JP2007006261A - 固体撮像素子の駆動方法及び固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光電変換部3を行列状に配置した多数個の画素41と、これら各画素41に隣接して設けられ各画素が発生した信号電荷を列方向に転送する垂直転送部5と、各垂直転送部5の列方向一端側に配置され垂直転送部5から転送される信号電荷を行方向に転送する水平転送部7と、水平転送部7の電荷転送方向下流側に接続された出力アンプ部9と、各光電変換部3に隣接するオーバーフロードレインと、を基板11表面層に形成した固体撮像素子100の駆動方法であって、光電変換部3から垂直転送部5に信号電荷を読み出してから、読み出した信号電荷の全てが出力アンプ9まで転送されるまでの期間、光電変換部3の電荷を基板11側へ掃き出すためのバイアス電圧をオーバーフロードレインに印加する。
【選択図】図1
Description
図4は固体撮像素子の概略構成を表す平面模式図である。
この種の固体撮像素子1は、二次元状に配列された複数のフォトダイオード(光電変換部)3と、各フォトダイオード3で発生した信号電荷をフォトダイオード3の列方向に読み出して、この列方向に順次転送する複数列の垂直シフトレジスタ(以下、垂直電荷転送路とも呼称する)5と、これらの垂直シフトレジスタ5の端部に配置されそれぞれの垂直シフトレジスタ5からの信号電荷を水平方向に転送する水平シフトレジスタ(以下、水平電荷転送路とも呼称する)7と、さらに水平シフトレジスタ7の電荷転送方向先端側に配置され、転送されてくる信号を電圧値に変換して出力する出力アンプ9と、を備えている。この固体撮像素子1は、一般に電荷結合素子(CCD)と呼ばれる。
固体撮像素子1では、図5に示すように、n型のシリコン基板11の表面にp型の不純物ウェル層13が形成され、さらにその上にSin/SiO2/SiN膜(ONO膜)からなる絶縁層15が形成されている。また、不純物ウェル層13の表面から高濃度のp型不純物層17と、さらにその下部にn型不純物層19が形成され、これにより光に感応して電荷を発生する光電変換部(フォトダイオード)3が構成されている。
さらに、固体撮像素子1では、フォトダイオード3と垂直電荷転送路となるn型不純物層23とを含む1画素領域を囲むように、高濃度のp型不純物層からなる素子分離帯31が形成されている。
このような構成を有する固体撮像素子1において、第2の電極27に対して十分に高い電圧を印加することで、図6に示すように、フォトダイオード3の電位に対して垂直シフトレジスタ5に向かっての障壁(Pウェル領域)33がなくなり、蓄積された信号電荷Dは全て垂直シフトレジスタ5に移動する。フォトダイオード3に蓄積される信号電荷Dの電荷量は、図6のポテンシャル分布図に示すように、P型のウェル領域35で構成されるオーバーフローバリアのポテンシャルバリアの高さによって決定される。即ち、このオーバーフローバリアは、フォトダイオード3に蓄積される飽和信号電荷量を決めるものであり、蓄積電荷量がこの飽和信号電荷量を越えた場合に、その越えた分の電荷がポテンシャルバリアを越えて基板11側へ掃き出される。
固体撮像素子1では、電荷蓄積期間T、即ち露光期間の前後において、フォトダイオード3に蓄積された電荷が完全に基板11に掃き捨てられる電圧(完全基板掃き出し電圧)を、パルス(電子シャッターパルス電圧OFD2)として読み出し前に印加することにより、不要な信号電荷を掃き捨て、実効的な露光期間を電子的に制御することができる。このときの露光期間は、最後の電子シャッターパルスPeから読み出しパルスPwまでの期間となる。
(1)光に感応して電荷を発生する光電変換部を複数行、複数列に亘って行列状に配置した多数個の画素と、これら各画素に隣接して設けられ前記各画素が発生した信号電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部と、前記各垂直転送部の列方向一端側に配置され該垂直転送部から転送される前記信号電荷を行方向に転送する水平転送部と、該水平転送部の電荷転送方向下流側に接続された出力アンプ部と、前記各光電変換部に隣接するオーバーフロードレインと、を基板表面層に形成した固体撮像素子の駆動方法であって、前記光電変換部から前記垂直転送部に前記信号電荷を読み出してから、該読み出した前記信号電荷の全てが前記出力アンプまで転送されるまでの期間、前記光電変換部の電荷を前記基板側へ掃き出すためのバイアス電圧を前記オーバーフロードレインに印加することを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
図1は本発明に係る固体撮像素子の平面模式図である。なお、図4〜図7に示した部材及び部位と同等の部材及び部位には同一の符号を付して説明するものとする。
本実施の形態によるCCD等の固体撮像素子100は、光に感応して電荷を発生する光電変換部(フォトダイオード)3を複数行、複数列に亘って行列状に配置した多数個の画素41と、これら各画素41に隣接して設けられ各画素41が発生した信号電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部(垂直シフトレジスタ)5と、各垂直シフトレジスタ5の列方向一端側に配置され垂直シフトレジスタ5から転送される信号電荷を行方向に転送する水平転送部(水平シフトレジスタ)7と、この水平シフトレジスタ7の電荷転送方向下流側に接続され転送されてくる信号を電圧値に変換して出力する出力アンプ部(出力アンプ)9と、各フォトダイオード3に隣接するオーバーフロードレインと、を基板11(図5参照)表面層に形成している。なお、本実施の形態では、基板11がオーバーフロードレインとなる。
