JP2006504085A - 座標測定機械用プローブヘッド - Google Patents
座標測定機械用プローブヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006504085A JP2006504085A JP2004545866A JP2004545866A JP2006504085A JP 2006504085 A JP2006504085 A JP 2006504085A JP 2004545866 A JP2004545866 A JP 2004545866A JP 2004545866 A JP2004545866 A JP 2004545866A JP 2006504085 A JP2006504085 A JP 2006504085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- magnet
- probe head
- hall
- plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
【解決手段】ハウジング12内に弾力性をもって吊り下げられた探針18を備えた座標測定機械用のプローブヘッド10。センサー構成26は前記ハウジング12に対する前記探針18の片寄りを検出する。前記センサー構成26は、磁石34と前記磁石に近接して配設されたホール素子36とを有する少なくとも1つのホールセンサーを備えている。前記探針18が片寄ると、前記磁石34が磁石34のN極とS極とによって規定されるその軸方向において前記ホール素子36に沿ってその側方を通過する。極性の変化するホール電圧が前記ホール素子36で得られる。極性が反転する点付近にあるホール電圧の直線的な範囲が、探針18の片寄りを表す量として処理される。
Description
前記既知のプローブヘッドは、シャフトの寸法を求めるために設計されている。これは回転シャフトの外周面に押しつけられた球状のプローブ先端部を有する細長いアームを有する。前記アームは、断面積が減じられた節(セグメント)からなり膜ヒンジの様態で設計された関節構造を有する平行四辺形型構造の一部である。全体の構成は単一部材のように設計されている。前記プローブ先端部を有するアームの運動を電気的に検出可能な信号に変換するために、プローブ先端部によって間接的に動かされるコアが測定コイル内に押し込まれるようになされた誘導センサー構造が利用される。この場合、センサー構造の別の実施形態としてホール素子も提案されている。
下記特許文献2には、物体の空間的位置を検出する方法および装置が開示されている。この既知の装置では、この目的のために提案されたホールセンサーなどの4×4個のセンサーの配列が利用される。この場合も、ホール素子の配設の性格とホール電圧の評価とに関しては、それ以上何も示されていない。
最後に、下記特許文献7には、ホールセンサーにより可動部品の位置を検出するための別のセンサー構成が開示されているが、上記のホール電圧パターンと閾値ステージを使用して自動車のフロントガラスのワイパーを制御するために、このホールセンサーも同様に磁石で横方向に横切られる。
ゼロ点を通過するホール電圧のパターンを発生する他の応用において、位置を求めるためにホールセンサーが使用される限り(下記特許文献5、下記特許文献6、下記特許文献7および下記特許文献9)、これは全く異なる応用分野に関し、かかる応用は通過する物体の数を数えるか、またはそれにより特定の端部位置を求めるために、変調されたホール信号を閾値ステージによりパルスもしくは矩形信号に変換することに限定される。
本発明の手段は座標測定機械の分野において初めて、他の応用分野でそれ自体は知られているホールセンサーの構成により、任意の座標方向における探針の片寄りを、高分解能と直線的な信号パターン(プロファイル)で検出することを提案する。ここで一般に座標の各方向について1個のホールセンサーしか必要でないが、以下説明されるように、ある種の用途においては他の理由により2個または4個のホールセンサーを使用することが有利である。
この手段は、ホール素子の元来非直線的な特性曲線を、例えば事前に求められている補正値によって直線に補正した場合に、測定値をより単純に処理することが可能になるという利点がある。
本発明によるプローブヘッドの好適な改良においては、それ自体は既知の仕方でハウジング内に平面が規定され、この平面は探針の待機位置において探針の半径方向の平面を形成している。
この場合、少なくとも1つの第一の磁石の軸が探針の軸と平行となり、かつ探針の待機位置では、その両極の間に規定された対称平面が前記平面内にあるように位置することが特に好適である。
ある具体的な実施形態の場合、探針はダイアフラムにより前記平面内にカルダン方式で吊り下げられ、第一の磁石と第一のホール素子とはダイアフラム内の第一の開口を通って突出している。
この場合、第一の磁石が探針から離れる半径方向に延びるホルダー上に配設され、第一のホール素子がハウジングの軸方向に延びる内壁上に配設されていることが特に好適である。
別の実施形態の一群では、少なくとも1つの第一の磁石がその軸を探針の軸に直交させて配設され、前記第一の磁石は探針から離れる半径方向に延びる第一のホルダーの上に配設され、前記第一のホール素子はハウジングの半径方向に延びる内壁上に配置されている。
本発明の別の実施形態では、ハウジング内に長手方向の軸が規定され、この軸は探針が待機位置にあるときに探針の長手方向の軸と一致し、探針はその長手方向の軸に沿って弾性的に変位可能であり、また探針には少なくとも1つの第二の磁石が備えられ、かつハウジングにはその変位を検出するための少なくとも1つの第二のホール素子が備えられているか、またはその逆でもよい。
