JP2006520010A - 露光基体の作製方法 - Google Patents
露光基体の作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006520010A JP2006520010A JP2006501940A JP2006501940A JP2006520010A JP 2006520010 A JP2006520010 A JP 2006520010A JP 2006501940 A JP2006501940 A JP 2006501940A JP 2006501940 A JP2006501940 A JP 2006501940A JP 2006520010 A JP2006520010 A JP 2006520010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- photoresist
- exposed
- image
- radiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 71
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 165
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 130
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 65
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 34
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 19
- 238000004049 embossing Methods 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 15
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 11
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 10
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 claims description 9
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 7
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 claims description 5
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 262
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 13
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 9
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 5
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 3
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 2
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 238000009388 chemical precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/22—Exposing sequentially with the same light pattern different positions of the same surface
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/001—Phase modulating patterns, e.g. refractive index patterns
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0035—Multiple processes, e.g. applying a further resist layer on an already in a previously step, processed pattern or textured surface
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/095—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having more than one photosensitive layer
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2022—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
- G03F7/203—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure comprising an imagewise exposure to electromagnetic radiation or corpuscular radiation
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/02—Details of features involved during the holographic process; Replication of holograms without interference recording
- G03H1/024—Hologram nature or properties
- G03H1/0244—Surface relief holograms
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/0005—Adaptation of holography to specific applications
- G03H1/0011—Adaptation of holography to specific applications for security or authentication
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/18—Particular processing of hologram record carriers, e.g. for obtaining blazed holograms
- G03H2001/187—Trimming process, i.e. macroscopically patterning the hologram
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H2250/00—Laminate comprising a hologram layer
- G03H2250/33—Absorbing layer
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H2260/00—Recording materials or recording processes
- G03H2260/14—Photoresist
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Architecture (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
少なくとも2つの異なる画像領域を有する露光基体を作製する方法である。形成すべき画像領域の種類に適応した少なくとも2つのフォトレジスト層を基体に設ける。
Description
本発明は少なくとも2つの画像領域を有する露光基体を作製する方法に関するものである。
銀行紙幣や身分証明書等のセキュリティー・ドキュメントには回折格子から成る光学可変素子が頻繁に用いられている。以下このような素子を格子像と呼ぶ。これらは、例えば、ホログラムまたは格子領域から成る格子像のように、一次および高次回折を利用した格子像であってよい。また、特許文献1および特許文献2に記載のようなゼロ次回折を利用した格子像も利用されている。
一次格子像とゼロ次格子像とは、前者は格子定数を光の波長より大きくする必要があるのに対し、後者は、特に純粋なゼロ次画像を観察したい場合、光の波長より小さい格子定数が選定される点が異なる。一次格子像においては格子定数によって色の変化が主として決定され格子線の構造はあまり重要ではないのに対し、ゼロ次格子像においては全くその逆である。
