JP2006267029A - 複数の関連する検査結果等を同一の画面で同時に表示する検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 308
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 110
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 42
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 4
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 60
- 238000012795 verification Methods 0.000 abstract 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 33
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 16
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
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- Controls And Circuits For Display Device (AREA)
Abstract
【解決手段】電気的解析と故障部分の位置を特定するような検査の結果と、検査機器を制御するための検査条件等と、を一つの画面に表示する手段と、検査条件を変化させると、その検査条件に対応する電気的解析と故障 部分の位置を特定するような検査の結果と検査機器を制御するための検査条件等と、を簡単かつ迅速に一つの画面に表示する手段とを有する検査装置を提供する。
【選択図】図1
Description
有機EL材料技術 佐藤佳晴監修 株式会社シーエム 出版 有機EL材料とディスプレイ 城戸淳二監修 株式会社シーエム出版
電子デバイスの特性を検査する検査装置であって、
被検デバイスに検査条件を印加する手段と、
前記検査条件を印加された前記被検デバイスからの複数の反応を検査する複数の反応取得・検査手段と、
検査装置を構成する表示装置のメイン画面は、複数のサブ画面より構成され、複数の前記反応取得・検査手段により得られた複数の反応・検査結果をそれぞれ対応する複数の前記サブ画面とし、かつ、前記検査条件及び前記反応取得・検査手段を構成する測定機器を制御する制御条件とを一つのサブ画面として、前記検査結果サブ画面と前記検査条件等サブ画面とを前記メイン画面の中に表示する機能を有する表示手段と、
を有することを特徴とする
電子デバイスの特性を検査する検査装置であって、
前記被検デバイスに前記検査条件を印加する手段と、
前記検査条件を印加された前記被検デバイスからの複数の反応を検査する複数の反応取得・検査手段と、
検査装置を構成する表示装置のメイン画面は、複数のサブ画面より構成され、複数の前記反応取得・検査手段により得られた複数の反応・検査結果をそれぞれ対応する複数の前記サブ画面とし、かつ、前記検査条件及び前記反応取得・検査手段を構成する測定機器を制御する制御条件とを一つのサブ画面として、前記検査結果サブ画面と前記検査条件等サブ画面とを前記メイン画面の中に表示する機能を有する表示手段と、
を有することを特徴とする。言い換えれば、請求項2に記載の発明は請求項1に記載の発明に係るメイン画面に前記検査条件等サブ画面を加えたものである。
前記検査条件印加手段は前記検査条件を時間的に変化させて印加する機能を有するものであって、
前記反応取得・検査手段は前記検査条件印加手段より時間的に変化する検査条件を印加された前記被検デバイスからの時間的に 推移する複数の反応を検査する前記反応取得・検査手段であって、
前記複数結果表示手段は、時間的に推移する複数の前記反応・検査結果を表示することを特徴とする。
前記検査条件印加手段は前記検査条件を時間的に変化させて印加する機能を有するものであって、
前記反応取得・検査手段は前記検査条件印加手段より時間的に変化する検査条件を印加された前記被検デバイスからの時間的に 推移する複数の反応を検査する前記反応取得・検査手段であって、
前記複数結果表示手段は、前記反応検査結果の時間的な推移が把握し得る表現形式である前記検査結果サブ画面と、前記検査条件等サブ画面と、を表示することを特徴とする。
前記検査条件が前記被検デバイスに印加されたときには、複数の前記反応取得・検査手段は複数の反応取得・検査を連続して行うことを特徴とする。
前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、複数の前記反応取得・検査手段には少なくとも電圧・電流計により構成された前記反応取得・検査手段とCCDカメラと顕微鏡により構成された前記反応取得・検査手段が含まれ、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記被検デバイスの発光分布が含まれることを特徴とする。
前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、複数の前記反応取得・検査手段には少なくとも電圧・電流計により構成された前記反応取得・検査手段とCCDカメラと顕微鏡により構成された前記反応取得・検査手段が含まれ、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記被検デバイスの発光分布が含まれることを特徴とする。
前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記特定検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記検査デバイスの発光分布と、を含むことを特徴とする。
