JP2002176011A - テープ貼り機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型で低価格なテープ貼付装置を提供する。 【解決手段】 第１の駆動車２３及び第２の駆動車２６
の正転，逆転，停止の組み合わせによって、移動車２１
の回転及び移動を行い、剥離ローラ１８を駆動する。ま
た、一つのモータの出力を図示しないクラッチ機構によ
って適宜分けて、第１の駆動車２３及び第２の駆動車２
６の駆動，貼付ローラ１７の駆動，送りねじ３２の駆動
を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハを粘
着テープに貼り付けるテープ貼り機に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体ウエハのスクライブ
（ダイシング）工程の前に、半導体ウエハと、リング上
のフレームとを粘着テープに貼り付ける工程が行われて
おり、この工程を自動化する装置として、例えば特開平
１−２０７９４３号公報に記載の装置等が提案されてい
る。特開平１−２０７９４３号公報に記載の装置では、
貼付ローラと剥離ローラとを適宜駆動することによっ
て、テープの貼付及び不要な残滓テープの剥離を自動で
行えるようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の装置は、貼付ローラの移動、剥離ローラの自転、剥離
ローラの移動等の各動作を行うために、モータ，エアシ
リンダ等のアクチュエータを各々の動作毎に設ける必要
があり、装置が大型になると共に、製造コストも高いと
いう問題があった。

【０００４】本発明の課題は、小型で低価格なテープ貼
付装置を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、以下のような
解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容
易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付
して説明するが、これに限定されるものではない。すな
わち、請求項１の発明は、片面に粘着性を有するテープ
（５０）の非粘着面側から前記テープを被貼付部材（４
１，４２）に対して押圧して貼り付ける貼付ローラ（１
７）と、前記被貼付部材に貼り付けられた前記テープを
貼付形状に切断する切断手段（６０）と、前記テープの
切断後の不要部分を剥離する剥離ローラ（１８）と、前
記剥離ローラと対になって前記テープを挟んで把持する
把持ローラ（１９）と、前記剥離ローラの回転及び前記
テープの送り方向に沿った方向の移動を行うローラ駆動
部（２０）と、を備えたテープ貼り機において、前記ロ
ーラ駆動部は、前記剥離ローラと同軸で一体に設けら
れ、回転及び前記テープの送り方向に沿った方向に移動
可能な移動車（２１）と、駆動力を得て回転駆動する第
１の駆動車（２３）と、前記第１の駆動車に対して前記
テープの送り方向に沿った方向に設けられた 第１の従
動車（２４）と、前記第１の駆動車及び前記第１の従動
車に掛けられた第１の巻き掛け伝導部材（２５）と、駆
動力を得て回転駆動する第２の駆動車（２６）と、前記
第２の駆動車に対して前記テープの送り方向に沿った方
向に設けられた第２の従動車（２７）と、前記第２の駆
動車及び前記第２の従動車に掛けられた第２の巻き掛け
伝導部材（２８）とを備え、前記第１の巻き掛け伝導部
材は、前記移動車に掛けられ、前記第２の巻き掛け伝導
部材は、前記移動車の前記第１の巻き掛け伝導部材が掛
けられている位置と略回転対称な位置に掛けられている
こと、を特徴とするテープ貼り機である。