セキュリティー素子として利用される回折構造体はエンボス・ホログラムとして作製される。この場合、基体に形成されたフォトレジスト層がレーザー光または電子ビームによって露光される。ここで言うフォトレジストとは、例えば、光または放射線を受けると溶解挙動が変化する感光性樹脂のような放射線感受性の高い被膜形成材料である。フォトレジストにはポジ型とネガ型とがある。前者は放射線を受けると光化学分解または活性基変換により容易に溶解するのに対し、後者は架橋結合または光重合により殆ど溶解しないかまったく溶解しない。
フォトレジスト層を現像すると電気鋳造可能な山谷構造が形成される。一次格子像においては形状が正弦曲線を成し、ゼロ次格子像においては箱型または台形を成していることが好ましい。成型した構造体を複製し、それを用いてエンボス押型を作製することができる。
更に、複数の露光ステップを互いに組み合わせる必要がある格子像が知られている。これには主として2つの方法が知られている。
第1の方法において、フォトレジスト層の部分領域がマスクされ、マスクされていない領域が、例えば、第1の波長を有するレーザー光によって露光されることにより回折構造体が形成される。その後のプロシージャー・ステップにおいて、フォトレジスト層の露光済み領域を覆い、格子像のマスクされていない部分領域が、例えば、別の周波数を有するレーザー光によって露光されることにより別の回折構造体が形成される。
この方法は、例えば、ゼロ次格子像を組み合わせる場合のように、格子像においてレジスト層の厚さを違える必要がある場合には利用できないという欠点がある。
別の周知の方法では、個別に露光したフォトレジスト層から複数のエンボス押型を電気鋳造することによりこの問題を回避している。各々のエンボス押型は完全な画像の部分領域のみを含んでいる。エンボス押型を並置して熱可塑性材料に型押しすることにより完全な画像を得ている。しかし、この方法では並置型押による継目が残る。
米国特許4,892,385号明細書
米国特許4,484,797号明細書
前記従来技術から端を発し、本発明の課題は、簡単な方法で種類の異なる放射線による露光を可能とすると共に、任意として、各々の領域の層厚を露光に適応させることができる方法を提供することである。
この課題は独立請求項の特徴を有する方法によって解決される。従属請求項には本発明の特別に有益な実施の形態および開発成果が開示されている。
少なくとも2つの異なる画像領域を有するレジスト・マスターを作製するための本発明の方法によれば、形成すべき画像領域の種類に応じた少なくとも2つのフォトレジスト層が用いられる。これにより、最適な環境下においてすべての画像領域を形成することが可能となり、最適な光学的効果を得ることができる。
少なくとも2つの異なる画像領域を有するレジスト・マスターを作製するための本発明の方法によれば、形成すべき画像領域の種類に応じた少なくとも2つのフォトレジスト層が用いられる。これにより、最適な環境下においてすべての画像領域を形成することが可能となり、最適な光学的効果を得ることができる。
本発明において“フォトレジスト”とは光放射線または粒子放射線の作用により化学特性、特に溶解挙動が変化する放射線感受性の高い材料を意味する。
“ポジ型・レジスト”とは光化学分解または活性基変換により容易に溶解する、即ち、露光領域がその後の処理によって溶失し、非露光領域が残存するフォトレジスト材料を意味する。
“ネガ型・レジスト”とは架橋結合または光重合により殆ど溶解しないか、まったく溶解しない、即ち、非露光領域がその後の処理によって溶失し、露光領域が残存するフォトレジスト材料を意味する。
“格子像”とは格子線像のみならず、あらゆる種類の回折構造体から成る像を意味する。純正ホログラムと対比して使用される場合に限り、本用語は狭義に解釈される。
“基体”とは露光を目的としたフォトレジスト層を成膜するのに適したあらゆる担体材料を意味する。基体として黒に着色したガラス板または被膜を施したガラス板が頻繁に用いられる。同様に、任意の格子像が形成された電鋳ニッケル・シムも使用できる。前記基体に別のフォトレジスト層を成膜し、それを露光処理して第2格子像を形成する。更に、好ましくはエンボス状の格子像が形成されたプラスチック箔または金属箔も基体として適している。
“レジスト・マスター”とは本発明によって作製される少なくとも1つの露光現像されたフォトレジスト層を有する基体を意味する。レジスト・マスターはその後のプロシージャー・ステップにおいて電気鋳造可能であり、更に別の処理によって所謂エンボス・シムが形成される。
少なくとも2つの異なる画像領域、例えば、純正ホログラムおよび格子像を有するレジスト・マスターを作製する本発明の第1の実施の形態によれば、各々の使用放射線に最適に調整された少なくとも2つのフォトレジスト層が用いられる。一般に、ホログラフィック露光にはレーザー放射線が用いられるが、格子を形成する場合には電子ビームが用いられることが多い。本発明により、1つの基体においてこのような異なる製法を実行することが可能となる。
前記異なる画像領域に用いるフォトレジスト層の別の選択基準は形成するレリーフ構造体の形状である。ゼロ次格子像の場合には側面をできるだけ急角度にする必要がある一方、一次格子像の場合には側面角度を平坦にすることが好ましい。特に、正弦曲線を成す形状が目標である。本発明の方法により、ゼロ次格子像と任意の一次格子像とを1つの基体に合成することができる。
また、本発明の方法により、異なる画像領域にそれぞれ異なるゼロ次格子像を形成することができる。この種の格子像を用いることにより、フォトレジストの表面で反射した放射線の破壊的干渉によってのみ色彩が変化する。即ち、この場合における最も重要なパラメータはフォトレジスト層の層厚にのみ左右されるレリーフ構造体のプロファイル深度である。前記層厚は正確に調整可能であり、約50〜200nmの範囲であることが好ましい。従って、同じフォトレジスト材料から成る層厚の異なる少なくとも2つのフォトレジスト層を基体に設けることができる。
第1露光ステップを実行する前に、本発明のフォトレジスト層を担体材料に配することができる。これらの層を重畳配置することが好ましく、任意として中間保護層を配することができる。
最上部層が第1画像領域の形成、例えば、第1種類の放射線に対し最適化され、次の層が第2画像領域の形成、例えば、層厚、または異なる種類の放射線等に対し最適化されている。レジスト層間に“停止層”が随意配される。これにより各々の層がそれぞれ的確な放射線によってのみ露光される。
好ましい実施の形態において、光学ホログラフィック露光に適応したポジ型・レジスト層が、電子ビーム露光に適応し光放射線に反応しないポジ型・レジスト層に成膜される。
まず、この層配列のそれぞれの領域、例えば、ホログラム領域が光学的に露光される。これにより最上部層のみが反応し、光学的に反応しない下部層は反応しない。残りの領域全体を光学的に露光すると共に、更に電子ビームにより独国特許発明第10226115号明細書、または独国特許発明第10226112号明細書に記載されているような所望の格子像が露光される。これらの領域において、光学露光により最上部層が除去され、電子ビームによる露光が最上部層を透過して下部層に像を形成する。このレジストを現像すると並列に配置された2つの画像領域が得られる。
本発明の別の実施の形態によれば、基体にフォトレジスト層が個別に成膜され、製造プロセスの適切な段階でそれぞれ格子像が露光される。
まず、第1フォトレジスト層が基体に成膜され、露光および現像される。第1フォトレジスト層の特性は露光用放射線の種類に適応するよう調整されているか、または層厚が特定の画像化処理に対し最適化されている。別のプロシージャー・ステップにおいて、第1フォトレジスト層を基体に残したまま、第2フォトレジスト層が前記基体に成膜され、再度露光および現像される。第1フォトレジスト層とは無関係に第2フォトレジスト層を選択できるため、第2放射線に最適な材料を第2フォトレジスト層に用いることができるか、または層厚を特定の画像化処理に対し最適化することができる。従って、本発明の方法により、それぞれが異なり、継目なく隣接当接している画像領域を形成することができると共に、特別に調整された複数のフォトレジスト材料を用いることにより、すべての画像領域が最良の特性または層厚を有することができる。
好ましい実施の形態の第1プロシージャー・ステージにおいて、ネガ型・レジスト層が基体に成膜され、それぞれの画像領域が露光される。次に、基体が現像されることによりネガ型・レジストの非露光領域が基体から除去される。次いで、別のプロシージャー・ステージにおいて、第2ネガ型・レジスト層が基体に成膜され、第2画像領域が露光される。
第1プロシージャー・ステージにおいて既に露光された第1ネガ型・レジスト層の領域は、第2プロシージャー・ステージにおいては露光されない。第2レジスト層を現像することにより、第2レジスト材料によって覆われた第1レジスト層の前記領域が最終的に露出する。その結果、以下“レリーフ構造体”と呼ぶ、山と谷を成す並列配置された2つのフォトレジスト層が得られる。第1および第2フォトレジスト層におけるレリーフ構造体は同一平面に形成され、露光パターンの形状にもよるが、互いに継目なく結合している。
別の好ましい実施の形態の第1プロシージャー・ステージにおいて、ネガ型・レジストの代わりにポジ型・レジスト層が基体に成膜され、適切な放射線によってそれぞれの画像領域が所望の模様に露光される。ポジ型・レジスト層の非露光領域を完全に除去するため、次のステップにおいてポジ型・レジスト層の露光領域をマスクし、非露光領域が集中的に後露光される。前記ポジ型・レジストを現像すると第1ステップで露光されたポジ型・レジスト層のパターンが露出し、第2ステップで後露光された基体領域から完全にポジ型・レジストが除去される。これにより、第1ポジ型・レジスト層の隣に別のフォトレジスト層を成膜するためのスペースが得られる。第1ポジ型・レジスト層およびその後成膜されるフォトレジスト層は同一平面に位置する。