前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記特定検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記検査デバイスの発光分布と、を含むことを特徴とする。
前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記特定検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記検査デバイスの発光分布と、を含むことを特徴とする。
前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記特定検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記検査デバイスの発光分布と、を含むことを特徴とする。
前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする。
請求項8に記載の検査装置に係り、
前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする。
前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする。
前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする。
前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする。
前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする。
複数の前記反応結果サブ画面のうちの一つが電圧・電流特性の結果を示すものであって、該反応結果サブ画面の一点をマウスまたはキーボードによって特定すると、他の前記反応結果サブ画面は、前記特定された条件に対応する内容が表示されることを特徴とする。
前記検査条件等サブ画面の一点をマウスまたはキーボードによって特定すると、前記反応結果サブ画面は、前記特定された条件に対応する内容が表示されることを特徴とする。
請求項1に記載される発明により、複数の前記反応検査結果を示す前記検査結果サブ画面を前記メイン画面のなかで同時に比較検討できる状態で表示できることにより、例えば、電子デバイスの物理的な故障解析において、電気的解析を行うためのデータを示す前記検査結果サブ画面と、故障箇所の電子デバイスにおける位置を特定させる前記被検デバイスの発光分布を示す前記検査結果サブ画面とを、前記メイン画面の中で、並べて比較・検討できることにより故障 箇所をより効率よく特定でき、故障解析費用の低減を図ることができる。
請求項1に記載の発明に比べて、前記メイン画面のなかに、前記検査条件等サブ画面をも表示できることにより、例えば、電子デバイスの物理的な故障解析において、電気的解析を行うためのデータを示す前記検査結果サブ画面と、故障箇所の電子デバイスにおける位置を特定させる前記被検デバイスの発光分布を示す前記検査結果サブ画面とを比較・検討し、更にその検討に、前記検査条件及び前記反応取得・検査手段を構成する測定機器を制御する制御条件を加味することができ、故障箇所を更に、効率よく特定でき、故障解析費用の低減を図ることができる。
前記被検デバイスに前記検査条件を印加した後に、前記被検デバイスからの異なる種類の反応の検査を同じ準備工程を繰り返すことなく実施でき、故障解析の品質と効率を向上させることができる。故障解析の品質をも向上させることが可能となる理由は、準備工程を繰り返すとそこにミスが生じることがあるからである。
電子デバイスの故障解析において、前記検査結果サブ画面に例えば時間軸を水平方向とし、電圧を垂直方向とする前記反応検査結果を表示させることができ、故障解析において、前記反応結果の時間的な推移を容易に 観測できることにより故障解析の精度と効率を向上させることが可能となる。
請求項4に記載の発明に加えて、前記検査条件等サブ画面をも表示できることにより、関連する前記反応検査結果に前記 検査条件と前記制御条件を加味することが可能となり、故障解析の効率を向上させることが可能となる。
請求項4及び5に記載の発明の効果に加えて、
前記被検デバイスに前記検査条件を印加した後に、前記被検デバイスからの異なる種類の反応の検査を同じ準備工程を繰り返すことなく実施でき、故障解析の品質と効率を向上させることができる。故障解析の品質をも向上させることが可能となる理由は、準備工程を繰り返すとそこにミスが生じることがあるからである。
前記有機EL素子の故障解析の効率を向上させることができる。前記有機EL素子の場合には、前記有機EL素子に印加する電圧の値により発光分布が変化し、印加する電圧と該発光分布を同じ画面で同時に比較・検討することができることにより解析時間と労力を低減できるからである。
請求項7に記載の発明の効果に加えて、更に、前記有機EL素子の故障解析の効率を向上させることができる。印加する電圧と該発光分布を同じ画面で同時に比較・検討することができることに加えて、更に、同じ画面で、前記検査条件をも比較・検討できることにより更に解析時間と労力を低減できるからである。
請求項7及び8に記載の発明の効果に加えて、
更に、故障解析の品質と効率を向上させることができる。前記被検デバイスに前記検査条件を印加した後に、前記被検デバイスからの異なる種類の反応の検査を同じ準備工程を繰り返すことなく実施できるからである。
