JP2006208716A - Method for correcting color filter - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve a method for correcting a defect over at least two colored regions interposing the black region of a color filter without causing mixture of colored correcting materials. <P>SOLUTION: In a color filter 2 comprising colored filters 2B and 2C and a black filter 2A segmenting the colored filters 2B and 2C, the colored filters 2B and 2C and the black filter 2A in a predetermined area 21 including a defect over the colored filters 2B and 2C interposing the black filter 2A are removed; a black correcting material is supplied to the predetermined area 21 and a new black filter portion having the width of the black filter 2A and the thickness equivalent to the thickness of the colored filters 2B, 2C is formed; and predetermined colored correcting materials are supplied in the predetermined area 21 segmented by the new black filter portion. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶表示用カラーフィルタなどの欠陥等を補修する方法に関するものである。   The present invention relates to a method for repairing defects or the like in a color filter for liquid crystal display.

液晶カラーフィルタの製造過程において、異物の混入による転移不良、転写不良などの原因により、赤色、緑色、青色フィルタを区切る黒色フィルタや赤色、緑色、青色の画素パターン中に、欠陥が生じることがあり、製品歩留まりを向上させるため、その欠陥を修正する必要がある。
そこで、従来は欠陥部分にレーザ光を照射して、該欠陥部分を除去したのち、ディスペンサーを用いて紫外線硬化性のカラーフィルタ着色用インクを被修正面に供給した後、紫外線を照射して、前記紫外線硬化性のカラーフィルタ着色用インクを硬化させる修正方法（特許文献１）などが用いられている。
特開平６−１０９９１９号公報 During the manufacturing process of liquid crystal color filters, defects may occur in black filters and red, green, and blue pixel patterns that separate red, green, and blue filters due to transfer failures and transfer failures caused by foreign matter. In order to improve the product yield, it is necessary to correct the defect.
Therefore, conventionally, after irradiating the defective portion with laser light and removing the defective portion, using a dispenser, an ultraviolet curable color filter coloring ink is supplied to the surface to be corrected, and then irradiated with ultraviolet rays. The correction method (patent document 1) etc. which harden the said ultraviolet curable color filter coloring ink is used.
JP-A-6-109919

しかし、従来技術による修正方法では、修正材料には揮発性溶剤が多く含まれているため粘度が低く、修正箇所に該修正材料を供給した際に、修正材料が被修正面に広がってしまう問題がある。
更に、従来技術では紫外線硬化させた際の修正用材料の減量が著しく、減量分を見越して余分に修正箇所に該修正材料を供給するため、更に不要な部分まで修正用色彩が供給されて色彩の混合が著しくなる問題点がある。
その結果、上記欠陥が赤色、緑色、青色フィルタを区切る黒色フィルタを挟んだ少なくとも２つの赤色、緑色、青色の有色彩フィルタに及ぶ場合、修正用材料間で混合が生じ、目的とする有色彩による補修が出来ない場合がある。 However, in the correction method according to the prior art, since the correction material contains a large amount of volatile solvent, the viscosity is low, and when the correction material is supplied to the correction portion, the correction material spreads on the surface to be corrected. There is.
Further, in the prior art, the amount of the correction material is significantly reduced when UV-cured, and the correction material is supplied to the correction portion in anticipation of the reduction amount. There is a problem that mixing of the above becomes remarkable.
As a result, if the defect extends to at least two red, green, and blue color filters across the black filter that separates the red, green, and blue filters, mixing occurs between the correction materials, depending on the target color Repair may not be possible.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、黒色フィルタを挟んだ少なくとも２つの有色彩フィルタに及ぶ欠陥を前期各色の修正材料間での混合を生じることなく修正する方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a method for correcting a defect extending to at least two colored filters sandwiching a black filter without causing mixing between correction materials of respective colors in the previous period. With the goal.

本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
即ち、請求項１に係るカラーフィルタ修正方法は、所定の厚みと幅とを有する複数の有色彩フィルタと、当該有色彩フィルタを区切る所定の厚みと幅とを有する黒色フィルタとから構成されるカラーフィルタについて、前記黒色フィルタを挟んで少なくとも２つの有色彩フィルタに及ぶ欠陥を修正するに際し、前記欠陥を含む所定の範囲内の有色彩フィルタおよび黒色フィルタを除去した後、当該所定の範囲内に黒色の修正用材料を用いて、所定形状の新たな黒色フィルタ部分を形成し、ついで前記新たな黒色フィルタ部分によって区切られた前記所定の範囲内に所定の有色彩の修正用材料を供給することを特徴としている。 The present invention is characterized by the following points in order to solve the above problems.
In other words, the color filter correcting method according to claim 1 is a color composed of a plurality of colored filters having a predetermined thickness and width and a black filter having a predetermined thickness and width dividing the colored filter. When correcting a defect that covers at least two color filters across the black filter with respect to the filter, after removing the color filter and black filter within a predetermined range including the defect, the black color within the predetermined range is removed. Forming a new black filter portion having a predetermined shape using the correction material, and then supplying the correction material having a predetermined color within the predetermined range delimited by the new black filter portion. It is a feature.

