JP2007111845A - シート切断用テーブル - Google Patents

Abstract

【課題】切断を行う際に、接着シートに皺が発生することを防止して当該接着シートを精度よく切断することのできるシート切断用テーブルを提供すること。
【解決手段】半導体ウエハＷに接着シートＳを貼付した後、半導体ウエハＷの外周からはみ出した不要接着シート領域を不要接着シートＳ１として切断装置１５で切断するためのシート切断用のテーブル１３であり、当該テーブル１３は、半導体ウエハＷを支持する内側テーブル５２と、半導体ウエハＷの外側にはみ出した不要接着シートＳ１に相対する外側テーブル５１とを備える。この外側テーブル５１の上面は非接着処理面５１Ａと、接着シートＳを接着させるリング部材５３若しくは板材６３からなる接着部材を備えている。
【選択図】図４

Description

本発明はシート切断用テーブルに係り、更に詳しくは、板状部材に接着された接着シートを当該板状部材の外周に沿って切断する際に、接着シートに皺を発生させることなく切断を行うことのできるシート切断用テーブルに関する。

従来より、半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）等の板状部材には、その回路面を保護するための保護シートを貼付したり、裏面又は表面に感熱接着性の接着シートを貼付することが行われている。

このようなシートの貼付方法としては、帯状の剥離シートに帯状の接着シートが仮着された原反を用い、剥離シートから接着シートを剥離してウエハに貼付した後に、ウエハ外周に沿って切断を行うことでウエハ上に接着シートを貼付する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２−１７６０１１号公報

しかしながら、特許文献１に開示された切断装置にあっては、ウエハ回りに生ずる不要接着シートをテーブルから剥離しなければならない。そこで、剥離の引張力によって細くなった不要接着シート部分がテーブルに強く接着して切れてしまうことがないように、テーブルの上面に特殊な加工、例えば、フッ素樹脂加工に代表されるような表面処理を施して非接着処理面とすることが通常となっている。
しかしながら、このような非接着処理面がウエハ回りのテーブルの上面全域に施されていると、カッター刃での切断の際に、接着シートが引っ張られ移動してしまうことによって皺が発生し、ウエハＷ側にまで皺が混入してしまい、ウエハ外周に沿って接着シートが綺麗に切断できなくなる、という不都合を招来する。このような不具合はカッター刃の磨耗が進むにつれより顕著に現れる。

［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、切断を行う際に、接着シートに皺が発生することを防止して当該接着シートを精度よく切断することのできるシート切断用テーブルを提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明は、板状部材の平面積よりも大きい平面積を備えた接着シートを前記板状部材に貼付した後、当該板状部材の外周からはみ出した領域を不要接着シートとして切断装置によって切断するためのシート切断用テーブルにおいて、
前記板状部材の載置面となる内側テーブルと、この内側テーブルの外側に位置して前記不要接着シート領域に相対する外側テーブルとを含み、
前記外側テーブルの上面は非接着処理面として構成されているとともに、その一部領域に前記不要接着シート領域が接着可能な接着部材が設けられる、という構成を採っている。

本発明において、前記接着部材は前記シート切断用テーブルに着脱可能であって、前記接着シートの接着力に応じてその接着面積を増減可能に設けることができる。

また、前記接着部材は１または複数によって構成され、前記シート切断用テーブルに着脱可能であって、前記接着シートの接着力に応じてその数量を増減可能に設けることもできる。

更に、前記接着部材は前記板状部材の外周を囲む閉ループ状に設けられるとよい。

また、前記接着部材は前記板状部材の外周側で断続的に設けられる、という構成を採用してもよい。

更に、前記接着部材は熱伝導または、ヒータによって加温可能である、という構成を採ることができる。

本発明によれば、外側テーブルの上面を非接着処理面として構成し、その一部領域に接着シートが接着可能な接着部材を設けているため、不要接着シート領域は、部分的に接着部材に接着することとなる。従って、カッター刃によって接着シートに引張力が作用しても、ウエハ回りの不要接着シート領域は移動することがなくなり、接着シートに生じ得る皺の発生を回避して切断を精度よく行うことができる。

