JP2007050551A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007050551A JP2007050551A JP2005235520A JP2005235520A JP2007050551A JP 2007050551 A JP2007050551 A JP 2007050551A JP 2005235520 A JP2005235520 A JP 2005235520A JP 2005235520 A JP2005235520 A JP 2005235520A JP 2007050551 A JP2007050551 A JP 2007050551A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- flow path
- substrate
- forming substrate
- path forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【課題】 流路形成基板に基板を接合するための接着剤の応力に起因する振動板の破壊を防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 保護基板30の流路形成基板10との接合面には、接着剤の逃げとなる凹部34が圧電素子保持部31の周囲に複数設けられ、且つ供給路15に対応する領域では、供給路15の側壁17に対向する領域のみに凹部34が設けられているようにする。
【選択図】 図2
【解決手段】 保護基板30の流路形成基板10との接合面には、接着剤の逃げとなる凹部34が圧電素子保持部31の周囲に複数設けられ、且つ供給路15に対応する領域では、供給路15の側壁17に対向する領域のみに凹部34が設けられているようにする。
【選択図】 図2
Description
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板の表面に圧電素子を形成して、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの2種類が実用化されている。そして、たわみ振動モードのアクチュエータを使用したものとしては、例えば、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものが知られている。
また、このような圧電素子は、例えば、湿気等の外部環境に起因して破壊され易いという問題がある。このため、例えば、圧力発生室が形成される流路形成基板に、圧電素子保持部を有する基板を接合し、この圧電素子保持部内に並設された複数の圧電素子を密封するようにしたものがある(例えば、特許文献1参照)。
このような圧電素子保持部が形成された基板と流路形成基板とは、一般的に、接着剤によって接合されている。このため、両基板を接合する際に、余分な接着剤が圧電素子保持部内に流れ込み、圧電素子の変位を阻害してしまうという問題があった。そして、このような問題を解決するために、圧電素子保持部の周囲に余分な接着剤の逃げとなる複数の凹部を設けたものがある(例えば、特許文献2参照)。
このような構成とすることで、圧電素子保持部内への接着剤の流れ込みを防止することはできる。しかしながら、凹部内には余分な接着剤が流れ込み、この部分の接着剤の量(厚さ)が多くなっている。このため、接着剤の硬化収縮や基板との線膨張係数差の影響等により、凹部の下側の振動板にクラックが発生してしまうという問題がある。特に、流路形成基板を貫通するインク供給路等が近接して設けられている領域では、このような問題が生じやすい。なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、勿論、インク以外の液体を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、流路形成基板に基板を接合するための接着剤の応力に起因する振動板の破壊を防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
上記課題を解決する本発明の第1の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が並設されると共に供給路を介して各圧力発生室に連通する連通部が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接着剤によって接合され前記圧力発生室の列に対向する領域に前記圧電素子を保護する圧電素子保持部を有する保護基板とを有し、前記保護基板の前記流路形成基板との接合面には、前記接着剤の逃げとなる凹部が前記圧電素子保持部の周囲に複数設けられ、且つ前記供給路に対応する領域では、前記供給路の側壁に対向する領域のみに前記凹部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第1の態様では、振動板が流路形成基板によって実質的に補強されている領域に凹部を設けているため、比較的剛性の低い供給路に対応する領域であっても、接着剤の応力の増加に伴う振動板のクラックの発生が抑えられる。
かかる第1の態様では、振動板が流路形成基板によって実質的に補強されている領域に凹部を設けているため、比較的剛性の低い供給路に対応する領域であっても、接着剤の応力の増加に伴う振動板のクラックの発生が抑えられる。
本発明の第2の態様は、第1の態様において、前記凹部のそれぞれが、前記流路形成基板を貫通して設けられる貫通部以外の領域に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第2の態様では、接着剤の応力に起因する振動板の破壊をさらに確実に防止することができる。
かかる第2の態様では、接着剤の応力に起因する振動板の破壊をさらに確実に防止することができる。
本発明の第3の態様は、第1又は2の態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第3の態様では、耐久性及び信頼性に優れた液体噴射ヘッドを実現することができる。