【０００６】請求項２の発明は、片面に粘着性を有する
テープの非粘着面側から前記テープを被貼付部材に対し
て押圧して貼り付ける貼付ローラと、前記被貼付部材に
貼り付けられた前記テープを貼付形状に切断する切断手
段と、前記テープの切断後の不要部分を剥離する剥離ロ
ーラと、前記貼付ローラと対になって前記テープを挟ん
で把持する把持ローラと、前記貼付ローラの回転及び前
記テープの送り方向に沿った方向の移動を行うローラ駆
動部と、を備えたテープ貼り機において、前記ローラ駆
動部は、前記貼付ロ−ラと同軸で一体に設けられ、回転
及び前記テープの送り方向に沿った方向に移動可能な移
動車と、駆動力を得て回転駆動する第１の駆動車と、前
記第１の駆動車に対して前記テープの送り方向に沿った
方向に設けられた第１の従動車と、前記第１の駆動車及
び前記第１の従動車に掛けられた第１の巻き掛け伝導部
材と、駆動力を得て回転駆動する第２の駆動車と、前記
第２の駆動車に対して前記テープの送り方向に沿った方
向に設けられた 第２の従動車と、前記第２の駆動車及
び前記第２の従動車に掛けられた第２の巻き掛け伝導部
材とを備え、前記第１の巻き掛け伝導部材は、前記移動
車に掛けられ、前記第２の巻き掛け伝導部材は、前記移
動車の前記第１の巻き掛け伝導部材が掛けられている位
置と略回転対称な位置に掛けられていること、を特徴と
するテープ貼り機である。

【０００７】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載のテープ貼り機において、前記ローラ駆動部（２
０）は、同一の駆動源から出力を分けて前記第１及び第
２の駆動車（２３，２６）の正転、逆転、停止を任意に
組み合わせて行うクラッチ機構を有すること、を特徴と
するテープ貼り機である。

【０００８】請求項４の発明は、請求項１から請求項３
までのいずれか１項に記載のテープ貼り機において、前
記被貼付部材（４１，４２）を保持し、テープ貼り位置
と取り出し位置とを移動する保持部（３０）を備え、前
記クラッチ機構は、前記移動車（２１）と同軸になって
いない前記貼付ロ−ラ（１７）又は前記剥離ローラと、
前記保持部（３０）とにも前記駆動源から出力を分ける
こと、を特徴とするテープ貼り機である。

【０００９】請求項５の発明は、請求項１から請求項４
までのいずれか１項に記載のテープ貼り機において、前
記移動車（２１）、前記第１及び第２の駆動車（２３，
２６），従動車（２４，２７），巻き掛け伝導部材（２
５，２８）は、歯付ベルト車及び歯付ベルト、又は、鎖
歯車及びチェーン、又は、ピンオンギヤ及びラックであ
ることを特徴とするテープ貼り機である。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面等を参照しながら、本
発明の実施の形態について、更に詳しく説明する。図１
は、本発明によるテープ貼り機の実施形態を示す図であ
る。尚、図１中のＸ，Ｙ，Ｚは、座標軸を表し、ＣＷ
（時計回り），ＣＣＷ（反時計回り）は、ＸＹ面におけ
る回転方向を表すものとする。本実施形態におけるテー
プ貼り機は、供給ローラ１１，残滓巻き取りローラ１
２，セパレータ巻き取りローラ１３，ガイドローラ１
４，１５，１６，貼付ローラ１７，剥離ローラ１８，把
持ローラ１９を有するテープ送り機構と、移動車２１，
ガイドローラ２２，第１の駆動車２３，第１の従動車２
４，第１のベルト２５，第２の駆動車２６，第２の従動
車２７，第２のベルト２８を有するローラ駆動部２０
と、テーブル３１，送りねじ３２を有する保持部３０と
を備え、半導体ウエハ４１とフレーム４２にテープ５０
を所定の範囲だけ貼り付ける装置である。

【００１１】供給ローラ１１は、未使用テープ５０Ａが
巻かれたローラであり、適度な回転抵抗が与えられてい
るので、不用意に回転してしまわないようになってい
る。

【００１２】残滓巻き取りローラ１２は、必要な部分を
取り除いた残滓テープを巻き取るローラであり、ごく弱
い巻き取り方向の回転力が与えられており、残滓テープ
５０Ｄが弛まないようになっている。

【００１３】セパレータ巻き取りローラ１３は、未使用
テープ５０Ａから剥がしたセパレータ５０Ｃを巻き取る
ローラである。

【００１４】ガイドローラ１４，１５，１６は、テープ
５０Ａ〜５０Ｄを所定の位置にガイドするローラであ
り、回転自在に設けられている。

【００１５】貼付ローラ１７は、テープ５０Ｂを半導体
ウエハ４１及びフレーム４２に押圧して貼り付けるロー
ラである。貼付ローラ１７は、回転自在に設けられると
共に、図示しないクラッチ機構から駆動力を得て、テー
プ５０の搬送方向（Ｘ軸方向）に移動をすることができ
るようになっている。