このことは特に、探針が平面内にある支点の回りを旋回できるならば常に言えることであり、その場合は第二の磁石はその軸が探針の軸と平行となるように配列され、また探針が待機位置にあるときはその両極の間に規定された対称面が平面内に位置している。
この実施形態の実際的な形態では、探針はやはりダイアフラムにより前記平面内にカルダン方式で吊り下げられ、また第二の磁石と第二のホール素子とはダイアフラム内の第二の開口を通って突出する。
更にZ軸上の変位を測定するための構成の上記の実施形態において、第二の磁石が探針上に配設され、また第二のホール素子がハウジングの内壁から半径方向に離れるように延びるホルダー上に配設されていることが特に好適である。
別の実施形態では、第二の磁石はその軸が探針の軸と平行となるように配設され、探針が待機位置にあるときはその両極の間に規定された対称面が前記平面から間隔を開けるように配置されている。
最後に挙げた実施形態の場合、2つの磁石が互いに軸方向に離間して備えられているという事実により、特に良好な動きが更に得られる。
この手段は、Z軸に沿った変位の方向を信頼性良く検出できるという利点を有する。
この手段は、探針がX−Y平面内で同時に旋回していても、Z軸上で精密な測定が可能であるという、すでに述べた利点を有する。
これまでに述べた全ての実施形態において、複数のホールセンサー、特に4つの第一のホールセンサーまたは2つの第二のホールセンサーが、プローブヘッドの周縁部にわたって分布するように配列されていることが特に好適である。
最後に、本発明の範囲内において、旋回の検出に供される少なくとも磁石および/またはホール素子が球面を備えており、その球面の曲率半径が旋回運動の半径に対応していることが特に好適である。
更に別の利点が、説明および添付図面から理解される。
上で説明した特徴および以下で説明する特徴が、本発明の範囲から逸脱することなく、それぞれ説明した組み合わせだけでなく、他の組み合わせ、または単独で利用できることは、自明である。
探針18はその下端にある接触球24で終わる。
以下、図2ないし図4Bを参照して、プローブヘッド10を更に詳しく説明する。
探針18上で、カルダン平面21よりも少し上方に星形のホルダー30が配設されているが、これは4本のアーム32aないし32dを有し、探針18から半径方向に突出し、かつ前記探針に固定されている。
第一のホールセンサー33aないし33dは、アーム32aないし32dの自由端に配設された第一の永久磁石34aないし34dを有する。第一の永久磁石34aないし34dは、ダイアフラム16の外周部で第一の開口35aないし35dを通って突出している。これらと直接対向して、ハウジング12の軸方向の内壁14に第一のホール素子36aないし36dが配設され、第一の永久磁石34aないし34dと第一のホール素子36aないし36dとの間に非常に小さな空隙(エアギャップ)だけが残るようになされている。
更に、第一の永久磁石34aないし34dがZ方向に配置され、それらの対称面45が、探針18の待機位置において、磁極NおよびSの間で厳密にカルダン平面21内にあるように配置されている(図1および図3A)。このことは第二の永久磁石38a、38bについても同様である。
最後に図3Aには、第一の永久磁石34aの第一のホール素子36aに面する表面46が、第一のホール素子36aの対向する表面48と同様に、球形となるように設計され、その曲率半径が支点20からのそれぞれの表面の距離に厳密に対応するようになされていることが示されている。
探針18が図1、図3Aおよび図4Aに示すように待機位置にあるときは、X−Y平面内での旋回を検出するための第一のホールセンサー33aないし33dと、Z方向内の旋回を検出するための第二のホールセンサー37a、37bの両方に、ゼロ信号が存在する。これは、永久磁石34aないし34dおよび38a、38bの磁力線が、それぞれ、それらと位置合わせされたホール素子36aないし36dおよび40a、40bを対称形に貫通するからである。
容易に理解できるように、信号すなわちホール電圧は、ホール素子36a、36cにおいて反対方向に変化するが、その目的のために図5および図6を簡単に参照する。
ホールセンサー51の永久磁石56は、わずかな間隔でホール素子52を横切って移動する。これは、永久磁石56のN極58とS極60とによって規定される軸61が運動の方向xと一致するように行われる。
ホール電圧UHはゼロ点を通過するときにプラスからマイナスに変わり、ゼロ点の近傍は好適には直線範囲66として、電圧範囲68または移動範囲70内で、ホール電圧UHが移動量xに対して依存するとみなされるものが設定されている。ホール素子52が非線形の特性カーブを有する場合は、事前に求めた補正値などにより直線に補正すればよい。
図3AでΔZと記され破線および点線で示され、かつ矢印示したように探針18がその軸19に沿ってのみ変位させられると、第一のホール素子36aと第一のホール素子36cとには同一の信号が現れるが、これらを通常の手段で除外して、旋回の測定に擬似的な値が入り込むのを防ぐことができる。
図4Aおよび図4Bは、Z軸に沿った探針18の変位の測定に関する状況を示している。図4Aは、初期状態を示しており、図4Bは、探針18が図4BでΔZと記されたように待機位置18から18‘まで変位させられたときの測定状態を示す。
最後に、図7はプローブヘッド80の別の実施形態を示す。
プローブヘッド80もまた、その中にダイアフラム86が固定されている内部84を有するハウジング82を有する。
ここで円または球面92は、探針88の旋回の測定がカルダン平面91から間隔を保って行われることを示す。
第一のセンサー構成96は、X−Y平面内の探針88の旋回を測定する役割を果たす。第一のセンサー構成96は、探針88の半径方向の平面内の板として設計され、後者に固定されている。