請求項7に記載の発明の効果に加えて、有機EL素子の故障解析において、前記検査結果サブ画面に例えば時間軸を水平方向とし、電圧を垂直方向とする前記反応検査結果を表示させることができ、故障解析において、前記反応結果の時間的な推移を容易に観測できることにより故障解析の精度と効率を更に向上させることが可能となる。
請求項10に記載の発明の効果に加えて、更に、前記有機EL素子の故障解析の効率を向上させることができる。印加する電圧と該発光分布を同じ画面で同時に比較・検討することができることに加えて、更に、同じ画面で、前記検査条件をも比較・検討できることにより更に解析時間と労力を低減できるからである。
請求項10及び11に記載のそれぞれの発明の効果に加えて、更に、故障解析の品質と効率を向上させることができる。前記被検デバイスに前記検査条件を印加した後に、前記被検デバイスからの異なる種類の反応の検査を同じ準備工程を繰り返すことなく実施できるからである。
請求項7に記載の発明の効果を、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与える場合においても得られる。また、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与えることにより本来は発光すべきではない状態においての発光をも捕らえることができ、故障解析の効率と質の向上を図れる。
請求項8に記載の発明の効果を、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与える場合においても得られる。また、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与えることにより本来は発光すべきではない状態においての発光をも捕らえることができ、故障解析の効率と質の向上を図れる。
請求項9に記載の発明の効果を、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与える場合においても得られる。また、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与えることにより本来は発光すべきではない状態においての発光をも捕らえることができ、故障解析の効率と質の向上を図れる。
請求項10に記載の発明の効果を、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与える場合においても得られる。また、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与えることにより本来は発光すべきではない状態においての発光をも捕らえることができ、故障解析の効率と質の向上を図れる。
請求項11に記載の発明の効果を、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与える場合においても得られる。また、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与えることにより本来は発光すべきではない状態においての発光をも捕らえることができ、故障解析の効率と質の向上を図れる。
請求項12に記載の発明の効果を、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与える場合においても得られる。また、前記印加電圧として有機ELの発光開始電圧以下の電圧を与えることにより本来は発光すべきではない状態においての発光をも捕らえることができ、故障解析の効率と質の向上を図れる。
請求項10及び11に記載のそれぞれの発明の効果に加えて、更に、故障解析の品質と効率を向上させることができる。電圧・電流特性を示す前記反応結果サブ画面の一点をマウスまたはキーボードによって特定するだけで、それに対応する他の前記反応結果サブ画面内のデータを見られるからである。
請求項2、5、8、11、14及び17に記載のそれぞれの発明の効果に加えて、更に、故障解析の品質と効率を向上させることができる。前記検査条件サブ画面の一点をマウスまたはキーボードによって特定するだけで、それに対応する他の前記反応結果サブ画面内のデータを見られるからである。
図1は本発明の実施の形態1に係る検査装置を構成するハードウェアを示すブロック図である。図1において、101は検査装置の画面表示装置である。また、100は画面表示装置101のメイン画面である。また、102は複数ある検査結果サブ画面の一つ(以下「第1検査結果サブ画面」という)であり、103は二つ目の検査結果サブ画面(以下「第2検査結果サブ画面」という)である。また、104は、検査条件等サブ画面である。105は本検査装置を制御する中央処理装置である。106は複数の反応取得・検査手段の一つである反応取得・検査部(以下「第1反応取得・検査部」という)である。また、107は二つ目の反応取得・検査部(以下「第2反応取得・検査部」という)である。本実施の形態では、反応取得・検査部は二つである。また、108は故障解析の対象である被検デバイスである。また、109は被検デバイス108に前記検査条件を印加する検査条件印加部である。また、110はプローブであり、このプローブ110を通じて、被検物108に電気的に接触する。本実施の形態では、検査結果サブ画面は二つである。また、被検デバイス108は有機EL素子であり、被検デバイス108に印加される検査条件は電圧である。第1反応取得・検査部106は顕微鏡111とCCDカメラ112により構成されて、被検デバイス108の発光分布を取得する。また、第2反応取得・検査部107は電流計により構成されて、被検デバイス108に流れる電流を測定する。具体的な機器としては、本実施の 形態1においては、第2反応取得・検査部107と検査条件印加部109は一台のソースメータ113で構成されている。