【００１６】剥離ローラ１８は、フレーム４２に貼り付
いている残滓テープ５０Ｄを剥がすローラであり、軸部
１８ａを介して移動車２１と一体に回転及び移動を行
う。

【００１７】把持ローラ１９は、テープ５０を挟んで図
示しない付勢手段によって剥離ローラ１８に押しつけら
れているローラであり、剥離ローラ１８の回転及び移動
に追従して回転及び移動を行う。

【００１８】移動車２１は、剥離ローラ１８と一体にな
って回転可能なベルト車であり、後述する第１及び第２
のベルト２５，２８が略回転対称な位置に掛けられてお
り、第１及び第２のベルト２５，２８の移動方向に応じ
て、回転、Ｘ軸方向の回転を行う。尚、本実施形態にお
いて使用する第１及び第２のベルト２５，２８は、歯付
のベルトであり、よって、移動車２１，後述する第１及
び第２の駆動車２３，２６，第１及び第２の従動車２
４，２７は、ベルトの歯型に対応した歯が設けられてい
る。

【００１９】ガイドローラ２２は、第１及び第２のベル
ト２５，２８が移動車２１に対して確実に掛けられるよ
うにするローラである。ガイドローラ２２は、ベルトの
歯が無い側に接するので、歯を有していない。

【００２０】第１の駆動車２３及び第２の駆動車２６
は、図示しないクラッチ機構から個別に駆動力を得て回
転するように支持されたベルト車である。

【００２１】第１の従動車２４及び第２の従動車２７
は、第１の駆動車２３及び第２の駆動車２６と同様の形
状をしたベルト車である。第１の駆動車２３と第１の従
動車２４の回転中心を結ぶ線、及び、第２の駆動車２６
と第２の従動車２７の回転中心を結ぶ線は、Ｘ軸に略平
行となるように配置されており、これらはＹ軸方向の位
置が異なっている。

【００２２】第１のベルト２５は、第１の駆動車２３と
第１の従動車２４に掛けられた歯付の巻き掛け伝導部材
である。一方、第２のベルト２８は、第２の駆動車２６
と第２の従動車２７に掛けられた歯付の巻き掛け伝導部
材である。また、第１のベルト２５と第２のベルト２８
は、いずれも移動車２１に掛けられており、第１のベル
ト２５は、移動車２１の＋Ｙ側に掛けられ、第２のベル
ト２８は、移動車２１の−Ｙ側に掛けられている。

【００２３】図２は、ローラ駆動部２０の基本的な動作
を説明する図である。ローラ駆動部２０は、第１及び第
２の駆動車２３，２６の回転を制御することによって移
動車２１に対して、３種類８通りの動作をさせることが
できる。

【００２４】図２（ａ）は、第１及び第２の駆動車２
３，２６を異なる方向に回転させた場合であり、この場
合、移動車２１は、回転せずに移動のみを行う。図２
（ａ）では、第１の駆動車２３がＣＷ方向の回転をし、
第２の駆動車２６がＣＣＷ方向の回転をしているので、
移動車２１は、＋Ｘ方向に移動する。この種類の動作
は、第１及び第２の駆動車２３，２６の回転方向をそれ
ぞれ入れ替えれば、移動車２１の移動方向は、−Ｘ方向
となるので、２通りの動作が可能である。

【００２５】図２（ｂ）は、第１及び第２の駆動車２
３，２６の一方を停止して、一方を回転した場合であ
り、この場合、移動車２１は、回転しながら移動を行
う。図２（ｂ）では、第１の駆動車２３が停止してお
り、第２の駆動車２６がＣＣＷ方向の回転をしているの
で、移動車２１は、ＣＣＷ方向に回転しながら＋Ｘ方向
に移動を行う。この種類の動作は、第１及び第２の駆動
車２３，２６のいずれを停止させるか、また、回転する
方向をいずれの方向にするかの組み合わせがあり、この
組み合わせにより、移動車２１の回転方向と移動方向の
全ての組み合わせ（４通り）を行うことができる。