第一のホルダー98の下には第一のホールセンサーが配置され、そのうちの2個、具体的にはホールセンサー99aおよび99bだけが図7に示してある。ただしこれらのホールセンサーは4個備えられ、探針88のまわりに90°間隔で配置されている。
ハウジング82の下端には、ハウジング82の頂部に面する半径方向の内壁103をなす第二のホルダー102が配置されている。内壁103の上には、第一の永久磁石100a、100bと共に第一のホールセンサー99a、99bを構成する第一のホール素子104a、104bが配設されている。
この場合も106は、永久磁石100a、100bまたはホール素子104a、104bの互いに対向する表面が、その半径が円または球面92で決まる球面形状を有することを示す。この場合も、探針88を支点90のまわりに旋回させても、第一の永久磁石100a、100bと第一のホール素子104a、104bとの間の空隙が一定となる。
第二のセンサー構成110は、探針88の互いに反対側で軸方向に離して配列された2つのホールセンサー111a、111bを含む。第二のホールセンサー111a、111bはそれぞれ第二の永久磁石112a、112bおよび第二のホール素子114a、114bを含む。後者は、ハウジング82の内壁84から半径方向に突出するアーム116a、116bの自由端に配設されている。
第二の永久磁石112a、112bが第二のホール素子114a、114bを通過して移動する場合のZ方向での探針88の運動についても、同様のことが言える。
Claims (19)
- ハウジング(12;82)内に弾力性をもって吊り下げられた探針(18;88)と、前記ハウジング(12;82)に対する前記探針(18;88)の片寄り(α、ΔZ)を検出するためのセンサー構成(26;96,110)とを備えた座標測定機械用のプローブヘッドであって、
前記センサー構成(26;96,110)が磁石(34,38,56;100,112)と前記磁石に近接して配設されたホール素子(36,40;52;104,114)とを有する少なくとも1つのホールセンサー(33,37,51;99,111)を有し、
前記磁石(34)が、そのN極(N)とS極(S)とによって規定される軸の方向において、前記ホール素子(36)によって側方を通過され、その結果極性の変化するホール電圧(UH)が前記ホール素子(36,40;52;104,114)で得られ、また極性が反転する点付近におけるホール電圧(UH)の範囲(66,68,70)が前記探針(18;88)の前記片寄りを表す量として処理されるプローブヘッド。 - 前記範囲(66,68,70)が実質的に直線性を有する、請求項1記載のプローブヘッド。
- 前記ハウジング(12;82)内に平面(21;91)が規定され、この平面が前記探針(18;88)の待機位置における前記探針(18;88)の半径方向の平面を形成している、請求項1または2記載のプローブヘッド。
- 前記探針(18;88)が前記平面(21;91)内にある支点(20;90)のまわりに旋回(X、Y)するようになされ、前記旋回を検出するために、前記探針(18;88)には少なくとも1つの第一の磁石(34;100)が備えられ、かつ前記ハウジング(12,82)には少なくとも1つのホール素子(36;104)が備えられているか、またはその逆の構成である、請求項3記載のプローブヘッド。
- 少なくとも1つの第一の磁石(34)が、その軸(44)を前記探針(18)の軸(19)と平行になるように配設され、前記探針(18)が前記待機位置にあるときは、その両極の間に規定されるその対称面(45)が前記平面(21)内にあるように位置している、請求項4記載のプローブヘッド。
- 前記探針(18)が前記平面(21)内にあるダイアフラム(16)によってカルダン方式で吊り下げられ、かつ前記第一の磁石(34)と前記第一のホール素子(36)とが前記ダイアフラム(16)内の第一の開口(35)から突出している、請求項5記載のプローブヘッド。
- 前記探針(18)から半径方向に延びるホルダー(30)上に、前記第一の磁石(34)が配設されており、また前記第一のホール素子(36)が前記ハウジング(12)の軸方向に延びる内壁(14)上に配設されている、請求項4ないし6のいずれかに記載のプローブヘッド。
- 少なくとも1つの第一の磁石(100)が、その軸と前記探針(88)の軸(89)とが直交するように配設され、前記第一の磁石(100)が前記支点(90)から軸方向に間隔をおいて、前記探針(88)から離れるように半径方向に延びる第一のホルダー(98)上に配設され、かつ前記第一のホール素子(104)が前記ハウジング(82)の半径方向に延びる内壁(103)上に配置されている、請求項4記載のプローブヘッド。
- 前記探針(18;88)の前記待機位置において、前記探針(18;88)の長手方向の軸(19;89)と一致する長手方向の軸(Z)が前記ハウジング(12;82)内に規定され、前記探針(18;88)がその長手方向の軸(19;89)に沿って弾性的に変位可能であり、前記旋回を検出するために、前記探針(18;88)には少なくとも1つの第二の磁石(38;112)が備えられ、かつ前記ハウジング(12,82)には少なくとも1つの第二のホール素子(40;114)が備えられているか、またはその逆の構成である、請求項3記載のプローブヘッド。
- 前記探針(18)が前記平面(21)内にある支点(20)のまわりに旋回(X,Y)するようになされ、前記第二の磁石(38)はその軸が前記探針(18)の前記軸(19)と平行になるように配設され、前記探針(18)の前記待機位置においてはその両極の間に規定されるその対称面が前記平面(21)内にあるように位置している、請求項9記載のプローブヘッド。