請求項２に係るカラーフィルタ修正方法は、所定の厚みと幅とを有する複数の有色彩フィルタと、当該有色彩フィルタを区切る所定の厚みと幅とを有する黒色フィルタとから構成されるカラーフィルタについて、前記黒色フィルタを挟んで少なくとも２つの有色彩フィルタに及ぶ欠陥を修正するに際し、前記欠陥を含む所定の範囲の有色彩フィルタおよび黒色フィルタをレーザ光で除去してから、前記レーザ光で除去した所定の範囲内に、不揮発性で紫外線硬化性の黒色の修正用材料を供給した後、当該黒色の修正用材料に紫外線を照射して硬化させて、ついで、前記紫外線によって硬化させた黒色の修正用材料のうち前記レーザ光で除去した所定の範囲内の有色彩フィルタの領域に存在する部分をレーザ光で除去することによって所定形状の新たな黒色フィルタ部分を形成してから、前記新たな黒色フィルタ部分によって区切られた前記所定の範囲内の有色彩フィルタの領域に不揮発性で紫外線硬化性の所定の有色彩の修正用材料を供給した後、当該所定の有色彩の修正用材料に紫外線を照射して硬化させることを特徴としている。   The color filter correcting method according to claim 2 is a color filter composed of a plurality of color filters having a predetermined thickness and width and a black filter having a predetermined thickness and width that divides the color filter. When correcting a defect that covers at least two color filters across the black filter, the color filter and black filter in a predetermined range including the defect are removed with a laser beam and then removed with the laser beam. After supplying a non-volatile and ultraviolet curable black correction material within a predetermined range, the black correction material is cured by irradiating with the ultraviolet ray, and then the black correction material cured by the ultraviolet ray is cured. The portion of the material used for the color filter within the predetermined range removed with the laser beam is removed with the laser beam to have a predetermined shape. After a new black filter portion is formed, a non-volatile and ultraviolet curable predetermined color correction material is supplied to the color filter region within the predetermined range delimited by the new black filter portion. Then, the predetermined color correction material is cured by irradiating with ultraviolet rays.

本発明によれば、以下の優れた効果を奏する。
請求項１に係るカラーフィルタ修正方法では、前記欠陥を含む所定の範囲内の有色彩フィルタおよび黒色フィルタを除去した後、前記所定の領域に前記新たな黒色フィルタ部分を形成して、ついで、当該新たな黒色フィルタ部分によって区切られた前記所定の範囲内に所定の有色彩の修正用材料を供給するため、有色彩の修正材料の混合による混色が防止できる。 The present invention has the following excellent effects.
In the color filter correction method according to claim 1, after removing the colored filter and the black filter within the predetermined range including the defect, the new black filter portion is formed in the predetermined region, Since the predetermined color correction material is supplied within the predetermined range delimited by the new black filter portion, color mixing due to mixing of the color correction materials can be prevented.

請求項２に係るフィルタ修正方法では、欠陥を含む所定の範囲の有色彩フィルタおよび黒色フィルタをレーザ光によって除去するため、必要な部分のみを除去することでき、少ない量の修正用材料で効率よく修正ができる。
また、前記修正用材料が不揮発性で紫外線硬化性の材料であるため、前記修正用材料の硬化時における容量の減少が少なく、修正後の有色彩の修正材料および黒色の修正材料の厚さの減少による色彩の濃度低下を防止できる。
そして、黒色の修正用材料は有色彩の修正用材料と比較してレーザ光の吸収が良く（レーザ光の波長に影響されにくい）、前記紫外線によって硬化された黒色の修正用材料のうち前記レーザ光で除去された所定の領域内の有色彩フィルタの領域にある部分の除去が容易に行える。
さらに、前記所定形状の新たな黒色フィルタ部分によって区切られた前記所定の範囲内にそれぞれの有色彩の修正用材料を供給して、ついで、それぞれの有色彩の修正用材料を同時に硬化させるため、短時間に修正ができると共に、前記有色彩の修正用材料間の混合が生じることなく、目的とした色彩による修正が容易にできる。 In the filter correction method according to claim 2, since the color filter and the black filter in a predetermined range including the defect are removed by the laser light, only a necessary portion can be removed, and a small amount of the correction material is efficiently used. Can be corrected.
Further, since the correction material is a non-volatile and ultraviolet curable material, there is little decrease in capacity when the correction material is cured, and the thickness of the color correction material and the black correction material after correction is reduced. It is possible to prevent a decrease in color density due to the decrease.
The black correction material absorbs laser light better than the colored correction material (it is less affected by the wavelength of the laser light), and the laser of the black correction material cured by the ultraviolet light is the laser. It is possible to easily remove a portion in the area of the color filter in the predetermined area removed by light.
Furthermore, in order to supply each color correction material within the predetermined range delimited by the new black filter portion of the predetermined shape, and then simultaneously cure each color correction material, The correction can be made in a short time, and the correction by the target color can be easily performed without mixing between the colored correction materials.