固体撮像素子100では、電荷蓄積期間T、即ち露光期間において、フォトダイオード3に蓄積された電荷が完全に基板11に掃き捨てられる電圧(完全基板掃き出し電圧)を、バイアス電圧OFD2として印加する。この不要な信号電荷を掃き捨てする期間は、前の読み出しパルスP1が印加される読出処理が終了した後t1から、次の読み出しパルスP2が印加される読出処理前の電荷蓄積期間Tの直前t2までとなって繰り返される。
図3は本発明に係る固体撮像装置の概略構成図である。
上記した固体撮像素子100は、例えば固体撮像装置であるデジタルスチルカメラ200に好適に用いることができる。
このデジタルスチルカメラ200は、固体撮像素子100と、被写体像を固体撮像素子100に結像する光学系51と、固体撮像素子100の出力アンプ部9から出力されてくる信号を処理し画像を生成する信号処理部53と、この生成された画像を表示する表示部55とを基本構成要素として備える。
5 垂直シフトレジスタ(垂直転送部)
7 水平シフトレジスタ(水平転送部)
9 出力アンプ部
11 基板
33 Pウェル領域(障壁)
41 画素
51 光学系
53 信号処理部
55 表示部
65 制御部
100 固体撮像素子
200 デジタルスチルカメラ(固体撮像装置)
Claims (3)
- 光に感応して電荷を発生する光電変換部を複数行、複数列に亘って行列状に配置した多数個の画素と、
これら各画素に隣接して設けられ前記各画素が発生した信号電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部と、
前記各垂直転送部の列方向一端側に配置され該垂直転送部から転送される前記信号電荷を行方向に転送する水平転送部と、
該水平転送部の電荷転送方向下流側に接続された出力アンプ部と、
前記各光電変換部に隣接するオーバーフロードレインと、を基板表面層に形成した固体撮像素子の駆動方法であって、
前記光電変換部から前記垂直転送部に前記信号電荷を読み出してから、該読み出した前記信号電荷の全てが前記出力アンプまで転送されるまでの期間、前記光電変換部の電荷を前記基板側へ掃き出すためのバイアス電圧を前記オーバーフロードレインに印加することを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。 - 前記バイアス電圧は、前記オーバーフロードレインの領域に形成される電位ポテンシャルの障壁を、前記光電変換部に蓄積された電荷が前記基板側に掃き出すことのできる電圧であることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子の駆動方法。
- 固体撮像素子と、
被写体像を前記固体撮像素子に結像する光学系と、
前記固体撮像素子の前記出力アンプ部から出力されてくる信号を処理し画像を生成する信号処理部と、
この生成された画像を表示する表示部と、を備えた固体撮像装置であって、
前記固体撮像装置により静止画撮影を行う場合に、前記固体撮像素子を請求項1又は請求項2記載の固体撮像素子の駆動方法で動作させ、前記表示部に被写体像をモニタ表示させる制御部を備えたことを特徴とする固体撮像装置。
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JP2005185352A JP2007006261A (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | 固体撮像素子の駆動方法及び固体撮像装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1944170A2 (en) | 2007-01-15 | 2008-07-16 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting method and liquid ejecting apparatus |
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JPS63105579A (ja) * | 1986-10-23 | 1988-05-10 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JP2003116057A (ja) * | 2001-10-02 | 2003-04-18 | Olympus Optical Co Ltd | 撮像装置 |
JP2004222128A (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Sony Corp | 固体撮像素子の駆動方法 |
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2005
- 2005-06-24 JP JP2005185352A patent/JP2007006261A/ja active Pending
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