- 前記探針(18)がダイアフラム(16)によって前記平面(21)内にカルダン方式で吊り下げられており、また前記第二の磁石(38)と前記第二のホール素子(40)とが前記ダイアフラム(16)内の第二の開口(39)から突出している、請求項10記載のプローブヘッド。
- 前記第二の磁石(38)が前記探針(18)上に配設されており、前記第二のホール素子(40)が前記ハウジング(12)の内壁(14)から離れるように半径方向に延びるホルダー(42)上に配設されている、請求項9ないし11のいずれかに記載のプローブヘッド。
- 前記第二の磁石(112)が、その軸と前記探針(88)の軸(89)とが平行になるように配設され、前記探針(18)の前記待機位置においては、その両極の間に規定される対称面が前記平面(21)から距離をおいて配置されている、請求項9記載のプローブヘッド。
- 2個の第二の磁石(112a、112b)が軸方向に互いに距離をおいて備えられている、請求項13記載のプローブヘッド。
- 前記第二の磁石(112)が前記探針(88)上に配設されており、また前記第二のホール素子(114)が前記ハウジング(82)の内壁(84)から離れるように半径方向に延びるホルダー(116)上に配設されている、請求項13または14記載のプローブヘッド。
- 複数の前記ホールセンサー(33,37;99,111)が前記プローブヘッド(10;80)の周縁部にわたって分布するように配設されている、請求項1ないし15のいずれかに記載のプローブヘッド。
- 4個の第一のホールセンサー(33a,33b,33c,33d;99a,99b)が前記周縁部にわたって分布して配設されている、請求項16記載のプローブヘッド。
- 2個の第二のホールセンサー(37a,37b;111a,111b)が前記周縁部にわたって分布して配設されている、請求項16または17記載のプローブヘッド。
- 旋回を検出するための少なくとも磁石(34;100)および/またはホール素子(36;104)が球面(46,48;106)を備え、前記表面(46,48;106)の曲率半径が前記旋回運動の半径に対応している、請求項1ないし18のいずれかに記載のプローブヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10250812 | 2002-10-23 | ||
PCT/EP2003/011473 WO2004038324A1 (de) | 2002-10-23 | 2003-10-16 | Tastkopf mit magnet und hallelement für den einsatz in einem koordinatenmessgerät |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006504085A true JP2006504085A (ja) | 2006-02-02 |
JP4386841B2 JP4386841B2 (ja) | 2009-12-16 |
Family
ID=32103225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004545866A Expired - Fee Related JP4386841B2 (ja) | 2002-10-23 | 2003-10-16 | 座標測定機械用プローブヘッド |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7284337B2 (ja) |
EP (1) | EP1556665B1 (ja) |
JP (1) | JP4386841B2 (ja) |
DE (1) | DE10348887A1 (ja) |
WO (1) | WO2004038324A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013533496A (ja) * | 2010-08-10 | 2013-08-22 | カール ザイス インダストリエル メステクニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 第2の部分に対する第1の部分の空間位置を決定するセンサ組立体および方法 |
TWI411764B (zh) * | 2009-05-15 | 2013-10-11 | Panasonic Corp | 三次元形狀測定裝置用探針及三次元形狀測定裝置 |
JP2016145721A (ja) * | 2015-02-06 | 2016-08-12 | 日立金属株式会社 | 距離測定システム及び距離測定方法 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10348887A1 (de) * | 2002-10-23 | 2004-05-13 | Carl Zeiss | Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät |
KR20050061563A (ko) * | 2002-10-29 | 2005-06-22 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 진동 댐핑 시스템을 갖는 좌표 측정 디바이스 |
JP2007170951A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Fine Tech Corp | 極低測定圧接触式測長装置 |
WO2007135857A1 (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Panasonic Corporation | 形状測定装置用プローブ及び形状測定装置 |
