JP2021153144A - 転写装置および転写方法 - Google Patents

Abstract

【課題】装置が大型化することを防止することができる転写装置および転写方法を提供すること。【解決手段】被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付された第１接着シートＡＳ１を保持し、当該第１接着シートＡＳ１に張力を付与して被着体ＷＫから当該第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段１０と、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段２０とを備え、貼付手段２０は、剥離手段１０で第１接着シートＡＳ１を剥離中の被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に、第２接着シートＡＳ２を貼付可能に設けられている。【選択図】図１

Description

本発明は、転写装置および転写方法に関する。

被着体の一方の面から第１接着シートを剥離し、当該被着体の一方の面に第２接着シートを貼付する転写装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１６−１７８２４４号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたようなシート写装置１０（転写装置）では、剥離手段５０（剥離手段）によるウエハＷＦ（被着体）からの内側シートＡＳ１２（第１接着シート）の剥離が完了した後、貼付手段４０（貼付手段）による被着体への第２接着シートＡＳ２（第２接着シート）の貼付が行われる構成となっているため、装置が大型化するという不都合がある。

本発明の目的は、装置が大型化することを防止することができる転写装置および転写方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、第１接着シートを剥離中の被着体に第２接着シートを貼付するので、剥離手段と貼付手段との間隔を短くすることができ、装置が大型化することを防止することができる。

本発明の実施形態に係る転写装置の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

本発明の転写装置ＥＡは、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付された第１接着シートＡＳ１を保持し、当該第１接着シートＡＳ１に張力を付与して被着体ＷＫから当該第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段１０と、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段２０と、被着体ＷＫの近傍にフレーム部材としてのリングフレームＲＦを配置する移載手段３０とを備えている。
なお、本実施形態では、転写装置ＥＡは、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付された接着シートＡＳを切断し、当該接着シートＡＳを第１接着シートＡＳ１と、当該第１接着シートＡＳ１の外側に位置する外側シートＡＳＥとに分断するシート切断手段４０と、被着体ＷＫを支持して搬送する被着体搬送手段５０とで支持体転写装置ＥＡ１を構成している。

剥離手段１０は、保持手段としての帯状の剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ１１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ１２と、駆動機器としての直動モータ１３の出力軸１３Ａに回転可能に支持された剥離ローラ１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、転写装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離用テープＰＴに常に所定の張力を付与して当該剥離用テープＰＴを回収する回収ローラ１６とを備えている。

貼付手段２０は、第２接着シートＡＳ２が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、剥離縁２３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから第２接着シートＡＳ２を剥離する剥離手段としての剥離板２３と、被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、転写装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ２５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ２６とを備え、剥離手段１０で第１接着シートＡＳ１を剥離中の被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に、第２接着シートＡＳ２を貼付可能に設けられている。
本実施形態の場合、貼付手段２０は、リングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を貼付する構成となっている。

移載手段３０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム３１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット３１と、先端アーム３１Ａでの支持が可能な被支持部３２Ａが設けられたブラケット３２と、ブラケット３２に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な吸着パッド３３と、リングフレームＲＦをストックするフレームケース３４と、リングフレームＲＦと共に外側シートＡＳＥを回収する回収ケース３５とを備えている。

シート切断手段４０は、移載手段３０と共有する多関節ロボット３１と、先端アーム３１Ａでの支持が可能な被支持部４１Ａが設けられたブラケット４１と、ブラケット４１に支持された切断部材としての切断刃４２とを備えている。

被着体搬送手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な外側支持面５２Ａを有する外側テーブル５２と、外側テーブル５２に形成された凹部５２Ｂ内に配置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な内側支持面５３Ａを有する内側テーブル５３とを備えている。

以上の転写装置ＥＡを含む支持体転写装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された支持体転写装置ＥＡ１に対し、当該支持体転写装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段２０が回動モータ２５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板２３の剥離縁２３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ２５Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）中実線で示すように、接着シートＡＳを介してリングフレームＲＦに支持された被着体ＷＫを被着体搬送手段５０上に載置する。すると、被着体搬送手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、外側支持面５２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を開始するとともに、内側支持面５３Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。

その後、シート切断手段４０が多関節ロボット３１を駆動し、先端アーム３１Ａを被支持部４１Ａに嵌め込んで切断刃４２を支持し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、切断刃４２を接着シートＡＳに突き刺した後、当該切断刃４２を被着体ＷＫの外縁に沿って１周させ、接着シートＡＳを第１接着シートＡＳ１と外側シートＡＳＥとに分断する。次に、シート切断手段４０が多関節ロボット３１を駆動し、切断刃４２を初期位置に復帰させた後、移載手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、先端アーム３１Ａを被支持部３２Ａに嵌め込んで吸着パッド３３を支持し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、吸着パッド３３を外側シートＡＳＥの上面に当接させる。そして、移載手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド３３での外側シートＡＳＥの吸着保持を開始すると、被着体搬送手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、外側支持面５２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を解除する。次いで、移載手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、リングフレームＲＦと共に外側シートＡＳＥを回収ケース３５内に搬送した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド３３での外側シートＡＳＥの吸着保持を解除する。

