JP2006098554A - Color filter and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for a color filter of high quality which is free of defects etc., when used for a liquid crystal display by correcting the defect generated in a light-shielding part or colored layer during the manufacture, and to provide the color filter. <P>SOLUTION: The manufacturing method for the color filter includes a colored layer forming stage of forming the colored layer at an opening part of the light-shielding part on a base material where the light-shielding part has been formed, a defect part removing stage of removing a portion of the light-shielding part and a portion of the colored layer adjacent to the portion of the light-shielding part, to remove the defect part generated in the light-shielding part or colored layer and its peripheral part, a corrected light-shielding layer forming stage of forming a corrected light-shielding layer in the region where the light-shielding part and colored layer are removed in the defect part removing stage, a corrected light-shielding part forming stage of forming a corrected light-shielding part which is not detected as a defect by removing a portion of the corrected light-shielding layer, and a corrected colored layer forming stage of forming a corrected colored layer, in the region where the corrected light-shielding layer is removed in the correct light-shielding part forming stage. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタに関するものである。   The present invention relates to a color filter used in a liquid crystal display device or the like.

近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶表示装置、とりわけカラー液晶表示装置の需要が増加する傾向にある。このカラー液晶表示装置には、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色層とこれを仕切るブラックマトリックスを備えたカラーフィルタが設けられており、このカラーフィルタのＲ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われる。   In recent years, with the development of personal computers, especially portable personal computers, the demand for liquid crystal display devices, particularly color liquid crystal display devices, has been increasing. This color liquid crystal display device is provided with a color filter comprising a colored layer of three primary colors, usually red (R), green (G), and blue (B), and a black matrix separating the primary color layers. By turning on and off the electrodes corresponding to the R, G, and B pixels, the liquid crystal operates as a shutter, and light passes through each of the R, G, and B pixels, and color display is performed. .

ここで、このようなカラーフィルタの着色層を形成する際、不純物が付着すること等により、着色層中に突起が生じ、欠陥となる場合や、不純物が付着して、白抜けが発生する場合、また、例えばブラックマトリクスを形成する材料が付着し、黒欠陥が生じる場合等があった。着色層がこのような欠陥を有する場合には、カラーフィルタを液晶表示装置に用いた際、カラーフィルタ上に形成される液晶の配向性を乱したり、高品質な表示ができない等の問題があった。   Here, when forming a colored layer of such a color filter, when an impurity adheres or the like causes a protrusion in the colored layer, resulting in a defect, or when an impurity adheres and white spots occur. In addition, for example, there are cases where a material for forming a black matrix adheres to cause black defects. When the color layer has such defects, there are problems such as disturbing the orientation of the liquid crystal formed on the color filter and preventing high-quality display when the color filter is used in a liquid crystal display device. there were.

そこで、従来より、このような欠陥を修正する方法として、例えば欠陥部分をレーザー光の照射や、テープによる研磨等で除去した後、着色層を形成する着色層形成用塗工液を再度塗布する方法等が用いられている。ここで、上記欠陥部分が遮光部にかかる場合や、上記欠陥部分が遮光部に近接している場合等には、着色層だけでなく、遮光部も同時に除去した後、再度遮光部形成用塗工液を塗布することにより、欠陥部分を修正する方法が用いられている。しかしながらこの場合、上記遮光部形成用塗工液が上記遮光部に隣接する着色層が形成されている領域にも塗布されることとなるため、修正後のカラーフィルタを液晶表示装置に用いた際、修正された部分が黒い点として認識され、欠陥となる等の問題があった。   Therefore, conventionally, as a method for correcting such a defect, for example, after removing the defective part by laser light irradiation or polishing with a tape, a colored layer forming coating solution for forming a colored layer is applied again. The method etc. are used. Here, when the defective portion covers the light shielding portion or when the defective portion is close to the light shielding portion, not only the colored layer but also the light shielding portion is removed at the same time, and then the light shielding portion forming coating is performed again. A method of correcting a defective portion by applying a working liquid is used. However, in this case, since the coating liquid for forming the light shielding part is also applied to the region where the colored layer adjacent to the light shielding part is formed, when the corrected color filter is used for a liquid crystal display device There is a problem that the corrected part is recognized as a black dot and becomes a defect.