別のフォトレジスト層を成膜し、それぞれを露光する別のプロシージャー・ステップを前記実施の形態に含めることができることは自明である。ネガ型・レジスト層およびポジ型・レジスト層を任意に組み合わせることができる。
新たなレジスト層を成膜する前に薄い障壁層を設けることができる。これにより、新たなレジスト層を溶解する際、下部のフォトレジスト層の損傷が防止される。前記障壁層は現像プロセスによって腐食しない無機材料から成っていることが好ましい。しかし、障壁層がその後のプロシージャー・ステップの妨げになる場合には、前記目的を達した後に除去する必要がある。その場合、レジスト層を損傷せずに障壁層を除去できる。例えば、金属層がこの条件を満たしている。金属はレジストの現像剤によって腐食しないが、逆にレジストを腐食しない酸、苛性アルカリ溶液、またはエッチング液によって除去できる。
また、障壁層は別の機能を果たすこともできる。例えば、電子ビームによって1つのフォトレジスト層を露光する場合、障壁層を導電層として形成することにより、エネルギーが出力された後の電子を偏向することができる。この場合、クロム層が好ましい。光露光の場合、フォトレジスト層の背後に光を効率よく吸収する層が必要な場合がある。例えば、基体または光学フォトレジストの下部に配置されている層が光を十分吸収しない場合がその例である。
本発明の方法は有価証書または製品保護のための安全対策として用いられる回折構造体の作製に特に有効である。何故なら、本発明の方法によりそれぞれ異なる露光方法によって形成された少なくとも2つの異なる画像領域を有する回折構造体を作製できるからである。従って、回折構造体の一部を純正ホログラムとし、別の部分領域を、例えば、電子ビーム・リソグラフィーによる単なる格子像とすることができる。
純正ホログラムの露光には、例えば、波長442nmのHeCdレーザー、および高感度のフォトレジストが適している。従来のホログラフィー法によって露光を行うと平坦な側面を有するレリーフ形状が得られ、それによって良好なエンボス押型を容易に得ることができる。
しかし、電子ビーム・リソグラフィー法を用いて、同じポジ型・レジストによって回折構造体を形成すると矩形のレリーフ形状が得られ、これは型押しされたラッカーがレリーフ形状に粘着するため型押しには適さない。これに反し、ソフト・グラデーションをもたらす弱反応性のネガ型・レジストとそれぞれ調整された電子ビームとを組み合わせると型押しプロセスによく適合した台形から正弦曲線に至るレリーフ形状が得られる。
純粋な格子像は様々な方法によって得ることができる。デザインに応じ、異なる画像領域に対し、それぞれ異なる方法または種類の異なる放射線を用いることにより、最良の画像品質および卓越した光学可変効果を得ることが得策である。領域に応じて層厚を違えることも(一次格子像において)有益であり、(ゼロ次格子像においては)そうすることが必要である。そのために、前記プロシージャー・ステップを有する本発明の方法を用いることができる。基体にフォトレジスト層を所望の厚さに個別に成膜するだけでよい。
本発明の別の実施の形態によれば、少なくとも1つの部分領域がレーザー光線のような光放射線によって露光され、少なくとも1つの別の部分領域が電子ビームのような粒子放射線によって露光される1つのフォトレジスト層が用いられる。これは、異なる記録方法によって得られる格子像を1つの基体によって得ることができ、この基体全体を更に処理することによりエンボス・ツールを得ることができるという長所を有している。エンボス・ツールを個別に作製する必要性およびそれに関連した様々な問題がこれによって解消される。
本発明の画像領域を部分的または完全に重複させることができる。この場合、まずフォトレジスト層の少なくとも一部に回折構造体を露光または刻印し、次いで同じ領域に第2または複数の回折構造体を形成することが好ましい。
本発明の方法において、ガラス板のような中性担体材料を用い、その上に個々のフォトレジスト層を成膜し、露光および現像することが好ましい。その後、このようにして作製した、所謂“レジスト・マスター”と呼ばれる基体を電気鋳造し、周知の方法によって複製することにより、例えば、型押シリンダーのようなエンボス・ツールを得ることができる。
別の方法として、中性担体材料の代わりに、既に格子像を備えているプラスチック箔または金属箔、あるいは電鋳シムを用いることができる。この格子像はレリーフ構造を成していることが好ましい。このような中間製品を作製する場合、例えば、ガラス板のような中性担体材料に第1フォトレジスト層を成膜し、レーザーまたは電子ビームによって各々の格子像または格子像の一部を露光する。このレジスト・マスターを電気鋳造する。その後、このようにして作製した電鋳シム、あるいはこの電鋳シムによって作製したエンボス・ツールによって型押しされたプラスチック箔または金属箔に別のフォトレジスト層を成膜する。このフォトレジスト層にも完全な格子像、またはその一部が電子ビームによって露光または刻印される。使用するフォトレジスト層の種類に応じ、フォトレジスト層を現像した後、第1格子像のそれぞれの画像領域を露出させる別の処理が必要になる場合がある。
例えば、ポジ型・レジストを用いた場合、担体材料全体にフォトレジスト層が残り、露光領域のみが構造化される。従って、非露光領域を除去する必要がある。この場合、例えば、マスクを用いるか、または所謂洗浄法によって露光領域に金属層を設けられる。洗浄法の場合、好ましくは水溶性印刷インクによって非露光領域全体に印刷を施し、その後担体材料全体に金属層を設ける。印刷インクが溶解すると、上部の金属層も除去され、露光領域の金属層のみが残る。これにより、例えば、アセトンによって非露光領域のみが除去されるフォトレジスト層を溶解するその後のプロセスにおいても露光領域が保護される。最終ステップにおいて、前記金属層を除去することもできる。この基体もレジスト・マスターを成し、既に述べたように更に処理される。
更に別の方法において、既に構造化されている担体材料、即ち、型押し箔またはシムに、例えば、UVラッカー層のような型押し可能なラッカー層または熱可塑性層が成膜され、第2エンボス・ツールによって所望の格子像が型押しされる。この基体もレジスト・マスターを成し、既に述べたように更に処理することによってエンボス・ツールが作製される。この操作を所望の回数反復できることは自明である。最後に説明した方法は、フォトレジスト層を格子像または記録方法に対し最適化できると共に、既存の格子像を追加情報によって補完または個別化できるという大きな効果をもたらす。
最後に説明した2つの方法は、例えば、一連の銀行紙幣に対する光学可変セキュリティー素子を作製する場合に好都合である。すべての種類の紙幣の背景に、例えば、国の象徴を表す同じ格子像を表示し、各々の紙幣の前景に額面金額のような個別の記号を表示することができる。
本発明によるエンボス・ツールにより、例えば、銀行紙幣、小切手、身分証明書等の有価証書を保護するセキュリティー素子を作製することができる。また、製品保護の分野においても型押回折構造体素子が頻繁に用いられている。
本発明による種々の方法によって初めてゼロ次格子像と一次格子像、または粒子放射線による格子像と光露光による格子像とを1つのレジスト・マスターに任意に組み合せることができる。
以下、添付図面を参照し、例を通して本発明について説明する。図1a〜1dは本発明による方法のプロシージャー・ステップであって、まずフォトレジスト層1を基体2に成膜する。光学的ホログラフィック露光を行う場合、基体2は、例えば、反射を防止するために黒に着色したガラス板であってよい。フォトレジスト層1は、例えば、フォトレジスト材料を基体2に1滴垂らし、遠心分離機のようなレジスト・スピナーによって基体2の表面に均等に分散することによって成膜することができる。次いで、フォトレジスト層1を熱硬化させる。
得られるフォトレジスト層1の厚さは、滴径、回転速度および時間、温度、蒸気圧等のパラメータに依存する。フォトレジスト層1に光学回折構造体を形成する場合、層厚は100〜1000nmの範囲である。
以下、回折構造体をホログラフィック的に形成する例を通して本発明の方法について説明する。図1の例では、フォトレジスト層1としてネガ型・レジスト層が用いられている。
硬化処理した後、ネガ型・レジスト層1を均一な干渉波動場3によって露光する。干渉波動場3はネガ型・レジスト層1の領域において干渉し、図1aの破線で示す干渉パターン4が形成される。前記ネガ型・レジスト材料と放射線とは互いに最適化されている。干渉波動場3による露光は、干渉パターン4が第1画像領域5にのみ形成され、第2画像領域6には形成されないように行われる。これは、例えば、マスクによって可能である。画像領域5および6の形状はそれぞれ画像領域5および6によって表されるモチーフに応じて選定される。
