JP2006259051A - 電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被分断物から、分断物を、効率良くかつ分断物の分断面の形状を損なうことなく精度良く分断することができる電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置を提供する。
【解決手段】被分断物２００に対して略直線状の溝１００ｘ，１００ｙ，１７１ｘ，１７１ｙを形成した後、該溝に沿って被分断物２００を分断する分断装置１であって、両端が固定されるとともに、該固定された間の領域５ｒに被分断物２００が貼着される、粘着性を有する伸縮シート５と、伸縮シート５の前記固定された間の領域５ｒであって、被分断物２００が貼着される面の裏面５ｕに対し、昇降により当接自在な昇降部材２と、を有し、昇降部材２は、伸縮シート５への当接後の更なる上昇により、伸縮シート５を伸張させることを特徴とする。
【選択図】図５

Description

本発明は、電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置に関し、特に被分断物に対して略直線状の溝を形成した後、該溝に沿って被分断物を分断する電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置に関する。

周知のように、電気光学装置、例えば液晶表示装置は、ガラス基板等からなる２枚の基板間に液晶を封入して構成されており、一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと称す)等のスイッチング素子及び画素電極をマトリクス状に配置し、他方の基板に共通電極を配置して、両基板間に封止した液晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能としている。

また、ＴＦＴを配置したＴＦＴ基板と、このＴＦＴ基板に相対して配置される対向基板とは別々に製造される。ＴＦＴ基板及び対向基板は、例えばガラス上に、所定のパターンを有する半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜を積層することによって構成される。層毎に各種膜の成膜工程とフォトリソグラフィ工程を繰り返すことによって形成されるのである。

このようにして形成されたＴＦＴ基板及び対向基板は、パネル組立工程において高精度に貼り合わされる。このパネル組立工程は、先ず、各基板の製造工程において夫々製造されたＴＦＴ基板と対向基板との液晶層と接する面上に、液晶分子を基板面に沿って配向させるための配向膜を形成する。この配向膜は、例えばポリイミドを約数十ナノメータの厚さで印刷することにより形成される。

その後、焼成を行い、さらに電圧無印加時の液晶分子の配列を決定させるためのラビング処理を施す。次いで、液晶滴下方式であれば、大板上に複数構成された、例えばＴＦＴ基板上の周縁に、接着剤となるシール材を枠状に規定の高さ描画または印刷によりそれぞれ形成し、このシール材の内側の基板上の液晶充填領域に、規定量の液晶を滴下する。

その後、ＴＦＴ基板のみ大板で形成される場合は、ＴＦＴ基板が複数構成された大板に、複数のチップ状となった対向基板を、ＴＦＴ基板と対向基板が対向配置されるよう、シール材を介して真空下においてそれぞれ貼り合わせ、アライメントを施しながら圧着硬化させる。

その後、チップ状の対向基板が複数貼り合わされ、ＴＦＴ基板が複数構成された大板に対し、スクライブまたはダイシング等を行った後、大板からＴＦＴ基板を、複数対向配置されたＴＦＴ基板及び対向基板の組毎に分断する。さらに、分断されたＴＦＴ基板及び対向基板に、防塵用のカバーガラスを、接着剤を介してそれぞれ貼り合わせることにより、複数の液晶表示装置が製造されるのである。

また、今日では、液晶表示装置の製造工程の短縮化を図る目的で、チップ状の対向基板が複数対向配置されたＴＦＴ基板が複数構成された大板に、複数構成されたＴＦＴ基板を覆うよう大板のカバーガラスを、接着剤を介して貼り合わせた後、複数対向配置されたＴＦＴ基板及び対向基板の組毎に、それぞれの大板からカバーガラスが貼着されたＴＦＴ基板を分断することも行われている。

ここで、被分断物であるそれぞれの大板から、分断物であるカバーガラスが貼着されたＴＦＴ基板を、複数対向配置されたＴＦＴ基板及び対向基板の組毎に分断する際、分断によりＴＦＴ基板及びカバーガラスの分断面に欠け等の不良が発生すると液晶表示装置に製品不良が生じるため、分断の際には安定した分断精度が要求される。このような経緯から、分断精度が要求される分断工程においては、ダイシングよりも分断精度が高いスクライブを用いたブレイク方式が多く用いられている。

また、それぞれの大板から、カバーガラスが貼着されたＴＦＴ基板を、複数対向配置されたＴＦＴ基板及び対向基板の組毎に分断する際、一度に一括して個々に分断すると、分断後、複数のカバーガラス及びＴＦＴ基板の各分断面同士が接触して、ＴＦＴ基板及びカバーガラスの端面に欠け等が発生してしまう場合がある。