このような問題を解決するため、例えば特許文献１においては、欠陥部分を含む遮光部と、その近傍にある着色層とを同時に除去し、遮光部形成用塗工液ではなく遮光部近傍の着色層と同色の修正用着色剤を塗布する方法が提案されている。この方法によれば、修正部分に遮光部形成用塗工液が塗布されないため、黒色が着色層にはみ出ることはなく、液晶表示装置に用いた際、修正個所が観察者に黒く認識されることがない、という利点を有する。しかしながらこの場合、修正用着色剤が目的とする領域より広い領域に塗布された場合等には、混色欠陥の原因となる場合があり、修正用着色剤の塗布面積の制御等が難しい場合等があった。
特開平２００３−３２２８４４ In order to solve such a problem, for example, in Patent Document 1, the light shielding part including the defective part and the colored layer in the vicinity thereof are removed at the same time, so that the coloring in the vicinity of the light shielding part, not the coating liquid for forming the light shielding part. A method of applying a correction colorant of the same color as the layer has been proposed. According to this method, since the light shielding part forming coating liquid is not applied to the correction part, black does not protrude into the colored layer, and the correction part is recognized by the observer as black when used in a liquid crystal display device. There is an advantage that there is no. However, in this case, when the correction colorant is applied to a wider area than the target area, it may cause color mixing defects, and it may be difficult to control the application area of the correction colorant. there were.
JP 2003-322844 A

以上のことから、製造時に遮光部または着色層に生じた欠陥が修正されたカラーフィルタであって、液晶表示装置に用いられた際、欠陥等のない、高品質なカラーフィルタの製造方法、およびカラーフィルタの提供が望まれている。   From the above, a color filter in which defects generated in the light-shielding portion or the colored layer at the time of manufacture are corrected, and when used in a liquid crystal display device, a method for producing a high-quality color filter without defects and the like, and The provision of a color filter is desired.

本発明は、遮光部が形成された基材上の、上記遮光部の開口部に着色層を形成する着色層形成工程と、上記遮光部の一部および上記遮光部の一部に隣接する上記着色層の一部を除去し、上記遮光部または上記着色層に生じた欠陥部およびその周辺部を除去する欠陥部除去工程と、上記欠陥部除去工程により上記遮光部および上記着色層が除去された領域に修正遮光層を形成する修正遮光層形成工程と、上記修正遮光層の一部を除去し、欠陥として検出されないような修正遮光部を形成する修正遮光部形成工程と、上記修正遮光部形成工程により上記修正遮光層が除去された領域に修正着色層を形成する修正着色層形成工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。   The present invention provides a colored layer forming step of forming a colored layer in the opening of the light shielding part on the base material on which the light shielding part is formed, and a part of the light shielding part and the part adjacent to the light shielding part. A part of the colored layer is removed, and the light shielding part and the colored layer are removed by the defect part removing step of removing the light shielding part or the defective part generated in the colored layer and its peripheral part, and the defect part removing process. A modified light shielding layer forming step for forming a modified light shielding layer in the region, a modified light shielding portion forming step for removing a part of the modified light shielding layer and forming a modified light shielding portion that is not detected as a defect, and the modified light shielding portion. And a modified colored layer forming step of forming a modified colored layer in the region from which the modified light shielding layer has been removed by the forming step.

本発明によれば、上記欠陥部除去工程により、着色層または遮光部に生じた欠陥部およびその周辺部を除去した後、上記修正遮光層形成工程および上記修正遮光部形成工程によって、修正遮光部が欠陥として検出されないような形状となるように修正遮光部を形成し、さらに修正着色層形成工程により修正着色層を形成することから、液晶表示装置に用いられた際、欠陥等のない、高品質なカラーフィルタを製造することができる。   According to the present invention, after removing the defective portion generated in the colored layer or the light shielding portion and its peripheral portion by the defect removing step, the modified light shielding portion is formed by the modified light shielding layer forming step and the modified light shielding portion forming step. Since the modified light-shielding part is formed so that the shape is not detected as a defect, and the modified colored layer is formed by the modified colored layer forming process, when used in a liquid crystal display device, there is no defect or the like. A quality color filter can be manufactured.