特に、接着部材が板状部材の外周を囲む閉ループ状に設けられていれば、接着シートに皺を発生させる余地を完全に無くすことができ、切断精度を更に高めることができる。

また、前記接着部材が板状部材の外周側で断続的に設けられている場合でも、接着面の位置、配分を工夫することで、接着シートに皺を発生させることが防止可能となる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

図１には、本発明に係るシート切断用テーブルが適用されたシート貼付装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、ベース１１の上部に配置されたシート繰出ユニット１２と、板状部材としてのウエハＷを支持するテーブル１３と、ウエハＷの上面側に繰り出された感圧接着性の接着シートＳに押圧力を付与して当該接着シートＳをウエハＷに貼付する押圧ローラ１４と、ウエハＷに接着シートＳを貼付した後に当該ウエハＷの外周に沿って接着シートＳを切断する切断装置１５と、ウエハＷの外側にはみ出した領域を不要接着シートＳ１（図３，図４参照）としてテーブル１３の上面から剥離する剥離装置１８と、不要接着シートＳ１を巻き取る巻取装置１９とを備えて構成されている。

前記シート繰出ユニット１２は、帯状の剥離シートＰＳの一方の面に帯状の接着シートＳが仮着されたロール状の原反Ｌを支持する支持ローラ２０と、この支持ローラ２０から繰り出された原反Ｌを急激に反転して接着シートＳを剥離シートＰＳから剥離するピールプレート２２と、剥離シートＰＳを巻き取って回収する回収ローラ２３と、支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３１と、ガイドローラ２５，２６間に配置されたバッファローラ３３と、ガイドローラ２７，２８間に配置されるとともに、ロードセル３９及び当該ロードセル３９に支持されて前記ピールプレート２２の基部側に位置する張力測定ローラ４０とを含む張力測定手段３５と、ピールプレート２２、ガイドローラ２７，２８，２９及び張力測定手段３５を一体的に支持して前記押圧ローラ１４と相互に作用してウエハＷに対する接着シートＳの貼付角度θを一定に保つ貼付角度維持手段３７とを備えて構成されている。前記ガイドローラ２７，２９には、ブレーキシュー３２，４２が併設されており、これらブレーキシュー３２，４２は、接着シートＳをウエハＷに貼付する際に、シリンダ３８、４８によって対応するガイドローラ２７，２９に対して進退することによって接着シートＳを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている。

なお、前記シート繰出ユニット１２並びに当該ユニットを構成する前記張力測定手段３５及び貼付角度維持手段３７は、本出願人によって出願された特願２００５−１９８８０６号に開示されたものと同一であり、ここでは、それらの詳細な説明を省略する。

前記テーブル１３は、図３及び図４に示されるように、ウエハＷを吸着支持して当該ウエハＷの載置面をなす平面視略円形の内側テーブル５２と、この内側テーブル５２の外周縁との間に隙間Ｃを形成するように設けられた平面視略方形の外側テーブル５１とにより構成されている。外側テーブル５１は内側テーブル５２を受容可能な凹部を備えているとともに、図示しない単軸ロボットを介してベース１１に対して昇降可能に設けられている。この一方、内側テーブル５２は、単軸ロボット５６を介して外側テーブル５１に対して昇降可能に設けられている。従って、外側テーブル５１と内側テーブル５２は、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能とされ、これにより、接着シートＳの厚み、ウエハＷの厚みに応じて所定の高さ位置に調整できるようになっている。

前記外側テーブル５１は、その上面にフッ素樹脂加工が施されて接着シートＳの接着面側が接着することのない非接着処理面５１Ａとして構成され、その内周領域に、非接着処を施していない接着部材を構成するステンレス材からなるリング部材５３が配置され、図示しない固定具によって固定されている。本実施形態では接着部材をステンレス材で構成したが、これに限定されることなく鉄材、アルミ材等によって構成してもよい。このリング部材５３は、ウエハＷ及び外側テーブル５１上に接着シートＳが位置して押圧ローラ１４で接着シートＳに貼付圧力が付与されたときに、ウエハＷの上面と共に接着シートＳが接着するようになっている。なお、リング部材５３は、その内部にニクロム線等によるヒータを仕込むことで、接着シートＳのリング部材５３への接着力をコントロールできるうえ、接着シートＳが感熱接着性の接着シートで、非感熱接着性であった場合の対応も可能となる。また、ヒータはリング部材５３内部ではなく、外側テーブル５１の内部に設けてリング部材５３を間接的に加温するように構成してもよい。そのうえ、図３、４中二点鎖線で示されるように、リング部材５３は複数装着可能とし、接着シートＳの接着力に応じてその数量が増減可能に設けられている。

