JP2007139565A - 画像認識装置、基板の位置合わせ装置および基板の張り合わせ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数枚の基板の張り合わせ等に際し、単一のカメラにより複数組の重畳マーク像を撮像することができる画像認識装置、基板の位置合わせ装置および基板の張り合わせ装置を提供する。
【解決手段】それぞれが相互に離間して配置した同一パターンの複数のアライメントマークＭを形成した複数枚の透光性の基板を、間隙を存して相互に平行に且つ相互のパターンが略合致するように重ね、この状態で重畳した複数組の重畳マーク像を撮像して複数枚の基板の相互位置を位置認識する画像認識装置において、重畳マーク像を撮像する単一の撮像カメラ５と、複数の重畳マーク像を、これに対応する分岐撮像光路３３から撮像カメラ５の主撮像光路３１を経て撮像カメラ５の視野内に取り込む光学部品ユニットと、撮像カメラの視野内に取り込んだ複数の重畳マーク像の撮像結果を画像処理し、複数枚の基板の相互位置を位置認識する画像認識手段と、を備えた。
【選択図】図２

Description

本発明は、複数枚の基板に印されたアライメントマークをカメラで撮像して位置を認識する画像認識装置、基板の位置合わせ装置および基板の張り合わせ装置に関するものである。

従来、この種の画像認識装置において、２つのアライメントマークがそれぞれ印された２つの基板を重ね合わせ、重畳した２組の重畳マーク像のそれぞれを２台の撮像カメラで撮像しながら、２つの基板の位置合わせを行うものが知られている（特許文献１参照）。
特開平１０−１８７９７９号公報

しかしながら、上記の画像認識装置では、１組のアライメントマークに対し、１台の撮像カメラが使用される。このため、複数組の重畳マーク像がある場合は、これに合わせて複数台の撮像カメラを用いらなければならず、装置構成が大掛かりなものになってしまい、大きな設置スペースを必要とすると共に装置コストが下げにくい問題があった。

本発明は、複数枚の基板の張り合わせ等に際し、単一のカメラにより複数組の重畳マーク像を撮像することができる画像認識装置、基板の位置合わせ装置および基板の張り合わせ装置を提供することを課題とする。

本発明の画像認識装置は、それぞれが相互に離間して配置した同一パターンの複数のアライメントマークを形成した複数枚の透光性の基板を、間隙を存して相互に平行に且つ相互の前記パターンが略合致するように重ね、この状態で重畳した複数組の重畳マーク像を撮像して複数枚の基板の相互位置を位置認識する画像認識装置において、重畳マーク像を撮像する単一の撮像カメラと、複数の重畳マーク像を、これに対応する分岐撮像光路から撮像カメラの主撮像光路を経て撮像カメラの視野内に取り込む光学部品ユニットと、撮像カメラの視野内に取り込んだ複数の重畳マーク像の撮像結果を画像処理し、複数枚の基板の相互位置を位置認識する画像認識手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、光学部品ユニットにより、複数の重畳マーク像が撮像カメラの視野内に取り込まれるため、単一の撮像カメラで複数組の重畳マーク像を同時に撮像することができ、且つ複数枚の基板の相互位置を位置認識することができる。このため、使用するカメラの台数を削減することができ、装置構成をコンパクトにすることができる。したがって、撮像カメラ用のスペースを小さくすることができると共に、撮像カメラに付随する画像認識手段を単一のものとすることができる。

この場合、光学部品ユニットは、各分岐撮像光路を主撮像光路に向くように光路変更する複数のマーク側ミラーと、各分岐撮像光路を主撮像光路に光路接続する複数のカメラ側ミラーと、を有していることが、好ましい。

この構成によれば、複数枚のミラーを用いることで、光学部品ユニットの構造を単純なものとすることができ、全体として、装置構成をよりコンパクトなものとすることができる。なお、撮像カメラの視野内を分割し、複数組の重畳マーク像を各分割視野に取り込むことで、各重畳マーク像が重なり合うことなく撮像することができる。

同様に、光学部品ユニットは、各分岐撮像光路を主撮像光路に向くように光路変更する複数のマーク側ミラーと、各分岐撮像光路を主撮像光路に光路接続する複数のハーフミラーと、を有していることが、好ましい。

この場合、複数の分岐撮像光路のうちの任意の１の分岐撮像光路は、主撮像光路の光軸上に配設され、最遠に位置するハーフミラーが任意の１のマーク側ミラーを兼ねていることが、好ましい。