また、本発明は、基材と、上記基材上に形成された遮光部と、上記遮光部の開口部に形成された着色層とを有するカラーフィルタであって、欠陥として検出されないような形状に上記遮光部が修正された修正遮光部と、上記修正遮光部に隣接する上記着色層が修正された修正着色層とを含む修正部分を有することを特徴とするカラーフィルタを提供する。   In addition, the present invention is a color filter having a base material, a light shielding part formed on the base material, and a colored layer formed in an opening of the light shielding part, and has a shape that is not detected as a defect. A color filter comprising: a modified light shielding part in which the light shielding part is modified; and a modified colored layer in which the colored layer adjacent to the modified light shielding part is modified.

本発明によれば、製造時に修正された修正部分が欠陥として検出されないような修正遮光部と、その修正遮光部に隣接した修正着色層とを有していることから、液晶表示装置に用いた際、欠陥等のない、高品質なカラーフィルタとすることができる。   According to the present invention, the liquid crystal display device includes a correction light-shielding portion that does not detect a correction portion corrected at the time of manufacture as a defect and a correction coloring layer adjacent to the correction light-shielding portion. In this case, a high-quality color filter without defects or the like can be obtained.

本発明によれば、液晶表示装置に本発明により製造されたカラーフィルタを用いた際、欠陥等のない、高品質なものとすることができるという効果を奏する。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when the color filter manufactured by this invention is used for a liquid crystal display device, there exists an effect that it can be set as the quality thing without a defect.

本発明は、カラーフィルタ、およびその製造方法に関するものである。以下それぞれについてわけて説明する。   The present invention relates to a color filter and a manufacturing method thereof. Each will be described separately below.

Ａ．カラーフィルタの製造方法
まず、本発明のカラーフィルタの製造方法について説明する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、遮光部が形成された基材上の、上記遮光部の開口部に着色層を形成する着色層形成工程と、上記遮光部の一部および上記遮光部の一部に隣接する上記着色層の一部を除去し、上記遮光部または上記着色層に生じた欠陥部およびその周辺部を除去する欠陥部除去工程と、上記欠陥部除去工程により上記遮光部および上記着色層が除去された領域に修正遮光層を形成する修正遮光層形成工程と、上記修正遮光層の一部を除去し、欠陥として検出されないような修正遮光部を形成する修正遮光部形成工程と、上記修正部形成工程により上記修正遮光層が除去された領域に修正着色層を形成する修正着色層形成工程とを有することを特徴とするものである。 A. First, a method for producing a color filter of the present invention will be described. The color filter manufacturing method of the present invention includes a colored layer forming step of forming a colored layer in the opening of the light shielding part on the base material on which the light shielding part is formed, a part of the light shielding part and the light shielding part. A part of the colored layer adjacent to a part thereof is removed, and a defect part removing step for removing the defect part and its peripheral part generated in the light shielding part or the colored layer, and the light shielding part and A modified light-shielding layer forming step for forming a modified light-shielding layer in the region from which the colored layer has been removed, and a modified light-shielding portion forming step for removing a part of the modified light-shielding layer and forming a modified light-shielding portion that is not detected as a defect And a modified colored layer forming step of forming a modified colored layer in the region from which the modified light shielding layer has been removed by the modified portion forming step.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、例えば図１に示すように、遮光部２が形成された基材１の、遮光部２の開口部に着色層３を形成する着色層形成工程（図１（ａ））と、遮光部２の一部およびその遮光部２に隣接する着色層３の一部を除去する欠陥部除去工程（図１（ｂ））と、欠陥部除去工程により遮光部２および着色層３が除去された領域に修正遮光層４を形成する修正遮光層形成工程（図１（ｃ））と、その修正遮光層４の一部を除去し、欠陥として検出されないような修正遮光部４´とする修正遮光部形成工程（図１（ｄ））と、上記修正遮光部形成工程により修正遮光層４を除去した領域に修正着色層３´を形成する修正着色層形成工程（図１（ｅ））とを有するものである。   For example, as shown in FIG. 1, the color filter manufacturing method of the present invention is a colored layer forming step in which a colored layer 3 is formed in an opening of a light shielding portion 2 of a base material 1 on which the light shielding portion 2 is formed (FIG. 1). (A)), a defect removing step (FIG. 1B) for removing a part of the light shielding part 2 and a part of the colored layer 3 adjacent to the light shielding part 2, and the light shielding part 2 by the defect part removing process. And a modified light-shielding layer forming step (FIG. 1 (c)) for forming the modified light-shielding layer 4 in the region from which the colored layer 3 has been removed, and a modification in which a part of the modified light-shielding layer 4 is removed and is not detected as a defect A modified light shielding portion forming step (FIG. 1 (d)) for forming the light shielding portion 4 'and a modified colored layer forming step for forming the modified colored layer 3' in the region from which the modified light shielding layer 4 has been removed by the modified light shielding portion forming step ( 1 (e)).