現像するとネガ型・レジスト層1の非露光領域が溶解する。これにより、干渉パターン4に応じた図示の例では規則的な正弦曲線を成す山7および谷8がネガ型・レジスト層1に形成される。表示すべき画像モチーフに応じ、レリーフ構造体を複雑にすることもできる。純正ホログラムの場合に特にこのことが言える。画像領域6の領域においてネガ型・レジスト層1が現像処理により完全に溶解し、この領域の基体2が再度露出する。
図1cにおいて、第2ネガ型・レジスト層9を基体2の全体に成膜することにより、第1ネガ型・レジスト層1も覆う。第2ネガ型・レジスト層9は露光用放射線に対し最適化されている。図1cに示すように、画像領域6の第2ネガ型・レジスト層9を干渉波動場10によって露光する。しかし、干渉波動場10の波長は、例えば、第1ネガ型・レジスト層1の露光に用いたものと異なる。画像領域6においても破線で示す干渉パターン11が形成される。
再度基体2を現像する。現像結果を図1dに示す。ネガ型・レジストを用いたため、現像するとネガ型・レジスト層9の露光領域が残存する。波動場10によって露光されなかった領域のフォトレジスト層9が除去される。特に、第2フォトレジスト層9によって覆われた第1フォトレジスト層1の領域が露出する。図示の例では、異なる画像領域5および6が隣接当接しているが、離間配置できることも自明である。
図1a〜1dに示す画像領域5および6以外に更に別の領域を形成する場合には、図1a〜1dに示すプロシージャー・ステップにおいて基体2の各々の領域を露光しないことにより露出させる。その後のプロシージャー・ステップにおけるプロシージャーは図1cおよび1dに示すものとなる。
本発明の方法にはネガ型・レジスト層のみならず、ポジ型・レジスト層も使用できる。図2a〜2fはポジ型・レジスト層を用いたときの本発明の方法のそれぞれのプロシージャー・ステップを示している。
図2aに示すように、第1プロシージャー・ステップにおいて、基体2にポジ型・レジスト層12を成膜する。次いで、画像領域5の領域において、ポジ型・レジスト層12を干渉波動場13によって露光する。ポジ型・レジスト層12において干渉波動場13が干渉し、図2aの破線で示す干渉パターン14が形成される。ポジ型・レジスト層12の材料は波動場13の放射線の種類に応じて調整されている。
光を透過しないマスク領域15(図2b)を有する透明箔から成るマスクでポジ型・レジスト層12の露光された領域を覆う。その後のプロシージャー・ステップにおいて別の画像領域6となるこれまで露光されていないポジ型・レジスト層12の全領域を図2bの放射線16によって集中的に後露光する。
基体2を現像して露光領域を除去すると図2cに示すポジ型・レジスト層12のレリーフ構造体が得られる。このポジ型・レジスト層12は干渉パターン14に対応する山17および谷18を有するレリーフ形状を有している。この場合、明確さを旨としてレリーフを単に正弦レリーフ構造体として示している。画像領域6に回折構造体を形成するため、基体2に第2ポジ型・レジスト層19を成膜する。第2ポジ型・レジスト層19の画像領域6に図2dの破線で示す干渉パターン21を形成する波動場20によって第2ポジ型・レジスト層19を露光する。第2ポジ型・レジスト層19の材料は波動場20の放射線の種類に応じて調整されている。
図2eに示すように、別のプロシージャー・ステップにおいて、波動場20によって露光されたポジ型・レジスト層19の領域をマスク22で覆い、画像領域5および図示しない別の領域があればそれも含めて放射線23によって集中的に露光する。
最後に基体2を現像して露光領域を除去することにより、図2fに示すレリーフ構造体が基体2に形成される。
図1a〜1d、および図2a〜2fを参照して説明した方法により、各々が隣接して同一平面、即ち、基体上に直接形成されたフォトレジスト層1、9、12、および19を得ることができる。フォトレジスト層の材料はそれぞれ露光用放射線を考慮して最適な結果が得られるよう選択されている。
特筆すべきは、ポジ型・レジスト層とネガ型・レジスト層との組合せが可能であることである。例えば、図1a〜1dに示すプロシージャー・ステップに引き続き、図2d〜2fに示す別のプロシージャー・ステップが可能である。
一部の実施の形態において、金属、酸化物等から成る薄い障壁層または補助層を成膜してから別のフォトレジスト層を成膜することが好ましい。これにより、新たなフォトレジスト層が溶解する際に下部のフォトレジスト層が損傷を受けない。障壁層は現像処理によって腐食しない無機材料から成ることが好ましい。
補助層は更に下記の機能を果たすことができる。1つのフォトレジスト層の露光に電子ビームを用いる場合、エネルギーが出力された後、電子を偏向できるよう補助層を導電層として形成することが好ましい。この場合、障壁層はクロム層であることが好ましい。しかし、干渉露光の場合、強吸収薄層として形成することができる。
本発明は光放射線と粒子放射とを組み合せた露光方法に限定されない。例えば、露光プロセスに異なる波長を用いることもできる。
同様に、一次およびゼロ次格子像のような任意の格子像を組み合せることができる。
図3a〜3dはプロファイル深度が異なることを特徴とする2つの異なる画像領域が基体に設けられた本発明の1つの実施の形態を示す図である。これは、例えば、異なる光学的効果を示すゼロ次格子像の場合である。図3aに示すように、第1ステップにおいて、ガラス板60に第1ネガ型・レジスト層61が設けられる。プロファイル深度はレジスト層の厚さにもっぱら依存するため、レジスト層の厚さを正確に調整する必要がある。図示の例では、レジスト層の厚さd1は200nmに達する。放射線62による露光に電子ビームを用いる場合、ネガ型・レジスト層を成膜する前に、ガラス板60をスパッタリングしてクロム層を成膜することができる。クロム層の厚さは約20nmに達する。次いで、ネガ型・レジスト層61を放射線62で露光して台形の露光領域63を形成する。
その後、ネガ型・レジスト層61を現像することにより、非露光領域が溶失し、図3bに示すように、露光領域63のみがガラス板60に残る。次に、第2ネガ型・レジスト層64をガラス板60に成膜する。第2ネガ型・レジスト層64の層厚d2は150nmに達する。この層を同じ放射線62、好ましくは電子ビームによって露光する。この場合、領域63に隣接した領域65を露光する。次いで、ネガ型・レジスト層64を現像することにより、非露光領域が溶失し、露光領域63および65がガラス板60に残る。領域63および65はそれぞれ異なるプロファイル深度d1、d2によって特徴付けられ、特にゼロ次回折格子の場合には異なる光学的効果が得られる。
この方法は、これまでの図に関連して既に説明したポジ型・レジスト層、またはポジ型・レジスト層とネガ型・レジスト層との組合せにも適用できることは自明である。同様に、前記画像領域の1つに任意の一次格子像を配することもできる。
図4は光放射線によって露光された第1画像領域100、および粒子放射線によって露光された第2画像領域101を有する本発明によるエンボス・ホログラムのレジスト・マスター110の概略図である。図示の例では、光放射線によって露光された第1画像領域100は背景に配された文字領域を表す純正ホログラムを有している。粒子放射線によって形成された画像領域101は、電子ビーム・リソグラフィーによって形成され、傾斜させると脈動しているように見える文字“A”の形状を成している。モチーフを任意に選択できることは自明である。異なる画像領域を任意に相互関連させることができる。
ホログラフィック的、即ち、干渉性光放射線を重複させることによって形成された文字領域100は、領域101によって中断しているか、またはそこにギャップ101を有している。粒子放射線、特に電子ビームによって形成された文字“A”がギャップ101に配される。文字“A”は異なるハッチングで示すように異なるストライプ形状を成す格子構造体から成っている。
以下、前記のような本発明のレジスト・マスター110を作製できるそれぞれの方法について説明する。
前記ホログラフィー背景を形成する第1の方法によれば、図5に示すパターン102が用いられる。パターン102が、文字“A”を成すマスク103を用いてフォトレジスト層に光学的に露光される。図6にマスク103を概略的に示す。フォトレジスト層の領域101のホログラフィック露光がマスク103によって阻止され、文字領域100を有する背景のみが露光される。このことを図7に示す。次に、図4に示す格子構造体が電子ビームによって非露光領域101に書き込まれる。前記露光ステップの順序が変更可能であることは自明である。以下に詳細に説明するように、レジスト・マスター110の作製に1つまたは複数のフォトレジスト層を用いることができる。
図8a〜8fを参照して2つのフォトレジスト層を用いる第1の実施の形態を詳細に説明する。基体2となる黒に着色したガラス板にポジ型・レジスト材料A−RP3040から成る厚さ0.50μmのフォトレジスト層24を成膜する。例えば、HeCdレーザーを備えた従来型のホログラフィー装置において、ポジ型・レジスト層24の背景領域25が従来のレインボウ・ホログラムH1/H2法によって露光される一方、前景26、即ち、電子ビーム格子像となる領域は露光されない。図8aにおいて、前記装置はレーザー光線でのみ示してある。また、簡潔さを旨とし、基体の狭い部分領域のみを示している。
図8bにおいて、例えば、図6に示すようなマスクによって基体2を覆う。マスクは背景25となる画像部分を覆い、前景26となる領域は覆わない光を透過しないマスク領域15を有する透明箔29である。次に、基体2を均一なUV光で後露光する。