かかる第3の態様では、耐久性及び信頼性に優れた液体噴射ヘッドを実現することができる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図であり、図3は図2のA−A’断面図及びB−B’断面図である。流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、図示するように、その一方の面には、二酸化シリコンからなり厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。この流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に沿って並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域には連通部13が形成されている。連通部13と各圧力発生室12とは、圧力発生室12と略同一幅で形成されるインク連通路14と、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されるインク供給路15を介して連通されている。なお、連通部13は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路15は、インク連通路14からを圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。また、本実施形態では、圧力発生室12の列の外側の領域に、圧力発生室12と同様に流路形成基板10を貫通する複数のダミーの圧力発生室16が設けられている。このダミーの圧力発生室16は、後述するノズルプレートを接着剤によって流路形成基板10に接合する際、余分な接着剤が圧力発生室12内に流れ込むのを防止する役割を果たす。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図であり、図3は図2のA−A’断面図及びB−B’断面図である。流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、図示するように、その一方の面には、二酸化シリコンからなり厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。この流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に沿って並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域には連通部13が形成されている。連通部13と各圧力発生室12とは、圧力発生室12と略同一幅で形成されるインク連通路14と、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されるインク供給路15を介して連通されている。なお、連通部13は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路15は、インク連通路14からを圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。また、本実施形態では、圧力発生室12の列の外側の領域に、圧力発生室12と同様に流路形成基板10を貫通する複数のダミーの圧力発生室16が設けられている。このダミーの圧力発生室16は、後述するノズルプレートを接着剤によって流路形成基板10に接合する際、余分な接着剤が圧力発生室12内に流れ込むのを防止する役割を果たす。
流路形成基板10の開口面側には、圧力発生室12を形成する際のエッチングマスクとして用いられたマスク膜51を介して、各圧力発生室12のインク供給路15とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート20は、厚さが例えば、0.01〜1mmで、線膨張係数が300℃以下で、例えば2.5〜20[×10-6/℃]であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼等からなる。
一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約1.0μmの弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、酸化ジルコニウム(ZrO2)からなり厚さが例えば、約0.4μmの絶縁体膜55が形成されている。さらに、この絶縁体膜55上には、白金(Pt)及びイリジウム(Ir)からなり厚さが例えば、約0.2μmの下電極膜60と、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)からなり厚さが例えば、約1.0μmの圧電体層70と、イリジウム(Ir)からなり厚さが例えば、約0.05μmの上電極膜80とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子300を構成している。
なお、圧電体層70の材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の強誘電性圧電性材料に、ニオブ、ニッケル、マグネシウム、ビスマス又はイットリウム等の金属を添加したリラクサ強誘電体等を用いてもよい。その組成は、圧電素子の特性、用途等を考慮して適宜選択すればよいが、例えば、PbTiO3(PT)、PbZrO3(PZ)、Pb(ZrxTi1−x)O3(PZT)、Pb(Mg1/3Nb2/3)O3−PbTiO3(PMN−PT)、Pb(Zn1/3Nb2/3)O3−PbTiO3(PZN−PT)、Pb(Ni1/3Nb2/3)O3−PbTiO3(PNN−PT)、Pb(In1/2Nb1/2)O3−PbTiO3(PIN−PT)、Pb(Sc1/3Ta2/3)O3−PbTiO3(PST−PT)、Pb(Sc1/3Nb2/3)O3−PbTiO3(PSN−PT)、BiScO3−PbTiO3(BS−PT)、BiYbO3−PbTiO3(BY−PT)等が挙げられる。
ここで圧電素子300とは、下電極膜60、圧電体層70及び上電極膜80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を圧力発生室12毎にパターニングして構成する。本実施形態では、下電極膜60を圧電素子300の共通電極とし、上電極膜80を圧電素子300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。
また、圧電素子300の個別電極である各上電極膜80には、リード電極90が接続されており、このリード電極90を介して、各圧電素子300に電圧が印加されるようになっている。
また、流路形成基板10の圧電素子300側の面には、圧力発生室12の列に対向する領域に圧電素子300を保護するための圧電素子保持部31を有する保護基板30が、接着剤35を介して接合されている。圧電素子300は、この圧電素子保持部31内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。なお、圧電素子保持部31は、密封されていてもよいが、勿論、密封されていなくてもよい。
また、保護基板30には、流路形成基板10の連通部13に対応する領域にリザーバ部32が設けられている。このリザーバ部32は、本実施形態では、保護基板30を厚さ方向に貫通して圧力発生室12の並設方向に沿って設けられており、上述したように流路形成基板10の連通部13と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100を構成している。さらに、圧電素子保持部31のリザーバ部32とは反対側の領域には、保護基板30を厚さ方向に貫通してリード電極90が露出される露出孔33が形成されている。そして、図示しないが、この露出孔33内に延設される接続配線によって、保護基板30上に実装される駆動ICと、リード電極90及び下電極膜60とが電気的に接続されている。
