JP7224048B2 - 基板不良検査装置及び方法 - Google Patents
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Description
110 移動作業台
120 照明
130 データベース
140 整列カメラ
150 ラインスキャンカメラ
160 領域スキャンカメラ
170 入出力部
180 制御部
Claims (11)
- 基板を検査のための位置に移動させる移動作業台と、
撮影映像を獲得するために前記基板に所定の光を照射する照明と、
所定のライン単位で前記基板を撮影する少なくとも一つのラインスキャンカメラと、
所定の領域単位で前記基板を撮影する少なくとも一つの領域カメラと、
前記基板から不良を検出するための映像を保存するデータベースと、
前記移動作業台を用いて前記基板の位置を移動させ、前記照明を制御して前記ラインスキャンカメラから前記基板のメッキ部分を撮影した映像とソルダーレジスト部分を撮影した映像を獲得し、前記獲得された映像から正常、不良、及び再検査の一つと前記基板の状態を判定して1次不良を検出し、前記再検査と判定された前記基板に対して前記照明を制御して前記領域カメラで前記基板を撮影した基板映像を獲得し、獲得された前記基板映像から正常と不良の一つと前記基板の状態を判定して2次不良を検出する制御部とを含み、
前記制御部は、
前記再検査と判定された前記基板に対して前記照明を複数回制御して前記基板を複数回撮影した前記基板映像を獲得し、獲得した複数の基板映像を整合することで、前記基板の状態を正常及び不良のうちの一つと判定して2次不良を検出する、基板不良検査装置。 - 前記ラインスキャンカメラと前記領域カメラから所定距離内に位置し、前記基板の位置を整列するための映像を撮影する少なくとも一つの整列カメラをさらに含み、
前記制御部は、前記整列カメラで獲得された映像を用いて前記ラインスキャンカメラ、前記領域カメラ、及び前記基板の少なくとも一つの位置を調整する、請求項1に記載の基板不良検査装置。 - 前記制御部は、前記1次不良と前記2次不良の検査のために、前記データベースに保存されているディープラーニングされた不良映像データを用いる、請求項1に記載の基板不良検査装置。
- 前記制御部は、前記1次不良を検出するか前記2次不良を検出すれば、不良と判定された前記基板の映像を用いて前記不良映像データを学習する、請求項3に記載の基板不良検査装置。
- 基板不良検査装置で行われる基板不良検査方法であって、
基板に光を照射する照明を制御してラインスキャンカメラで前記基板のメッキ部分を撮影した映像とソルダーレジスト部分を撮影した映像を獲得する段階と、
獲得された映像から正常、不良、及び再検査の一つと前記基板の状態を判定して1次不良を検出する段階と、
前記再検査と判定された前記基板に対して前記照明を制御して領域カメラで前記基板を撮影した基板映像を獲得する段階と、
獲得された前記基板映像から正常と不良の一つと前記基板の状態を判定して2次不良を検出する段階とを含み、
前記2次不良を検出する段階は、
前記再検査と判定された前記基板に対して前記照明を複数回制御して前記基板を複数回撮影した前記基板映像を獲得し、獲得した複数の基板映像を整合することで、前記基板の状態を正常及び不良のうちの一つと判定して2次不良を検出する段階を含む、基板不良検査方法。 - 前記ラインスキャンカメラで前記基板のメッキ部分を撮影した映像とソルダーレジスト部分を撮影した映像を獲得する段階は、
前記基板の位置を整列するための映像を撮影し、前記撮影された映像を用いて前記ラインスキャンカメラと前記基板の少なくとも一つの位置を調整する段階を含む、請求項5に記載の基板不良検査方法。 - 前記領域カメラで前記基板を撮影した基板映像を獲得する段階は、 前記基板の位置を
整列するための映像を撮影し、前記撮影された映像を用いて前記領域カメラと前記基板の少なくとも一つの位置を調整する段階を含む、請求項5に記載の基板不良検査方法。 - 前記1次不良を検出する段階と前記2次不良を検出する段階は、データベースに保存されているディープラーニングされた不良映像データを用いる、請求項5に記載の基板不良検査方法。
- 前記1次不良と前記2次不良を検出する段階の後、前記不良と判定された前記基板の映像を用いて前記不良映像データを学習する段階をさらに含む、請求項8に記載の基板不良検査方法。
- 請求項5に記載の方法を行うプログラムが記録された、コンピュータ可読の記録媒体。
- 基板不良検査装置によって遂行され、請求項5に記載の方法を遂行するために記録媒体に保存された、コンピュータプログラム。
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