基体2を現像剤AR300−35によって現像すると、図8cに概略的に示すレリーフ形状24が形成される。次に、図8dに示すように、厚さ30nmのクロム層31を蒸着する。次いで、図8eに示すように、クロム層31にネガ型・レジスト材料X AR−N7720/25から成る厚さ300nmのネガ型・レジスト層32を成膜する。図8eに示すように、電子ビーム・リソグラフィーによって前記対象領域26に格子像101を前景として書き込む。この場合、与えられた格子線に沿って電子ビーム33を誘導する。ある意味では、電子ビーム33によってネガ型・レジスト層32に格子線が書き込まれることになる。全体を露光した基体2を現像剤AR300−48によって現像する。その結果、図8fに示すレリーフ形状32が得られる。
図9は個別の処理プロセスによってそれぞれの層を成膜する代わりに、処理の初めにすべての層を成膜し、別の成膜処理を必要とせずに連続して露光を行うことができる例を示している。
好ましくは石英ガラス板から成るガラス板40にクロム層41を成膜する。このクロム層に光放射線に殆んど反応しない暗色のポジ型・レジスト層42を成膜する。ポジ型・レジスト層42は電子ビーム露光に適し、例えば、200nmの電子ビーム露光に適した層厚を有している。
前記層の上部に光放射線、例えば、波長442nmのHeCdレーザー光に良く反応する厚さ400nmのポジ型・レジスト層43を成膜する。これにより、前記ガラス板を露光する準備が整ったことになる(図9a)。
必要とされる露光の順序は任意である。図示の例では、光露光から開始される。対象領域431をHeCdレーザー44によってホログラフ的に露光する。このようにして露光した領域431には図9bの破線で示す正弦曲線を成すホログラフィー潜像が含まれている。
下部のフォトレジスト層421は光に反応しないため損傷を受けないと共に、暗色を成しているため吸収層として機能し不要反射が回避される。次に、このようにして露光された領域431をマスク45で覆い、電子ビーム露光対象領域全体をまず青色光46によって前露光し最上部のフォトレジスト層の領域432を可溶性とする。その下部に配されているフォトレジスト層42の領域422(図9c)は光に反応しないため青色光46の影響を受けない。次に、電子ビーム47によってこの領域を露光する(図9d)。
前記電子ビームは上部フォトレジスト層43を透過し、下部の電子ビーム・レジスト層42を所望の格子像に露光する。電子ビームによる最上部のフォトレジスト層43の損傷はまったく問題にならない。何故なら、この層のこの領域は最終的に除去されるからである。これで露光処理が終了する。
現像することにより、露光による潜像から山谷形状が形成される(図9e)。領域431によりホログラフィー像が示され、領域421は露光されなかったため損傷を受けていない。領域432は全体が露光されたため除去され、領域422によって電子ビーム格子像が示される。
図10は図9と同様に処理される別の構造体を示している。クロム層41の代わりに導電ポリマー層51が成膜され、黒色ガラス基体50が用いられている点が異なっている。この構造体は図9の構造体と比較して光露光における反射抑制特性が優れている。
既に説明した図4に示すホログラフィック露光領域100および電子ビームによって形成された回折構造体101から成る回折構造パターンは、1つのフォトレジスト層のみを露光することによっても可能である。そのことが図11a〜11cに示してある。露光に先立ち、基体2に金属層70、並びにその上部に暗色の吸収層73およびフォトレジスト層71を成膜する。背景パターン100をホログラフ的に露光するため、マスク72によってフォトレジスト層71を部分的にマスクする。図11aに概略的に示すマスクは、例えば、図6に示す形状を成している。次に、図11aに示すように、マスク72によってマスクされないフォトレジスト層71の領域を重複する2つの干渉性光ビーム75、76によって露光する。目的ビーム76が図5に示す文字フィールド102の情報を担持している。目的ビーム76に参照ビーム75を重複させることにより、領域102にギャップを有する図7に示す文字フィールド100の形状を成すホログラフィー回折構造体77がフォトレジスト層71に形成される。ギャップ101はマスク72によってマスクされたため、この時点では露光されていない。次に、マスク72を除去し、これまで露光されなかったフォトレジスト層の前記領域に電子ビーム78によって格子構造体79を書き込む。このプロシージャー・ステップを図11bに示す。このプロシージャー・ステップにおいて、金属層70によって電子ビーム78の電子を確実に偏向できる。また、暗色の吸収層73によって、ホログラフィック露光の間、邪魔な光の反射が確実に阻止される。プロシージャー・ステップ11aおよび11bおけるフォトレジスト層71がポジ型・レジストであれば、現像後のフォトレジスト層71には図11cに示すレリーフ構造体が形成される。
また、プロシージャー・ステップ11aおよび11bおけるフォトレジスト層71がネガ型・レジストであれば、現像後のネガ型・レジストには図12に示すレリーフ構造体が形成される。
図13〜15は、基体2に配置可能であり、図11の方法に用いることができる各種層シーケンスを示している。例えば、基体2として暗色に着色したガラスを用いる場合には、暗色の吸収層73を省略できる。金属層30の代わりに、導電ポリマー80を用いることができる(図13)。また、金属層70を偏向層およびマスクとして用いることもできる。この様子を図14に示す。この場合、基体2として暗色ガラスを用いることができる。別の構成(図15)によれば、マスク72が別のプロシージャー・ステップによって成膜したマスキング金属層82を有するガラス板またはプラスチック箔81から成る多層構造を有することができる。この場合、金属層82は周知の洗浄法またはエッチング法によって構造化できる。マスク72はフォトレジスト層71の上部に配される。この場合、マスク72とフォトレジスト層71との間にグリセリン層を配し、フォトレジスト層表面の反射を回避することが有益である。グリセリンの代わりに、フォトレジスト層71およびガラス層81と略同じ屈折率を有する別の適切な物質も同様に使用できる。
図4に示すレジスト・マスター110を作製する別の方法を図16a〜16dに示す。この方法ではマスクを用いないため、形成される回折構造体100と101とが重複する。即ち、前景を成す回折構造体101が文字領域100の上部に配され、背景を成す文字領域に取って代わる。
図16aにおいて、フォトレジスト1を成膜した基体2を干渉性放射線195によって露光し、レジスト1に格子潜像196を形成する。次いで、基体2を現像する。その結果、図16bに示す中間製品が得られる。格子潜像196は文字領域100を表している。この中間製品にフォトレジスト層197を成膜する。図16cに示すように、材料の稠度および層厚が大きいことから、従前の構造体がフォトレジスト層197によって覆われると共に平坦にされる。電子ビーム198により層197に潜像199を形成する。この場合、露光が前記層の底部まで達しないようにする。現像結果を図16dに示す。回折構造体101が文字領域100の回折構造体に重複し、それに取って代わっている。このようにして、好ましくは個別化情報を含んだ、同型の回折構造体を容易に形成することができる。
フォトレジスト層を2つの異なる種類の放射線によって露光する更に別の方法を図17a〜17cに示す。この場合、露光プロセスによって形成される画像が重複する。図17aにおいて、フォトレジスト層1を成膜した基体2を放射線3(例えば、レーザー光)によって露光し、フォトレジスト層1に格子潜像196を形成する。次に、図17bに示すように、別の種類の放射線190(例えば、電子ビーム)によって再度露光し、第1格子像196に別の格子像191を重複させる。現像後のフォトレジスト層1を図17cに示す。従って、最終的な格子構造体194は格子像196と191とが重複したものである。
図17に示す一連の処理において、フォトレジスト層1は2種類の放射線に等しく適応している必要があり、この方法をあらゆる種類の放射線を用いて実現することはできない。あらゆる種類の放射線に対応可能な方法を図18a〜18dに示す。図18aにおいて、フォトレジスト層1を成膜した基体2を放射線3(例えば、レーザー光)によって露光し、フォトレジスト層1に格子潜像196を形成する。次に、フォトレジスト層を現像する。その結果、図18bに示す中間製品が得られる。この中間製品に放射線190(例えば、電子ビーム)による露光に対し層厚および感度を最適に調整したフォトレジスト層192を成膜する。層192を放射線190によって露光すると、図18cに示すように、潜像193が得られる。前記フォトレジストの現像結果を図18dに示す。この場合も、最終的な格子構造体194は格子像196と193とが重複したものである。
本発明の方法は別の任意の層構造にも適用できることは自明である。フォトレジスト層と反射を防止する吸収層とが基体2の異なる面に配されるよう、基体の下部側に吸収層を配することが得策である。
本発明の方法は別の任意の層構造にも適用できることは自明である。フォトレジスト層と反射を防止する吸収層とが基体2の異なる面に配されるよう、基体の下部側に吸収層を配することが得策である。