よって、先ずは、それぞれの大板から、ＴＦＴ基板が貼着されたカバーガラスを、複数対向配置されたＴＦＴ基板及び対向基板の組毎に短冊状に列単位に分断した後、短冊状のものから、カバーガラスが貼着されたＴＦＴ基板を、ＴＦＴ基板及び対向基板の組毎に１つずつ分断することが行われている。

ここで、ＴＦＴ基板にカバーガラスを貼り合わす際に用いた接着剤は、貼り合わせ後、所定の硬度を有するようになるため、分断にスクライブブレイクを用いた場合、該スクライブブレイクのみでは、硬化した接着剤を分断することができないといった問題があった。

このような問題に鑑み、一般的には、スクライブブレイクの後、作業者の手によって硬化した接着剤を分断する手法が用いられている。

また、特許文献１には、カバーガラスを貼り合わせる接着剤に、ＵＶ硬化型シール剤を用い、ＵＶを遮光することでＵＶ硬化型シール剤が未硬化な状態で切断を行うことにより、接着剤の分断を容易にした技術の提案がなされている。
特開２００３−２９５２０２公報

しかしながら、特許文献１に開示された技術においては、ＵＶ硬化型シール剤が未硬化なまま分断を行うため、製造後の基板の端面等にＵＶ硬化型シール剤が残存しまう場合がある。

また、作業者の手により、それぞれの大板から、カバーガラスが貼着されたＴＦＴ基板を複数対向配置されたＴＦＴ基板及び対向基板の組毎に短冊状に分断すると、短冊状に分断した直後、不意に短冊状のものから、ＴＦＴ基板及び対向基板の組毎に１つずつカバーガラスが貼着されたＴＦＴ基板が落下してしまう場合があり、該落下により、ＴＦＴ基板及びカバーガラスの分断面に欠け等が発生してしまうため、製造上対策が求められていた。

本発明は上記事情に着目してなされたものであり、その目的は、被分断物から、分断物を、効率良くかつ分断物の分断面の形状を損なうことなく精度良く分断することができる電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置を提供するにある。

上記目的を達成するために本発明に係る電気光学装置の製造装置は、被分断物に対して略直線状の溝を形成した後、該溝に沿って前記被分断物を分断する電気光学装置の製造装置であって、両端が固定されるとともに、該固定された間の領域に前記被分断物が貼着される、粘着性を有する伸縮シートと、前記伸縮シートの前記固定された間の領域であって、前記被分断物が貼着される面の裏面に対し、昇降により当接自在な昇降部材と、を有し、前記昇降部材は、前記伸縮シートへの当接後の更なる上昇と降下とのいずれかにより、前記伸縮シートを伸張させることを特徴とする。

本発明の電気光学装置の製造装置によれば、被分断物が貼着された伸縮シートが昇降部材によって伸張されることにより被分断物が分断された後、該分断した分断物は伸縮シートに貼着したままの状態となる。よって、分断後の分断物の不意の落下が防止できるため、分断物の分断面の割れ等を防止することができるため、被分断物から分断面の形状を損なうことなく分断物を精度良く分断することができる。また、被分断物に複数の分断物が構成されている場合、伸縮シートに対する１回の昇降部材の上昇と降下とのいずれかにより、被分断物から複数の分断物を分断することができるため、効率良く分断することができるといった効果を有する。

また、前記昇降部材は、前記伸縮シートの前記固定された間の領域であって、前記被分断物が貼着される位置の裏面に対し、当接自在であることを特徴とする。

本発明の電気光学装置の製造装置によれば、確実に、被分断物から分断面の形状を損なうことなく精度良く分断物を分断することができるといった効果を有する。

さらに、前記被分断物は、実装用端子部を有する素子基板が複数構成された第１の基板と、前記素子基板に対向する対向基板が複数構成された第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との少なくとも一方に貼り合わされるカバーガラスとの少なくとも１つであることを特徴とする。

本発明の電気光学装置の製造装置によれば、第１の基板、第２の基板、カバーガラスからそれぞれ分断後、該分断した素子基板、対向基板、カバーガラスは伸縮シートに貼着したままの状態となる。よって、分断後の不意の落下が防げるため、分断後の各素子基板、対向基板、カバーガラスの分断面の割れ等を防止することができるので、第１の基板、第２の基板、カバーガラスから分断面の形状を損なうことなく素子基板、対向基板、カバーガラスをそれぞれ精度良く分断することができるといった効果を有する。また、伸縮シートに対する１回の昇降部材の上昇と降下とのいずれかにより、第１の基板、第２の基板、カバーガラスから複数の素子基板、対向基板、カバーガラスをそれぞれ分断することができるため、効率良くそれぞれ分断することができるといった効果を有する。