DE202006020943U1 (de) * | 2006-06-23 | 2011-02-17 | Reichhardt, Andreas, Dipl.-Ing. agr. | Elektromechanische Tastvorrichtung zur Abstandserfassung |
JP5179760B2 (ja) * | 2007-02-05 | 2013-04-10 | 株式会社ミツトヨ | 座標測定用補助具、座標測定用プローブ及び座標測定機 |
FR2997490B1 (fr) * | 2012-10-30 | 2015-06-12 | Actimesure | Dispositif palpeur pour le controle geometrique de pieces |
US9913728B2 (en) | 2013-03-14 | 2018-03-13 | Quandary Medical, Llc | Spinal implants and implantation system |
DE102013015237A1 (de) * | 2013-09-13 | 2015-03-19 | Blum-Novotest Gmbh | Rauheits-Messinstrument zum Einsatz in einer Werkzeugmaschine und Verfahren zur Rauheitsmessung in einer Werkzeugmaschine |
US9753114B2 (en) * | 2014-11-03 | 2017-09-05 | Honeywell Limited | Gap and displacement magnetic sensor system for scanner heads in paper machines or other systems |
CN104568360B (zh) * | 2014-12-25 | 2017-06-13 | 宁波吉利汽车研究开发有限公司 | 一种用于汽车后排座椅鞭打试验的确定头部接触点的装置 |
CN106556446B (zh) * | 2016-11-30 | 2023-11-03 | 中国水利水电科学研究院 | 一种管网自动化监测的流量计 |
DE102019105059A1 (de) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts |
DE102020108182A1 (de) | 2019-05-07 | 2020-11-12 | Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh | Oberflächenmessgerät |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3902252A (en) * | 1974-01-02 | 1975-09-02 | Safe Flight Instrument | Magnetic field directional sensor |
GB1551218A (en) | 1975-05-13 | 1979-08-22 | Rolls Royce | Probe for use in displacement measuring apparatus |
US4098001A (en) * | 1976-10-13 | 1978-07-04 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Remote center compliance system |
US4155169A (en) * | 1978-03-16 | 1979-05-22 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Compliant assembly system device |
US4337579A (en) * | 1980-04-16 | 1982-07-06 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Deformable remote center compliance device |
US4414750A (en) * | 1981-10-19 | 1983-11-15 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Single stage remote center compliance device |
CH662649A5 (de) * | 1983-12-15 | 1987-10-15 | Maag Zahnraeder & Maschinen Ag | Zahnmesstaster. |
DE3721682A1 (de) | 1986-10-13 | 1988-04-21 | Pav Praezisions Apparatebau Ag | Bewegungselement fuer feinmess- oder justiergeraete |
US4866854A (en) * | 1986-12-05 | 1989-09-19 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Multiple axis displacement sensor |
DE3708105A1 (de) * | 1987-03-13 | 1988-09-22 | Bosch Gmbh Robert | Messtaster |
DE3715698A1 (de) * | 1987-05-12 | 1988-12-01 | Stiefelmayer Kg C | Tastkopf |