更に、これまで説明したすべての方法において、例えば、電鋳シム、あるいは型押プラスチック箔または金属箔のような既に回折構造体を備えている基体を用いることができる。このような特別な基体に別のフォトレジスト層を設け、それをこれまで説明した本発明の方法によって露光するだけで十分な場合もある。
これまで説明した方法を任意に組み合わせることができる。図4に示すレジスト・マスターに関連して説明した方法を別の格子像の形成、またはそれらの合成に用いることもできる。
レリーフ構造体または露光した基体を光学ホログラフィーの分野において恒例であるレジスト・マスターとして処理することができる。この場合、次に蒸着または化学析出により銀の薄層を成膜し、電鋳槽においてニッケル鋳型を作製する。ニッケル鋳型を複製してエンボス層を型押しするエンボス・ツールとして使用できる。エンボス層は最終的な基体である、例えば、銀行紙幣、クレジット・カード、または包装材料に金属光沢を有する反射層と共にまたは単独で転写される。
1 第1フォトレジスト層
2 基体
3、10 干渉波動場
4、11 干渉パターン
5、6 画像領域
7 山
8 谷
9 第2フォトレジスト層
100 第1画像領域(文字領域)
101 第2画像領域
102 パターン
103 マスク
110 レジスト・マスター
2 基体
3、10 干渉波動場
4、11 干渉パターン
5、6 画像領域
7 山
8 谷
9 第2フォトレジスト層
100 第1画像領域(文字領域)
101 第2画像領域
102 パターン
103 マスク
110 レジスト・マスター
Claims (38)
- 第1と第2の画像領域を含む少なくとも2つの異なる画像領域を有するレジスト・マスターを作製する方法であって、形成すべき前記画像領域の種類に適応した第1と第2のフォトレジスト層を含む少なくとも2つのフォトレジスト層を用いて前記レジスト・マスターを作製することを特徴とする方法。
- 前記画像領域において、前記フォトレジスト層を異なる層厚に成膜することを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記フォトレジスト層が同じ材料から成っていることを特徴とする請求項2記載の方法。
- 前記フォトレジスト層が形成すべきレリーフ形状の種類に適応していることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載の方法。
- 前記フォトレジスト層が異なる種類の放射線に適応していることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載の方法。
- 前記フォトレジスト層を重畳配置または並列配置することを特徴とする請求項1〜5いずれか1項記載の方法。
- 前記異なる画像領域が少なくとも部分的に重複していることを特徴とする請求項1〜6いずれか1項記載の方法。
- 前記重複画像領域をフォトレジスト層に露光することを特徴とする請求項7記載の方法。
- 前記重複画像領域を重畳配置したフォトレジスト層に露光することを特徴とする請求項7記載の方法。
- 第1フォトレジストを基体に成膜するステップ、
前記第1画像領域における前記第1フォトレジストを第1種類の放射線によって露光するステップ、
前記第1フォトレジストを現像するステップ、
第2フォトレジストを前記基体に成膜するステップ、
前記第2画像領域における前記第2フォトレジストを第2種類の放射線によって露光するステップ、および
前記第2フォトレジストを現像するステップ
の各ステップを有して成ることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項記載の方法。 - 第1層厚を有する第1フォトレジストを基体に成膜するステップ、
前記第1画像領域における前記第1フォトレジストを放射線によって露光するステップ、
前記第1フォトレジストを現像するステップ、
第2層厚を有する第2フォトレジストを前記基体に成膜するステップ、
前記第2画像領域における前記第2フォトレジストを放射線によって露光するステップ、および
前記第2フォトレジストを現像するステップ
の各ステップを有して成ることを特徴とする請求項1〜9いずれか1項記載の方法。 - 前記第1フォトレジスト層(1、12、24)および第2フォトレジスト層(9、19、32)として、ポジ型・レジストまたはネガ型・レジストをそれぞれ選択することを特徴とする請求項1〜11いずれか1項記載の方法。
- 前記第1フォトレジスト層としてネガ型・レジスト(1、19、32)を用い、前記第2フォトレジスト層としてポジ型・レジスト(12、19、24)を用いるか、またはその逆のレジストをそれぞれ用いることを特徴とする請求項1〜11いずれか1項記載の方法。
- ポジ型・レジスト(12、19、24)の場合には、まずそれぞれの前記画像領域を露光し、次にマスク(15、22)を用いて周囲領域を放射線(16、23、30)によって露光することを特徴とする請求項12または13記載の方法。
- 前記第1フォトレジスト層(1、12、24)と第2フォトレジスト層(9、19、24)との間に障壁層(31)を成膜することを特徴とする請求項1〜14いずれか1項記載の方法。
- 前記障壁層として金属層または酸化物層(31)を選択することを特徴とする請求項15記載の方法。
- 前記第1および第2種類の放射線(3、10、13、20、33)として粒子放射線または電磁放射線を選択することを特徴とする請求項1〜16いずれか1項記載の方法。
- 前記第1または第2種類の放射線(3、10、13、20、33)として電子ビームまたはレーザーを選択することを特徴とする請求項17記載の方法。
- 前記第1および/または第2フォトレジスト層に回折構造体を露光するか、または書き込むことを特徴とする請求項1〜18いずれか1項記載の方法。
- 前記画像領域の少なくとも1つに1つの純正ホログラムを露光することを特徴とする請求項1〜19いずれか1項記載の方法。
- 前記画像領域の少なくとも1つに格子像を書き込むか、または露光することを特徴とする請求項1〜20いずれか1項記載の方法。
- 前記画像領域の少なくとも1つにゼロ次格子像を書き込むか、または露光することを特徴とする請求項1〜21いずれか1項記載の方法。
- 2つを越える画像領域を形成することを特徴とする請求項1〜21いずれか1項記載の方法。
- 前記フォトレジスト層の少なくとも1つをガラス板、型押プラスチック箔または金属箔、あるいは電鋳シムに成膜し、該フォトレジスト層を露光することを特徴とする請求項1〜23いずれか1項記載の方法。
- 少なくとも2つの異なる画像領域を有するレジスト・マスターを作製する方法であって、1つのフォトレジスト層を基体に設け、該フォトレジスト層を1つの前記画像領域において光放射線によって露光し、別の画像領域において粒子放射線によって露光することを特徴とする方法。
- 前記異なる画像領域が少なくとも部分的に重複していることを特徴とする請求項25記載の方法。
- 少なくとも2つの異なる画像領域を有するレジスト・マスターを作製する方法であって、レリーフ構造を成す回折構造体を有する基体に1つのフォトレジスト層を成膜し、前記画像領域の1つにおいて該フォトレジスト層を露光し、該フォトレジスト層の非露光領域を除去することにより、下部に位置する前記レリーフ構造体を露出させることなく、第2画像領域を形成することを特徴とする方法。
- 前記基体として、電鋳シム、型押プラスチック箔または金属箔を用いることを特徴とする請求項27記載の方法。
- 請求項1〜28いずれか1項記載の方法によって作製されたレジスト・マスター。
- 光放射線によって露光した第1画像領域、および粒子放射線によって露光した第2画像領域を有する少なくとも1つのフォトレジスト層を有して成るレジスト・マスター。
- 少なくとも1つの画像領域において各々がそれぞれ別の種類の放射線によって露光した少なくとも2つのフォトレジスト層を有して成るレジスト・マスター。
- ゼロ次格子像が露光されている第1画像領域、および一次格子像が露光されている第2画像領域を有する少なくとも1つのフォトレジスト層を有して成るレジスト・マスター。
- 少なくとも1つの画像領域において各々が露光されている、層厚が異なる少なくとも2つのフォトレジスト層を有して成るレジスト・マスター。
- 前記フォトレジスト層の各々にゼロ次格子像が露光されていることを特徴とする請求項33記載のレジスト・マスター。
- 前記画像領域が少なくとも部分的に重複していることを特徴とする請求項30〜34いずれか1項記載のレジスト・マスター。
- 請求項29〜35いずれか1項記載のレジスト・マスターを用いて作製したセキュリティー素子。
- エンボス・ツール、特に型押シリンダーを作製するために請求項29〜36いずれか1項記載のレジスト・マスターを使用する方法。
- レジスト・マスターを作製する方法であって、既に構造化されている担体材料に型押し可能なラッカー層を成膜し、該ラッカー層に格子像を型押しすることを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10308328A DE10308328A1 (de) | 2003-02-26 | 2003-02-26 | Verfahren zur Herstellung eines belichteten Substrats |