また、保護基板30の流路形成基板10との接合面側には、両基板を接着剤35によって接着する際、余分な接着剤の逃げとなる複数の凹部34が設けられている。本実施形態では、図2及び図3に示すように、圧電素子保持部31の周りを囲むように複数の凹部34が設けられている。なお、図面では省略しているが、実際には、リザーバ部32の周囲あるいは保護基板30の外周部にも、多数の凹部が形成されている。
ここで、凹部は、インク供給路15に対応する領域にも設けられているが、本発明では、インク供給路15に対応する領域では、各凹部34がインク供給路15の側壁17に対向する領域のみに設けられているようにしている。すなわち、流路形成基板10を貫通する貫通部であるインク供給路15に対向する領域には、凹部34が存在しないようにしている。また、図示しないが、本実施形態では、全ての領域において、流路形成基板10を貫通する貫通部に対向する領域に凹部34が存在しないようにしている。すなわち、インク供給路15だけでなく、上述したダミーの圧力発生室16等の貫通部に対向する領域にも、凹部34が存在しないようにしている。
このような構成とすることで、環境温度が変化した場合でも、振動板(弾性膜50及び絶縁体膜55)にクラックが生じることがなく耐久性が大幅に向上する。詳細に説明すると、流路形成基板10と保護基板30とを接着剤35によって接合する際、保護基板30の凹部34内には余分な接着剤が流れ込むため、この凹部34に対向する部分の接着剤35の量(厚さ)は多くなる(図3(b)参照)。このため、この部分の振動板には、接着剤35の硬化収縮、あるいは線膨張係数差の影響によるクラックが発生しやすい。インク供給路15に対応する領域では、特に、振動板にクラックが発生しやすい。しかしながら、上述したように、インク供給路15の側壁17に対向する領域内のみに凹部34が存在するようにすることで、凹部34に対向する領域の振動板の剛性が十分に高くなるため、接着剤35に起因するクラックの発生を防止することができる。すなわち、凹部34に対向する領域の振動板の下側には流路形成基板10が必ず存在し、流路形成基板10によって振動板が実質的に補強されるため、上述したクラックの発生は防止される。
また、このような凹部34を圧電素子保持部31の周囲に複数設けておけば、接着剤35が圧電素子300の振動領域、すなわち、圧力発生室12に対向する領域まで流れ込むのを防止することができる。
なお、保護基板30の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
また、保護基板30上には、封止膜41及び固定板42とからなるコンプライアンス基板40が接合されている。封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料(例えば、厚さが6μmのポリフェニレンサルファイド(PPS)フィルム)からなり、この封止膜41によってリザーバ部32の一方面が封止されている。また、固定板42は、金属等の硬質の材料(例えば、厚さが30μmのステンレス鋼(SUS)等)で形成される。この固定板42のリザーバ100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部43となっているため、リザーバ100の一方面は可撓性を有する封止膜41のみで封止されている。
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ100からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、保護基板30上に実装された駆動ICからの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの下電極膜60と上電極膜80との間に電圧を印加し、弾性膜50、絶縁体膜55、下電極膜60及び圧電体層70をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。
(他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。また、上述した実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図4は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図4に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。また、上述した実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図4は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図4に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている。
また、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
10 流路形成基板、 12 圧力発生室、 13 連通部、 14 インク連通部、 15 インク供給路、 16 ダミーの圧力発生室、 17 側壁、 20 ノズルプレート、 21 ノズル開口、 30 リザーバ形成基板、 31 圧電素子保持部、 32 リザーバ部、 34 凹部、 40 コンプライアンス基板、 60 下電極膜、 70 圧電体層、 80 上電極膜、 90 リード電極、 100 リザーバ、 300 圧電素子
Claims (3)
- ノズル開口に連通する圧力発生室が並設されると共に供給路を介して各圧力発生室に連通する連通部が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接着剤によって接合され前記圧力発生室の列に対向する領域に前記圧電素子を保護する圧電素子保持部を有する保護基板とを有し、
前記保護基板の前記流路形成基板との接合面には、前記接着剤の逃げとなる凹部が前記圧電素子保持部の周囲に複数設けられ、且つ前記供給路に対応する領域では、前記供給路の側壁に対向する領域のみに前記凹部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1において、前記凹部のそれぞれが、前記流路形成基板を貫通して設けられる貫通部以外の領域に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005235520A JP2007050551A (ja) | 2005-08-15 | 2005-08-15 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005235520A JP2007050551A (ja) | 2005-08-15 | 2005-08-15 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007050551A true JP2007050551A (ja) | 2007-03-01 |