また、前記被分断物は、前記第１の基板に、破断性を有する接着剤を介して前記カバーガラスが貼着されたものであることを特徴とする。

本発明の電気光学装置の製造装置によれば、大板のカバーガラスが貼着された第１の基板からカバーガラスが貼着された素子基板を分断する際に、該分断したカバーガラスが貼着された素子基板は伸縮シートに貼着したままの状態となる。よって、分断後の不意の落下が防げるため、分断後の素子基板及びカバーガラスの分断面の割れ等を防止することができるので、それぞれの大板からカバーガラスが貼着された素子基板を、分断面の形状を損なうことなく精度良く分断することができる。また、伸縮シートの伸張を用いることにより、カバーガラスと第１の基板とを貼り合わせる接着剤をも確実に分断することができるといった効果を有する。さらに、伸縮シートに対する１回の昇降部材の上昇と降下とのいずれかにより、それぞれの大板からカバーガラスが貼着された素子基板を複数分断することができるため、効率良く分断することができるといった効果を有する。

本発明に係る電気光学装置の製造方法は、被分断物に対して略直線状の溝を形成した後、該溝に沿って前記被分断物を分断する電気光学装置の製造方法であって、前記被分断物に対して略直線状の溝を形成する工程と、前記溝が形成された前記被分断物を、粘着性を有する伸縮シートに貼着する工程と、前記伸縮シートを伸張することにより、前記溝に沿って前記被分断物を分断する工程と、前記伸縮シートを分断された分断物から剥離する工程と、を有することを特徴とする。

本発明の電気光学装置の製造方法によれば、被分断物が貼着された伸縮シートが伸張されることにより、被分断物は分断されることから、分断後、該分断した分断物は伸縮シートに貼着したままの状態となる。よって、分断後の不意の落下が防止できるため、分断後の分断物の分断面の割れ等を防止することができるので、被分断物から分断面の形状を損なうことなく分断物を精度良く分断することができる。また、被分断物に複数の分断物が構成されている場合、伸縮シートに対する１回の伸張工程により、被分断物から複数の分断物を分断することができるため、効率良く被分断物から分断物を分断することができるといった効果を有する。

また、前記被分断物を前記伸縮シートに貼着する工程は、両端が固定された前記伸縮シートの該固定された間の領域に貼着することを特徴とする。

本発明の電気光学装置の製造方法によれば、確実に、被分断物から分断面の形状を損なうことなく分断物を精度良く分断することができるといった効果を有する。

さらに、前記伸縮シートを伸張する工程は、前記伸縮シートの前記固定された間の領域であって、前記被分断物が貼着される面の裏面に対し、昇降部材を当接させた後、該昇降部材の更なる上昇と降下とのいずれかにより行うことを特徴とする。

本発明の電気光学装置の製造方法によれば、被分断物が貼着された伸縮シートが昇降部材によって伸張されることにより、被分断物は分断されることから、分断後、該分断した分断物は伸縮シートに貼着したままの状態となる。よって、分断後の不意の落下が防止できるため、分断後の分断物の分断面の割れ等を防止することができるので、被分断物から分断面の形状を損なうことなく精度良く分断物を分断することができる。また、伸縮シートに対する１回の昇降部材の上昇と降下とのいずれかにより、被分断物から複数の分断物を分断することができるため、効率良く被分断物から分断物を分断することができるといった効果を有する。

また、前記被分断物は、実装用端子部を有する素子基板が複数構成された第１の基板と、前記素子基板に対向する対向基板が複数構成された第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との少なくとも一方に貼り合わされるカバーガラスとの少なくとも１つであることを特徴とする。

本発明の電気光学装置の製造方法によれば、第１の基板、第２の基板、カバーガラスからそれぞれ分断後、該分断した素子基板、対向基板、カバーガラスは伸縮シートに貼着したままの状態となる。よって、分断後の不意の落下が防止できるため、分断後の素子基板、対向基板、カバーガラスの分断面の割れ等を防止することができるので、第１の基板、第２の基板、カバーガラスから分断面の形状を損なうことなく素子基板、対向基板、カバーガラスをそれぞれ精度良く分断することができるといった効果を有する。また、伸縮シートに対する１回の伸張工程により、第１の基板、第２の基板、カバーガラスから素子基板、対向基板、カバーガラスをそれぞれ複数分断することができるため、効率良く分断することができるといった効果を有する。