PCT/EP2004/001816 WO2004077493A2 (de) | 2003-02-26 | 2004-02-24 | Verfahren zur herstellung eines belichteten substrats |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006520010A true JP2006520010A (ja) | 2006-08-31 |
Family
ID=32841925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006501940A Pending JP2006520010A (ja) | 2003-02-26 | 2004-02-24 | 露光基体の作製方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7241537B2 (ja) |
EP (1) | EP1599763A2 (ja) |
JP (1) | JP2006520010A (ja) |
DE (1) | DE10308328A1 (ja) |
RU (1) | RU2344455C2 (ja) |
WO (1) | WO2004077493A2 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10308328A1 (de) | 2003-02-26 | 2004-09-09 | Giesecke & Devrient Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines belichteten Substrats |
DE10348623A1 (de) | 2003-10-15 | 2005-05-25 | Giesecke & Devrient Gmbh | Optisch variable Beugungsstruktur und Verfahren zu ihrer Herstellung |
US7229745B2 (en) * | 2004-06-14 | 2007-06-12 | Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. | Lithographic semiconductor manufacturing using a multi-layered process |
GB0422266D0 (en) | 2004-10-07 | 2004-11-10 | Suisse Electronique Microtech | Security device |
WO2006085741A1 (en) * | 2005-02-09 | 2006-08-17 | Stichting Dutch Polymer Institute | Process for preparing a polymeric relief structure |
GB0601093D0 (en) * | 2006-01-19 | 2006-03-01 | Rue De Int Ltd | Optically Variable Security Device |
JP2008146691A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Fujifilm Corp | スタンパ原版およびスタンパの製造方法 |
GB0711434D0 (en) | 2007-06-13 | 2007-07-25 | Rue De Int Ltd | Holographic security device |
JP2009182075A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Canon Inc | インプリントによる構造体の製造方法 |
JP4453767B2 (ja) * | 2008-03-11 | 2010-04-21 | ソニー株式会社 | ホログラム基板の製造方法 |
US10380476B1 (en) | 2013-12-10 | 2019-08-13 | Wells Fargo Bank, N.A. | Transaction instrument |
US10354175B1 (en) | 2013-12-10 | 2019-07-16 | Wells Fargo Bank, N.A. | Method of making a transaction instrument |
US10513081B1 (en) * | 2013-12-10 | 2019-12-24 | Wells Fargo Bank, N.A. | Method of making a transaction instrument |
US10479126B1 (en) | 2013-12-10 | 2019-11-19 | Wells Fargo Bank, N.A. | Transaction instrument |
DE102016002451A1 (de) * | 2016-02-29 | 2017-08-31 | Giesecke & Devrient Gmbh | Prägeplatte, Herstellungsverfahren und geprägtes Sicherheitselement |
US10613268B1 (en) | 2017-03-07 | 2020-04-07 | Facebook Technologies, Llc | High refractive index gratings for waveguide displays manufactured by self-aligned stacked process |
US10482365B1 (en) | 2017-11-21 | 2019-11-19 | Wells Fargo Bank, N.A. | Transaction instrument containing metal inclusions |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1989009989A1 (en) * | 1988-04-12 | 1989-10-19 | Dia Nippon Insatsu Kabushiki Kaisha | Optical recording medium and method of manufacturing same |
JPH02262319A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-25 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JPH09106936A (ja) * | 1995-10-09 | 1997-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体基板 |
JP2000352825A (ja) * | 1999-06-10 | 2000-12-19 | Advantest Corp | パターン形成方法 |
JP2001135565A (ja) * | 1999-11-08 | 2001-05-18 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
WO2001062516A1 (de) * | 2000-02-21 | 2001-08-30 | Giesecke & Devrient Gmbh | Mehrschichtige, laminierte karte mit eingelagertem, reliefstrukturen aufweisenden sicherheitselement |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4282308A (en) * | 1975-06-03 | 1981-08-04 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Negative-working multilayer photosensitive element |
US4255514A (en) * | 1979-04-27 | 1981-03-10 | Rca Corporation | Method for fabricating a diffractive subtractive filter embossing master |
DE3837874A1 (de) * | 1988-11-08 | 1990-05-10 | Siemens Ag | Verfahren zur herstellung von gitterstrukturen mit um eine halbe gitterperiode gegeneinander versetzten abschnitten |
JPH02187012A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-07-23 | Nec Corp | レジストパターン形成方法 |
JPH0828321B2 (ja) * | 1990-08-20 | 1996-03-21 | 松下電器産業株式会社 | レジスト塗布評価方法 |