この構成によれば、ハーフミラーおよびミラーを用いることで、構造を単純なものとすることができると共に、装置構成をよりコンパクトなものとすることができる。

これらの場合、光学部品ユニットは、主撮像光路に設けられたカメラ側偏光板と、複数の分岐撮像光路にそれぞれ設けられた複数のマーク側偏光板と、撮像カメラにより撮像される複数の重畳マーク像の明暗を判別する明暗判別手段と、をさらに有し、複数のマーク側偏光板は、それぞれ異なる振動方向に偏光されるよう配置されると共に、カメラ側偏光板は、偏光する振動方向を可変自在に構成されていることが、好ましい。

この構成によれば、カメラ側偏光板の振動方向を可変することで、複数組の重畳マーク像の明暗をそれぞれ異なるものとすることができ、この明暗を判別することにより、カメラに撮像される複数組の重畳マーク像をそれぞれ判別し撮像することができる。

同様に、光学部品ユニットは、複数の分岐撮像光路にそれぞれ設けられた色彩の異なる複数のカラーフィルタと、複数のカラーフィルタにより色付けされた複数の重畳マーク像の色彩を判別する色彩判別手段と、をさらに有することが、好ましい。

この構成によれば、複数組の重畳マーク像には、それぞれ異なる配色がなされるため、これを判別することで、カメラに撮像される複数組の重畳マーク像をそれぞれ判別し撮像することができる。なお、アライメントマークは、カラーフィルタの色が鮮明に投影されるよう白色とされていることが、好ましい。

これらの場合、主撮像光路と各分岐撮像光路とを合わせたそれぞれの光路長が、撮像カメラの被写界深度内に納まるように設定されていることが、好ましい。

この構成によれば、撮像カメラにより複数組の重畳マーク像を、同時に撮像することができる。

これらの場合、撮像カメラが、オートフォーカス機能を有していることが、好ましい。

この構成によれば、それぞれの基板の重畳マーク像の焦点距離が異なっていても、焦点を調整することで、それぞれ撮像することができる。

本発明の基板の位置合わせ装置は、上記した画像認識装置と、画像認識装置の認識結果に基づいて、複数枚の基板をＸ・Ｙ・θ方向に相対的に移動させて位置合わせを行う位置合わせ手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、従来の装置構成に比して、よりコンパクトな基板の位置合わせ装置を提供することができる。

本発明の基板の張り合わせ装置は、上記した基板の位置合わせ装置と、位置合わせ手段により位置決めされた複数枚の基板を、Ｚ方向に相対的に移動させて張り合わせる張り合わせ手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、従来の装置構成に比して、よりコンパクトな基板の張り合わせ装置を提供することができる。

以下、添付の図面を参照して、本発明の画像認識装置を基板の張り合わせ装置に適用した場合について説明する。この基板の張り合わせ装置は、例えば透明電極を作りこんだ液晶パネルの２枚の基板を、間隙を存して重ね合わせ、位置合わせの後、基板を張り合わせるものである。ここでは、張り合わせ装置を説明する前に、張り合わせ対象となる２枚の基板について説明する。

張り合わせ装置１により張り合わされる２枚の基板は、下側に位置する第１基板Ｗ１と上側に位置する第２基板Ｗ２とから成り、いずれも透明なガラス基板等で構成されている。第１・第２両基板Ｗ１、Ｗ２には、同一パターンのアライメントマークＭがそれぞれ２個、透明電極（図示せず）から外れた位置に形成されている。この２個のアライメントマークＭは、相互に離間して配置され、それぞれ十字模様となっている。

図１に示すように、基板の張り合わせ装置１は、機台２上に設けられ、第１基板Ｗ１を吸着するようにして載置したＸ・Ｙ・θテーブル３と、Ｘ・Ｙ・θテーブル３の後方に位置して機台２上に立設され、第２基板Ｗ２を吸着するようにして垂設したＺテーブル４と、第２基板Ｗ２の上方に下向きに設けたＣＣＤカメラ５と、ＣＣＤカメラ５に連結した光学部品ユニット６と、ＣＣＤカメラ５および光学部品ユニット６を支持すると共に機台２上に立設されたカメラスタンド７と、機台２上に立設されこれら構成装置を収容するチャンバ８と、ＣＣＤカメラ５に接続した画像処理部や画像処理部による処理結果等を表示する表示部９（図３参照）と、これら構成装置を統括制御する制御装置１０（図３参照）と、を備えている。