さらに、前記被分断物は、前記第１の基板に、前記カバーガラスが破断性を有する接着剤を介して貼着されたものであることを特徴とする。

本発明の電気光学装置の製造装置によれば、大板のカバーガラスが貼着された第１の基板からカバーガラスが貼着された素子基板を分断する際に、該分断したカバーガラスが貼着された素子基板は伸縮シートに貼着したままの状態となる。よって、分断後の不意の落下が防止できるため、分断後の素子基板及びカバーガラスの分断面の割れ等を防止することができるので、それぞれの大板からカバーガラスが貼着された素子基板を、分断面の形状を損なうことなく精度良く分断することができる。また、伸縮シートの伸張を用いることにより、カバーガラスと第１の基板とを貼り合わせる接着剤をも確実に分断することができるといった効果を有する。さらに、伸縮シートに対する１回の昇降部材の上昇と降下とのいずれかにより、それぞれの大板からカバーガラスが貼着された素子基板を複数分断することができるため、効率良く分断することができるといった効果を有する。

本発明に係る電気光学装置は、請求項５〜請求項９の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。

本発明の電気光学装置によれば、分断面に欠け等が発生していない、精度良く形成された分断物によって構成されていることから、電気光学装置の安定性の向上と歩留まりの向上とを図ることができるという効果を有する。

以下、図面を参照にして本発明の実施の形態を説明する。尚、本実施の形態は、電気光学装置は、液晶表示装置を例に挙げて説明する。よって、液晶表示装置に用いる一対の基板の内、一方の基板は、素子基板であるＴＦＴ基板を、また他方の基板は、ＴＦＴ基板に対向する基板（以下、対向基板と称す）を例に挙げて説明する。また、液晶滴下方式により製造された液晶表示装置を例に挙げて説明する。

先ず、図１、図２を参照して、本発明の一実施の形態を示す液晶表示装置の製造装置によって製造される液晶表示装置の構成について説明する。
図１は、液晶表示装置のＴＦＴ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図、図２は、ＴＦＴ基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入する組立工程終了後の液晶表示装置を、図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿って切断した断面図である。

同図に示すように、液晶表示装置５００は、ＴＦＴ基板１０と、それに対向して設けられる対向基板２０との間に液晶５０を封入して構成される。ＴＦＴ基板１０上に画素を構成する画素電極９ａ等がマトリクス状に配置される。

対向基板２０に表示領域を区画する額縁としての遮光膜（ＢＭ）４２が設けられている。遮光膜４２は、例えば遮光性材料によって形成される。

遮光膜４２の外側の領域に、液晶を封入するシール材４１がＴＦＴ基板１０と対向基板２０との間に形成されている。シール材４１は、例えば対向基板２０の輪郭形状に略一致するように配置され、ＴＦＴ基板１０と対向基板２０とを相互に固着する。

ＴＦＴ基板１０のシール材４１の外側の領域に、データ線駆動回路６１、及び組み立てられた液晶表示装置５００とプロジェクタ等の電子機器とを接続するＦＰＣ（いずれも図示されず）の一端が接続される実装用端子部６２がＴＦＴ基板１０の一辺に沿って設けられており、この一辺に隣接する２辺に沿って、走査線駆動回路６３が設けられている。

ＴＦＴ基板１０の対向基板２０に対向する面の裏面に、防塵用のカバーガラス７１が、破断性を有する接着剤、例えばシリコーン接着剤を介して貼着されており、また、対向基板２０のＴＦＴ基板１０に対向する面の裏面にも、防塵用のカバーガラス７２が、破断性を有する接着剤、例えばシリコーン接着剤を介して貼着されている。尚、接着材は、シリコーン接着剤に限定されない。

次に、このように構成される液晶表示装置５００の製造方法について、図３、図４を用いて説明する。図３は、図１の液晶表示装置の製造方法を模式的に示す工程図、図４は、複数のＴＦＴ基板が構成された大板に切断用のスクライブラインを形成したことを示す平面図である。尚、以下、図３の工程図においては、図２に示した画素電極９ａ、シール材４１、遮光膜４２、液晶５０、データ線駆動回路６１、実装用端子部６２の図面への記載は省略して示す。

図３（ａ）に示すように、先ず、ＴＦＴ基板１０が複数、例えば１１６個構成された大板１００に対し、ＴＦＴ基板１０と同数個のチップ状の対向基板２０が、ＴＦＴ基板１０にそれぞれ対向配置されるように、シール材４１（図２参照）を介して貼り合わされる。