DE3720524A1 (de) | 1987-06-20 | 1988-12-29 | Pav Praezisions Apparatebau Ag | Messkluppe |
GB2238616B (en) * | 1989-10-18 | 1993-06-23 | Mitutoyo Corp | Touch signal probe |
US5326982A (en) * | 1990-03-23 | 1994-07-05 | Geotronics Ab | Analogue displacement sensor |
EP0471371B1 (en) * | 1990-08-17 | 1995-04-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Displacement-measuring apparatus |
US5493216A (en) * | 1993-09-08 | 1996-02-20 | Asa Electronic Industry Co., Ltd. | Magnetic position detector |
DE19639801A1 (de) * | 1996-09-27 | 1998-04-02 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Positionserfassung von bewegbaren Teilen |
DE19712829B4 (de) | 1997-03-26 | 2005-02-17 | Sick Ag | Vorrichtung zur Erkennung der Position eines beweglichen Gegenstandes |
GB9720911D0 (en) * | 1997-10-03 | 1997-12-03 | Britax Rainsfords Pty Ltd | Hall effect sensor system |
DE19823059C2 (de) | 1998-05-22 | 2000-11-30 | Klaus Eden | Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen der räumlichen Lage eines Körpers mit asymmetrischer Magnetfeldverteilung sowie System in einer solchen Vorrichtung |
DE19858214C2 (de) | 1998-12-17 | 2000-11-30 | Minitec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Erkennen von Werkstücken |
JP2001221653A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-08-17 | Honda Motor Co Ltd | 変位検出装置 |
JP2002022403A (ja) * | 2000-07-13 | 2002-01-23 | Tokyo Keiso Co Ltd | 変位検出器および変位検出方法 |
DE10348887A1 (de) * | 2002-10-23 | 2004-05-13 | Carl Zeiss | Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät |
JP2004364354A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Mitsumi Electric Co Ltd | ディスクのインデックス信号生成方法及びディスクドライブ装置 |
-
2003
- 2003-10-15 DE DE10348887A patent/DE10348887A1/de not_active Withdrawn
- 2003-10-16 WO PCT/EP2003/011473 patent/WO2004038324A1/de active Application Filing
- 2003-10-16 EP EP03775190A patent/EP1556665B1/de not_active Expired - Fee Related
- 2003-10-16 JP JP2004545866A patent/JP4386841B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-04-14 US US11/106,701 patent/US7284337B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI411764B (zh) * | 2009-05-15 | 2013-10-11 | Panasonic Corp | 三次元形狀測定裝置用探針及三次元形狀測定裝置 |
JP2013533496A (ja) * | 2010-08-10 | 2013-08-22 | カール ザイス インダストリエル メステクニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 第2の部分に対する第1の部分の空間位置を決定するセンサ組立体および方法 |
US9234736B2 (en) | 2010-08-10 | 2016-01-12 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Sensor assembly for determining a spatial position of a first part relative to a second part |