Ｘ・Ｙ・θテーブル３は、機台２上に設けたＸ軸テーブル１５、Ｘ軸テーブル１５上に設けたＹ軸テーブル１６、Ｙ軸テーブル１６上に設けたθテーブル１７で構成されており、これに載置した第１基板Ｗ１を水平面内において、Ｘ・Ｙ・θ方向に移動（微小移動）させる。Ｘ軸テーブル１５は、モータ駆動のスライダにより、Ｙ軸テーブル１６およびθテーブル１７を介して第１基板をＸ軸方向に移動させ、またＹ軸テーブル１６は、モータ駆動のスライダにより、θテーブル１７を介して第１基板Ｗ１をＹ軸方向に移動させる。さらに、θテーブル１７は、その上部に組み込んだ真空吸引機構（図示せず）により第１基板Ｗ１を吸着載置すると共に、この状態で第１基板Ｗ１をθ回転（角度回転）させる。

Ｚテーブル４は、機台２上に立設した支柱状のテーブル本体２０と、テーブル本体２０に沿って上下するスライダに固定した吸着プレート２１と、を有している。吸着プレート２１には、真空吸引機構（図示せず）が組み込まれており、第２基板Ｗ２を水平姿勢に吸着保持する。すなわち、基板の張り合わせ装置１にセットされた第１基板Ｗ１と第２基板Ｗ２とは、間隙を存して相互に平行に対峙するようになっている。Ｚテーブル４の昇降機構は、テーブル本体２０に内蔵されており、吸着プレート２１を介して第２基板Ｗ２を昇降（Ｚ軸方向に上下動）させる。第１・第２両基板Ｗ１、Ｗ２を張り合わせる際には、Ｚテーブル４により第２基板Ｗ２を第１基板Ｗ１の位置まで下降させるようにする。なお、吸着プレート２１には、保持した第２基板Ｗ２の２個のアライメントマークＭが位置する部分に、２つの貫通孔（図示省略）が形成されており、この２つの貫通孔を介して、ＣＣＤカメラ５により２個のアライメントマークＭが撮像される。もっとも、２つの貫通孔に代えて、吸着プレート２１を透明なもので構成するようにしてもよい。

チャンバ８には、基板の搬入搬出するための扉付き搬入搬出が形成されると共に、クリーンエアーを導入するためのエアー供給口、および内部エアーを排気するための排気口が形成されている（いずれも図示省略）。

ＣＣＤカメラ５は、第１基板Ｗ１および第２基板Ｗ２にそれぞれ形成したアライメントマークＭを、両基板越しに撮像するため、下向きに設置される。また、ＣＣＤカメラ５は、オートフォーカス機能を有しており、撮像するアライメントマークＭに適宜焦点を合わせることができるようになっている。なお、詳細は後述するが、ＣＣＤカメラ５で撮像されたアライメントマークＭの重畳マーク像２５は、画像処理部２６により、画像処理を行うことで、各アライメントマークＭの位置を認識し、これに基づいて位置合わせが行われる。

ここで、図２を参照し、光学部品ユニット６について詳細に説明する。光学部品ユニット６は、外郭をなすケース３０と、ケース３０内に収められ、ＣＣＤカメラ５からアライメントマークＭを撮像する主撮像光路３１を分岐するための光路分岐ミラー３２と、分岐した分岐撮像光路３３をアライメントマークＭに向けるための光路変更ミラー３４と、で構成されている。

ケース３０は、長方体に形成されており、図示は省略するが、ケース３０の上面中央には、上面開口部が設けられると共に、ケース３０の長手方向の下面両端部には、それぞれ下面開口部が設けられている。このため、ケース３０は、上面開口部からＣＣＤカメラ５が撮像するよう、また、２つの下面開口部と上記の２つの貫通孔とが同じ位置になるよう配置される。

ケース３０内に配置された光路分岐ミラー３２は、２枚のカメラ側ミラーとこれを保持するカメラ側ミラーホルダと、で構成されており、２枚のカメラ側ミラーは、反射面３５をケース３０内両端部に向け逆「Ｖ」字状（角度９０度）になるように、カメラ側ミラーホルダに保持されている。そして、光路分岐ミラー３２は、上面開口部の直下に配置されている。また、光路変更ミラー３４も、２枚のマーク側ミラーと、２個のマーク側ミラーホルダと、で構成され、それぞれケース内両端部、すなわち下面開口部の直上に配置されると共に、反射面３５を下側に向け「ハ」字状（角度９０度）にして設置されている。これにより、ＣＣＤカメラ５からアライメントマークＭを撮像する主撮像光路３１は、光路分岐ミラー３２によって、２つの分岐撮像光路３３に分岐され、分岐したそれぞれの分岐撮像光路３３はケース３０内両端部に向かってゆき、さらに光路変更ミラー３４によって、貫通孔に向かうよう分岐撮像光路３３の向きが変更される。このため、２つの分岐撮像光路３３の距離は、それぞれ等しいものとすることができるため、アライメントマークＭを撮像する際には、ＣＣＤカメラ５の焦点距離を変えることなく、２つのアライメントマークＭを同時に撮像することができる。