一般的なカラーフィルタの製造方法においては、遮光部上、または遮光部近傍で欠陥が生じた場合、欠陥およびその周辺部の遮光部および着色層を除去し、その遮光部および着色層が除去された領域に修正遮光部を形成してカラーフィルタとされる。しかしながら、この場合、本来着色層が形成される領域にも修正遮光部が形成されることとなる。したがって、製造されたカラーフィルタを液晶表示装置に用いた際、修正遮光部が形成された領域が黒い点として認識され、欠陥となる場合があった。   In a general color filter manufacturing method, when a defect occurs on or in the vicinity of the light shielding portion, the light shielding portion and the colored layer around the defect and its peripheral portion are removed, and the light shielding portion and the colored layer are removed. A modified light-shielding portion is formed in the region to obtain a color filter. However, in this case, the modified light shielding portion is also formed in the region where the colored layer is originally formed. Therefore, when the manufactured color filter is used in a liquid crystal display device, the region where the correction light-shielding portion is formed is recognized as a black point and may be defective.

本発明においては、遮光部または着色層に生じた欠陥部およびその周辺部の遮光部および着色層を除去し、その遮光部および着色層が除去された領域に修正遮光層を形成する。その後、欠陥として認識されないような形状に修正遮光層の一部を除去し、さらに修正遮光層が除去された領域に修正着色層を形成する。したがって、液晶表示装置に用いられた際、修正された修正遮光部が黒い点の欠陥等として認識されることのない、高品質なカラーフィルタとすることができるのである。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程ごとに詳しく説明する。 In the present invention, the defect portion generated in the light shielding portion or the colored layer and the light shielding portion and the colored layer in the peripheral portion thereof are removed, and the modified light shielding layer is formed in the region where the light shielding portion and the colored layer are removed. Thereafter, a part of the corrected light-shielding layer is removed so as not to be recognized as a defect, and a corrected colored layer is formed in the region where the corrected light-shielding layer is removed. Therefore, when used in a liquid crystal display device, it is possible to obtain a high-quality color filter in which the corrected light-shielding portion that has been corrected is not recognized as a black dot defect or the like.
Hereinafter, each process of the manufacturing method of the color filter of this invention is demonstrated in detail.

１．着色層形成工程
まず、本発明の着色層形成工程について説明する。本発明の着色層形成工程は、遮光部が形成された基材上の、上記遮光部の開口部に着色層を形成する工程であり、着色層を形成することが可能な方法であれば、特に限定されるものではない。 1. Colored layer forming step First, the colored layer forming step of the present invention will be described. The colored layer forming step of the present invention is a step of forming a colored layer in the opening of the light shielding part on the base material on which the light shielding part is formed, and if it is a method capable of forming the colored layer, It is not particularly limited.

このような着色層の形成は、一般的なカラーフィルタに用いられる着色層の形成と同様の方法により行うことができ、例えば顔料分散や印刷法等を用いることができる。   Such a colored layer can be formed by a method similar to that for forming a colored layer used in a general color filter. For example, a pigment dispersion method or a printing method can be used.

本工程により形成される着色層としては、通常、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３色で構成される。またこの着色パターンの形状としては、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の配列とすることができ、着色面積は任意に設定することができる。また、本工程により形成される着色層の膜厚としては、目的とするカラーフィルタの種類等により、適宜選択されるものであるが、通常１．３μｍ〜２．０μｍ程度とされることが好ましい。   The colored layer formed by this step is usually composed of three colors of red (R), green (G), and blue (B). In addition, the shape of the coloring pattern may be a known arrangement such as a stripe type, a mosaic type, a triangle type, or a four-pixel arrangement type, and the coloring area can be arbitrarily set. Further, the film thickness of the colored layer formed in this step is appropriately selected depending on the type of the target color filter and the like, but is usually preferably about 1.3 μm to 2.0 μm. .