尚、ＴＦＴ基板１０の対向基板２０に対向する面には、既知の成膜工程により、画素電極９ａ、実装用端子部６２（いずれも図２参照）等の構成要素が形成されており、対向基板２０のＴＦＴ基板１０に対向する面には、既知の成膜工程により図示しない画素電極等の構成要素が全面に形成されている。また、大板１００は、図４に示すように、例えば円形状を有しており、分断できる部材である透過型または反射型の石英、ガラス等から構成されている。

次いで、図４に示すように、大板１００の対向基板２０が貼り合わされた面と反対側の面（以下、裏面と称す）であって、ＴＦＴ基板１０の境界に、図４中ｘ方向及びｙ方向に略直線状の溝であるスクライブライン１００ｘ，１００ｙを複数本順次形成した後、該スクライブライン１００ｘ，１００ｙに沿って、大板１００を貫通するクラック（図中は、１００ｘ’のみ記載）を、既知の手段により発生させる。

次いで、図３（ｂ）に示すように、大板１００の裏面に、該大板１００に複数構成されたＴＦＴ基板１０を全て覆うように、大板のカバーガラス１７１が、破断性を有する接着剤、例えばシリコーン接着剤を介して貼着される。

次いで、図３（ｃ）に示すように、大板１００の裏面に貼着された大板のカバーガラス１７１に対し、大板１００に形成したスクライブライン１００ｘ，１００ｙと重畳する位置に、略直線状の溝であるスクライブライン１７１ｘ，１７１ｙを複数本順次形成した後、該スクライブライン１７１ｘ，１７１ｙに沿って、大板１００を貫通するクラック（図中は、１７１ｘ’のみ記載）を、既知の手段により発生させる。

次いで、図３（ｄ）に示すように、後述する分断装置１（図５参照）を用いて、大板１００及び大板のカバーガラス１７１から、複数対向配置されたＴＦＴ基板１０及び対向基板２０の組毎に、ＴＦＴ基板１０が貼着されたカバーガラス７１を、後述する手段により分断させる。その結果、対向基板２０が対向配置されたＴＦＴ基板１０及びカバーガラス７１が、大板１００及び大板のカバーガラス１７１から複数個の短冊状に分断される。

最後に、短冊状に分断された複数の対向基板２０が対向配置されたＴＦＴ基板１０及びカバーガラス７１が、１個ずつに作業者の手によって分断された後、図３（ｅ）に示すように、対向基板２０のＴＦＴ基板１０の対向面の裏面に、対向基板２０と略同じ大きさを有するチップ状のカバーガラス７２が、破断性を有する接着剤、例えばシリコーン接着剤を介して貼着されることにより、複数個の液晶表示装置５００が製造される。

次に、図３（ｄ）に示した、大板１００及び大板のカバーガラス１７１から、複数対向配置されたＴＦＴ基板１０及び対向基板２０の組毎に、ＴＦＴ基板１０及びカバーガラス７１を分断する電気光学装置の製造装置である分断装置の構成について、図５、図６を用いて説明する。図５は、本発明の一実施の形態を示す分断装置を示す正面図、図６は、図５中のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。

同図に示すように、分断装置１は、台座８と、該台座８の上面８ｊに導入される伸縮シート５と、台座８の穴部８ｈに配設された昇降部材２とにより主要部が構成されている。

台座８は、上面８ｊが略平坦面に形成されており、該上面８ｊの任意の位置、例えば図５，６中略中央の位置に、穴部８ｈが形成されている
伸縮シート５は、伸縮性を有するシート、例えば半導体のエキスパンドテープによって構成されており、表面５ｆが粘着性を有して、該表面５ｆに、図５に示すように、後述する被分断物２００が貼着されるようになっている。尚、伸縮シート５は、粘着性を有するとともに、伸縮性を有するものであれば、半導体のエキスパンドテープに限定されない。

また、伸縮シート５は、台座８の上面８ｊに、穴部８ｈを覆うよう、既知の導入手段により導入された後、固定部材３により、任意の２点、例えば図５，６中両端付近が、台座８の上面８ｊにそれぞれ固定される。

昇降部材２は、例えばエアシリンダにより構成されており、高さ方向の先端に、伸縮シート５の貼着面の裏面５ｕに当接する当接面が略平坦な面を有するテーブル状の当接部２ｔが固定されている。

また、昇降部材２は、当接部２ｔをエアにより、穴部８ｈ内を昇降する及び穴部８ｈに対し入出するよう、台座８の高さ方向に昇降自在となっている。具体的には、昇降部材２は、当接部２ｔを、例えば昇降部材２のストロークエンドまで上昇させることができるようになっている。