黒色フィルタを挟んで少なくとも２つの有色彩フィルタに及ぶ欠陥を有するカラーフィルタの修正を色の混合を生じさせず、容易に行うため、当該欠陥を含む所定の範囲をレーザ光によって除去した後、不揮発性で紫外線硬化性の黒色の修正用材料を用いて、所定形状の新たな黒色フィルタ部分を形成し、しかる後に、不揮発性で紫外線硬化性の所定の有色彩の修正用材料を用いて有色彩フィルタ部分を修正する操作が行われる。
なお、前記所定形状とは、前記所定の範囲周辺の黒色フィルタの幅と同等の幅であって、前記所定の範囲周辺の黒色フィルタの厚み以上で、且つ、前記所定の範囲周辺の有色彩フィルタの厚み以下の厚みである形状を意味し、好ましくは前記所定の範囲周辺の黒色フィルタの幅と同等の幅であって、前記所定の範囲周辺の有色彩フィルタの厚みと同等な厚みである形状である。
また、前記不揮発性で紫外線硬化性の修正用材料とは、好ましくは、揮発性溶媒を含まない状態のものであるが、揮発性溶媒を全く含まないものに限定されるものではない。
即ち、前記修正用材料が紫外線照射によって硬化される際に、該修正用材料の容積の減少が問題とならない程度の揮発性溶媒が含まれていてもよい、
その揮発性溶媒の含有量は前記修正用材料に含まれるその他の成分性状によって変わるものである。 In order to easily correct a color filter having a defect that covers at least two color filters across the black filter without causing color mixing, a predetermined range including the defect is removed with a laser beam and then non-volatile. A new black filter part having a predetermined shape is formed using a black and ultraviolet curable correction material, and then a non-volatile and ultraviolet curable predetermined color correction material is used for coloring. An operation for correcting the filter portion is performed.
The predetermined shape is a width equivalent to the width of the black filter around the predetermined range, and is equal to or greater than the thickness of the black filter around the predetermined range, and is a colored filter around the predetermined range. Means a shape having a thickness equal to or less than the thickness of the black filter, preferably a width equivalent to the width of the black filter around the predetermined range, and a thickness equivalent to the thickness of the color filter around the predetermined range. It is.
Further, the non-volatile and ultraviolet curable correction material is preferably a material containing no volatile solvent, but is not limited to a material containing no volatile solvent.
That is, when the correction material is cured by ultraviolet irradiation, a volatile solvent may be included to such an extent that a reduction in the volume of the correction material does not become a problem.
The content of the volatile solvent varies depending on other component properties contained in the correction material.

以下、本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタ修正方法を実施する欠陥修正装置の一例について図１〜図３を参照して説明する。
図１に示すように、この欠陥修正装置１は所定の厚みと幅を有する複数の有色彩フィルタと当該有色彩フィルタを区切る所定の厚みと幅を有する黒色フィルタとから構成されるカラーフィルタ（以下、単に「ワーク」という。）２を載置するテーブル３と、テーブル３をＸ方向及びＹ方向（紙面に対し垂直な方向）に移動させるための移動手段４を備えている。 Hereinafter, an example of a defect correction apparatus that performs a color filter correction method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the defect correcting apparatus 1 includes a color filter (hereinafter referred to as a color filter) having a plurality of color filters having a predetermined thickness and width and a black filter having a predetermined thickness and width that separates the color filters. , Simply referred to as “workpiece”) 2, and a moving means 4 for moving the table 3 in the X direction and the Y direction (direction perpendicular to the paper surface).

ワーク２の上方には、ワーク２に対向して設けられた対物レンズ５が配置されるとともに、対物レンズ５の光軸Ｌとそれぞれ同軸に、ハーフミラー６Ａと、結像レンズ７と、ハーフミラー６Ｂと、可変スリット８と、開閉スイッチ（図示せず）が内蔵されているレーザ照射器９Ａとが配置されており、ハーフミラー６Ｂによって光軸Ｌから分岐された光軸Ｌ１の光軸上には偏向用ミラー６Ｃが配置され、偏向用ミラー６Ｃによって光軸Ｌ１から偏向された光軸Ｌ２上には撮影手段としてのＣＣＤカメラ１１が配置されている。   An objective lens 5 provided opposite to the workpiece 2 is disposed above the workpiece 2, and the half mirror 6 </ b> A, the imaging lens 7, and the half mirror are coaxial with the optical axis L of the objective lens 5. 6B, a variable slit 8 and a laser irradiator 9A having a built-in open / close switch (not shown) are disposed on the optical axis of the optical axis L1 branched from the optical axis L by the half mirror 6B. A deflection mirror 6C is arranged, and a CCD camera 11 as a photographing means is arranged on the optical axis L2 deflected from the optical axis L1 by the deflection mirror 6C.

ＣＣＤカメラ１１は表示器１２に電気的に接続されており、ＣＣＤカメラ１１によって取込まれた画像が表示器１２に表示されるようになっている。
また、可変スリット８は図３に示すように、スリット板８Ａ、８Ｂ、８Ｃ、８Ｄを有し、これらスリット板８Ａ、８Ｂ、８Ｃ、８Ｄは、図１の制御装置１７に電気的に接続されたスリット駆動手段（図示せず）によって図３の矢印ハ方向に独立して移動可能になっている。
そして、スリット開口部８Ｅの形状および開口部８Ｅの中心位置を調整することによって、レーザ照射器９Ａからワーク２に照射するレーザ光の形状および位置が調整されるようになっている。 The CCD camera 11 is electrically connected to the display device 12, and an image captured by the CCD camera 11 is displayed on the display device 12.
As shown in FIG. 3, the variable slit 8 has slit plates 8A, 8B, 8C, and 8D, and these slit plates 8A, 8B, 8C, and 8D are electrically connected to the control device 17 of FIG. The slit drive means (not shown) can be moved independently in the direction of the arrow C in FIG.
Then, by adjusting the shape of the slit opening 8E and the center position of the opening 8E, the shape and position of the laser light applied to the workpiece 2 from the laser irradiator 9A are adjusted.

