JP2006281603A - 接合方法及び液体噴射ヘッドの製造方法、並びに接合基板、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも一方の表面に開口する溝部18を有する第1の基板と、第1の基板の一方の表面に接着剤によって接合される第2の基板との接合方法であって、第1の基板又第2の基板の少なくとも何れか一方の溝部18の外側の領域に複数の凹部からなる逃げ溝17を設け、第1の基板と第2の基板とを接着剤によって接合する際に、第1の基板と第2の基板とを接着剤を介して当接させた状態で、逃げ溝17のうちの少なくとも圧力室12に隣接する凹部15a、16aが大気開放され且つ圧力室12が密封されているようにする。
【選択図】図3
Description
かかる第1の態様では、第1の基板と第2の基板とを接合する際に、余分な接着剤の大半が、凹部内、特に大気開放されている凹部内に流れ込むため、溝部内への接着剤の流れ込み量を少量に抑えることができる。
かかる第2の態様では、接着剤を良好に硬化させることができるが、接着剤が溝部内に流れ込みやすくなる。しかしながら、凹部が大気開放され且つ溝部が密封されていることで、接着剤を加熱硬化させる場合でも、溝部内への接着剤の流れ込み量を少量に抑えることができる。
かかる第3の態様では、流路形成基板とノズルプレートとを接合する際に、余分な接着剤の大半が、凹部内、特に大気開放されている凹部内に流れ込むため、圧力発生室内への接着剤の流れ込み量を少量に抑えることができる。
かかる第4の態様では、圧力発生室内に接着剤が流れ込んで振動板の変位を妨げるのを防止することができ、吐出特性に優れた液体噴射ヘッドを製造できる。
かかる第5の態様では、第1の基板と第2の基板とを接合する際、余分な接着剤が、凹部内、特に、大気開放されている凹部内に流れ込む。したがって、溝部内への接着剤の流れ込み量が少量に抑えられ、両基板を良好に接合することができる。
かかる第6の態様では、各溝部への接着剤の流れ込み量をより確実に少量に抑えることができる。
かかる第7態様では、多数の連通部を設けることなく、比較的容易に、複数の凹部を外部と連通させることができる。
かかる第8の態様では、流路形成基板とノズルプレートとを接合する際、余分な接着剤が、凹部内、特に、大気開放されている凹部内に流れ込むため、圧力発生室内への接着剤の流れ込み量を少量に抑えることができる。したがって、接着剤に起因する吐出不良を防止することができる。
かかる第9の態様では、各圧力発生室への接着剤の流れ込み量をより確実に少量に抑えることができる。
かかる第10の態様では、多数の連通部を設けることなく、比較的容易に、複数の凹部を外部と連通させることができる。
かかる第11の態様では、信頼性及び耐久性に優れた液体噴射装置を実現することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及び断面図であり、図3は、流路形成基板の平面図及びそのB−B′断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって形成された厚さ0.5〜2μmの二酸化シリコンからなる弾性膜50が設けられている。この流路形成基板10には、隔壁11によって画成された複数の圧力発生室(溝部)12が列設されている。また、流路形成基板10には、後述する保護基板30のリザーバ部32と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100の一部を構成する連通部13が形成され、この連通部13と各圧力発生室12とがインク供給路14を介して連通されている。なお、インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、連通部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
列設された圧力発生室の両端部外側及び圧力発生室の長手方向外側、すなわち、列設された圧力発生室の外側にこの列の三方を囲むように、複数の凹部からなる逃げ溝を設けた流路形成基板を作製し、この流路形成基板に、圧力発生室を「密封」状態とし、且つ逃げ溝である凹部を「大気開放」状態として、ノズルプレートを接着剤によって接合したものを実施例1のサンプルとした。
実施例1と同様に、列設された圧力発生室の外側にこの列の三方を囲むように複数の凹部からなる逃げ溝を設けた流路形成基板を作製し、この流路形成基板に、圧力発生室を「大気開放」状態とし、且つ逃げ溝である凹部も「大気開放」状態として、ノズルプレートを接着剤によって接合したものを実施例2のサンプルとした。
