JP2006300322A - 流体動圧軸受装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】軸受スリーブとカウンタプレートの結合構造において、軸受領域における空気の残留の可能性を明確に低くさせるように形成させた流体動圧軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受スリーブ１を含む第１の軸受部分とシャフト２を含む第２の軸受部分が設けられ、双方の軸受部分が軸受間隙５により相対的に回転可能であるように相互に離間された間隔が維持され、軸受スリーブ１の環形状のカウンタプレート用凹部１ａに収容されて溶接継手部６により軸受スリーブ１と継手されるカウンタプレート４により、軸受スリーブ１の一端側が閉塞される流体動圧軸受装置であって、カウンタプレート４は、その外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２が減少されて形成され、その減少された厚み寸法Ｄ_２の領域内で軸受スリーブ１と溶接される。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えばハードディスクドライブ装置のディスク駆動用スピンドルモータを回転可能に軸支するような流体動圧軸受装置に関し、特に、そのような軸受装置を構成する軸受スリーブとカウンタプレートの結合構造、及び、そのような軸受装置の製造方法に関する。

スピンドルモータは、概略的にステータとロータ、及びそのステータとロータの間に配置された少なくとも１つの軸受装置により構成される。軸受装置としては、流体動圧すべり軸受装置が使用される場合が増加している。流体動圧軸受装置は、軸受スリーブと、その軸受スリーブ（軸受部分）に軸方向に設けられた内孔に配置されたシャフト（軸受部分）を含んでいる。

シャフトは、上記した軸受スリーブ中で自由に回転し、その場合に、上記した２個の軸受部分が一緒になって１個のラジアル軸受部を構成する。シャフトと軸受スリーブには相互に協働する２つの軸受面が設けられ、その各軸受面は同心で幅が狭く軸受流体が満たされる軸受間隙により互いに隔てられる。毛細管現象により連続する潤滑剤皮膜と自己調心性の機能により、流体動圧を用いるラジアル軸受は、シャフトと軸受スリーブの間で安定して同心で回転する。上記した各軸受面の少なくとも一方の側に表面パターン構造を設けることで、軸受流体に必要とされる動圧を発生させることができる。

流体動圧を用いるスラスト軸受装置により、回転軸に沿ってシャフトがスライドすることを防ぐことができる。流体動圧スラスト軸受装置では、各軸受面は、少なくとも一方に表面パターン構造が設けられて互いに協働するように設けられ、各軸受面が回転軸に対して垂直である平面上に配置され、好適には平坦で軸受流体が満たされて幅が狭い軸受間隙によって軸方向に離間された状態に維持される。

一方側のみに１個が設けられた流体動圧スラスト軸受装置では、通常、一方向への力しか受けることができないため、互いに反対方向（両側）に作用する２個の流体動圧スラスト軸受装置が一般的に用いられる。それらの２個の流体動圧スラスト軸受装置は、好適にはシャフトの一方の下端部に配置されたスラストプレートの両方（２個）の端面により形成され、その際に、そのスラストプレートの一方の端面には、対応する軸受スリーブの端面が対向し、そのスラストプレートの他方の端面には、カウンタプレートの内側端面が対向する。そのカウンタプレートは、スラストプレートに対してカウンタベアリングを構成し、軸受装置全体を密閉することで軸受流体が満たされた軸受間隙に空気が侵入することを防いでいる。軸受部に軸受流体を満たすには、１つの開口部を除いて密封された軸受間隙から排気処理することにより、その排気される空気に続いて軸受間隙に軸受流体が「吸入」される方法が知られている。

上記で説明したような、一方にスラストプレートが配置された流体動圧軸受装置は、例えば特許文献１に開示されている。そのスラストプレートは、そのスラストプレートの寸法に適合するように軸受スリーブに形成されたスラストプレート用凹部に収容され、より大きな内径を有する第２のカウンタプレート用凹部に配置されるカウンタプレートにより覆われる。軸受スリーブの内側の凹部には、第２のカウンタプレート用凹部が第１のスラストプレート用凹部より大きな内径を有することから、カウンタプレートの軸方向のストッパーとして機能する段部が形成される。そのカウンタプレートと軸受スリーブは、対向して隣接する各縁部が突き合わせ溶接される。