また、ハーフミラー６Ａによって光軸Ｌから分岐された光軸Ｌ３上には光軸Ｌ３の一部を分岐するハーフミラー１０が設けられており、ハーフミラー１０によって光軸Ｌ３から分岐された光軸Ｌ４の光軸上には照明手段９Ｃが配置されており、同照明手段９Ｃによって光軸Ｌとワーク２との交点イを含む所定の領域に光を照射できるようになっている。
そして、ハーフミラー１０を透過した光軸Ｌ３上には前記修正用材料を硬化させるための紫外線を照射する紫外線照射器９Ｂが設けられており、紫外線照射器９Ｂには開閉用シャッター（図示せず）が内蔵されている。 Further, a half mirror 10 that branches a part of the optical axis L3 is provided on the optical axis L3 branched from the optical axis L by the half mirror 6A, and the optical axis branched from the optical axis L3 by the half mirror 10 An illuminating means 9C is arranged on the optical axis L4, and the illuminating means 9C can irradiate light to a predetermined area including the intersection point a between the optical axis L and the work 2.
An ultraviolet irradiator 9B for irradiating ultraviolet rays for curing the correction material is provided on the optical axis L3 transmitted through the half mirror 10, and the ultraviolet irradiator 9B has an opening / closing shutter (not shown). ) Is built-in.

さらに、交点イの近傍には、その一例として図２に示すようにディスペンサーノズル１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｄが設けられ、ディスペンサーノズル移動手段（図示せず）によって選択的にディスペンサーノズル１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｄがワーク２の任意の位置ロ（図２）に対し矢印β方向に沿って接近離間可能にされている。   Further, as shown in FIG. 2, dispenser nozzles 13 </ b> A, 13 </ b> B, 13 </ b> C, 13 </ b> D are provided in the vicinity of the intersection point (a), and the dispenser nozzles 13 </ b> A, 13 </ b> B, 13C and 13D can be moved toward and away from an arbitrary position (FIG. 2) of the workpiece 2 along the arrow β direction.

ディスペンサーノズル１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｄには修正用材料としての揮発性溶媒を含まないそれぞれの色の顔料と分散剤と紫外線重合開始剤と紫外線硬化性樹脂とからなるペースト状の修正インク２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ（２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄはそれぞれ黒色、緑色、赤色、青色の前記修正インク）が予め充填されており、ディスペンサーノズル１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｄのそれぞれの吐出口の反対側の端部はそれぞれ導管１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄと開閉弁１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄと圧力調節弁１８とを介して圧縮空気製造機１６に接続されており、前記移動手段と開閉弁１５および圧力調節弁１８と圧縮空気製造機１６とはそれぞれは制御装置１７に電気的に接続されている。   The dispenser nozzles 13A, 13B, 13C, and 13D each include a paste-like correction ink 22A composed of a pigment, a dispersant, an ultraviolet polymerization initiator, and an ultraviolet curable resin that do not include a volatile solvent as a correction material. 22B, 22C, and 22D (22A, 22B, 22C, and 22D are pre-filled with black, green, red, and blue correction inks, respectively) and are opposite to the discharge ports of the dispenser nozzles 13A, 13B, 13C, and 13D. The end portions on the side are connected to the compressed air production machine 16 via conduits 14A, 14B, 14C, 14D, on-off valves 15A, 15B, 15C, 15D and a pressure regulating valve 18, respectively. 15 and the pressure control valve 18 and the compressed air production machine 16 are each electrically connected to the control device 17.

制御装置１７には外部入力装置１９が電気的に接続されており、外部入力装置１９によって開閉弁１５の開閉時間及び開閉回数、圧力調節弁１８の設定圧力、可変スリット８の開口部８Ｅの形状および中心位置の設定が自由に行えるようになっている。   An external input device 19 is electrically connected to the control device 17, and the external input device 19 opens and closes the opening / closing time and the number of opening / closing times, the set pressure of the pressure control valve 18, and the shape of the opening 8 </ b> E of the variable slit 8. The center position can be set freely.

次に、欠陥修正装置１の作用とともに、この欠陥修正装置１によって本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタ修正方法について、図６に基づき図４〜図７も参照して説明する。
カラーフィルタ２をテーブル３に載置し、図４（ａ）及び図４（ａ）のＶ−Ｖ断面を表す図４（ｂ）に示すようなカラーフィルタ２の欠陥の欠陥部２６を含む所定の範囲２１をテーブル移動手段４によって対物レンズ５の光軸Ｌの下方にセットする（ステップ１）。 その際、照明手段９Ｃを作動させ、レーザ照射器９Ａの開閉器及び紫外線照射器９Ｂの開閉用シャッターは閉じておく。 Next, together with the operation of the defect correction apparatus 1, a color filter correction method according to an embodiment of the present invention using the defect correction apparatus 1 will be described with reference to FIGS.
The color filter 2 is placed on the table 3 and includes a predetermined defective portion 26 of the color filter 2 as shown in FIG. 4B representing the VV cross section of FIG. 4A and FIG. 4A. Is set below the optical axis L of the objective lens 5 by the table moving means 4 (step 1). At that time, the illumination means 9C is activated, and the switch of the laser irradiator 9A and the shutter for opening / closing of the ultraviolet irradiator 9B are closed.