よって、当接部２ｔは、穴部８ｈを覆うように台座８の上面８ｊに導入された伸縮シート５の固定部材３によって固定された間の領域５ｒ、詳しくは、後述する被分断物２００が貼着される位置の裏面５ｕに、伸縮シート５の下方から当接自在である。

また、当接部２ｔは、裏面５ｕに当接した後、さらに、穴部８ｈから上昇することにより、固定部材３により、台座８の上面８ｊにそれぞれ両端が固定された伸縮シート５を伸張する。

次に、このように構成された分断装置１の作用について、図３〜図６、及び図７〜図９を用いて説明する。図７は、図６の分断装置を用いた分断方法を示すフローチャート、図８は、図６の分断装置に被分断物を貼着した状態を示す断面図、図９は、図６の分断装置の昇降部材が上昇し、伸縮シートを伸張している状態を示す断面図である。

尚、以下の説明においては、分断装置１によって分断される被分断物は、上述した図３（ａ）〜（ｃ）に示したように、チップ状の複数の対向基板２０が対向配置された複数のＴＦＴ基板１０が構成された大板１００の裏面に、大板のカバーガラス１７１が、シリコーン接着剤を介して貼着され、大板１００及び大板のカバーガラス１７１に、スクライブライン１００ｘ，１００ｙ及び貫通クラック（図中は、１００ｘ’，１７１ｘ’のみ記載）が形成されたものを例に挙げて説明する。

よって、被分断物は、複数の対向基板２０が対向配置された大板１００及び該大板１０の裏面に貼着された大板のカバーガラス１７１となるが、説明の便宜上これを、被分断物２００として説明する。

図７に示すように、先ず、ステップＳ１において、スクライブ後の被分断物２００が用意された後、続くステップＳ２では、分断装置１の台座８の上面８ｊに、台座８の穴部８ｈを覆うように、既知の導入手段により、伸縮シート５が導入される。その後、ステップＳ３に移行する。

ステップＳ３では、伸縮シート５の任意の２点、例えば図５，６中の両端付近が、固定部材３により、台座８の上面８ｊに対して固定される。続くステップＳ４では、図８に示すように、伸縮シート５の表面５ｆであって、２つの固定部材３によって固定された間の領域５ｒに、被分断物２００が貼着される。

具体的には、大板のカバーガラス１７１が伸縮シート５に貼着される。尚、その結果、カバーガラス１７１の貼着面は、伸縮シート５の表面５ｆにより保護される。その後、ステップＳ５に移行する。

ステップＳ５では、図９に示すように、昇降部材２の当接部２ｔを、エアを用いて上昇させて、当接部２ｔを伸縮シート５の領域５ｒであって、被分断物２００が貼着される位置の裏面５ｕに下方から当接させる。

さらにその後、当接部２ｔを穴部８ｈからエアを用いて昇降部材２のストロークエンドまで、例えば穴部８ｈの開口から２５０〜３００ｍｍ上昇させることにより、台座８の上面８ｊにそれぞれ両端が固定部材３により固定された伸縮シート５を、昇降部材２の昇降方向と略直交する方向に、一定のトルクで例えば５０ｍｍ伸張させる。

この伸縮シート５の昇降部材２の昇降方向と略直交する方向への伸張により、被分断物２００が分断される。具体的には、大板１００及び大板のカバーガラス１７１から、複数対向配置されたＴＦＴ基板１０及び対向基板２０の組毎に、分断物であるカバーガラス７１が貼着されたＴＦＴ基板１０が、クラック１００ｘ’，１７１ｘ’に沿って、例えば１列１５組のＴＦＴ基板１０及び対向基板２０の組を有する短冊状に複数個分断される。尚、この際、大板１００と大板のカバーガラス１７１とを貼着するシリコーン接着剤も確実に分断される。その後、ステップＳ６に移行する。

最後に、ステップＳ６では、分断物である対向基板２０が対向配置された、短冊状のカバーガラス７１が貼着されたＴＦＴ基板１０が、伸縮シート５から剥離される。尚、この際、カバーガラス７１の貼着面には、有機物が付着する場合があるが、該有機物は、後の工程で行われるアルコール拭き工程において除去される。

その後、短冊状のカバーガラス７１が貼着されたＴＦＴ基板１０は、ＴＦＴ基板１０及び対向基板２０の組毎に、スクライブライン１００ｙ，１７１ｙに沿って、作業者の手により１個ずつに分断され、その結果、複数の液晶表示装置５００が形成される。

尚、短冊状のカバーガラス７１及びＴＦＴ基板１０を、ＴＦＴ基板１０及び対向基板２０の組毎に、スクライブライン１００ｙ，１７１ｙに沿って１個ずつに分断する際も、分断装置１を用いて行ってもよい。

このように、本実施の形態を示す分断装置１においては、昇降部材２を用いて台座８に両端付近が固定された伸縮シート５を伸張させることにより、伸縮シート５に貼着された被分断物２００である、複数の対向基板２０が対向配置された大板１００及び大板のカバーガラス１７１から、分断物である複数の対向基板２０が対向配置されたＴＦＴ基板１０及び該ＴＦＴ基板１０の裏面に貼着されたカバーガラス７１を分断するようにした。

このことにより、該分断したカバーガラス７１及びＴＦＴ基板１０は、伸縮シート５に貼着したままの状態となるため、分断後の不意の落下が防げることから、分断後の不意の落下によるＴＦＴ基板１０及びカバーガラス７１の分断面の割れ等を防止することができる。よって、大板１００及び大板のカバーガラス１７１からカバーガラス７１が貼着されたＴＦＴ基板１０を、分断面の形状を損なうことなく精度良く分断することができる。

また、分断に、伸縮シート５の伸張を用いることにより、伸縮シート５に貼着されるカバーガラス１７１の貼着面を保護することができる他、大板１００及び大板のカバーガラス１７１から、カバーガラス７１が貼着されたＴＦＴ基板１０を分断した際、大板のカバーガラス１７１と大板１００とを貼り合わせる、スクライブブレイクでは分断できないシリコーン接着剤をも確実に分断することができる。

さらに、伸縮シート５に対する１回の昇降部材２の上昇により、大板１００及び大板のカバーガラス１７１から複数のカバーガラス７１が貼着されたＴＦＴ基板１０を、１度に複数個の短冊状に分断することができるため、効率良く分断することができる。

以下、変形例を示す。
本実施の形態においては、分断装置１が分断する被分断物２００は、複数の対向基板２０が対向配置された大板１００及び大板のカバーガラス１７１であると示した。これに限らず、分断装置１は、複数のＴＦＴ基板１０が構成された大板１００と、複数の対向基板２０が構成された第２の基板（図示せず）と、大板のカバーガラス１７１との少なくとも１つを分断する際に用いても良い。

また、分断装置１は、複数のＴＦＴ基板１０が構成された一方の大板１００と、ＴＦＴ基板１０と同数個の対向基板２０が構成された第２の基板である他方の大板（図示せず）とが対向配置するよう貼り合わせた後、対向配置されたＴＦＴ基板１０及び対向基板２０を分断することにより液晶表示装置５００を複数個製造する、所謂大板組立方式によりカバーガラスが貼着されない液晶表示装置５００を製造する際に用いても良いということは勿論である。

さらに、大板組立方式において、複数個のＴＦＴ基板１０が構成された一方の大板１００と、ＴＦＴ基板１０と同数個の対向基板２０が構成された第２の基板である他方の大板（図示せず）とが対向配置するよう貼り合わせた後、一方の大板１００の裏面に、大板のカバーガラス１７１を貼着し、他方の大板にも大板のカバーガラスを貼着した後、カバーガラス７１が貼着されたＴＦＴ基板１０及びカバーガラス７２が貼着された対向基板２０を分断することにより、カバーガラスが貼着された液晶表示装置５００を複数個製造する際に用いても良いということは勿論である。

また、本実施の形態においては、伸縮シート５の裏面５ｕに、昇降部材２の当接部２ｔを上昇により当接させた後、さらなる当接部２ｔの上昇により、伸縮シート５を伸張させると示した。これに限らず、例えば昇降部材２を台座８の上方に配設した後、昇降部材２の当接部２ｔを、降下により伸縮シート５の表面５ｆに当接させた後、さらなる当接部２ｔの降下により、伸縮シート５を伸張させても本実施の形態と同様の効果を得ることができる。

さらに、本実施の形態においては、伸縮シート５の伸張には、昇降部材２の昇降を用いると示した。これに限らず、単に伸縮シート５を伸張させるのであれば、伸縮シート５に被分断物２００を貼着させた後、伸縮シート５を両側から、または片側から特定の手段を用いて引っ張ることにより、伸縮シート５を伸張させても本実施の形態と同様の効果を得ることができる。

さらに、本実施の形態においては、電気光学装置は、液晶滴下方式により製造される液晶表示装置を例に挙げて説明したが、本発明は、シール材４１に切り欠きを設け、該切り欠きから液晶を注入し、注入後、前記切り欠きを塞ぐ液晶注入方式により製造される液晶表示装置に適用してもよい。

また、電気光学装置は、液晶表示装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（Field Emission Display）装置、ＳＥＤ(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管または液晶シャッター等を用いた小型テレビを用いた装置などの各種の電気光学装置に適用できる。

また、本発明の電気光学装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上述した液晶表示装置は、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールを例に挙げて説明したが、これに限らず、ＴＦＤ（薄膜ダイオード）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールにも適用することができる

液晶表示装置のＴＦＴ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図。 ＴＦＴ基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入する組立工程終了後の液晶表示装置を、図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿って切断した断面図。 図１の液晶表示装置の製造方法を模式的に示す工程図。 複数のＴＦＴ基板が構成された大板に切断用のスクライブラインを形成したことを示す平面図。 本発明の一実施の形態を示す分断装置を示す正面図。 図６は、図５中のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図。 図６の分断装置を用いた分断方法を示すフローチャート。 図６の分断装置に被分断物を貼着した状態を示す断面図。 図６の分断装置の昇降部材が上昇し、伸縮シートを伸張している状態を示す断面図。

符号の説明

１…分断装置、２…昇降部材、５…伸縮シート、５ｆ…伸縮シートの表面、５ｒ…伸縮シートの固定された間の領域、５ｕ…伸縮シートの裏面、１０…ＴＦＴ基板、２０…対向基板、６２…実装用端子部、７１…カバーガラス、７２…カバーガラス、１００…ＴＦＴ基板が複数構成された大板、１００ｘ…スクライブライン、１００ｙ…スクライブライン、１７１…カバーガラス、１７１ｘ…スクライブライン、１７１ｙ…スクライブライン、２００…被分断物、５００…液晶表示装置。

Claims (10)

1. 被分断物に対して略直線状の溝を形成した後、該溝に沿って前記被分断物を分断する電気光学装置の製造装置であって、
   両端が固定されるとともに、該固定された間の領域に前記被分断物が貼着される、粘着性を有する伸縮シートと、
   前記伸縮シートの前記固定された間の領域であって、前記被分断物が貼着される面の裏面に対し、昇降により当接自在な昇降部材と、
   を有し、
   前記昇降部材は、前記伸縮シートへの当接後の更なる上昇と降下とのいずれかにより、前記伸縮シートを伸張させることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
2. 前記昇降部材は、前記伸縮シートの前記固定された間の領域であって、前記被分断物が貼着される位置の裏面に対し、当接自在であることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造装置。
3. 前記被分断物は、実装用端子部を有する素子基板が複数構成された第１の基板と、前記素子基板に対向する対向基板が複数構成された第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との少なくとも一方に貼り合わされるカバーガラスとの少なくとも１つであることを特徴とする請求項１または２に記載の電気光学装置の製造装置。
4. 前記被分断物は、前記第１の基板に、破断性を有する接着剤を介して前記カバーガラスが貼着されたものであることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置の製造装置。
5. 被分断物に対して略直線状の溝を形成した後、該溝に沿って前記被分断物を分断する電気光学装置の製造方法であって、
   前記被分断物に対して略直線状の溝を形成する工程と、
   前記溝が形成された前記被分断物を、粘着性を有する伸縮シートに貼着する工程と、
   前記伸縮シートを伸張することにより、前記溝に沿って前記被分断物を分断する工程と、
   前記伸縮シートを分断された分断物から剥離する工程と、
   を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
6. 前記被分断物を前記伸縮シートに貼着する工程は、両端が固定された前記伸縮シートの該固定された間の領域に貼着することを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の製造方法。
7. 前記伸縮シートを伸張する工程は、前記伸縮シートの前記固定された間の領域であって、前記被分断物が貼着される面の裏面に対し、昇降部材を当接させた後、該昇降部材の更なる上昇と降下とのいずれかにより行うことを特徴とする請求項５または６に記載の電気光学装置の製造方法。
8. 前記被分断物は、実装用端子部を有する素子基板が複数構成された第１の基板と、前記素子基板に対向する対向基板が複数構成された第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との少なくとも一方に貼り合わされるカバーガラスとの少なくとも１つであることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の電気光学装置の製造方法。
9. 前記被分断物は、前記第１の基板に、前記カバーガラスが破断性を有する接着剤を介して貼着されたものであることを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置の製造方法。
10. 請求項５〜請求項９の製造方法を用いて製造された電気光学装置。

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