図５は、従来の技術による流体動圧軸受装置の概略の内部構成の中で軸受スリーブとカウンタプレートの典型的な突合せ溶接継手部を拡大して示した縦断面図である。
図５からは、軸受スリーブ１０には、カウンタプレート１２をぴったり合わせてはめ込むために、製造上ぜひとも必要な逃げ溝１３が設けられていることを認識することができる。カウンタプレート１２は、軸受スリーブ１０と溶接継手部１４により結合されている。

米国特許第６８５１８６０号明細書

しかしながら、シャフトとスラストプレート（共に図示せず）が予め組みつけられているため、カウンタプレート１２と軸受スリーブ１０の間の垂直方向間隙１５及び水平方向間隙１６に空気が残ってしまうのと同様に、特に、逃げ溝１３の中には、排気処理の期間中も漏れ出ることができない状況におかれた空気が封入されてしまう。逃げ溝１３と垂直方向間隙１５及び水平方向間隙１６の中に残留された空気は、軸受流体が真空状態で充填されてから若干の期間が経過した後、逃げ溝１３と垂直方向間隙１５及び水平方向間隙１６から漏れて軸受装置から軸受流体を排除させる場合がある。その場合には、軸受内部の油面が低下し、軸受外部の領域の汚染が発生する。それらが軸受装置の寿命を短縮させ、又は、最悪の場合、軸受装置の外部の構成要素に損傷を与えることになる。

本発明は上記したような課題を解決するためになされたもので、流体動圧軸受装置、特に、軸受スリーブとカウンタプレートの結合構造において、軸受領域における空気の残留の可能性を明確に低くさせるように形成させた流体動圧軸受装置を提供することを目的とする。又、本願では本発明の流体動圧軸受装置に対応する軸受装置の製造方法を提供することも目的とする。

本発明では、上記した課題は、独立請求項に述べられている特徴により解決される。
すなわち、この課題を解決するために、本発明に係る流体動圧軸受装置及びその製造方法は、軸受スリーブを含む第１の軸受部分とシャフトを含む第２の軸受部分が設けられ、双方の軸受部分が軸受間隙により相対的に回転可能であるように相互に離間された間隔が維持され、軸受スリーブの環形状のカウンタプレート用凹部に収容されて溶接継手部により軸受スリーブと継手されるカウンタプレートにより、軸受スリーブの一端側が閉塞される流体動圧軸受装置であって、
カウンタプレートは、その外周側縁部の厚み寸法（Ｄ_２）を減少させて形成され、その減少された厚み寸法（Ｄ_２）の領域内で軸受スリーブと溶接されることを特徴とする。

本発明の流体動圧軸受装置では、カウンタプレートの外周側縁部の厚み寸法を減少させて形成し、その外周側縁部の領域内で軸受スリーブと溶接するようにしたので、軸受スリーブとカウンタプレートの結合構造において、軸受領域における空気の残留の可能性を明確に低くさせるように形成させた流体動圧軸受装置を提供し、又その製造方法を提供することができる。

以下に、図面を参照して、本発明の更なる特徴、有利性及び用途について説明する。

図１は、本発明に係る流体動圧軸受装置の第１の実施形態の概略の内部構成を示した縦断面図である。
尚、図１から図４では、同一の軸受部分には、全ての図において同一の符号を付した。又、上記従来の技術に図５を用いて既に説明済みである内容については、当該部分を参照いただき、記載を省略する。

（第１の実施形態）
シャフト２は、軸受スリーブ１の中で回転可能であるように、軸受間隙５だけ離間されて設けられる。そのシャフト２には、軸受スリーブ１に相応に設けられたスラストプレート用凹部３に収容されるスラストプレート（図示せず）が設けられている。スラストプレート用凹部３は、上記した不図示のスラストプレートに対向して配置されてカウンタベアリングを構成するカウンタプレート４により閉塞される。カウンタプレートは、上記した軸受スリーブ１に設けられたカウンタプレート用凹部１ａに収容される。本実施形態では、カウンタプレート４の中央部４ｂの厚み寸法がＤ_１で示される。

本実施形態では、軸受スリーブ１の下端部側に配置されるカウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法がＤ_２で示され、その厚み寸法Ｄ_２は、その他の部分、すなわち、中央部４ｂの厚み寸法Ｄ_１よりも小さくなっている。

図１に示されている本発明の第１の実施形態では、突合せ溶接継手部は、従来から知られているように、軸受スリーブ１とカウンタプレート４の対向して隣接する各縁部に設けられている。好適には、３００ｍｍ／ｓ以上の速度で、溶接されるべき軸受部分（軸受スリーブ１とカウンタプレート４）及びレーザビームを相対的に移動させる。溶接には、１箇所の溶接継手部分に対して１個のみのレーザパルスが用いられ、パルス持続時間（パルス幅）は、例えば１０ｍｓ又はそれ以上である。

カウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２が中央部４ｂの厚み寸法Ｄ_１よりも小さく、軸受スリーブ１に設けられたカウンタプレート用凹部１ａの高さも低く抑えられることから、垂直方向間隙１５（図５参照）は、その長さを短くできる。又は、逃げ溝１３の部分も溶接されれば、その長さを完全に無くすことができる。それにより、垂直方向間隙１５の不都合な空気の残留を無くすことができる。

従って、本実施形態の流体動圧軸受装置は、スピンドルモータを回転可能に軸支する流体動圧軸受装置であって、軸受スリーブ１を含む第１の軸受部分とシャフト２を含む第２の軸受部分が設けられ、双方の軸受部分が軸受間隙５により相対的に回転可能であるように相互に離間された間隔が維持され、軸受スリーブ１の環形状のカウンタプレート用凹部１ａに収容されて、突合せ溶接継手部６により軸受スリーブ１と継手されるカウンタプレート４により、軸受スリーブ１の一端側が閉塞される流体動圧軸受装置であって、カウンタプレート４は、その外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２が減少されて形成され、その減少された厚み寸法Ｄ_２の領域内で軸受スリーブ１と溶接される。

また、好適な本実施形態の流体動圧軸受装置では、カウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２が、０．５ｍｍより小さく、軸受スリーブ１のカウンタプレート用凹部１ａの内径の高さ寸法よりも小さい。

また、本実施形態の流体動圧軸受装置の突合せ溶接継手部６は、軸受スリーブ１とカウンタプレート４の対向して隣接する各縁部が突き合わせ溶接され、レーザパルス又はレーザスポットによるレーザ溶接継手部又は電子ビームによる溶接継手部であり、１箇所の溶接継手部分毎に各々１個のレーザパルスが用られ、溶接処理用のレーザパルスのパルス出力は、２００Ｗ（ワット）以上に達して、０．４ｋＷ（キロワット）〜１．０ｋＷ（キロワット）の間であり、パルスエネルギーが、１パルス当たり２ジュール〜５ジュールの間であり、溶接継手部分の溶接送り速度は、３００ｍｍ／ｓ以上に達している。

本発明の第１の実施形態では、好適には、突合せ溶接継手部は、従来から知られるように軸受スリーブ１とカウンタプレート４の対向して隣接する各縁部互いに突き合わせられるところに設けられる。その場合、好適には、いわゆる「長パルス溶接」が実施される。この溶接方法では、溶接中に、溶接されるべき軸受部分とレーザビームを互いに相対的に移動させ、好適には、１箇所の溶接継手部分に対して１個のみのレーザパルスを用いる。その場合のレーザパルスの出力は、少なくとも２００Ｗ（０．２ｋＷ）である。溶接継手部分における溶接の送り速度は、好適には、３００ｍｍ／ｓ以上である。

このように本実施形態では、カウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２が中央部４ｂの厚み寸法Ｄ_１よりも小さく、カウンタプレート４が、その厚み寸法Ｄ_２よりも小さい外周側縁部４ａのところで軸受スリーブ１に溶接継手される軸受装置を提供することができる。従って、カウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２を中央部４ｂの厚み寸法Ｄ_１よりも小さくすることで、軸受スリーブ１とカウンタプレート４の間に介在する垂直方向間隙１５を、大幅にその長さを短くできるか、又は、完全に無くすことができるので、垂直方向間隙１５の中に、不都合な空気が残ることが無くなる。

つまり、本実施形態の流体動圧軸受装置では、カウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法を減少させて形成し、その外周側縁部４ａの領域内で軸受スリーブと突合せ溶接するようにしたので、軸受スリーブ１とカウンタプレート４の結合構造において、軸受領域における空気の残留の可能性を明確に低くさせるように形成させた流体動圧軸受装置を提供し、又その製造方法を提供することができる。