US5944974A (en) * | 1995-07-01 | 1999-08-31 | Fahrenberg; Jens | Process for manufacturing mold inserts |
DE19524099A1 (de) * | 1995-07-01 | 1997-01-02 | Karlsruhe Forschzent | Verfahren zur Herstellung von Formeinsätzen |
US5733708A (en) * | 1995-10-02 | 1998-03-31 | Litel Instruments | Multilayer e-beam lithography on nonconducting substrates |
JP2000100700A (ja) | 1998-09-22 | 2000-04-07 | Toshiba Corp | パターン形成方法およびハイブリッド露光方法 |
US6517995B1 (en) * | 1999-09-14 | 2003-02-11 | Massachusetts Institute Of Technology | Fabrication of finely featured devices by liquid embossing |
EP1225477A1 (fr) | 2001-01-17 | 2002-07-24 | Hubert Lorenz | Procédé de fabrication et de marquage de composants micromécaniques réalisés par photostructuration et électroformage |
DE60124283T2 (de) * | 2001-12-18 | 2007-06-06 | Istituto Poligrafico E Zecca Dello Stato | Optischer Datenträger mit einem auf optischer Beugung basierenden Code, und zugehöriges Lesegerät |
DE10308328A1 (de) | 2003-02-26 | 2004-09-09 | Giesecke & Devrient Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines belichteten Substrats |
US6905802B2 (en) * | 2003-08-09 | 2005-06-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Multiple exposure method for forming a patterned photoresist layer |
-
2003
- 2003-02-26 DE DE10308328A patent/DE10308328A1/de not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-02-24 EP EP04713881A patent/EP1599763A2/de not_active Withdrawn
- 2004-02-24 JP JP2006501940A patent/JP2006520010A/ja active Pending
- 2004-02-24 WO PCT/EP2004/001816 patent/WO2004077493A2/de active Application Filing
- 2004-02-24 US US10/545,195 patent/US7241537B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-02-24 RU RU2005129549/28A patent/RU2344455C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1989009989A1 (en) * | 1988-04-12 | 1989-10-19 | Dia Nippon Insatsu Kabushiki Kaisha | Optical recording medium and method of manufacturing same |
JPH02262319A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-25 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JPH09106936A (ja) * | 1995-10-09 | 1997-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体基板 |
JP2000352825A (ja) * | 1999-06-10 | 2000-12-19 | Advantest Corp | パターン形成方法 |
JP2001135565A (ja) * | 1999-11-08 | 2001-05-18 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
WO2001062516A1 (de) * | 2000-02-21 | 2001-08-30 | Giesecke & Devrient Gmbh | Mehrschichtige, laminierte karte mit eingelagertem, reliefstrukturen aufweisenden sicherheitselement |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1599763A2 (de) | 2005-11-30 |
WO2004077493A2 (de) | 2004-09-10 |
US7241537B2 (en) | 2007-07-10 |
WO2004077493A3 (de) | 2005-09-15 |
US20060141385A1 (en) | 2006-06-29 |
DE10308328A1 (de) | 2004-09-09 |
RU2005129549A (ru) | 2007-04-20 |
RU2344455C2 (ru) | 2009-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006520010A (ja) | 露光基体の作製方法 | |
JP5377523B2 (ja) | フィルムエレメントの製造プロセス | |
RU2491595C2 (ru) | Защитный элемент и способ создания защитного элемента | |
JP5101600B2 (ja) | 体積ホログラムを有する多層体 | |
EP0838067B1 (en) | Pattern metallized optical varying security devices | |
US20050052745A1 (en) | Optical device and methods of manufacture | |
US20170106690A1 (en) | Hybrid security device for security document or token | |
JP2017500607A (ja) | 多層体およびその製造方法 | |
EP1974241B1 (en) | Method of forming an optically variable security device | |
RU2314932C2 (ru) | Способ получения решетчатого изображения, решетчатое изображение и защитный документ | |
KR102214046B1 (ko) | 보안용 홀로그램 스티커 라벨의 제조방법 | |
JP5040642B2 (ja) | 回折構造形成体の製造方法 | |
JP5365441B2 (ja) | 判定セット、判定シート、潜像シート及び可視化シート | |
JP7000647B2 (ja) | ホログラフィックセキュリティラベルの製造方法 | |
US7655381B2 (en) | Method for producing resist substrates | |
EP2216681A2 (en) | Production of a surface relief on a substrate | |
JP5040609B2 (ja) | セキュリティー光学デバイスの製造方法およびそのセキュリティー光学デバイス | |
AU2014100511A4 (en) | Hybrid security device for security document or token | |
JP6915648B2 (ja) | 転写箔の製造方法 | |
KR100913200B1 (ko) | 표시판 및 그 제조 방법 | |
KR100817375B1 (ko) | 요판 인쇄 공정에 의해 광가변 요소가 부가된 보안도큐먼트 및 이의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100629 |