欠陥部２６の画像を撮影手段１１によって取込み表示器１２に表示させる（ステップ２）。次に表示器１２に表示された欠陥部２６の画像に基づき外部入力装置１９を用いて可変スリット８の開口部８Ｅの形状を調整した後（ステップ３）、レーザ照射器９Ａの開閉器を開き、所定の範囲２１にレーザ光を照射し、図５（ａ）および図５のＦ−Ｆ断面を表す図５（ｂ）に示すように、所定の範囲２１内のカラーフィルタ（例えば黒色フィルタの部分とその両側の赤色フィルタ部分と緑色フィルタ部分）を除去する（ステップ４）。   An image of the defective portion 26 is displayed on the capture display 12 by the photographing means 11 (step 2). Next, after adjusting the shape of the opening 8E of the variable slit 8 using the external input device 19 based on the image of the defective portion 26 displayed on the display 12 (step 3), the switch of the laser irradiator 9A is opened. As shown in FIG. 5 (a) and FIG. 5 (b) representing the FF cross section of FIG. 5, a color filter (for example, a black filter) in the predetermined range 21 is irradiated with the laser beam in the predetermined range 21. The portion and the red filter portion and the green filter portion on both sides thereof are removed (step 4).

その後、レーザ照射器９Ａの開閉器を閉じて、ついで前記ディスペンサー移動装置を作動させて黒色の修正インクが収納されているディスペンサーノズル１３Ａの先端を前記レーザ光で除去された所定の範囲２１内の黒色フィルタの部分（黒色領域２１Ａ）のガラス基板２Ｅに当接させた後、外部入力装置１９を用いて圧力調節弁１８を調整して、しかる後に開閉弁１５の開閉を少なくとも１回以上行い、図７（ｂ）に示すように、ディスペンサーノズル１３Ａから黒色領域２１Ａを含む所定の領域に黒色の修正インク２２Ａを供給する（ステップ５）。   After that, the switch of the laser irradiator 9A is closed, and then the dispenser moving device is operated so that the tip of the dispenser nozzle 13A containing the black correction ink is removed within the predetermined range 21 with the laser light. After contacting the glass substrate 2E of the black filter portion (black area 21A), the pressure adjusting valve 18 is adjusted using the external input device 19, and then the opening and closing valve 15 is opened and closed at least once, As shown in FIG. 7B, the black correction ink 22A is supplied from the dispenser nozzle 13A to a predetermined area including the black area 21A (step 5).

ステップ４において、ディスペンサーノズル１３Ａから黒色領域２１Ａを含む所定の領域に供給する黒色の修正インク２２Ａの量は図７（ｂ）に示すようにこの黒色の修正インクの液滴２３の最大厚み（ガラス基板２Ｅから液滴２３の頂点まで高さ）が周囲の赤色及び緑色フィルタ２Ｂの厚み（ガラス基板２Ｅから緑色フィルタ２Ｂまたは赤色フィルタ２Ｃの上面までの高さ）より、若干大きい状態になるように供給する。
これは、黒色の修正インクの液滴２３が紫外線の照射によって硬化される際に、図７（ｃ）に示すように液滴２３の容積が収縮するため、その減少量を見込んで、黒色の修正インク２２Ａを供給するためである。
また、前記見込む収縮量は使用する修正インクの性状によって異なるため、予め測定した、使用する修正インクの液滴の紫外線硬化後の厚みのデータに基づいて決定する。 In step 4, the amount of the black correction ink 22A supplied from the dispenser nozzle 13A to a predetermined area including the black area 21A is the maximum thickness (glass) of the black correction ink droplet 23 as shown in FIG. The height from the substrate 2E to the top of the droplet 23) is slightly larger than the thickness of the surrounding red and green filters 2B (the height from the glass substrate 2E to the upper surface of the green filter 2B or red filter 2C). Supply.
This is because when the black correction ink droplet 23 is cured by irradiation with ultraviolet rays, the volume of the droplet 23 contracts as shown in FIG. This is for supplying the correction ink 22A.
Further, since the expected shrinkage amount varies depending on the properties of the correction ink to be used, it is determined on the basis of data of the thickness of the correction ink droplet to be used after UV curing, which has been measured in advance.

その後、前記ディスペンサーノズル移動手段を用いて、ディスペンサーノズル１３Ａの先端に前記紫外線が照射されない位置（ディスペンサーノズル１３Ａの原点位置）までディスペンサーノズル１３Ａを移動させて、ついで紫外光照射器９Ｂの前記シャッターを開き黒色の修正インクの液滴２３に紫外線を照射して硬化させた後に、前記シャッターを閉じる（ステップ６）。   Thereafter, the dispenser nozzle moving means is used to move the dispenser nozzle 13A to a position where the tip of the dispenser nozzle 13A is not irradiated with the ultraviolet rays (the origin position of the dispenser nozzle 13A), and then the shutter of the ultraviolet light irradiator 9B is moved. After the open black correction ink droplet 23 is irradiated with ultraviolet rays and cured, the shutter is closed (step 6).