（第２の実施形態）
図２は、本発明に係る流体動圧軸受装置の第２の実施形態の第１の実施例の概略の内部構成を示した縦断面図である。
図２に示されている本発明の第２の実施形態では、カウンタプレート４は、軸受スリーブ１と重ね溶接継手により継手される。その場合、カウンタプレート４の外周側縁部４ａで溶接工程が実施され、カウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２で表される厚み寸法が小さい部分が軸受スリーブ１の下端部側と重ね溶接継手されることになる。その際に重ね溶接継手部７とスラストプレート（スラストプレート用凹部３）との間には、距離がおかれる。

図２の実施形態の第１の実施例では、カウンタプレート４の外周側の厚み寸法Ｄ_２は、軸受スリーブ１における対応するカウンタプレート用凹部１ａの内径の高さ寸法と同一寸法に形成される。

図３は、本発明に係る流体動圧軸受装置の第２の実施形態の第１の変化形態（第２実施例）の概略の内部構成を示した縦断面図である。図４は、本発明に係る流体動圧軸受装置の第２の実施形態の別の第２の変化形態（第３実施例）の概略の内部構成を示した縦断面図である。
図３及び図４では、重ね溶接用凹部８の内径の高さ寸法がカウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２を上回っており、重ね溶接継手を実施するためのフリースペースが重ね溶接用凹部８に確保されている。図４では、軸受スリーブ１の外周側下端部１ｂは、シャフト２並びにスラストプレートを収容するスラストプレート用凹部３の下方に位置するカウンタプレート４における中央部４ｂの底部と同一の面になる。

上記したカウンタプレート４の中央部４ｂの領域は、軸受スリーブ１に隣接する外周側縁部４ａの領域と比較して好ましくは厚み寸法Ｄ_１で形成され、その厚み寸法Ｄ_１は約１ｍｍ〜２ｍｍに達する。スラスト軸受部をスラストプレートの上側に設けないタイプの軸受装置では、カウンタプレート４をもっと薄く（約１／１０ｍｍ単位で２〜３等＝０．２〜０．３ｍｍ等の厚み寸法）形成し、カウンタプレート４の厚み寸法を均一な厚み寸法Ｄ_２にしてもよい。

本実施形態では、重ね溶接継手部が得られるように、好適には、レーザパルス溶接又はレーザスポット溶接が実施される。
その場合、例えば次のような溶接パラメータを用いることができる。
パルス出力Ｐ（ｋＷ：キロワット） ： ０．４ ≦ Ｐ ≦ １
パルスエネルギーＷ（Ｊ／パルス：ジュール／パルス） ： ２ ≦ Ｗ ≦ ５

本実施形態では、パルス出力Ｐ ＝ ０．６（ｋＷ）、パルス持続時間（パルス幅）ｔ ＝ ５（ｍｓ）として、パルスエネルギーＷ ＝ ３（Ｊ／パルス）として実験を行った。

又、軸受のシール特性を検査するため、ヘリウムガスを用いて漏れ試験を実施した。本実施形態の溶接方法では、ヘリウムガスに対してのシール性を確認することができ、それにより、オイルに対するシール性を備える流体動圧軸受装置が得られることを確認できた。

一般的に、上記溶接にはレーザ溶接に加えて電子ビーム溶接（ｅ−ｂｅａｍ ｗｅｌｄｉｎｇ）も可能である。

従って、本発明の第２の実施形態では、重ね溶接継手が実施される。この種の溶接は、高い出力を必要とするためパルス方式により実施される。この溶接方法では、従来からの慣例のように２個の軸受部分（ここでは軸受スリーブ１とカウンタプレート４）の各縁部で突合せ溶接継手されるのではなく、溶接工程がカウンタプレート４の外周側縁部４ａで実施される。その場合、カウンタプレート４の、厚み寸法が少ない寸法Ｄ_２部分が軸受スリーブ１の下端部（カウンタプレート用凹部１ａ）と重ね溶接継手されることになる。そのため、カウンタプレート４の、特に、軸受スリーブ１の下端部（カウンタプレート用凹部１ａ）に当接する部分は、薄肉となるよう形成される。

本実施形態により得られる利点は、逃げ溝に残留する空気と各間隙に残留する空気の何れもが軸受内部から隔離され、もはや何の影響も及ぼさない点である。上記した重ね溶接継手を実施するために、カウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２は０．５ｍｍよりも小さいことが望ましい。但し、カウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２は、好適には、０．２ｍｍから０．３ｍｍである。

従って、本実施形態の流体動圧軸受装置も、スピンドルモータを回転可能に軸支する流体動圧軸受装置であって、軸受スリーブ１を含む第１の軸受部分とシャフト２を含む第２の軸受部分が設けられ、双方の軸受部分が軸受間隙５により相対的に回転可能であるように相互に離間された間隔が維持され、軸受スリーブ１の環形状のカウンタプレート用凹部１ａに収容されて、重ね溶接継手部７により軸受スリーブ１と継手されるカウンタプレート４により、軸受スリーブ１の一端側が閉塞される流体動圧軸受装置であって、カウンタプレート４は、その外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２が減少されて形成され、その減少された厚み寸法Ｄ_２の領域内で軸受スリーブ１と溶接される。

また、本実施形態の流体動圧軸受装置でも、カウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法Ｄ_２が、０．５ｍｍより小さく、軸受スリーブ１のカウンタプレート用凹部１ａの内径の高さ寸法よりも小さい。

また、本実施形態の流体動圧軸受装置の重ね溶接継手部７は、外周側縁部４ａの領域内で、カウンタプレート４と軸受スリーブ１とが、表側から重ね溶接され、レーザパルス又はレーザスポットによるレーザ溶接継手部又は電子ビームによる溶接継手部であり、１箇所の溶接継手部分毎に各々１個のレーザパルスが用られ、溶接処理用のレーザパルスのパルス出力は、２００Ｗ（ワット）以上に達して、０．４ｋＷ（キロワット）〜１．０ｋＷ（キロワット）の間であり、パルスエネルギーが、１パルス当たり２ジュール〜５ジュールの間であり、溶接継手部分の溶接送り速度は、３００ｍｍ／ｓ以上に達している。

つまり、本実施形態の流体動圧軸受装置でも、カウンタプレート４の外周側縁部４ａの厚み寸法を減少させて形成し、その外周側縁部４ａの領域内で軸受スリーブと重ね溶接するようにしたので、軸受スリーブ１とカウンタプレート４の結合構造において、軸受領域における空気の残留の可能性を明確に低くさせるように形成させた流体動圧軸受装置を提供し、又その製造方法を提供することができる。

本発明の流体動圧軸受装置は、例えばハードディスクドライブ装置のディスク駆動用スピンドルモータを回転可能に軸支するような流体動圧軸受装置の分野で利用可能である。

本発明に係る流体動圧軸受装置の第１の実施形態の概略の内部構成を示した縦断面図である。 本発明に係る流体動圧軸受装置の第２の実施形態の概略の内部構成を示した縦断面図である。 本発明に係る流体動圧軸受装置の第２の実施形態の第１の変化形態の概略の内部構成を示した縦断面図である。 本発明に係る流体動圧軸受装置の第２の実施形態の別の第２の変化形態の概略の内部構成を示した縦断面図である。 従来の技術による流体動圧軸受装置の概略の内部構成の中で軸受スリーブとカウンタプレートの典型的な突合せ溶接継手部を拡大して示した縦断面図である。

符号の説明

１ 軸受スリーブ、
１ａ カウンタプレート用凹部、
１ｂ 外周側下端部、
２ シャフト、
３ スラストプレート用凹部、
４ カウンタプレート、
４ａ 外周側縁部、
４ｂ 中央部、
５ 軸受間隙、
６ 突合せ溶接継手部、
７ 重ね溶接継手部、
８ 重ね溶接用凹部、
Ｄ_１ （中央部４ｂ側の）厚み寸法、
Ｄ_２ （外周側縁部４ａ側の）厚み寸法、
１０ 軸受スリーブ、
１１ スラストプレート用凹部、
１２ カウンタプレート、
１３ 逃げ溝、
１４ 溶接継手部、
１５ 垂直方向間隙、
１６ 水平方向間隙。

Claims (18)