この装置構成において、２枚の基板を張り合わせる場合は、先ず、Ｘ・Ｙ・θテーブル３に第１基板Ｗ１を配置し、吸着プレート２１に第２基板Ｗ２を吸着保持させる。このとき、第２基板Ｗ２と第１基板Ｗ１とは平行に且つそれぞれのアライメントマークＭが略合致するよう配置される。この状態から、Ｚテーブル４の昇降機構により吸着プレート２１を第１基板Ｗ１と第２基板Ｗ２との間がすれすれになるまで下降させる。一方、ＣＣＤカメラ５は、光学部品ユニット６および貫通孔を介して、第２基板Ｗ２の２個のアライメントマークＭを撮像すると共に、僅かに間隙を存して対峙した第１基板Ｗ１の２個のアライメントマークＭを撮像する。すなわち、重畳した２組の重畳マーク像２５を撮像する。撮像した２組の重畳マーク像２５に基づいて、Ｘ・Ｙ・θテーブル３は、第１基板Ｗ１の位置合わせを行うと共に、位置合わせ完了後、Ｚテーブル４の昇降機構により吸着プレート２１が下降され、第１・第２両基板Ｗ１、Ｗ２が張り合わせられる。

次に、図３を参照して、基板の張り合わせ装置１の制御系について説明する。張り合わせ装置１は、装置全体を統括制御する制御装置１０を備え、制御装置１０は、Ｘ・Ｙ・θテーブル３およびＺテーブル４を駆動制御する。制御装置１０内部には、ＣＣＤカメラ５により撮像された重畳マーク像を画像処理する画像処理部２６を有している。この画像処理部２６には、ＣＣＤカメラ５および表示部９が接続されている。

ここで、ＣＣＤカメラ５により撮像された重畳マーク像２５の画像処理について説明する。撮像された重畳マーク像２５は、画像処理部２６を介して表示部９に表示される。図４に示すように、ＣＣＤカメラ５により表示部９に表示される表示画面３６は、光路分岐ミラー３２の２枚の鏡の境目４０を中心として、表示画面３６が左右２つに分割されており、２つに分割された表示画面３６には、それぞれ２組の重畳マーク像２５が映し出される。

画像処理部２６は、ＣＣＤカメラ５により撮像された２組の重畳マーク像２５のそれぞれの位置を認識するものである。つまり、画像処理部２６において、撮像された第２基板Ｗ２および第１基板Ｗ１のそれぞれの２個のアライメントマークＭの重畳マーク像２５を画像処理することで、各基板のアライメントマークＭの重心を検出する。これにより、制御装置１０は、第２基板Ｗ２の重心に第１基板Ｗ１の重心を合わせるよう、第１基板Ｗ１をＸ・Ｙ・θテーブル３により移動させ、位置合わせを行うと共に、位置合わせ完了後、Ｚテーブル４を下降して、基板同士を張り合わせる。

以上の構成によれば、光学部品ユニット６を用いることで、２組の重畳マーク像２５を単一のＣＣＤカメラ５で撮像することができ、また、撮像した重畳マーク像２５からアライメントマークＭの位置を検出し、この検出した位置に基づいて、２枚の基板の位置合わせを行うことができる。このため、従来のように、２組の重畳マーク像２５を２台のＣＣＤカメラ５を用いることなく、撮像することができ、さらに画像処理部２６を単一のものとすることができるため、装置構成としてコンパクトなものとすることができ、ひいては、装置自体のコストダウンを図ることができる。

次に、図５を参照して、本発明の第２実施形態について説明する。なお、重複した記載を避けるため、異なる部分についてのみ説明する。図５は、ＣＣＤカメラ５および光学部品ユニット６の概略図である。第２実施形態の光学部品ユニット６は、外郭をなすケース３０と、ケース３０内に収められ、ＣＣＤカメラ５からアライメントマークＭを撮像する主撮像光路３１を分岐するためのハーフミラー４１と、分岐した分岐撮像光路３３をアライメントマークＭに向けるための光路変更ミラー３４と、で構成されている。

この構成によれば、ＣＣＤカメラ５からの主撮像光路３１は、ハーフミラー４１において、反射された反射撮像光路４２と、透過された透過撮像光路４３とに分岐される。透過した透過撮像光路４３は、貫通孔を介して１組の重畳マーク像２５に向けられ、反射された反射撮像光路４２は、光路変更ミラー３４によってもう１組の重畳マーク像に向けられる。これにより、ＣＣＤカメラ５に映し出される表示画面３６には、２組の重畳マーク像２５が表示される。このとき、２組の重畳マーク像２５が重ならないように、予めハーフミラー４１、光路変更ミラー３４およびＣＣＤカメラ５の配置を行うことが好ましい。

次に、図６を参照して、本発明の第３実施形態について説明する。図６は、ＣＣＤカメラ５および光学部品ユニット６の概略図である。第３実施形態の光学部品ユニット６は、第２実施形態と同様に、外郭をなすケース３０と、ケース３０内に収められ、ＣＣＤカメラ５からアライメントマークＭを撮像する主撮像光路３１を分岐するためのハーフミラー４１と、分岐した分岐撮像光路３３をアライメントマークＭに向けるための光路変更ミラー３４と、で構成されている。また、ＣＣＤカメラ５とハーフミラー４１との間にはカメラ側偏光板４４が設けられており、偏光する振動方向を切り替え可能に構成されている。さらに、ハーフミラー４１とアライメントマークＭとの間および光路変更ミラー３４とアライメントマークＭとの間にはマーク側偏光板４５がそれぞれ配置されており、この２つのマーク側偏光板４５は、９０°異なる振動方向に偏光されるよう配置されている。また、画像処理部２６には、ＣＣＤカメラ５により撮像される重畳マーク像２５の明暗を判別する明暗判別部（図示省略）が設けられている。

この構成によれば、ＣＣＤカメラ５には、２組の重畳マーク像２５が撮像されるが、カメラ側偏光板４４およびマーク側偏光板４５を通して撮像することにより、一方の分岐撮像光路３３が遮断されると共に、他方の分岐撮像光路３３は遮断されない。また、カメラ側偏光板４４の振動方向を切り替えることで、遮断した重畳マーク像２５と遮断されない重畳マーク像２５とを切り替えることができる。このため、ＣＣＤカメラ５に２組の重畳マーク像２５が重なって撮像されても、カメラ側偏光板４４を切り替えることで、各重畳マーク像２５の明暗を判別することで、各重畳マーク像２５を判別することができるため、予めハーフミラー４１、光路変更ミラー３４およびＣＣＤカメラ５の配置等を気にすることがない。

次に、図７を参照して、本発明の第４実施形態について説明する。図７は、ＣＣＤカメラ５および光学部品ユニット６の概略図である。第４実施形態の光学部品ユニット６は、第２実施形態と同様に、外郭をなすケース３０と、ケース３０内に収められ、ＣＣＤカメラ５からアライメントマークＭを撮像する主撮像光路３１を分岐するためのハーフミラー４１と、分岐した分岐撮像光路３３をアライメントマークＭに向けるための光路変更ミラー３４と、で構成されている。また、ハーフミラー４１とアライメントマークＭとの間および光路変更ミラー３４とアライメントマークＭとの間には色彩の異なるカラーフィルタ４６がそれぞれ配置されている。さらに、画像処理部２６は、カラーフィルタ４６により色付けされたアライメントマークＭの色彩を判別する色彩判別部（図示省略）を有しており、これにより、ＣＣＤカメラ５により撮像される２組の重畳マーク像２５のそれぞれを判別する。

この構成によれば、単一のＣＣＤカメラ５に２組の重畳マーク像２５が撮像されるのはもちろんのこと、２組の重畳マーク像２５には、カラーフィルタ４６により異なる配色がなされ、ＣＣＤカメラ５により撮像された重畳マーク像２５は、画像処理部によりその色彩が判別される。このため、ＣＣＤカメラ５に２組の重畳マーク像２５が重なって撮像されても、その色彩を判別することで、各重畳マーク像２５を判別することができるため、予めハーフミラー４１、光路変更ミラー３４およびＣＣＤカメラ５の配置等を気にすることがない。なお、このときアライメントマークＭは白色に色付けすることが好ましい。

本実施形態に係る基板の張り合わせ装置の外観模式図である。 光学部品ユニットの模式図である。 基板の張り合わせ装置の制御系のブロック図である。 表示画面に表示された重畳マーク像の図である。 第２実施形態に係る光学部品ユニットの模式図である。 第３実施形態に係る光学部品ユニットの模式図である。 第４実施形態に係る光学部品ユニットの模式図である。

符号の説明

１…張り合わせ装置 ５…ＣＣＤカメラ ６…光学部品ユニット ２６…画像処理部 ３１…主撮像光路 ３２…光路分岐ミラー ３３…分岐撮像光路 ３４…光路変更ミラー ４１…ハーフミラー ４４…カメラ側偏光板 ４５…マーク側偏光板 ４６…カラーフィルタ Ｗ１…第１基板 Ｗ２…第２基板 Ｍ…アライメントマーク

Claims (10)

1. それぞれが相互に離間して配置した同一パターンの複数のアライメントマークを形成した複数枚の透光性の基板を、間隙を存して相互に平行に且つ相互の前記パターンが略合致するように重ね、この状態で重畳した複数組の重畳マーク像を撮像して前記複数枚の基板の相互位置を位置認識する画像認識装置において、
   前記重畳マーク像を撮像する単一の撮像カメラと、
   前記複数の重畳マーク像を、これに対応する分岐撮像光路から前記撮像カメラの主撮像光路を経て前記撮像カメラの視野内に取り込む光学部品ユニットと、
   前記撮像カメラの視野内に取り込んだ前記複数の重畳マーク像の撮像結果を画像処理し、前記複数枚の基板の相互位置を位置認識する画像認識手段と、を備えたことを特徴とする画像認識装置。
2. 前記光学部品ユニットは、各分岐撮像光路を前記主撮像光路に向くように光路変更する複数のマーク側ミラーと、
   前記各分岐撮像光路を前記主撮像光路に光路接続する複数のカメラ側ミラーと、を有していることを特徴とする請求項１に記載の画像認識装置。
3. 前記光学部品ユニットは、各分岐撮像光路を前記主撮像光路に向くように光路変更する複数のマーク側ミラーと、
   前記各分岐撮像光路を前記主撮像光路に光路接続する複数のハーフミラーと、を有していることを特徴とする請求項１に記載の画像認識装置。
4. 前記複数の分岐撮像光路のうちの任意の１の前記分岐撮像光路は、前記主撮像光路の光軸上に配設され、最遠に位置する前記ハーフミラーが任意の１の前記マーク側ミラーを兼ねていることを特徴とする請求項３に記載の画像認識装置。
5. 前記光学部品ユニットは、前記主撮像光路に設けられたカメラ側偏光板と、前記複数の分岐撮像光路にそれぞれ設けられた複数のマーク側偏光板と、前記撮像カメラにより撮像される前記複数の重畳マーク像の明暗を判別する明暗判別手段と、をさらに有し、
   前記複数のマーク側偏光板は、それぞれ異なる振動方向に偏光されるよう配置されると共に、前記カメラ側偏光板は、偏光する振動方向を可変自在に構成されていることを特徴とする請求項３または４に記載の画像認識装置。
6. 前記光学部品ユニットは、前記複数の分岐撮像光路にそれぞれ設けられた色彩の異なる複数のカラーフィルタと、前記複数のカラーフィルタにより色付けされた前記複数の重畳マーク像の色彩を判別する色彩判別手段と、をさらに有することを特徴とする請求項３または４に記載の画像認識装置。
7. 前記主撮像光路と前記各分岐撮像光路とを合わせたそれぞれの光路長が、前記撮像カメラの被写界深度内に納まるように設定されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の画像認識装置。
8. 前記撮像カメラが、オートフォーカス機能を有していることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の画像認識装置。
9. 請求項１ないし８のいずれかに記載の画像認識装置と、
   前記画像認識装置の認識結果に基づいて、前記複数枚の基板をＸ・Ｙ・θ方向に相対的に移動させて位置合わせを行う位置合わせ手段と、
   を備えたことを特徴とする基板の位置合わせ装置。
10. 請求項９に記載の基板の位置合わせ装置と、
    前記位置合わせ手段により位置決めされた前記複数枚の基板を、Ｚ方向に相対的に移動させて張り合わせる張り合わせ手段と、
    を備えたことを特徴とする基板の張り合わせ装置。

Images