JP2016145721A (ja) * | 2015-02-06 | 2016-08-12 | 日立金属株式会社 | 距離測定システム及び距離測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050229420A1 (en) | 2005-10-20 |
JP4386841B2 (ja) | 2009-12-16 |
WO2004038324A1 (de) | 2004-05-06 |
EP1556665A1 (de) | 2005-07-27 |
US7284337B2 (en) | 2007-10-23 |
DE10348887A1 (de) | 2004-05-13 |
EP1556665B1 (de) | 2012-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4386841B2 (ja) | 座標測定機械用プローブヘッド | |
JP6926209B2 (ja) | 距離センサ | |
JP3455706B2 (ja) | テーパー付きの二極の磁石を用いる非接触式のポジションセンサ | |
US6304078B1 (en) | Linear position sensor | |
US6879240B2 (en) | Ball joint with integrated angle sensor | |
US6812694B2 (en) | Magnetic sensor adjusting method, magnetic sensor adjusting device and magnetic sensor | |
US7741839B2 (en) | Non-contacting position sensor using a rotating magnetic vector | |
KR101716731B1 (ko) | 자기장 방향 측정장치 및 플럭스 컬렉터를 갖는 자기 위치 센서 | |
US7305864B2 (en) | Ball and socket joint for a motor vehicle | |
JP2003519372A (ja) | 磁気抵抗位置検出装置 | |
CN101025358B (zh) | 用于测定物体的轴向位置和/或角度位置的装置 | |
JP2002328046A (ja) | 磁気式位置エンコーダを有する装置 | |
JP2007503553A (ja) | 角度センサを備えたボールジョイント | |
JP2013515234A (ja) | 可動な構成部材におけるストローク検出のための磁界センサ装置 | |
US7135857B2 (en) | Serially connected magnet and hall effect position sensor with air gaps between magnetic poles | |
JP6534682B2 (ja) | 運動する構成部材のストロークを検出するためのセンサ装置 | |
JP2015525891A (ja) | 回転運動する構成部材の回転角度を検出するためのセンサ装置 | |
CN102066965A (zh) | 用于改善的传感器灵活性和改善的气隙性能的amr阵列磁性设计 | |
US6528990B1 (en) | Magnetostrictive linear displacement transducer for a vehicle steering system | |
JP2007518091A (ja) | 磁気抵抗速度センサ | |
CN101223696B (zh) | 用于一汽车的操纵元件 | |
CN100504306C (zh) | 用于角度测量的amr传感器元件 | |
US6501263B1 (en) | Rotary position sensor | |
JP2001513901A (ja) | 角度変化検出センサ装置 | |
JP2005062189A (ja) | 磁気多極エンコーダ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060705 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090212 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090427 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090508 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090609 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090616 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090710 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090717 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090812 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090903 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090929 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131009 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |