JP2006282495A - 鋳型及びこれを用いた多結晶シリコンインゴットの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】底部と側部とを有するとともに、内部にシリコン融液を保持・凝固させる鋳型1であって、鋳型1の内側の表面と鋳型1の外側の表面との間に一定の温度差を付与したとき、側部を通過する単位時間・単位面積当たりの熱量Qs1と、底部を通過する単位時間・単位面積当たりの熱量Qb1との間に、Qs1<Qb1の関係が成り立つ。
【選択図】図1
Description
鋳型1の内部はシリコン融液が保持され、凝固させて多結晶シリコンインゴットを得ることができる。このようなシリコン融液は、外部の溶融坩堝(不図示)内で溶融させたシリコンを注湯するようにしてもよいし、この鋳型1の内部にシリコン原料を保持して外部から加熱溶融してシリコン融液とするようにしてもよい。
2:底面部材
3:側面部材
3a:開口部側の側面部材
3b:底部側の側面部材
4:離型材
5:鋳型断熱材
6:鋳型加熱手段
7:冷却手段
8:スリット構造の一例である櫛形スリット
8a:スリット構造の一例である鋸歯状スリット
8b:スリット構造の一例である斜め矩形状スリット
9:介在部材
10:シリコン融液
Claims (10)
- 底部と側部とを有するとともに、内部にシリコン融液を保持・凝固させる鋳型であって、
前記鋳型の内側の表面と該鋳型の外側の表面との間に一定の温度差を付与したとき、
前記側部を通過する単位時間・単位面積当たりの熱量Qs1と、
前記底部を通過する単位時間・単位面積当たりの熱量Qb1との間に、
Qs1<Qb1の関係が成り立つ鋳型。 - 前記熱量Qs1は、前記鋳型の開口部側の方が前記底部側よりも小さい請求項1に記載の鋳型。
- 底面部材から成る底部と、前記底面部材の外周部に立設した側面部材から成る側部と、を有するとともに、内部にシリコン融液を保持・凝固させる鋳型であって、
前記側面部材の内面と該側面部材の外面との間に一定の温度差ΔTを付与したときに、該側面部材を通過する単位時間、単位面積当たりの熱量Qs2と、
前記底面部材の内面と該底面部材の外面との間に前記温度差ΔTを付与したときに、該底面部材を通過する単位時間、単位面積当たりの熱量Qb2との間に、
Qs2<Qb2の関係が成り立つ鋳型。 - 前記熱量Qs2は、前記鋳型の開口部側の方が前記底部側よりも小さい請求項3に記載の鋳型。
- 前記側面部材の熱伝導率λsと、前記底面部材の熱伝導率λbとの間に
λs<λbの関係が成り立つ請求項3又は請求項4に記載の鋳型。 - 前記側面部材の厚みdsと、前記底面部材の厚みdbとの間に
ds>dbの関係が成り立つ請求項3から請求項5のいずれか一項に記載の鋳型。 - 前記側面部材は、前記底面部材の外周部と当接する箇所に、スリット構造が設けられている請求項3から請求項6のいずれか一項に記載の鋳型。
- 前記底面部材の外周部と前記側面部材との間に、前記底面部材よりも熱伝導率の小さい介在部材が設けられている請求項3から請求項7のいずれか一項に記載の鋳型。
- 内側の表面に離型材が形成されて成るとともに、
前記離型材は、前記側部における厚みtsと、前記底部における厚みtbとの間に、
ts>tbの関係が成り立つ請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の鋳型。 - 請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の鋳型の内部にシリコン融液を保持・凝固させて製造する多結晶シリコンインゴットの製造方法。
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