ここで、本工程において用いられる基材としては、遮光部を有するものであれば、特に限定されるものではない。このような基材としては、通常カラーフィルタに用いられるものを用いることができ、例えば石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジッド材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材等を用いることができる。   Here, as a base material used in this process, if it has a light-shielding part, it will not specifically limit. As such a base material, those usually used for a color filter can be used, for example, a transparent rigid material with no flexibility such as quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, synthetic quartz plate, or transparent A transparent flexible material having flexibility, such as a resin film and an optical resin plate, can be used.

また、このような基材上に形成される遮光部としては、一般的なカラーフィルタに遮光部として用いられるもの等を用いることができる。例えば、スパッタリング法、真空蒸着法等によって、厚み１０００〜２０００Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングしたもの等であってもよく、また例えば樹脂バインダ中にカーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子を含有させた層をフォトリソ法、印刷法等により形成したもの等であってもよい。   Moreover, as a light-shielding part formed on such a base material, what is used as a light-shielding part for a general color filter, etc. can be used. For example, a thin metal film of chromium or the like having a thickness of about 1000 to 2000 mm may be formed by sputtering, vacuum deposition, or the like, and the thin film may be patterned. For example, carbon fine particles or metal oxides may be formed in a resin binder. A layer containing light-shielding particles such as a product, an inorganic pigment, or an organic pigment may be formed by a photolithography method, a printing method, or the like.

２．欠陥部除去工程
次に、本発明における欠陥部除去工程について説明する。本発明における欠陥部除去工程は、遮光部の一部および上記遮光部の一部に隣接する上記着色層の一部を除去し、上記遮光部または上記着色層に生じた欠陥部およびその周辺部を除去する工程である。ここで本発明でいう欠陥部とは、着色層または遮光部を形成した際に、不純物等が付着して生じた突起や、不純物等によって着色層または遮光部が均一に形成されずに生じたいわゆる白欠陥、遮光部を形成する遮光部形成用塗工液が着色層内に付着して生じたいわゆる黒欠陥等の欠陥をいうこととする。 2. Defect Removal Process Next, the defect removal process in the present invention will be described. In the present invention, the defect removing step removes a part of the light shielding part and a part of the colored layer adjacent to the part of the light shielding part, and the defect part generated in the light shielding part or the colored layer and its peripheral part. This is a step of removing. Here, the defect portion referred to in the present invention is generated when the colored layer or the light-shielding portion is formed, and the colored layer or the light-shielding portion is not uniformly formed due to protrusions or the like caused by the adhesion of impurities or the like. It shall mean defects such as so-called white defects and so-called black defects caused by the coating liquid for forming the light shielding part forming the light shielding part adhering to the colored layer.

本工程においては、上記着色層または上記遮光部に生じた欠陥およびその周辺部の遮光部および着色層を除去することが可能な方法であれば、その除去方法は特に限定されるものではなく、例えばスクラッチ、レーザー等を用いて除去することができる。   In this step, the removal method is not particularly limited as long as it is a method capable of removing the defect generated in the colored layer or the light shielding portion and the light shielding portion and the colored layer in the periphery thereof, For example, it can be removed using a scratch, a laser, or the like.

また、上記遮光部の一部および上記遮光部の一部に隣接する上記着色層の一部を除去するとは、例えば図２（ａ）に示すように、遮光部２の一部と、その遮光部２の一部と隣接する両隣の着色層３の一部を除去するものであってもよく、また例えば図２（ｂ）に示すように、遮光部２の一部と、その遮光部２と隣接する片側の着色層３の一部を除去するものであってもよい。なお、上記遮光部２および着色層３を除去することにより、通常、基材１が露出することとなる。また、遮光部および着色層を除去する面積は、欠陥部の面積や形状等に合わせて適宜選択される。またさらに、本工程において欠陥部およびその周辺部の遮光部および着色層を除去する形状としては、特に限定されるものではなく、例えば矩形状や円形状等とすることができる。   Further, the removal of a part of the light shielding part and a part of the colored layer adjacent to the part of the light shielding part means, for example, as shown in FIG. The part of the colored layer 3 adjacent to the part of the part 2 may be removed. For example, as shown in FIG. 2B, a part of the light shielding part 2 and the light shielding part 2 A part of the colored layer 3 on the one side adjacent to each other may be removed. In addition, the base material 1 will be normally exposed by removing the said light-shielding part 2 and the colored layer 3. FIG. Further, the area from which the light shielding portion and the colored layer are removed is appropriately selected according to the area and shape of the defective portion. Furthermore, the shape for removing the defective portion and the light shielding portion and the colored layer in the peripheral portion in this step is not particularly limited, and may be, for example, a rectangular shape or a circular shape.