1. 軸受スリーブを含む第１の軸受部分とシャフトを含む第２の軸受部分が設けられ、
   前記双方の軸受部分が軸受間隙により相対的に回転可能であるように相互に離間された間隔が維持され、
   前記軸受スリーブの環形状のカウンタプレート用凹部に収容されて溶接継手部により前記軸受スリーブと継手されるカウンタプレートにより、前記軸受スリーブの一端側が閉塞される流体動圧軸受装置であって、
   前記カウンタプレートは、その外周側縁部の厚み寸法が減少されて形成され、
   その減少された厚み寸法の領域内で前記軸受スリーブと溶接される
   ことを特徴とする流体動圧軸受装置。
2. 前記カウンタプレートの外周側縁部の厚み寸法は、０．５ｍｍよりも小さい
   ことを特徴とする請求項１に記載の流体動圧軸受装置。
3. 前記溶接継手部は、前記軸受スリーブと前記カウンタプレートの対向して隣接する各縁部が突き合わせ溶接される
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の流体動圧軸受装置。
4. 前記溶接継手部は、前記外周側縁部の領域内で、前記カウンタプレートと前記軸受スリーブとを、表側から溶接する重ね溶接継手部である
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の流体動圧軸受装置。
5. 前記カウンタプレートの外周側縁部の前記厚み寸法は、前記軸受スリーブの前記カウンタプレート用凹部の内径の高さ寸法よりも小さい
   ことを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。
6. 前記溶接継手部は、レーザ溶接継手部である
   ことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。
7. １箇所の溶接継手部分毎に各々１個のレーザパルスが用られ、
   前記レーザパルスの出力は、２００Ｗ（ワット）以上に達しており、
   前記溶接継手部分の溶接送り速度は、３００ｍｍ／ｓ以上に達している
   ことを特徴とする請求項６に記載の流体動圧軸受装置。
8. 前記溶接継手部は、レーザパルス又はレーザスポットによる溶接継手部である
   ことを特徴とする請求項６に記載の流体動圧軸受装置。
9. 前記溶接継手部は、電子ビームによる溶接継手部である
   ことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。
10. 軸受スリーブを含む第１の軸受部分とシャフトを含む第２の軸受部分が用いられ、
    前記双方の軸受部分が軸受間隙により相対的に回転可能であるように相互に離間された間隔が維持されるように組み立てられ、
    前記軸受スリーブの環形状のカウンタプレート用凹部に収容されて溶接継手部により前記軸受スリーブと継手されるカウンタプレートにより、前記軸受スリーブの一端側が閉塞される流体動圧軸受装置の製造方法であって、
    前記カウンタプレートは、その外周側縁部の厚み寸法を減少させて形成され、
    その減少された厚み寸法の領域内で前記軸受スリーブと溶接される
    ことを特徴とする流体動圧軸受装置の製造方法。
11. 前記軸受スリーブと前記カウンタプレートは、対向して隣接する各縁部が突き合わせ溶接される
    ことを特徴とする請求項１０に記載の流体動圧軸受装置の製造方法。
12. 前記外周側縁部の領域内で、前記カウンタプレートと前記軸受スリーブとが、表側から重ね溶接継手により溶接される
    ことを特徴とする請求項１０に記載の流体動圧軸受装置の製造方法。
13. 前記溶接継手部には、レーザによる溶接継手が用いられる
    ことを特徴とする請求項１０〜１２の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置の製造方法。
14. 前記溶接継手部には、電子ビームによる溶接継手が用いられる
    ことを特徴とする請求項１０〜１２の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置の製造方法。
15. 溶接処理用のパルス出力が０．４ｋＷ（キロワット）〜１．０ｋＷ（キロワット）の間であり、
    パルスエネルギーが、１パルス当たり２ジュール〜５ジュールの間である
    ことを特徴とする請求項１３又は１４に記載の流体動圧軸受装置の製造方法。
16. １箇所の溶接継手部分毎に各々１個のレーザパルスが用られ、
    前記レーザパルスの出力は、２００Ｗ（ワット）以上に達しており、
    前記溶接継手部分の溶接送り速度は、３００ｍｍ／ｓ以上に達している
    ことを特徴とする請求項１３に記載の流体動圧軸受装置の製造方法。
17. 前記流体動圧軸受装置は、スピンドルモータを回転可能に軸支する流体動圧軸受装置である
    ことを特徴とする請求項１に記載の流体動圧軸受装置。
18. 前記流体動圧軸受装置の製造方法は、スピンドルモータを回転可能に軸支する流体動圧軸受装置の製造方法である
    ことを特徴とする請求項１０に記載の流体動圧軸受装置の製造方法。

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