求項１２〜請求項１６の何れか１項記載の露光装置。
18. 前記搬送手段は、前記載置面を除く外周面の少なくとも一部に前記走査方向に沿って延出された放熱フィンが設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項１７の何れか１項記載の露光装置。
19. 前記搬送手段は、前記載置面を除く外周面の少なくとも一部に遮熱部材が設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項１７の何れか１項記載の露光装置。
20. 前記空調手段は、吸気した外気を浄化する浄化手段を有し、その浄化手段によって浄化した空気を前記収容室に供給することを特徴とする請求項１〜請求項１９の何れか１項記載の露光装置。
21. 前記室温測定手段が前記搬送手段の近傍に設けられていることを特徴とする請求項２〜請求項２０の何れか１項記載の露光装置。
22. 前記空調手段は、外気を吸い込む吸気口にその外気の温度を測定する外気温測定手段が設けられ、
    前記制御手段は、前記外気温測定手段による測定温度及び前記室温測定手段による測定温度に基づいて前記空調手段を制御し前記空気の調整温度を変更することを特徴とする請求項２〜請求項２１の何れか１項記載の露光装置。
23. 前記収容室とは独立して設けられた部品収容室を有し、装置動作時に発熱する発熱部品が前記部品収容室に収容されていることを特徴とする請求項１〜請求項２２の何れか１項記載の露光装置。
24. 内部に前記収容室が設けられて装置本体が収容されたカバー体を有し、
    前記部品収容室は前記カバー体の壁面に沿って形成されていることを特徴とする請求項２３記載の露光装置。

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