次に、外部入力装置１９を用いて可変スリット８の開口部８Ｅの形状および中心位置を調整して、前記レーザ光によって除去された所定の範囲２１内の緑色フィルタの部分（緑色領域２１Ｂ）にのみレーザ照射器９Ａからのレーザ光が照射されるようにした後、レーザ照射器９Ａの開閉スイッチを開にして、緑色領域２１Ｂにレーザ光を照射し、ステップ６で硬化された黒色の修正インクの液滴２３のうち、図７（ｃ）に示されるように緑色領域２１Ｂに存在する部分を除去し、ついでレーザ照射器９Ａの開閉スイッチを閉にする。   Next, the shape and center position of the opening 8E of the variable slit 8 are adjusted using the external input device 19, and the green filter portion (green region 21B) within the predetermined range 21 removed by the laser light is adjusted. Only after the laser light from the laser irradiator 9A is irradiated, the open / close switch of the laser irradiator 9A is opened, the green region 21B is irradiated with the laser light, and the black correction ink cured in step 6 is used. As shown in FIG. 7C, the portion existing in the green region 21B is removed, and then the open / close switch of the laser irradiator 9A is closed.

ついで、外部入力装置１９を用いて更に可変スリット８の開口部８Ｅの形状および中心位置を調整して、前記レーザ光によって除去された所定の範囲２１内の赤色フィルタの部分（赤色領域２１Ｃ）にのみレーザ照射器９Ａからのレーザ光が照射されるようにした後、レーザ照射器９Ａの開閉スイッチを開にして、赤色領域２１Ｃにレーザ光を照射し、ステップ６で硬化された黒色の修正インクの液滴２３のうち、図７（ｄ）に示されるように赤色領域２１Ｃに存在する部分を除去して、所定の範囲２１内に新たな黒色フィルタ部分２５（図７（ｅ））を形成した後、レーザ照射器９Ａの開閉スイッチを閉にする（ステップ７）。   Next, the shape and center position of the opening 8E of the variable slit 8 are further adjusted using the external input device 19, and the red filter portion (red region 21C) within the predetermined range 21 removed by the laser light is applied. Only after the laser light from the laser irradiator 9A is irradiated, the open / close switch of the laser irradiator 9A is opened, the red region 21C is irradiated with the laser light, and the black correction ink cured in step 6 is used. As shown in FIG. 7D, a portion existing in the red region 21C is removed to form a new black filter portion 25 (FIG. 7E) in the predetermined range 21. After that, the open / close switch of the laser irradiator 9A is closed (step 7).

その後、前記ディスペンサー移動装置を作動させて、緑色の修正インクが収納されているディスペンサーノズル１３Ｂの先端を緑色領域２１Ｂのガラス基板２Eに当接させた後、外部入力装置１９を用いて圧力調節弁１８を調整した後、開閉弁１５の開閉を少なくとも１回以上行い、ディスペンサーノズル１３Ｂから緑色領域２１Ｂに緑色の修正インク２２Ｂを供給する。   Thereafter, the dispenser moving device is operated so that the tip of the dispenser nozzle 13B containing the green correction ink is brought into contact with the glass substrate 2E in the green region 21B, and then the pressure control valve is used using the external input device 19. After adjusting 18, the open / close valve 15 is opened and closed at least once, and the green correction ink 22 </ b> B is supplied from the dispenser nozzle 13 </ b> B to the green region 21 </ b> B.

ついで、前記ディスペンサー移動装置を作動させて、ディスペンサーノズル１３Ｂの先端に前記紫外線が照射されない位置（ディスペンサーノズル１３Ｂの原点位置）にディスペンサーノズル１３Ｂを移動させた後、赤色の修正インク２２Ｃが収納されているディスペンサーノズル１３Ｃの先端を赤色領域２１Ｃのガラス基板２Ｅに当接させた後、外部入力装置１９を用いて圧力調節弁１８を調整した後、開閉弁１５の開閉を少なくとも１回以上行い、ディスペンサーノズル１３Ｃから赤色領域２１Ｃに赤色の修正インク２２Ｃを供給する（ステップ８）。   Next, the dispenser moving device is operated to move the dispenser nozzle 13B to a position where the tip of the dispenser nozzle 13B is not irradiated with the ultraviolet rays (the origin position of the dispenser nozzle 13B), and then the red correction ink 22C is stored. After the tip of the dispenser nozzle 13C is brought into contact with the glass substrate 2E in the red region 21C, the pressure control valve 18 is adjusted using the external input device 19, and the open / close valve 15 is opened and closed at least once. The red correction ink 22C is supplied from the nozzle 13C to the red region 21C (step 8).

緑色領域２１Ｂ、赤色領域２１Ｃに供給する緑色、赤色の修正インク２２Ｂ，２２Ｃの量は、これらの修正インクが緑色領域２１Ｂ、赤色領域２１Ｃ以外に溢れ出ないように、図７（ｆ）に示すように、緑色の修正インクの液滴２４Ａおよび赤色の修正インクの液滴２４Ｂの最大厚みが、新たな黒色フィルタ部分２５の厚みより若干小さくなるように供給する。   The amounts of green and red correction inks 22B and 22C supplied to the green area 21B and red area 21C are shown in FIG. 7 (f) so that these correction inks do not overflow beyond the green area 21B and red area 21C. As described above, the maximum thickness of the green correction ink droplet 24A and the red correction ink droplet 24B is supplied to be slightly smaller than the thickness of the new black filter portion 25.

その後、前記ディスペンサー移動装置を作動させて、ディスペンサーノズル１３Ｃの先端が前記紫外線によって照射されない位置までディスペンサーノズル１３Ｃを移動させた後、紫外線照射器９Ｂの前記シャッターを開き所定の範囲２１全体に紫外線を照射して緑色の修正インクの液滴２４Ａおよび赤色の修正インクの液滴２４Ｂを硬化させる（ステップ９）。   Thereafter, the dispenser moving device is operated to move the dispenser nozzle 13C to a position where the tip of the dispenser nozzle 13C is not irradiated with the ultraviolet rays, and then the shutter of the ultraviolet irradiator 9B is opened to emit ultraviolet rays over the predetermined range 21. Irradiation cures the green correction ink droplet 24A and the red correction ink droplet 24B (step 9).

更に、前記修正箇所の他に修正箇所が存在する場合は、その修正箇所を対物レンズ５の直下に移動させ、前述の工程で修正をおこない（ステップ１０）、修正箇所が存在しない場合は修正を終了する。   Further, if there is a correction location in addition to the correction location, the correction location is moved directly below the objective lens 5 and correction is performed in the above-described process (step 10). If there is no correction location, correction is performed. finish.

なお、本実施例では、新たな黒色フィルタ２５を形成した後、緑色の修正インクの液滴２４Ａおよび赤色の修正インクの液滴２４Ｂを同時に紫外線によって硬化しているが、これらの液滴２４Ａおよび液滴２４Ｂを別々に硬化させてもよい。
また、本実施例では、紫外線硬化性の修正インクを使用しているが、熱硬化性の修正インクを用いてもよく、その場合、紫外線照射器９Ｂに換えて加熱用の白熱光の照射器を用いる。
更に、本実施例では、新たな黒色フィルタの厚さが所定の範囲２１の周辺の有色彩フィルタの厚さと同じになるようにしているが、これに限らず、修正された黒色のフィルタ部分の必要とされる光の遮断性能に見合う厚さにしてもよい。
更にまた、本実施例では、欠陥部の除去にレーザ光を用いているが、機械的に除去してもよい。
そして、本実施例では、いわゆる黒欠陥（異物が混入している欠陥）についての修正方法について説明しているが、いわゆる白抜欠陥（各色彩のフィルタの一部に色彩が十分に存在しない欠陥）についても、その白抜欠陥部分をレーザ光で除去した後、前述の方法によって修正するこができることはいうまでもない。 In this embodiment, after the new black filter 25 is formed, the green correction ink droplet 24A and the red correction ink droplet 24B are simultaneously cured by ultraviolet rays. The droplets 24B may be cured separately.
In this embodiment, the ultraviolet curable correction ink is used. However, a thermosetting correction ink may be used, and in that case, an incandescent light irradiator for heating is used instead of the ultraviolet irradiator 9B. Is used.
Further, in this embodiment, the thickness of the new black filter is set to be the same as the thickness of the colored filter around the predetermined range 21. However, the present invention is not limited to this. The thickness may match the required light blocking performance.
Furthermore, in this embodiment, the laser beam is used to remove the defective portion, but it may be removed mechanically.
In this embodiment, a correction method for so-called black defects (defects in which foreign matter is mixed) is described. However, so-called white defects (defects in which colors are not sufficiently present in a part of filters of each color). Needless to say, the white defect portion can be corrected by the above-described method after it is removed with a laser beam.

本発明に係るカラーフィルタ修正方法を実施するための一実施の形態の概念図である。It is a conceptual diagram of one embodiment for carrying out the color filter correction method according to the present invention. ディスペンサーノズルの配置の一例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows an example of arrangement | positioning of a dispenser nozzle. スリットの動作を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows operation | movement of a slit. カラーフィルタの赤色、緑色、青色の色彩フィルタ及び黒色のフィルタの部分と欠陥部とを概念的に示すもので、（ａ）図はその平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＶ−Ｖ断面図である。The red, green, and blue color filters of the color filter and the black filter portion and the defective portion are conceptually shown. FIG. 5A is a plan view thereof, and FIG. It is V sectional drawing. カラーフィルタの欠陥部を含む所定の範囲をレーザで除去した状態を示すもので、（ａ）図はその平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＦ−Ｆ断面図である。The state which removed the predetermined range containing the defective part of a color filter with a laser is shown, (a) A figure is the top view, (b) A figure is FF sectional drawing of (a) figure. 図１の装置におけるカラーフィルタの修正方法の工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the process of the correction method of the color filter in the apparatus of FIG. 図６のステップ４〜ステップ１０におけるカラーフィルタの状態を示す概略図である。It is the schematic which shows the state of the color filter in step 4-step 10 of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ 欠陥修正装置
２ カラーフィルタ（ワーク）
２Ａ 黒色フィルタ部分
２Ｂ 緑色フィルタ部分
２Ｃ 赤色フィルタ部分
２Ｄ 青色フィルタ部分
２Ｅ ガラス基板
３ テーブル
４ テーブル移動手段
５ 対物レンズ
６Ａ，６Ｂ ハーフミラー
６Ｃ 偏向用ミラー
７ 対物レンズ
８ 可変スリット
８Ｅ スリット開口部
９Ａ レーザ照射器
９Ｂ 紫外光照射器
９Ｃ 照明手段
１０ ハーフミラー
１１ ＣＣＤカメラ
１２ 表示器
１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ ディスペンサーノズル
１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄ 導管
１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ 開閉弁
１６ 圧縮空気製造機
１７ 制御装置
１８ 圧力調節弁
１９ 外部入力装置
２０ 欠陥部の存在するカラーフィルタの一部
２１ 所定の範囲
２１Ａ 黒色領域
２１Ｂ 緑色領域
２１Ｃ 赤色領域
２２Ａ 黒色の修正インク
２２Ｂ 緑色の修正インク
２２Ｃ 赤色の修正インク
２２Ｄ 青色の修正インク
２３ 黒色の修正インクの液滴
２４Ａ 緑色の修正インクの液滴
２４Ｂ 赤色の修正インクの液滴
２５ 新たな黒色フィルタ部分
２６ 欠陥部
Ｌ 光軸
Ｌ１ 光軸Ｌから分岐された光軸
Ｌ２ 光軸Ｌ１から分岐された光軸
Ｌ３ 光軸Ｌ２から分岐された光軸
β ディスペンサーのノズルの移動方向 1 Defect correction device 2 Color filter (work)
2A Black filter part 2B Green filter part 2C Red filter part 2D Blue filter part 2E Glass substrate 3 Table 4 Table moving means 5 Objective lens 6A, 6B Half mirror 6C Deflection mirror 7 Objective lens 8 Variable slit 8E Slit opening 9A Laser irradiation 9B Ultraviolet light irradiator 9C Illuminating means 10 Half mirror 11 CCD camera 12 Display 13A, 13B, 13C, 13D Dispenser nozzle 14A, 14B, 14C, 14D Conduit 15A, 15B, 15C, 15D Open / close valve 16 Compressed air manufacturing machine 17 Control device 18 Pressure control valve 19 External input device 20 Part of color filter in which defective portion exists 21 Predetermined range 21A Black region 21B Green region 21C Red region 22A Black correction ink 22B Green correction ink 2C Red correction ink 22D Blue correction ink 23 Black correction ink droplet 24A Green correction ink droplet 24B Red correction ink droplet 25 New black filter portion 26 Defect L Optical axis L1 Optical axis L The optical axis branched from the optical axis L2 The optical axis branched from the optical axis L1 L3 The optical axis branched from the optical axis L2 β The direction of movement of the nozzle of the dispenser