前記押圧ローラ１４は、門型フレーム５７を介して支持されている。門型フレーム５７の上面側には、シリンダ５９，５９が設けられており、これらシリンダ５９の作動により押圧ローラ１４が上下に昇降可能に設けられている。なお、門型フレーム５７は、図２に示されるように、単軸ロボット６０及びガイドレール６１を介して同図中Ｘ方向に移動可能に設けられている。

前記切断装置１５は多関節ロボットにより構成されている。この切断装置１５は、ロボット本体６２と、当該ロボット本体６２の自由端側に支持されたカッター刃６３とを備えて構成されている。ロボット本体６２は、ベース部６４と、当該ベース６４部の上面側に配置されて所定方向に回転可能に設けられた第１アーム６５Ａ〜第６アーム６５Ｆと、第６アーム６５Ｆの先端側すなわちロボット本体５２の自由端側に取り付けられた工具保持チャック６９とを含む。工具保持チャック６９は、略円筒状をなすカッター刃受容体７０と、当該カッター刃受容体７０の周方向略１２０度間隔を隔てた位置に配置されて刃６３Ｂを有するカッター刃６３を着脱自在に保持する三つのチャック爪７１とを備えて構成されている。本実施形態における切断装置１５は、具体的には、本出願人によって既に出願された特願２００５−２２９２２６号に開示されたものと同一であり、従って、その詳細な説明を省略する。

前記剥離装置１８は、図１に示されるように、小径ローラ８０と、大径ローラ８１とにより構成されている。これら小径ローラ８０及び大径ローラ８１は、移動フレームＦに支持されている。この移動フレームＦは、図２中Ｙ方向沿って相対配置された前部フレームＦ１と、この前部フレームＦ１に連結部材８３を介して連結された後部フレームＦ２とからなり、後部フレームＦ２は、単軸ロボット８５に支持されている一方、前部フレームＦ１は、前記ガイドレール６１に支持され、これにより、移動フレームＦは、図２中Ｘ方向に移動可能となっている。大径ローラ８１は、アーム部材８４に支持されているとともに、当該アーム部材８４はシリンダ８８によって大径ローラ８１が小径ローラ８０に対して離間、接近する方向に変位可能とされている。

前記巻取装置１９は、移動フレームＦに支持された駆動ローラ９０と、回転アーム９１の自由端側に支持され、ばね９２を介して駆動ローラ９０の外周面に接して不要接着シートＳ１をニップする巻取ローラ９３とにより構成されている。駆動ローラ９０の軸端には、駆動モータＭが配置されており、当該モータＭの駆動により、駆動ローラ９０が回転し、巻取ローラ９３がこれに追従回転することで不要接着シートＳ１が巻き取られるようになっている。なお、巻取ローラ９３は、巻取量が増大するに従って、ばね９２の力に抗して図１中右方向へ回転することとなる。

次に、本実施形態における接着シートＳの切断方法について説明する。なお、接着シートＳの貼付方法は、実質的に、特願２００５−１９８８０６号と同一である。この際、ウエハＷ回りの不要接着シートＳ１は、前記リング部材５３の上面に対応する領域のみが比較的強固に接着し、その他の領域は、外側テーブル５１の上面すなわち非接着処理面５１Ａに微接着もしくは接着しない状態に保たれる。

切断装置１５は、図示しない制御装置の記憶部に格納された移動軌跡データを読み出し、刃６３Ｂが内側テーブル５２上にあるウエハＷの外周に沿って接着シートＳを切断する。この際、リング部材５３が不要接着シートＳ１に部分的に接着しているので、ウエハＷの外周縁とリング部材５３との間の接着シート領域は張設された状態となり、これにより、刃６３Ｂが移動する際にその引張力で接着シートＳが刃６３Ｂに引きづられて移動することがなくなり、ウエハＷ側に皺を発生させるようなことはない。

ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳの切断が完了した後、図示しない移載装置を介してウエハＷが内側テーブル５２から取り去られると、巻取装置１９によって不要接着シートＳ１が巻き取られる。この巻き取りに際して、不要接着シートＳ１は部分的にリング部材５３に接着しているだけなので、小径ローラ８０によって巻き上げることによって簡単に剥離が行え、不要接着シートＳ１の切れや伸び等の巻き取りにおける不具合は発生しない。なお、この巻き取りは、特願２００５−１９８８０６号に開示された作用と同一であるため、ここでは詳細な説明を省略する。

従って、このような実施形態によれば、ウエハＷの外周に沿って接着シートＳを切断する際に、ウエハＷ回りの不要接着シートＳ１の一部が閉ループの軌跡に沿ってリング部材５３の上面に接着するため、刃６３ＢがウエハＷの外周に沿って切断を行っている際に、切断位置より外側の不要接着シートＳ１領域が引っ張られて移動してしまうようなことがなくなり、これによって接着シートＳやウエハＷ側に皺等を発生させることなく切断を精度良く行うことができる、という効果を得る。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。

例えば、前記実施形態では、リング部材５３を複数装着可能とし、接着シートＳの接着力に応じてその数量を増減させる構成を示したが、それに替えて、リング部材５３の接着領域の大きさの違うものを数種類用意しておき、その接着力に応じて取り換えるようにしてもよい。また、前記実施形態では、接着面がウエハＷの外周に沿うリング部材５３によって構成された場合を図示説明したが、図５ないし図７に示される構成を採用することもできる。すなわち、図５に示される例は、外側テーブル５１の外形に対応して略方形の軌跡に沿うフレームからなる接着部材としての板材６３を複数配置したものである。図６に示される例は、外側テーブル５１の四方に接着部材としての板材６３を配置したものである。更に、図７に示される例は、内側テーブル５２の外周に沿って断続的に円盤状の接着部材としての板材６３を配置したものである。ここで、図７中、符号５１Ｂは、有底の穴を示し、当該穴５１Ｂに円盤状の板材６３が着脱自在に配置される。なお、前記板材６３を配置することなく、外側テーブル５１の上面処理に際して、接着部材に相当する領域に非接着処理を施さないことによって接着面を形成して接着部材に代替することもできる。

また、前記実施形態では、板状部材としてウエハＷを対象としたが、本発明における板状部材は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また板状部材は、円形のものに限らず、多角形状であってもよい。

本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。 前記シート貼付装置の概略斜視図。 シート切断用テーブルの概略平面図。 図３のＡ−Ａ線に沿う矢視拡大断面図。 シート切断用テーブルの変形例を示す概略平面図。 シート切断用テーブルの他の変形例を示す概略平面図。 シート切断用テーブルの更に他の変形例を示す概略平面図。

符号の説明

１３ テーブル
５１ 外側テーブル
５１Ａ 非接着処理面
５３ リング部材（接着部材）
６３ 板材（接着部材）
５２ 内側テーブル
Ｗ ウエハ（板状部材）
Ｓ 接着シート
Ｓ１ 不要接着シート

Claims (6)

1. 板状部材の平面積よりも大きい平面積を備えた接着シートを前記板状部材に貼付した後、当該板状部材の外周からはみ出した領域を不要接着シートとして切断装置によって切断するためのシート切断用テーブルにおいて、
   前記板状部材の載置面となる内側テーブルと、この内側テーブルの外側に位置して前記不要接着シート領域に相対する外側テーブルとを含み、
   前記外側テーブルの上面は非接着処理面として構成されているとともに、その一部領域に前記不要接着シート領域が接着可能な接着部材が設けられていることを特徴とするシート切断用テーブル。
2. 前記接着部材は前記シート切断用テーブルに着脱可能であって、前記接着シートの接着力に応じてその接着面積を増減可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート切断用テーブル。
3. 前記接着部材は１または複数によって構成され、前記シート切断用テーブルに着脱可能であって、前記接着シートの接着力に応じてその数量を増減可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート切断用テーブル。
4. 前記接着部材は前記板状部材の外周を囲む閉ループ状に設けられていることを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載のシート切断用テーブル。
5. 前記接着部材は前記板状部材の外周側で断続的に設けられていることを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載のシート切断用テーブル。
6. 前記接着部材は熱伝導または、ヒータによって加温可能であることを特徴とする請求項１ないし５の何れかに記載のシート切断用テーブル。

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