ステップS307では、今回の印加電圧値が最後のものであるか否かを判断する。最後である場合には処理を終了する。最後でない場合にはステップS308へ進む。ステップ308では、印加電圧を次のものに変更する。そして、ステップS301へ進んで、以下のステップを繰り返す。
(実施の形態1に係る発明の効果)
6Aは有機EL素子が発光する電圧の領域である。また、6Bは本実施例2における印加電圧を示している。また6F、6G及び6HはCCDカメラ112が発光画像を取得したポイントである。
6Dは6Iの周囲であって、他の部分とは異なる色(薄い水色)で発光している部分である。また、6Eは6Iと6D以外の部分であって、薄い黄色に発光している部分である。この部分は印加電圧が発光開始電圧以上になると発光することより、有機EL素子としての正常な発光をしている部分と考えられる。
(実施の形態2)
次に、実施の形態2として、被検デバイス108の有機EL素子に検査条件として同じ電圧を印加して、印加時間の経過に従って、被検デバイス108である有機EL素子に流れる電流値の変化を測定しつつ、同じ 条件下での発光分布の変化を比較・検討する場合の実施の形態について説明する。
101 検査装置の画面表示装置
102 第1検査結果サブ画面
103 第2検査結果サブ画面
104 検査条件等サブ画面
105 中央処理装置
106 第1反応取得・検査部
107 第2反応取得・検査部
108 被検デバイス
109 検査条件印加部
110 プローブ
111 顕微鏡
112 CCDカメラ
113 ソースメータ
S301 電圧印加ステップ
S302 発光データ取得指令ステップ
S303 電流値取得指令ステップ
S304 発光データ取得ステップ
S305 電流値取得ステップ
S306 発光データ等表示ステップ
S307 最終電圧判断ステップ
S308 電圧値変更ステップ
S401 電圧印加ステップ
S402 発光データ取得指令ステップ
S403 電流値取得指令ステップ
S404 発光データ取得ステップ
S405 電流値取得ステップ
S406 発光データ等表示ステップ
S406 発光データ等表示ステップ
S407 最終時刻判断ステップ
S409 待機ステップ
501 実施例1に係る第2検査結果サブ 画面
502 実施例1に係る第1検査結果サブ 画面
5A 発光開始電圧以下の印加電圧領域
5B 実施例1における印加電圧を示すポイント
5C 実施例1における発光開始電圧を示すポイント
5D 実施例1において発光開始電圧以下の電圧が印加された場合に発光した部分
5E 発行画像取得ポイント
5F 発行画像取得ポイント
601 実施例2に係る第2検査結果サブ 画面
602 実施例2に係る第1検査結果サブ 画面
6A 有機EL素子発光開始領域
6B 実施例2における印加電圧を示す線
6C 発光開始電圧を示す縦線
6D 6Iの周りであって、異常な発光(薄い水色)をしている領域
6E 正常な有機EL素子としての発光(薄い黄色)をしている領域
6F 発行画像取得ポイント
6G 発行画像取得ポイント
6H 発行画像取得ポイント
6I 実施例2において電圧が印加された場合に異常発光した部分
Claims (20)
- 電子デバイスの特性を検査する検査装置であって、
被検対象である前記電子デバイス(以下「被検デ バイス」ともいう)に印加する検査条件を印加する手段(以下「検査条件印加手段」ともいう)と、
前記検査条件を印加された前記被検デバイスからの複数の反応を検査する複数の反応取得・検査手段と、
検査装置を構成する表示装置の画面(以下「メイン画面」ともいう)は、複数の小画面(以下「サブ画面」ともいう)より構成され、複数の前記反応取得・検査手段により得られた複数の検査結果(以下「反応検査 結果」ともいう)をそれぞれ対応する複数の前記サブ画面として前記メイン画面の中に表示する表示手段(以下「複数結果表示手段」ともいう)と、を有することを特徴とする検査装置。 - 電子デバイスの特性を検査する検査装置であって、
前記被検デバイスに前記検査条件を印加する手段と、
前記検査条件を印加された前記被検デバイスからの複数の反応を検査する複数の反応取得・検査手段と、
検査装置を構成する表示装置のメイン画面は、複数のサブ画面より構成され、複数の前記反応取得・検査手段により得られた複数の検査結果をそれぞれ対応する複数の前記サブ画面(以下「検査結果サブ画面」ともいう)とし、かつ、前記検査条件及び前記反応取得・検査手段を構成する測定機器を制御する制御条件とを一つのサブ画面(以下「検査条件等サブ画面」ともいう)として、前記検査結果サブ画面と前記検査条件等サブ画面とを前記メイン画面の中に表示する機能を有する表示手段(以下「複合表示手段」ともいう)と、
を有することを特徴とする検査装置。 - 前記検査条件が前記被検デバイスに印加されたときには、複数の前記反応取得・検査手段は複数の反応取得・検査を連続して行うことを特徴とする請求項1及び2に記載の検査装置。
- 前記検査条件印加手段は前記検査条件を時間的に変化させて印加する機能を有するものであって、
前記反応取得・検査手段は前記検査条件印加手段より時間的に変化する検査条件を印加された前記被検デバイスからの時間的に 推移する複数の反応を検査する前記反応取得・検査手段であって、
前記複数結果表示手段は、前記反応検査結果の時間的な推移が把握し得る表現形式である前記検査結果サブ画面を表示することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記検査条件印加手段は前記検査条件を時間的に変化させて印加する機能を有するものであって、
前記反応取得・検査手段は前記検査条件印加手段より時間的に変化する検査条件を印加された前記被検デバイスからの時間的に 推移する複数の反応を検査する前記反応取得・検査手段であって、