Claims (2)

所定の厚みと幅とを有する複数の有色彩フィルタと、当該有色彩フィルタを区切る所定の厚みと幅とを有する黒色フィルタとから構成されるカラーフィルタについて、前記黒色フィルタを挟んで少なくとも２つの有色彩フィルタに及ぶ欠陥を修正するに際し、
前記欠陥を含む所定の範囲内の有色彩フィルタおよび黒色フィルタを除去した後、
当該所定の範囲内に黒色の修正用材料を用いて、所定形状の新たな黒色フィルタ部分を形成し、
ついで前記新たな黒色フィルタ部分によって区切られた前記所定の範囲内に所定の有色彩の修正用材料を供給することを特徴とするカラーフィルタ修正方法。 Regarding a color filter composed of a plurality of colored filters having a predetermined thickness and width and a black filter having a predetermined thickness and width that divides the colored filter, at least two filters are provided with the black filter interposed therebetween. In correcting defects that affect the color filter,
After removing the color filter and the black filter within a predetermined range including the defect,
Using a black correction material within the predetermined range, a new black filter portion of a predetermined shape is formed,
Next, a color filter correction method comprising supplying a correction material having a predetermined color within the predetermined range delimited by the new black filter portion. 所定の厚みと幅とを有する複数の有色彩フィルタと、当該有色彩フィルタを区切る所定の厚みと幅とを有する黒色フィルタとから構成されるカラーフィルタについて、前記黒色フィルタを挟んで少なくとも２つの有色彩フィルタに及ぶ欠陥を修正するに際し、
前記欠陥を含む所定の範囲の有色彩フィルタおよび黒色フィルタをレーザ光で除去してから、
前記レーザ光で除去した所定の範囲内に、不揮発性で紫外線硬化性の黒色の修正用材料を供給した後、当該黒色の修正用材料に紫外線を照射して硬化させ、
ついで、前記紫外線によって硬化させた黒色の修正用材料のうち前記レーザ光で除去した所定の範囲内の有色彩フィルタの領域に存在する部分をレーザ光で除去することによって所定形状の新たな黒色フィルタ部分を形成してから、
前記新たな黒色フィルタ部分によって区切られた前記所定の範囲内の有色彩フィルタの領域に不揮発性で紫外線硬化性の所定の有色彩の修正用材料を供給した後、
当該所定の有色彩の修正用材料に紫外線を照射して硬化させることを特徴とするカラーフィルタ修正方法。 Regarding a color filter composed of a plurality of colored filters having a predetermined thickness and width and a black filter having a predetermined thickness and width that divides the colored filter, at least two filters are provided with the black filter interposed therebetween. In correcting defects that affect the color filter,
After removing the color filter and black filter in a predetermined range including the defect with a laser beam,
Within a predetermined range removed by the laser light, after supplying a non-volatile and ultraviolet curable black correction material, the black correction material is irradiated with ultraviolet rays and cured,
Next, a part of the black correction material cured by the ultraviolet ray that is present in the region of the color filter within the predetermined range removed by the laser beam is removed by the laser beam, whereby a new black filter having a predetermined shape is obtained. After forming the part,
After supplying a non-volatile and ultraviolet curable predetermined color correction material to a region of the color filter within the predetermined range delimited by the new black filter portion,
A method for correcting a color filter, comprising: curing the predetermined colored correction material by irradiating with ultraviolet rays.
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