JP2007296659A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室を含む液体流路が設けられた流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられる下電極60、圧電体層70及び上電極80を含む圧電素子と、流路形成基板10の一方面側に接着層35によって接合される接合基板30とを具備し、流路形成基板10の一方面側の接合基板30との接合領域の少なくとも一部に圧電素子を構成する各層を少なくとも含み接合基板30が実質的に当接する当接部120を設け、且つ接合基板30の流路形成基板10との接合面に、当接部120で画成される凹部121に対向する領域に当接部120と高さが同一又はそれよりも小さい凸部122を設ける。
【選択図】図4
Description
かかる第1の態様では、接合基板に、流路形成基板の凹部に対応する領域に凸部が設けられていることで、凹部内に気泡が残留することがないため、流路形成基板と接合基板とが良好且つ強固に接合される。これにより、環境温度の変化等に起因する両基板間での剥離の発生を防止することができる。
かかる第2の態様では、接着層との密着性が高い弾性膜及び酸化膜を露出されることで、流路形成基板と接合基板との接合強度がさらに向上する。
かかる第3の態様では、凹部の面積が比較的広くなり、流路形成基板と接合基板との接合強度がさらに向上する。
かかる第4の態様では、所定の接着剤を用いることで、流路形成基板と接合基板との接合強度がさらに向上する。
かかる第5の態様では、剥離が生じやすい流路形成基板の周縁部での接合強度が向上することで、流路形成基板と接合基板との剥離がより確実に防止される。
かかる第6の態様では、流路形成基板と保護基板とが良好且つ強固に接合され、これにより圧電素子保持部内の圧電素子を確実に保護することができる。
かかる第7の態様では、耐久性等の各種性能を向上した液体噴射装置を実現することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図2は、図1のA−A’断面図である。流路形成基板10は、面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、図示するように、その一方の面には、二酸化シリコンからなり厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。この流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に沿って並設された列が2列設けられている。また、流路形成基板10の各圧力発生室12の列の外側には、それぞれ連通部13が形成されている。連通部13と各圧力発生室12とは、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されるインク供給路14を介して連通している。なお、連通部13は、後述するリザーバ形成基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路14は、連通部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、流路形成基板10に、それぞれ独立する島状の複数の当接部120を設けると共に、これら当接部120との間に連続する凹部121を設けた例を説明したが、勿論、これに限定されるものではない。例えば、図7に示すように、当接部120Aが帯状に連続して設けられると共に、この当接部120Aの間にそれぞれ独立する凹部121Aが設けられていてもよい。また、例えば、上述した実施形態では、接合基板として保護基板30を例示したが、接合基板は、保護基板30に限定されず、流路形成基板に接合される基板であれば、何れの基板であってもよい。
Claims (7)
- ノズル開口に連通する圧力発生室を含む液体流路が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極を含む圧電素子と、前記流路形成基板の前記一方面側に接着層によって接合される接合基板とを具備し、前記流路形成基板の前記一方面側の前記接合基板との接合領域の少なくとも一部に前記圧電素子を構成する各層を少なくとも含み前記接合基板が実質的に当接する当接部が設けられ、且つ前記接合基板の前記流路形成基板との接合面には、前記当接部で画成される凹部に対向する領域に前記当接部と高さが同一又はそれよりも小さい凸部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 前記振動板が酸化シリコンからなる弾性膜を含み前記凹部の底面が前記弾性膜で構成されていると共に、前記凸部の上面が酸化シリコンからなる酸化膜で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記当接部がそれぞれ独立して島状に設けられると共に、前記凹部がこれら前記当接部の周囲に連続的に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記接着層が、エポキシ系又はシリコーン系接着剤からなることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
- 前記凹部及び前記凸部が、前記流路形成基板の周縁部に設けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
- 前記接合基板が、前記圧電素子に対向する領域に当該圧電素子を保護するための空間である圧電素子保持部を有する保護基板であることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜6の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011148249A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-04 | Seiko Epson Corp | 液体噴射へッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
JP2014094570A (ja) * | 2013-12-10 | 2014-05-22 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
JP2020073353A (ja) * | 2015-05-25 | 2020-05-14 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0781072A (ja) * | 1993-09-07 | 1995-03-28 | Hewlett Packard Co <Hp> | サーマル・インク・ジェット・プリントヘッドの組み立て方法 |
JP2000085122A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-28 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2001287371A (ja) * | 2000-04-10 | 2001-10-16 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2005212479A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Hewlett-Packard Development Co Lp | 流体噴射装置の流体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
JP2006082531A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
-
2006
- 2006-04-27 JP JP2006124337A patent/JP2007296659A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0781072A (ja) * | 1993-09-07 | 1995-03-28 | Hewlett Packard Co <Hp> | サーマル・インク・ジェット・プリントヘッドの組み立て方法 |
JP2000085122A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-28 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2001287371A (ja) * | 2000-04-10 | 2001-10-16 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2005212479A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Hewlett-Packard Development Co Lp | 流体噴射装置の流体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
JP2006082531A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011148249A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-04 | Seiko Epson Corp | 液体噴射へッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
JP2014094570A (ja) * | 2013-12-10 | 2014-05-22 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
JP2020073353A (ja) * | 2015-05-25 | 2020-05-14 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
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