その後、移載手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、フレームケース３４内にストックされているリングフレームＲＦの上面に吸着パッド３３を当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド３３でのリングフレームＲＦの吸着保持を開始する。次に、移載手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、リングフレームＲＦを外側支持面５２Ａ上に載置すると、被着体搬送手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、当該外側支持面５２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を開始する。そして、移載手段３０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド３３でのリングフレームＲＦの吸着保持を解除した後、多関節ロボット３１を駆動し、吸着パッド３３および各アームを初期位置に復帰させる。

次いで、被着体搬送手段５０がリニアモータ５１を駆動し、外側テーブル５２を左方へ移動させ、図１（Ｂ）に示すように、第１接着シートＡＳ１の左端部が剥離ローラ１４の最下部直下に到達すると、リニアモータ５１の駆動を停止する。その後、剥離手段１０が直動モータ１３を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、剥離ローラ１４を下降させて剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１の左端部に貼付する。次に、剥離手段１０および被着体搬送手段５０が回動モータ１５Ａおよびリニアモータ５１を駆動し、外側テーブル５２を左方へ移動させるとともに、その移動速度に合わせて駆動ローラ１５を回転させる。これにより、第１接着シートＡＳ１が被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１から剥離され、剥離された第１接着シートＡＳ１は、剥離用テープＰＴと共に回収ローラ１６方向に送られる。

そして、被着体ＷＫが所定の位置に到達すると、貼付手段２０が回動モータ２５Ａを駆動し、被着体ＷＫの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、第２接着シートＡＳ２が剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された第２接着シートＡＳ２は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ２４によってリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に押圧されて貼付される。なお、被着体ＷＫへの第２接着シートＡＳ２の貼付タイミングは、剥離手段１０で被着体ＷＫから第１接着シートＡＳ１を剥離している最中となっている。

その後も、外側テーブル５２の左方への移動が続行され、被着体ＷＫから第１接着シートＡＳ１全体が剥離されると、剥離手段１０が直動モータ１３を駆動し、剥離ローラ１４を初期位置に復帰させた後、回動モータ１５Ａの駆動を停止する。次いで、先頭の第２接着シートＡＳ２全体が被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦに貼付され、当該先頭の第２接着シートＡＳ２に続く次の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板２３の剥離縁２３Ａで所定長さ剥離されると、貼付手段２０が回動モータ２５Ａの駆動を停止する。
その後、外側テーブル５２が押圧ローラ２４の左方所定位置に到達すると、被着体搬送手段５０がリニアモータ５１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、外側支持面５２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を解除するとともに、内側支持面５３Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が、第２接着シートＡＳ２を介してリングフレームＲＦに支持された被着体ＷＫを次工程に搬送すると、被着体搬送手段５０がリニアモータ５１を駆動し、外側テーブル５２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、第１接着シートＡＳ１を剥離中の被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を貼付するので、剥離手段１０と貼付手段２０との間隔を短くすることができ、装置が大型化することを防止することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段１０は、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付された第１接着シートＡＳ１を保持し、当該第１接着シートＡＳ１に張力を付与して被着体ＷＫから当該第１接着シートＡＳ１を剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

剥離手段１０は、被着体ＷＫを移動させずにまたは移動させつつ自身が移動し、第１接着シートＡＳ１に張力を付与して被着体ＷＫから当該第１接着シートＡＳ１を剥離する構成でもよいし、第１接着シートＡＳ１を保持可能な保持手段を多関節ロボット３１の先端アーム３１Ａで支持し、保持した第１接着シートＡＳ１に張力を付与して被着体ＷＫから当該第１接着シートＡＳ１を剥離する構成としてもよい。

貼付手段２０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第２接着シートＡＳ２とされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第２接着シートＡＳ２としてもよいし、帯状の第２接着シートＡＳ２を被着体ＷＫに貼付する構成でもよいし、第２接着シートＡＳ２を剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ２５Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ２１やガイドローラ２２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから当該原反ＲＳを引き出すように支持してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第２接着シートＡＳ２を保持し、当該保持部材で保持した第２接着シートＡＳ２を被着体ＷＫに押圧して貼付する構成の押圧手段を採用してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、被着体ＷＫを移動させずにまたは移動させつつ自身が移動し、被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を貼付してもよいし、剥離シートＲＬが仮着されていない第２接着シートＡＳ２を繰り出して被着体ＷＫに貼付してもよいし、被着体ＷＫのみに第２接着シートＡＳ２を貼付する構成でもよい。

移載手段３０は、リングフレームＲＦを被着体ＷＫの近傍に配置する駆動機器（多関節ロボット３１）をシート切断手段４０と共有させなくてもよいし、外側シートＡＳＥを第１接着シートＡＳ１の周辺から取り除くだけの構成でもよいし、外側シートＡＳＥを第１接着シートＡＳ１の周辺から取り除くことなく、被着体ＷＫの近傍にリングフレームＲＦを配置する構成でもよいし、多関節ロボット３１に対して吸着パッド３３等が着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、吸着パッド３３等の着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、本発明の転写装置に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

シート切断手段４０は、切断刃４２を移動させずにまたは移動させつつ接着シートＡＳを移動させ、当該接着シートＡＳを切断してもよいし、切断刃４２を移動させる駆動機器（多関節ロボット３１）を移載手段３０と共有させなくてもよいし、上記の実施形態のように、切断刃４２の切っ先が被着体ＷＫから遠ざかる方向に当該切断刃４２を傾斜させて接着シートＡＳを切断してもよいし、切っ先が被着体ＷＫに接近する方向に当該切断刃４２を傾斜させて接着シートＡＳを切断してもよいし、切っ先が被着体ＷＫから遠ざかる方向または接近する方向にも傾斜させることなく接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁に切断刃４２を押し当てるようにして接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁と同形状となるように接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも被着体ＷＫから離れた位置で接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも内側で接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁の形状とは関係なく接着シートＡＳを切断してもよいし、接着シートＡＳのみを切断してもよいし、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの両方を切断してもよいし、多関節ロボット３１に対して切断刃４２等が着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、切断刃４２等の着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、本発明の転写装置に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

被着体搬送手段５０は、外側支持面５２Ａおよび内側支持面５３Ａの少なくとも一方が吸着保持ができなくてもよいし、被着体ＷＫの上面とリングフレームＲＦの上面とが同一平面内に位置するように、被着体ＷＫの厚みやリングフレームＲＦの厚みに合わせて外側テーブル５２および内側テーブル５３の少なくとも一方が昇降する構成でもよいし、外側テーブル５２と内側テーブル５３とが一体であってもよいし、本発明の転写装置に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

転写装置ＥＡは、支持体転写装置ＥＡ１を構成するものでなくてもよく、例えば、被着体ＷＫを研削する研削装置、被着体ＷＫを個片化するダイシング装置、被着体ＷＫに印刷を行うプリンタ等に採用されてもよいし、単体で使用されてもよい。
被着体ＷＫは、リングフレームＲＦに支持されることなく、接着シートＡＳまたは第１接着シートＡＳ１が貼付されているだけでもよいし、一方の面ＷＫ１の反対側の面に図示しない接着シートが貼付されていてもよい。
第１接着シートＡＳ１は、接着シートＡＳを切断して作成されたものでなくてもよい。
フレーム部材は、環状でもよいし、環状でなくてもよいし、本発明の転写装置に採用されてもよいし、採用されなくてもよい。

本発明における接着シートＡＳ、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳ、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および剥離用テープＰＴは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第２接着シートＡＳ２や剥離用テープＰＴが採用された場合は、当該第２接着シートＡＳ２や剥離用テープＰＴを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳ、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳ、第１接着シートＡＳ１および第２接着シートＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ 転写装置
１０ 剥離手段
２０ 貼付手段
３０ 移載手段
ＡＳ１ 第１接着シート
ＡＳ２ 第２接着シート
ＲＦ リングフレーム（フレーム部材）
ＷＫ 被着体
ＷＫ１ 一方の面

Claims (3)

1. 被着体の一方の面に貼付された第１接着シートを保持し、当該第１接着シートに張力を付与して前記被着体から当該第１接着シートを剥離する剥離手段と、
   前記被着体の一方の面に第２接着シートを貼付する貼付手段とを備え、
   前記貼付手段は、前記剥離手段で前記第１接着シートを剥離中の前記被着体の一方の面に、前記第２接着シートを貼付可能に設けられていることを特徴とする転写装置。
2. 前記被着体の近傍にフレーム部材を配置する移載手段を備え、前記貼付手段は、前記フレーム部材および前記被着体に前記第２接着シートを貼付することを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
3. 被着体の一方の面に貼付された第１接着シートを保持し、当該第１接着シートに張力を付与して前記被着体から当該第１接着シートを剥離する剥離工程と、
   前記被着体の一方の面に第２接着シートを貼付する貼付工程とを実施し、
   前記貼付工程では、前記剥離工程で前記第１接着シートを剥離中の前記被着体の一方の面に、前記第２接着シートを貼付することを特徴とする転写方法。

Images