前記複数結果表示手段は、前記反応検査結果の時間的な推移が把握し得る表現形式である前記検査結果サブ画面と、前記検査条件等サブ画面と、を表示することを特徴とする請求項2に記載の検査装置。 - 前記検査条件が前記被検デバイスに印加されたときには、複数の前記反応取得・検査手段は複数の反応取得・検査を連続して行うことを特徴とする請求項4及び5に記載の検査装置。
- 前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、複数の前記反応取得・検査手段には少なくとも電圧・電流計により構成された前記反応取得・検査手段とCCDカメラと顕微鏡により構成された前記反応取得・検査手段が含まれ、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記被検デバイスの発光分布が含まれることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、複数の前記反応取得・検査手段には少なくとも電圧・電流計により構成された前記反応取得・検査手段とCCDカメラと顕微鏡により構成された前記反応取得・検査手段が含まれ、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記被検デバイスの発光分布が含まれることを特徴とする請求項2に記載の検査装置。
- 前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記特定検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記検査デバイスの発光分布と、を含むことを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
- 前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記特定検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記検査デバイスの発光分布と、を含むことを特徴とする請求項4に記載の検査装置。
- 前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記特定検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記検査デバイスの発光分布と、を含むことを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
- 前記被検デバイスは有機EL素子であり、前記特定検査条件は、前記有機ELに印加する電圧であり、前記反応・検査結果には、前記検査デバイスの電圧・電流特性と、前記検査デバイスの発光分布と、を含むことを特徴とする請求項6に記載の検査装置。
- 前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする請求項7に記載の検査装置。
- 前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする請求項8に記載の検査装置。
- 前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする請求項9に記載の検査装置。
- 前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする請求項10に記載の検査装置。
- 前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする請求項11に記載の検査装置。
- 前記特性検査条件は、有機EL素子の発光開始 電圧以下であることを特徴とする請求項12に記載の検査装置。
- 複数の前記反応結果サブ画面のうちの一つが電圧・電流特性の結果を示すものであって、該反応結果サブ画面の一点をマウスまたはキーボードによって特定すると、他の前記反応結果サブ画面は、前記特定された条件に対応する内容が表示されることを特徴とする請求項1乃至18に記載の検査装置。
- 前記検査条件等サブ画面の一点をマウスまたはキーボードによって特定すると、前記反応結果サブ画面は、前記特定された条件に対応する内容が表示されることを特徴とする請求項2、5、8、11、14及び17に記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005089028A JP2006267029A (ja) | 2005-03-25 | 2005-03-25 | 複数の関連する検査結果等を同一の画面で同時に表示する検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005089028A JP2006267029A (ja) | 2005-03-25 | 2005-03-25 | 複数の関連する検査結果等を同一の画面で同時に表示する検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006267029A true JP2006267029A (ja) | 2006-10-05 |
Family
ID=37203155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005089028A Pending JP2006267029A (ja) | 2005-03-25 | 2005-03-25 | 複数の関連する検査結果等を同一の画面で同時に表示する検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006267029A (ja) |
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