Family
ID=37915330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005235520A Pending JP2007050551A (ja) | 2005-08-15 | 2005-08-15 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007050551A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015089614A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2016165853A (ja) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、液体カートリッジおよび画像形成装置 |
JP2017144625A (ja) * | 2016-02-17 | 2017-08-24 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
JP2018024227A (ja) * | 2016-08-05 | 2018-02-15 | ローム株式会社 | インクジェットプリントヘッドおよびその製造方法 |
JP2019147355A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | ブラザー工業株式会社 | ヘッド及びその製造方法 |
-
2005
- 2005-08-15 JP JP2005235520A patent/JP2007050551A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015089614A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2016165853A (ja) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、液体カートリッジおよび画像形成装置 |
JP2017144625A (ja) * | 2016-02-17 | 2017-08-24 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
JP2018024227A (ja) * | 2016-08-05 | 2018-02-15 | ローム株式会社 | インクジェットプリントヘッドおよびその製造方法 |
JP2019147355A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | ブラザー工業株式会社 | ヘッド及びその製造方法 |
JP7013943B2 (ja) | 2018-02-28 | 2022-02-01 | ブラザー工業株式会社 | ヘッド及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7553003B2 (en) | Liquid-jet head and liquid-jet apparatus | |
JP4450238B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
KR20070099451A (ko) | 액추에이터 장치, 액체 분사 헤드 및 액체 분사 장치 | |
JP5115330B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよびそれを備えた液体噴射装置 | |
JP2008284725A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2009056658A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007076107A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007050551A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2006198996A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
JP2006218716A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007216474A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2008284724A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2006248166A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007030379A (ja) | 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 | |
JP2005131888A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2009255528A (ja) | 液体噴射ヘッド、圧電素子及び液体噴射装置 | |
JP4930673B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2006218776A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2005178293A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007296659A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2010228272A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007050552A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2005144804A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007050673A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2006231790A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |