JP2006349409A - 静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路 - Google Patents
静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006349409A JP2006349409A JP2005173710A JP2005173710A JP2006349409A JP 2006349409 A JP2006349409 A JP 2006349409A JP 2005173710 A JP2005173710 A JP 2005173710A JP 2005173710 A JP2005173710 A JP 2005173710A JP 2006349409 A JP2006349409 A JP 2006349409A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- sensor
- signal
- input
- drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【解決手段】 センサ回路の電源投入時には昇圧回路21の昇圧クロックが起動クロック発生回路25で形成されるようにし、振動子10および駆動回路20で構成されるフィードバックループにて自励発振が開始されるとその後はチャージアンプ回路22の出力信号が昇圧クロックに用いられるようにする。このように、起動クロック発生回路25が発生させる安定した所定の周波数の出力信号を昇圧クロックとして用いることで、昇圧回路21で高電圧が早く形成されるようにすることが可能となる。そして、このように高電圧が早く形成されることから、振動子10および駆動回路20で構成されるフィードバックループにて、早くから自励発振を開始させることも可能となる。
【選択図】 図1
Description
本発明の一実施形態を適用した静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路のブロック構成を図1に示す。以下、この図を参照して本実施形態におけるセンサ回路について説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。上記実施形態では、切替スイッチ26がセンサ回路への電源投入から所定時間経過後に自動的に切替えられるものについて説明したが、本実施形態は、センサ回路中のいずれかの信号に基づいて自励発振が開始されたか否かを判定し、それに基づいて切替スイッチ26での切替えが行われるようにするものである。
上記各実施形態では、センサ回路内に起動クロック発生回路25を備えた構成としたが、必ずしもセンサ回路内に備えた構成とする必要はなく、ジャイロセンサのセンサ回路の外部から発振信号を受け取ることも可能である。例えば、ジャイロセンサが車両搭載用として用いられるような場合において、ジャイロセンサがイナーシャセンサとして使用される場合には、G(加速度)センサやマイコンなどからクロック供給を受けることも可能である。この場合には、ジャイロセンサのセンサ回路内に起動クロック発生回路25を作りこまなくても済むため、センサ回路の面積削減などが可能となり、センサ回路の製品コストの削減を図ることも可能となる。
25…起動クロック発生回路、26…切替スイッチ、27…モニタ回路、
30…ヨー検出回路、31、32…チャージアンプ回路。
Claims (8)
- 自励発振に基づいて振動させられることでヨーに応じた容量値で示されるヨー検知信号を出力すると共に、前記振動の振幅および周波数に応じた駆動振動検知信号を出力するように構成された振動子(10)と、
所定の電圧を昇圧することで高電圧を発生させる昇圧回路(21)を含み、該昇圧回路(21)で発生させられる高電圧を前記振動子(10)に印加することで前記振動子(10)を振動させると共に、この振動中における前記振動子(10)の前記駆動振動検知信号をフィードバックし、フィードバック結果に応じた制御信号を前記昇圧回路(21)に対して入力することで、前記振動子(10)が所定振幅かつ所定周波数で振動するように前記昇圧回路(21)が前記振動子(10)に印加する前記高電圧を制御するという自励発振のフィードバックループを構成する駆動回路(20)と、
前記振動子(10)が出力するヨー検知信号に基づいて、ヨーに応じた出力信号をセンサ出力として発生させるヨー検出回路(30)とを備えてなる静電駆動・容量検出型の物理量センサのセンサ回路であって、
前記昇圧回路(21)に対して所定の周波数の信号を入力する場合と、前記昇圧回路(21)に対して前記フィードバックループにおける前記制御信号を入力する場合とを切替える切替スイッチ(26)を備え、
前記切替スイッチ(26)にて、電源投入の際には前記昇圧回路(21)に対して所定の周波数の信号が入力され、前記自励発振が開始されると前記昇圧回路(21)に対して前記フィードバックループにおける前記制御信号が入力されるように、前記昇圧回路(21)に入力される昇圧クロックが切替えられるように構成されていることを特徴とする静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路。 - 前記切替スイッチ(26)は、前記電源投入から所定時間が経過すると自動的にスイッチ切替を行うように構成されており、前記所定時間が経過するまでの間は、前記昇圧回路(21)に対して所定の周波数の信号が入力され、前記所定時間の経過後は、前記昇圧回路(21)に対して前記フィードバックループにおける前記制御信号が入力されるように、切替えが行われるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路。
- 前記自励発振が開始されているか否かの検出を行うモニタ回路(27)を備え、前記自励発振が開始されたことが検出された場合に前記モニタ回路(27)からスイッチ切替信号が出力されることで前記切替スイッチ(26)の切替えが行われるようになっていることを特徴とする請求項1または2に記載の静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路。
- 前記振動子(10)が出力する駆動振動検知信号を増幅するチャージアンプ回路(22)を有し、
前記切替スイッチ(26)にて、前記昇圧回路(21)に対して前記所定の周波数の信号を入力する場合と、前記チャージアンプ回路(22)の出力信号を入力する場合とを切替えるようになっていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路。 - 所定の周波数の信号を発生させる起動クロック発生回路(25)を有し、前記切替スイッチ(26)の切替えにより、前記起動クロック発生回路(25)が発生させる信号が前記昇圧回路(21)に入力されるように構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路。
- 前記起動クロック発生回路(25)はCR発振器であることを特徴とする請求項5に記載の静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路。
- 前記所定の周波数の信号は外部から入力されるように構成され、前記切替スイッチ(26)の切替えにより、前記外部からの信号が前記昇圧回路(21)に入力されるように構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路。
- 請求項7に記載の静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路において、前記ジャイロセンサがイナーシャセンサとして用いられ、前記外部からの信号として、加速度センサもしくはマイクロコンピュータからのクロックが前記昇圧回路(21)に入力されるように構成されていることを特徴とする静電駆動・容量検出型のイナーシャセンサのセンサ回路。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005173710A JP2006349409A (ja) | 2005-06-14 | 2005-06-14 | 静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路 |
US11/438,301 US7322237B2 (en) | 2005-06-14 | 2006-05-23 | Gyro sensor of an electrostatic driving and capacitance detecting type |
DE102006024474A DE102006024474A1 (de) | 2005-06-14 | 2006-05-24 | Gyrosensor vom elektrostatisch antreibenden und kapazitiv erfassenden Typ |
CN2006100926621A CN1880915B (zh) | 2005-06-14 | 2006-06-13 | 静电驱动和电容检测型陀螺传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005173710A JP2006349409A (ja) | 2005-06-14 | 2005-06-14 | 静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006349409A true JP2006349409A (ja) | 2006-12-28 |
Family
ID=37513725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005173710A Pending JP2006349409A (ja) | 2005-06-14 | 2005-06-14 | 静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7322237B2 (ja) |
JP (1) | JP2006349409A (ja) |
CN (1) | CN1880915B (ja) |
DE (1) | DE102006024474A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012220310A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Seiko Epson Corp | 駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置 |
JP2012230052A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Denso Corp | 振動子駆動回路 |
WO2015004872A1 (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 駆動装置、物理量検出装置及び電子機器 |
JP2015104035A (ja) * | 2013-11-27 | 2015-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | クロック信号生成回路、検出装置、センサー、電子機器及び移動体 |
JP2015198339A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | 発振回路、発振器、電子機器、移動体及び発振器の制御方法 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4901720B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2012-03-21 | ローム株式会社 | 磁気センサ回路、及び、その磁気センサ回路を有する携帯端末 |
JP2006220454A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Denso Corp | 容量式物理量センサのセンサ回路 |
JP4784607B2 (ja) * | 2006-04-26 | 2011-10-05 | 株式会社村田製作所 | 角速度センサインタフェース回路および角速度検出装置 |
JP2008032424A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Rohm Co Ltd | センサ回路、半導体装置、電子機器 |
US20100077856A1 (en) * | 2008-02-15 | 2010-04-01 | Honeywell International, Inc. | Start time of gyro assembly |
JP5368181B2 (ja) * | 2009-06-12 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出装置並びに物理量検出装置の制御方法、異常診断システム及び異常診断方法 |
EP2336717B1 (en) | 2009-12-21 | 2012-09-19 | STMicroelectronics Srl | Microelectromechanical device having an oscillating mass, and method for controlling a microelectromechanical device having an oscillating mass |
US8539834B2 (en) * | 2010-02-15 | 2013-09-24 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope with calibrated synchronization of actuation and method for actuating a microelectromechanical gyroscope |
JP5362097B2 (ja) | 2010-02-17 | 2013-12-11 | 株式会社村田製作所 | 振動型慣性力センサ |
JP5552976B2 (ja) * | 2010-09-07 | 2014-07-16 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度検出装置及び電子機器 |
US9013233B2 (en) * | 2010-09-14 | 2015-04-21 | Si-Ware Systems | Interface for MEMS inertial sensors |
KR20130071081A (ko) * | 2011-12-20 | 2013-06-28 | 삼성전기주식회사 | 자이로센서 위상오차 보정회로, 자이로센서 시스템 및 자이로센서 위상오차 보정방법 |
TWI416070B (zh) | 2011-12-26 | 2013-11-21 | Ind Tech Res Inst | 陀螺儀的讀取電路 |
KR101354822B1 (ko) * | 2012-03-26 | 2014-01-22 | 삼성전기주식회사 | 관성센서 제어모듈 및 그 제어방법 |
CN102818577A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-12-12 | 北京航天时代激光导航技术有限责任公司 | 一种激光陀螺机电组件频率特性自动测试装置 |
JPWO2013190727A1 (ja) * | 2012-06-18 | 2016-02-08 | 日本電気株式会社 | 振動検出装置および振動検出方法 |
CN103134484A (zh) * | 2013-01-30 | 2013-06-05 | 中国科学院半导体研究所 | 调节电容式mems陀螺仪检测端谐振频率的电路和方法 |
US9448071B2 (en) * | 2013-03-13 | 2016-09-20 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical device having an oscillating mass and a forcing stage, and method of controlling a microelectromechanical device |
WO2015013828A1 (en) | 2013-08-02 | 2015-02-05 | Motion Engine Inc. | Mems motion sensor and method of manufacturing |
WO2015154173A1 (en) | 2014-04-10 | 2015-10-15 | Motion Engine Inc. | Mems pressure sensor |
US11674803B2 (en) | 2014-06-02 | 2023-06-13 | Motion Engine, Inc. | Multi-mass MEMS motion sensor |
WO2016090467A1 (en) | 2014-12-09 | 2016-06-16 | Motion Engine Inc. | 3d mems magnetometer and associated methods |
CN108469260A (zh) * | 2018-04-02 | 2018-08-31 | 湖南天羿领航科技有限公司 | Mems陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及mems陀螺 |
CN113092871B (zh) * | 2021-03-19 | 2022-02-22 | 北京航空航天大学 | 一种基于静电自激振动原理的电容测量方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03159582A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-07-09 | Seiko Epson Corp | 圧電型振動子を用いる半導体集積回路 |
JPH0593628A (ja) * | 1991-03-18 | 1993-04-16 | Aisin Seiki Co Ltd | 角速度センサ |
JPH05314278A (ja) * | 1992-05-11 | 1993-11-26 | Matsushita Electron Corp | マイクロコンピュータ |
JPH0744565U (ja) * | 1985-10-21 | 1995-11-21 | サンドストランド・コーポレイション | 速度軸まわりの物体の角回転速度を求める装置 |
JPH0933262A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Nikon Corp | 励振駆動回路及び方法並びにこれを用いた圧電振動角速度計 |
JPH11110368A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 集積回路装置 |
JPH11281368A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ駆動回路 |
JP2000131074A (ja) * | 1998-10-28 | 2000-05-12 | Aisin Seiki Co Ltd | 静電駆動の角速度検出装置 |
JP2000131076A (ja) * | 1998-10-29 | 2000-05-12 | Toyota Motor Corp | 増幅回路装置 |
JP2000283767A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度計測装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0656300B2 (ja) | 1985-09-02 | 1994-07-27 | 日本電装株式会社 | 振動型角速度検出装置 |
US5794080A (en) * | 1994-08-31 | 1998-08-11 | Nikon Corporation | Piezoelectric vibration angular velocity meter and camera using the same |
JP4075152B2 (ja) * | 1998-09-16 | 2008-04-16 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
US6497147B2 (en) * | 2000-03-17 | 2002-12-24 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Actuator for oscillator |
US6585338B2 (en) * | 2000-12-22 | 2003-07-01 | Honeywell International Inc. | Quick start resonant circuit control |
JP2003326196A (ja) | 2002-05-13 | 2003-11-18 | Denso Corp | エジェクタ |
JP4412477B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2010-02-10 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ |
-
2005
- 2005-06-14 JP JP2005173710A patent/JP2006349409A/ja active Pending
-
2006
- 2006-05-23 US US11/438,301 patent/US7322237B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-05-24 DE DE102006024474A patent/DE102006024474A1/de not_active Ceased
- 2006-06-13 CN CN2006100926621A patent/CN1880915B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0744565U (ja) * | 1985-10-21 | 1995-11-21 | サンドストランド・コーポレイション | 速度軸まわりの物体の角回転速度を求める装置 |
JPH03159582A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-07-09 | Seiko Epson Corp | 圧電型振動子を用いる半導体集積回路 |
JPH0593628A (ja) * | 1991-03-18 | 1993-04-16 | Aisin Seiki Co Ltd | 角速度センサ |
JPH05314278A (ja) * | 1992-05-11 | 1993-11-26 | Matsushita Electron Corp | マイクロコンピュータ |
JPH0933262A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Nikon Corp | 励振駆動回路及び方法並びにこれを用いた圧電振動角速度計 |
JPH11110368A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 集積回路装置 |
JPH11281368A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ駆動回路 |
JP2000131074A (ja) * | 1998-10-28 | 2000-05-12 | Aisin Seiki Co Ltd | 静電駆動の角速度検出装置 |
JP2000131076A (ja) * | 1998-10-29 | 2000-05-12 | Toyota Motor Corp | 増幅回路装置 |
JP2000283767A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度計測装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012220310A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Seiko Epson Corp | 駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置 |
JP2012230052A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Denso Corp | 振動子駆動回路 |
WO2015004872A1 (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 駆動装置、物理量検出装置及び電子機器 |
JPWO2015004872A1 (ja) * | 2013-07-12 | 2017-03-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 駆動装置、物理量検出装置及び電子機器 |
US9746326B2 (en) | 2013-07-12 | 2017-08-29 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Drive apparatus, physical quantity detection apparatus, and electronic apparatus |
JP2015104035A (ja) * | 2013-11-27 | 2015-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | クロック信号生成回路、検出装置、センサー、電子機器及び移動体 |
JP2015198339A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | 発振回路、発振器、電子機器、移動体及び発振器の制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7322237B2 (en) | 2008-01-29 |
DE102006024474A1 (de) | 2006-12-28 |
CN1880915B (zh) | 2010-10-13 |
US20060277995A1 (en) | 2006-12-14 |
CN1880915A (zh) | 2006-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006349409A (ja) | 静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路 | |
JP4741668B2 (ja) | ヨーレートセンサの使用開始方法およびヨーレートセンサの使用開始のための回路装置 | |
JP4633058B2 (ja) | 振動型慣性力センサ | |
JP6098349B2 (ja) | 発振装置、走査型スキャナ装置、情報端末、移相量調整装置、及び移相量調整方法 | |
JP3932661B2 (ja) | 角速度センサ駆動回路 | |
JPH1049237A (ja) | 圧電振動制御方法と装置 | |
US7895893B2 (en) | Method for operating a vibrating gyroscope and sensor arrangement | |
JP2006220454A (ja) | 容量式物理量センサのセンサ回路 | |
JP2000088581A (ja) | 角速度センサ | |
JP2005043098A (ja) | 物理量検出装置 | |
JP3853081B2 (ja) | 超音波振動子駆動装置 | |
JP5362097B2 (ja) | 振動型慣性力センサ | |
JP4631537B2 (ja) | 容量式物理量センサのセンサ回路 | |
JP2007071654A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP5561237B2 (ja) | 振動子駆動回路 | |
CN113454423B (zh) | 用于运行电容式mems传感器的方法和电容式mems传感器 | |
JP4935300B2 (ja) | 自己診断を行う異常検出回路を備えたセンサ回路 | |
JP2008099257A (ja) | 発振回路 | |
JP2007093271A (ja) | ジャイロセンサのセンサ回路 | |
JP2007218717A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2007218717A5 (ja) | ||
JP2006349560A (ja) | 物理量センサにおけるセンサ回路 | |
EP1482490B1 (en) | Actuator driving apparatus | |
JP6380571B2 (ja) | 発振装置、走査型スキャナ装置、情報端末、移相量調整装置、及び移相量調整方法 | |
CN117716207A (zh) | 机电***和用于运行机电***的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070705 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100525 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101005 |