JP2007121793A - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の液晶表示装置は、透明基板11上にマトリクス状に設けられた複数の信号線17及び走査線16と、前記走査線に平行に設けられた補助容量線18と、薄膜トランジスタTFTと、前記薄膜トランジスタTFTのドレイン電極Dに電気的に接続された画素電極20とを備えた液晶表示装置10において、走査線16及び補助容量線18と信号線17との交差部は、それぞれゲート絶縁膜251、252及び半導体層191、192により分離されているとともに、画素電極20が位置する部分の補助容量線18の表面にはゲート絶縁膜25よりも厚さが薄い絶縁層26を介して前記薄膜トランジスタTFTのドレイン電極Dが延在されていることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
前記走査線と信号線の交差部及び補助容量線と信号線の交差部はそれぞれゲート絶縁膜及び互いに独立して設けられた半導体層により分離されており、
更に、前記補助容量線の表面には前記ゲート絶縁膜の厚さよりも薄い絶縁層を介して前記薄膜トランジスタのドレイン電極が延在されていることを特徴とする。
また、請求項5に係る発明は、請求項1に記載の液晶表示装置において、前記画素電極と前記ドレイン電極との間には層間絶縁膜が形成されており、前記層間絶縁膜の前記補助容量線上に位置する部分にはコンタクトホールが形成されており、前記コンタクトホールを介して前記画素電極と前記ドレイン電極の前記補助容量線上に延在された部分とが電気的に接続されていることを特徴とする。
透明基板上に薄膜トランジスタのゲート電極に連なる走査線及び補助容量線を互いに平行に複数本配設する工程と、
前記透明基板上の全面を覆うようにゲート絶縁膜及び半導体層を順次形成する工程と、
前記半導体層を、前記ゲート電極の表面、前記走査線及び補助容量線と信号線の交差部に対応する位置を残して、選択的に除去する工程と、
露出している前記ゲート絶縁膜の一部をエッチングにより除去して前記ゲート絶縁膜の厚さよりも薄い絶縁層を形成する工程と、
前記走査線及び補助容量線上に位置する半導体層と前記絶縁層の表面に前記走査線に直交する方向に複数本の信号線を設け、前記走査線及び信号線の交点近傍に薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極を設けるとともに、前記ドレイン電極を前記補助容量線上の絶縁層を被覆するように延在させて補助容量を形成する工程と、
前記走査線及び信号線に囲まれた複数の領域のそれぞれに画素電極を形成するとともに、前記画素電極を前記薄膜トランジスタのドレイン電極に電気的に接続する工程と、
を含むことを特徴とする。
11、12 透明基板
13 アレイ基板
14 カラーフィルタ基板
15 液晶層
16 走査線
17 信号線
18 補助容量線
18a 補助容量電極
19、19G、191、192 半導体層
20 画素電極
22 カラーフィルタ
23 共通電極
24 導電物質層
25 ゲート絶縁膜
26 絶縁層
28 保護絶縁膜
29 層間膜
30 コンタクトホール
Claims (13)
- 透明基板上にマトリクス状に配置された複数の信号線及び走査線と、前記走査線間に平行に設けられた複数の補助容量線と、前記信号線及び走査線の交点近傍に設けられた薄膜トランジスタと、前記信号線及び走査線により区画されるそれぞれの位置に配置されるとともに前記薄膜トランジスタのドレイン電極に電気的に接続された画素電極とを備えた液晶表示装置において、
前記走査線と信号線の交差部及び補助容量線と信号線の交差部はそれぞれゲート絶縁膜及び互いに独立して設けられた半導体層により分離されており、
更に、前記補助容量線の表面には前記ゲート絶縁膜の厚さよりも薄い絶縁層を介して前記薄膜トランジスタのドレイン電極が延在されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 前記ゲート絶縁膜及び絶縁層は同一の材料からなることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記ゲート絶縁膜は複層構造を有し、前記絶縁層は前記複層構造のゲート絶縁膜の少なくとも一層と同一の材料からなることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記ゲート絶縁膜の厚さは2500〜5500Åであり、前記絶縁層の厚さは500〜1500Åであることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記画素電極と前記ドレイン電極との間には層間絶縁膜が形成されており、前記層間絶縁膜の前記補助容量線上に位置する部分にはコンタクトホールが形成されており、前記コンタクトホールを介して前記画素電極と前記ドレイン電極の前記補助容量線上に延在された部分とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記画素電極の前記薄膜トランジスタ及び補助容量線上に位置する背面、あるいは、前記画素電極の背面全域を覆うように反射板が形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液晶表示装置。
- 透明基板上に薄膜トランジスタのゲート電極に連なる走査線及び補助容量線を互いに平行に複数本配設する工程と、
前記透明基板上の全面を覆うようにゲート絶縁膜及び半導体層を順次形成する工程と、
前記半導体層を、前記ゲート電極の表面、前記走査線及び補助容量線と信号線の交差部に対応する位置を残して、選択的に除去する工程と、
露出している前記ゲート絶縁膜の一部をエッチングにより除去して前記ゲート絶縁膜の厚さよりも薄い絶縁層を形成する工程と、
前記走査線及び補助容量線上に位置する半導体層と前記絶縁層の表面に前記走査線に直交する方向に複数本の信号線を設け、前記走査線及び信号線の交点近傍に薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極を設けるとともに、前記ドレイン電極を前記補助容量線上の絶縁層を被覆するように延在させて補助容量を形成する工程と、
前記走査線及び信号線に囲まれた複数の領域のそれぞれに画素電極を形成するとともに、前記画素電極を前記薄膜トランジスタのドレイン電極に電気的に接続する工程と、
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記ゲート絶縁膜は同一原料を用いてそれぞれの層毎に基板温度を変えることによって複層構造としたことを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記基板温度は、最初のゲート絶縁膜の形成時が最も高く、更なるゲート絶縁膜の形成時に順次低くなるようにしたことを特徴とする請求項8に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記ゲート絶縁膜は同一原料を用いてそれぞれの層毎に周囲の雰囲気ガスの成分を換えることにより組成の異なる複層構造としたことを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記ゲート絶縁膜の厚さを2500〜5500Åとし、前記絶縁層の厚さを500〜1500Åとしたことを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記画素電極を形成する前に、前記透明基板の表面全体に層間絶縁膜を形成する工程と、前記層間絶縁膜の前記補助容量線上に位置する部分にコンタクトホールを設ける工程を含み、前記画素電極の形成時にコンタクトホールを介して前記ドレイン電極と前記画素電極とを電気的に接続するようにしたことを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記画素電極を形成する前に、前記画素電極の薄膜トランジスタ及び補助容量線に対応する位置の背面、あるいは、前記画素電極の背面全域を覆うように反射板を形成する工程を更に備えることを特徴とする請求項7〜12のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
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