列設された圧力発生室の両端部外側のみに複数の凹部からなる逃げ溝を設けた流路形成基板を作製し、この流路形成基板に、圧力発生室を「大気開放」状態とし、且つ逃げ溝である凹部を「密封」状態として、ノズルプレートとを接着剤によって接合したものを比較例のサンプルとした。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、逃げ溝17、溝部18及び連通部19を流路形成基板10に設けるようにしたが、これに限定されず、これら逃げ溝17、溝部18及び連通部19は、流路形成基板10とノズルプレート20との何れに設けられていてもよい。例えば、図10に示すように、逃げ溝17及び溝部18を流路形成基板10に設けて、連通部19Aをノズルプレート20に設けるようにしてもよい。また、上述の実施形態では、圧力発生室12に隣接する凹部15a,16aをそれぞれ溝部18を介して連通させ、流路形成基板10の側端面に開口する連通部19を介して大気開放させるようにしたが、これに限定されず、勿論、各凹部15a,16aを連通させることなく、各凹部15a,16aのそれぞれに連通する複数の連通部を設けるようにしてもよい。
Claims (11)
- 少なくとも一方の表面に開口する溝部を有する第1の基板と、第1の基板の前記一方の表面に接着剤によって接合される第2の基板との接合方法であって、
前記第1の基板又は前記第2の基板の少なくとも何れか一方の前記溝部の外側の領域に複数の凹部からなる逃げ溝を有し、前記第1の基板と前記第2の基板とを前記接着剤によって接合する際に、前記第1の基板と第2の基板とを前記接着剤を介して当接させた状態で、前記逃げ溝のうちの少なくとも前記溝部に隣接する前記凹部が大気開放され且つ前記溝部が密封されているようにしたことを特徴とする接合方法。 - 請求項1において、前記第1の基板と前記第2の基板とを接合する際に、前記接着剤を加熱硬化させるようにしたことを特徴とする接合方法。
- 液滴を吐出するノズル開口が設けられたノズルプレートと、該ノズルプレートが接着剤によって接合され前記ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が列設される流路形成基板と、前記圧力発生室内に液滴を吐出するための圧力を付与する圧力発生手段とを具備し、且つ前記ノズルプレート又は前記流路形成基板の少なくとも何れか一方の列設された前記圧力発生室の外側の領域に、複数の凹部からなる逃げ溝が設けられた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
請求項1又は2の接合方法によって、前記第1の基板である流路形成基板と前記第2の基板である流路形成基板とを接合することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 請求項3において、前記圧力発生手段が、前記第1の基板上に振動板を介して設けられる圧電素子であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
- 少なくとも一方の表面に開口すると共に外部に連通する連通部が接続される溝部を有する第1の基板と、該第1の基板の前記一方の表面に接着剤によって接合され前記溝部の開口を塞ぐ第2の基板とを有し、且つ前記第1の基板又は前記第2の基板の少なくとも何れか一方には、前記溝部の外側の領域に、当該溝部の三方を囲むように複数の凹部からなる逃げ溝が設けられていると共に、該逃げ溝のうちの少なくとも前記溝部に隣接する複数の前記凹部を外部と連通する連通部が設けられていることを特徴とする接合基板。
- 請求項5において、前記第1の基板には、前記溝部が複数列設されていると共に、当該溝部の列設方向とは直交する方向の外側の領域に設けられる前記凹部が、各溝部に対応して設けられていることを特徴とする接合基板。
- 請求項5又は6において、前記溝部に隣接する複数の前記凹部が前記第1の基板又は第2の基板に設けられた連通溝を介してそれぞれ連通し、且つ前記連通部がこれら連通した複数の前記凹部の少なくとも何れか一つに連通するように設けられていることを特徴とする接合基板。
- 液滴を吐出するノズル開口が設けられたノズルプレートと、該ノズルプレートが接着剤によって接合され前記ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が列設される流路形成基板と、前記圧力発生室内に液滴を吐出するための圧力を付与する圧力発生手段とを具備し、
前記ノズルプレート又は前記流路形成基板の少なくとも何れか一方には、列設された前記圧力発生室の外側の領域に、当該圧力発生室の三方を囲むように複数の凹部からなる逃げ溝が設けられていると共に、該逃げ溝のうちの少なくとも前記圧力発生室に隣接する複数の前記凹部を外部と連通する連通部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項8において、前記圧力発生室の長手方向外側の領域に設けられる前記凹部が、各圧力発生室に対応して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項8又は9において、前記圧力発生室に隣接する複数の前記凹部が前記ノズルプレート又は前記流路形成基板に設けられた溝部を介してそれぞれ連通し、且つ前記連通部がこれら連通した複数の前記凹部の少なくとも何れか一つに連通するように設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項8〜10の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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