JP2007035868A - 配線回路基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
基板を、安価に製造することができる、配線回路基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】 金属支持基板2の上に金属箔3を圧接した後、その金属箔3を所定のパターンにエッチングする。次いで、金属箔3および金属支持基板2の上にベース絶縁層4を形成し、ベース絶縁層4の上に導体パターン5を形成し、ベース絶縁層4の上に導体パターン5を被覆するようにカバー絶縁層6を形成する。
【選択図】 図1
Description
このように製造された回路付サスペンション基板では、金属支持基板がステンレスで形成されていることから、導体パターンにおいて伝送損失が大きくなる。
本発明の目的は、簡易な層構成により、伝送損失を低減させることができるとともに、金属支持基板と金属箔とを効率よく密着させて、長期信頼性に優れる配線回路基板を、安価に製造することのできる、配線回路基板の製造方法を提供することにある。
また、本発明の配線回路基板の製造方法において、前記金属支持基板の上に金属箔を圧接する工程では、前記金属支持基板の上に、厚み10〜35μmの前記金属箔を圧接することが好適である。
この方法では、まず、図1(a)に示すように、金属支持基板2を用意する。金属支持基板2は、平板状の金属箔や金属薄板からなる。金属支持基板2を形成する金属としては、例えば、ステンレス、42アロイなどが用いられ、好ましくは、ステンレスが用いられる。また、その厚みは、例えば、15〜30μm、好ましくは、20〜25μmである。
、2〜5μmの場合には、図2(a)に示すように、まず、金属箔3が離型基材7の上に積層された金属転写シート8を用意する。そして、上記と同様に、金属支持基板2および金属転写シート8の金属箔3のそれぞれの圧接面に、スパッタエッチング処理などの表面活性化処理を施した後、図2(b)に示すように、金属支持基板2と金属転写シート8とを、金属支持基板2および金属箔3のそれぞれの圧接面において圧接する。その後、図2(c)に示すように、離型基材7を金属箔3から剥離する。
また、圧接は、金属支持基板2と金属箔3とを、例えば、冷間圧延する。冷間圧延では、金属支持基板2と金属箔3とを圧接面で接触させた状態で、冷間圧延ロールに通過させる。この冷間圧延では、圧下率0.1〜10%、好ましくは、1〜5%、圧延率0.01〜30%、好ましくは、0.1〜10%で、冷間圧延する。
圧下率(%)=[(t0−t1)/t0]×100 (1)
(式中、t0は、一対の冷間圧延ロール間に通過させる前の金属支持基板2および金属箔3の厚みの合計を示し、t1は、この冷間圧延ロール間から通過させた後の金属支持基板2および金属箔3の厚みの合計を示す。)
なお、圧下率は、一対の冷間圧延ロール間を、一回通過させたときの圧下率である。
カバー絶縁層6の形成では、例えば、上記した合成樹脂の溶液を均一に塗布した後、乾燥し、次いで、必要に応じて、加熱することによって硬化させる。なお、カバー絶縁層6は、感光性の合成樹脂を露光および現像することにより、パターンとして形成することもできる。さらに、カバー絶縁層6の形成は、上記の方法に制限されず、例えば、予め合成樹脂をフィルムに形成して、そのフィルムを、導体パターン5を被覆するように、ベース絶縁層4の表面に、公知の接着剤層を介して貼着することもできる。また、カバー絶縁層6の厚みは、例えば、3〜10μm、好ましくは、4〜5μmである。
このようにして得られる配線回路基板1では、金属支持基板2の上に、金属箔3が設けられている。そのため、金属支持基板2のみでは、金属支持基板2に対向する導体パターン5の伝送損失が大きくなるのに対し、このように、金属箔3を金属支持基板2と導体パターン5との間に介在させることにより、簡易な層構成により、導体パターン5の伝送損失を低減することができる。しかも、上記の方法では、金属支持基板2と金属箔3とを圧接させることで、金属支持基板2と金属箔3とを効率よく積層することにより、金属支持基板2と金属箔3との密着性を十分に図ることができる。そのため、優れた長期信頼性を確保することができる配線回路基板を、安価に製造することができる。
実施例1
厚み20μmのステンレスからなる金属支持基板を用意した(図1(a)参照)。
また、別途、厚み3μmの表面離型処理した銅箔からなる金属箔が厚み35μmの離型基材に積層された金属転写シート(三井金属鉱業製、キャリア付き極薄銅箔、Micro ThinR)を用意した(図2(a)参照)。
次いで、そのベース絶縁層の表面に、アディティブ法によって、配線回路パターンで、厚み10μmの銅からなる導体パターンを形成した(図1(e)参照)。
厚み25μmのステンレスからなる金属支持基板を用意した(図1(a)参照)。
また、別途、厚み3μmの表面離型処理した銅箔からなる金属箔が厚み35μmの離型基材に積層された金属転写シート(三井金属鉱業製、キャリア付き極薄銅箔、Micro ThinR)を用意した(図2(a)参照)。
なお、この導体パターンは、互いに所定間隔を隔てて配置され、インナリード、アウタリードおよび中継リードが一体的に形成される複数の配線回路パターンとして形成した。また、インナリードのピッチが30μm、アウタリードのピッチが100μmであった。
そして、金属支持基板における導体パターンが形成されている領域と重なる領域以外を、エッチングレジストによって被覆した後、塩化第二鉄溶液を用いて、金属支持基板をエッチングした後、エッチングレジストを除去し、TAB用テープキャリアを得た。
2 金属支持基板
3 金属箔
4 ベース絶縁層
5 導体パターン
6 カバー絶縁層
7 離型基材
8 金属転写シート
Claims (3)
- 金属支持基板の上に金属箔を圧接する工程、
前記金属箔を所定のパターンにエッチングする工程、
前記金属箔の上に、ベース絶縁層、導体パターン、カバー絶縁層を順次形成する工程、を含むことを特徴とする、配線回路基板の製造方法。 - 前記金属支持基板の上に金属箔を圧接する工程では、
前記金属支持基板の上に、厚み10〜35μmの前記金属箔を圧接することを特徴とする、請求項1に記載の配線回路基板の製造方法。 - 前記金属支持基板の上に金属箔を圧接する工程が、
厚み0.1〜9μmの前記金属箔が離型基材上に形成されてなる金属箔転写シートを用意する工程と、
前記金属支持基板上に前記金属箔が接触するように前記金属転写シートを圧接した後、前記離型基材を前記金属箔から剥離する工程とを含むことを特徴とする、請求項1に記載の配線回路基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005216220A JP4640805B2 (ja) | 2005-07-26 | 2005-07-26 | 配線回路基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007035868A true JP2007035868A (ja) | 2007-02-08 |
JP4640805B2 JP4640805B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005216220A Expired - Fee Related JP4640805B2 (ja) | 2005-07-26 | 2005-07-26 | 配線回路基板の製造方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP4640805B2 (ja) |
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