【００２６】図２（ｃ）は、第１及び第２の駆動車２
３，２６を同じ方向に回転させた場合であり、この場
合、移動車２１は、移動せずに回転のみを行う。図２
（ｃ）では、第１及び第２の駆動車２３，２６がＣＣＷ
方向の回転をしているので、移動車２１は、その場で移
動せずにＣＣＷ方向の回転を行う。この種類の動作は、
第１及び第２の駆動車２３，２６の回転方向を変更すれ
ば、移動車２１の回転方向がＣＷ方向となるので、２通
りの動作が可能である。

【００２７】テーブル３１は、半導体ウエハ４１及びフ
レーム４２を吸着して保持するテーブルであり、送りね
じ３２によってテープ貼り位置と取り出し位置との間を
Ｚ軸方向に移動する。

【００２８】送りねじ３２は、貼付ロ−ラ１７，第１及
び第２の駆動車２３，２６に駆動力を与えているクラッ
チ機構から駆動力を得て、回転する送りねじである。

【００２９】クラッチ機構は、本実地形態では、一つの
図示しないモータの回転力をベルト駆動によって複数の
出力に分けると共に、出力軸を選択するクラッチを備え
た機構である。尚、クラッチ機構は、ベルト駆動に限ら
ず、ギヤ列を用いて構成してもよい。

【００３０】半導体ウエハ４１は、いわゆる前工程が終
了したウエハであり、スクライブを行う前の段階のウエ
ハである。

【００３１】フレーム４２は、後の工程でテープ５０に
貼り付けられた半導体ウエハ４１を保持する枠である。

【００３２】テープ５０は、粘着性を有するテープであ
り、未使用の状態（５０Ａ）では、粘着面にセパレータ
５０Ｃが貼り付けられている。

【００３３】（テープ貼り動作）図３及び図４は、テー
プ貼り動作を説明する図である。図３及び図４は、一連
の動作を示しており、図３（ａ）〜図３（ｄ）〜図４
（ｅ）〜図４（ｈ）という流れで動作が進む。以下、図
３及び図４に基づき、本実施形態におけるテープ貼り機
のテープ貼り動作について説明する。尚、剥離ローラ１
８の回転及び移動は、先に説明したローラ駆動部２０の
動作によって行うので、この部分の動作説明は、省略す
る。

【００３４】図３（ａ）は、一つ前のテープ貼り動作が
終了し、テーブル３１が取り出し位置に退避している状
態を示している。この状態で、テーブル３１にウエハ４
１及びフレーム４２をセットして吸着させる。このと
き、剥離ローラ１８をその場でＣＣＷ方向に回転させ
て、テープ５０の位置を所定量戻す。これは、図１中に
示した抜きあとの間隔Ｐを狭くし、テープの無駄を防ぐ
ための動作である。

【００３５】次に、剥離ローラ１８を回転させずに＋Ｘ
方向に移動する〔図３（ｂ）〕。このときには、剥離ロ
ーラ１８が回転していないので、剥離ローラ１８と把持
ローラ１９がテープ５０を把持したまま移動する。ま
た、このとき、貼付ローラ１７も＋Ｘ方向に移動する。

【００３６】剥離ローラ１８及び貼付ローラ１７が＋Ｘ
端の所定位置まで移動を終えると、ウエハ４１及びフレ
ーム４２がセットされたテーブル３１が貼付位置に送り
ねじ３２の回転によって移動する〔図３（ｃ）〕。

【００３７】テーブル３１の移動が終了すると、貼付ロ
ーラ１７が−Ｘ方向に移動を行い、テープ５０をウエハ
４１及びフレーム４２に貼り付けていく〔図３
（ｄ）〕。この貼付ローラ１７の移動を開始するとき
〔図３（ｃ）〕には、テープ５０に弛みが生じるので、
剥離ローラ１８を所定時間だけＣＷ方向に回転して、弛
みを除去する。

【００３８】貼付ローラ１７が−Ｘ端に移動して貼付が
終わると、＋Ｙ方向から切断手段であるカッタ６０が移
動してきて、フレーム４２の上でテープ５０を円形に切
断する〔図４（ｅ）〕。本実施形態では、カッタ６０の
駆動には、エアー駆動を用いた。

【００３９】切断が終わると、カッタ６０が＋Ｙ方向に
退避し、貼付ローラ１７が＋Ｘ方向に移動する〔図４
（ｆ）〕。このとき、貼付ローラ１７は、再度テープ５
０をウエハ４１及びフレーム４２に押圧しながら移動
し、＋Ｘ端で移動を終了する〔図４（ｇ）〕。

【００４０】最後に、剥離ローラ１８がＣＷ方向に回転
しながら−Ｘ方向へ移動を行うと共に、貼付ローラ１７
も−Ｘ方向へ移動を行い、残滓テープ５０Ｄを剥がして
いく〔図４（ｈ）〕。このときに、貼付ローラ１７がウ
エハ４１及びフレーム４２を押さえながら進むので、ウ
エハ４１及びフレーム４２がテーブル３１から剥がれる
ことなく確実に残滓テープ５０Ｄを剥がすことができ
る。

【００４１】本実施形態によれば、移動車２１，ガイド
ローラ２２，第１の駆動車２３，第１の従動車２４，第
１のベルト２５，第２の駆動車２６，第２の従動車２
７，第２のベルト２８を有するローラ駆動部２０を用い
たので、第１及び第２の駆動車２３，２６の回転制御の
みで剥離ローラ１８の回転及び移動を制御することがで
き、装置を小型で低価格にすることができる。また、一
つのモータの出力を、第１及び第２の駆動車２３，２６
の回転，貼付ローラ１７の移動及び送りねじ３２の回転
に適宜分けて出力するクラッチ機構を設けたので、更に
小型で低価格にすることができる。

【００４２】（変形形態）以上説明した実施形態に限定
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。例えば、本実施形
態において、ローラ駆動部２０は、歯付ベルトを利用し
た例を示したが、これに限らず、鎖歯車とチェーンを用
いてもよいし、ピニオンギヤとラックを用いてもよい。

【００４３】また、本実施形態において、剥離ローラ１
８をローラ駆動部２０によって駆動し、把持ローラ１９
は、剥離ローラ１８との間でテープ５０を把持する例を
示したが、これに限らず、貼付ローラ１７をローラ駆動
部によって駆動し、把持ローラ１９が貼付ローラ１７と
の間でテープ５０を把持するようにしてもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、移動車，第１の駆動車，第１の従動車，第１の巻
き掛け伝導部材，第２の駆動車，第２の従動車，第２の
巻き掛け伝導部材を有するローラ駆動部によって、剥離
ローラ又は貼付ローラの動作を行うので、テープ貼り機
を小型で低価格にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるテープ貼り機の実施形態を示す図
である。

【図２】ローラ駆動部２０の基本的な動作を説明する図
である。

【図３】テープ貼り動作の前半を説明する図である。

【図４】テープ貼り動作の後半を説明する図である。

【符号の説明】

１１ 供給ローラ １２ 残滓巻き取りローラ １３ セパレータ巻き取りローラ １４，１５，１６ ガイドローラ １７ 貼付ローラ １８ 剥離ローラ １９ 把持ローラ ２１ 移動車２１ ２２ ガイドローラ ２３ 第１の駆動車 ２４ 第１の従動車 ２５ 第１のベルト ２６ 第２の駆動車 ２７ 第２の従動車 ２８ 第２のベルト ３１ テーブル ３２ 送りねじ ４１ 半導体ウエハ ４２ フレーム４２ ５０ テープ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 片面に粘着性を有するテープの非粘着面
   側から前記テープを被貼付部材に対して押圧して貼り付
   ける貼付ローラと、 前記被貼付部材に貼り付けられた前記テープを貼付形状
   に切断する切断手段と、 前記テープの切断後の不要部分を剥離する剥離ローラ
   と、 前記剥離ローラと対になって前記テープを挟んで把持す
   る把持ローラと、 前記剥離ローラの回転及び前記テープの送り方向に沿っ
   た方向の移動を行うローラ駆動部と、 を備えたテープ貼り機において、 前記ローラ駆動部は、前記剥離ローラと同軸で一体に設
   けられ、回転及び前記テープの送り方向に沿った方向に
   移動可能な移動車と、 駆動力を得て回転駆動する第１の駆動車と、 前記第１の駆動車に対して前記テープの送り方向に沿っ
   た方向に設けられた第１の従動車と、 前記第１の駆動車及び前記第１の従動車に掛けられた第
   １の巻き掛け伝導部材と、 駆動力を得て回転駆動する第２の駆動車と、 前記第２の駆動車に対して前記テープの送り方向に沿っ
   た方向に設けられた第２の従動車と、 前記第２の駆動車及び前記第２の従動車に掛けられた第
   ２の巻き掛け伝導部材と、 を備え、 前記第１の巻き掛け伝導部材は、前記移動車に掛けら
   れ、 前記第２の巻き掛け伝導部材は、前記移動車の前記第１
   の巻き掛け伝導部材が掛けられている位置と略回転対称
   な位置に掛けられていること、 を特徴とするテープ貼り機。
2. 【請求項２】 片面に粘着性を有するテープの非粘着面
   側から前記テープを被貼付部材に対して押圧して貼り付
   ける貼付ローラと、 前記被貼付部材に貼り付けられた前記テープを貼付形状
   に切断する切断手段と、 前記テープの切断後の不要部分を剥離する剥離ローラ
   と、 前記貼付ローラと対になって前記テープを挟んで把持す
   る把持ローラと、 前記貼付ローラの回転及び前記テープの送り方向に沿っ
   た方向の移動を行うローラ駆動部と、 を備えたテープ貼り機において、 前記ローラ駆動部は、前記貼付ロ−ラと同軸で一体に設
   けられ、回転及び前記テープの送り方向に沿った方向に
   移動可能な移動車と、 駆動力を得て回転駆動する第１の駆動車と、 前記第１の駆動車に対して前記テープの送り方向に沿っ
   た方向に設けられた第１の従動車と、 前記第１の駆動車及び前記第１の従動車に掛けられた第
   １の巻き掛け伝導部材と、 駆動力を得て回転駆動する第２の駆動車と、 前記第２の駆動車に対して前記テープの送り方向に沿っ
   た方向に設けられた第２の従動車と、 前記第２の駆動車及び前記第２の従動車に掛けられた第
   ２の巻き掛け伝導部材と、 を備え、 前記第１の巻き掛け伝導部材は、前記移動車に掛けら
   れ、 前記第２の巻き掛け伝導部材は、前記移動車の前記第１
   の巻き掛け伝導部材が掛けられている位置と略回転対称
   な位置に掛けられていること、 を特徴とするテープ貼り機。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のテープ貼
   り機において、 前記ローラ駆動部は、同一の駆動源から出力を分けて前
   記第１及び第２の駆動車の正転、逆転、停止を任意に組
   み合わせて行うクラッチ機構を有すること、 を特徴とするテープ貼り機。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれか１
   項に記載のテープ貼り機において、 前記被貼付部材を保持し、テープ貼り位置と取り出し位
   置とを移動する保持部を備え、 前記クラッチ機構は、前記移動車と同軸になっていない
   前記貼付ロ−ラ又は前記剥離ローラと、前記保持部とに
   も前記駆動源から出力を分けること、 を特徴とするテープ貼り機。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４までのいずれか１
   項に記載のテープ貼り機において、 前記移動車、前記第１及び第２の駆動車、従動車、巻き
   掛け伝導部材は、歯付ベルト車及び歯付ベルト、又は、
   鎖歯車及びチェーン、又は、ピンオンギヤ及びラックで
   あること、 を特徴とするテープ貼り機。