３．修正遮光層形成工程
次に、本発明の修正遮光層形成工程について説明する。本発明の修正遮光層形成工程は、上記欠陥部除去工程により上記遮光部および上記着色層が除去された領域に修正遮光層を形成する工程であり、上記領域に修正遮光層を形成することが可能な方法であれば、その修正遮光層の形成方法等は特に限定されるものではない。 3. Next, the modified light shielding layer forming step of the present invention will be described. The modified light-shielding layer forming step of the present invention is a step of forming a modified light-shielding layer in the region where the light-shielding portion and the colored layer are removed by the defect portion removing step, and forming the modified light-shielding layer in the region. If possible, the method for forming the modified light shielding layer is not particularly limited.

上記修正遮光層を形成する方法としては、例えば修正遮光層を形成する修正遮光層形成用塗工液を上記領域に塗布のみ行う方法としてもよく、修正遮光層形成用塗工液を塗布した後、紫外線硬化させ、さらに焼成する方法等としてもよい。上記塗布の方法としては、例えば平面状の先端を有する針に付着させて、上記遮光部および着色層が除去された領域に塗布する方法としてもよく、またディスペンサやインクジェット法、転写法等により上記領域に塗布する方法等としてもよい。また、修正遮光層を形成する形状としては、例えば図３（ａ）に示すように、上記欠陥部除去工程で遮光部２および着色層３が除去された形状（図中ａで示される部分）と相似する形状に修正遮光層４を形成してもよく、また例えば上記欠陥部除去工程で遮光部２および着色層３が除去された形状（図中ａで示される部分）と異なる形状に修正遮光層４を形成してもよい。なお、本発明においては、特に上記欠陥部除去工程により除去されなかった遮光部にかかるように上記修正遮光層形成用塗工液が塗布されることが好ましい。これにより、後述する修正遮光部と修正部分以外の遮光部との間に隙間ができず、製造されたカラーフィルタに白抜け等のないものとすることができるからである。   As a method for forming the modified light-shielding layer, for example, a modified light-shielding layer-forming coating solution for forming a modified light-shielding layer may be applied only to the region, and after applying the modified light-shielding layer-forming coating solution. Alternatively, it may be cured by ultraviolet rays and further baked. The application method may be, for example, a method of attaching to a needle having a flat tip and applying to the region from which the light-shielding portion and the colored layer have been removed, or by using a dispenser, an inkjet method, a transfer method, or the like. It is good also as the method of apply | coating to an area | region. Further, as a shape for forming the modified light shielding layer, for example, as shown in FIG. 3A, the shape in which the light shielding portion 2 and the colored layer 3 are removed in the defect removing step (a portion indicated by a in the drawing). The modified light-shielding layer 4 may be formed in a shape similar to that of, for example, modified to a shape different from the shape (the portion indicated by a in the figure) from which the light-shielding portion 2 and the colored layer 3 have been removed in the defect removal step. The light shielding layer 4 may be formed. In the present invention, the modified light shielding layer forming coating liquid is preferably applied so as to cover the light shielding part that has not been removed by the defect removing process. This is because there is no gap between the corrected light-shielding portion described later and the light-shielding portion other than the corrected portion, and the manufactured color filter can be free from white spots.

また、本工程において塗布する修正遮光層形成用塗工液としては、未修正の遮光部を形成した遮光部形成用塗工液と同一のものであってもよく、また例えば粘度や流動性、濃度等が異なる修正遮光層形成用塗工液を用いてもよい。   Further, the correction light-shielding layer forming coating liquid applied in this step may be the same as the light-shielding part-forming coating liquid in which an uncorrected light-shielding part is formed, and for example, viscosity and fluidity, You may use the coating liquid for correction | amendment of light shielding layers from which density | concentration etc. differ.

なお、本工程に用いられる修正遮光層形成用塗工液は、一般的なカラーフィルタの遮光部の形成に用いられる材料等と同様のものを用いることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。   The modified light shielding layer forming coating solution used in this step can be the same as the material used for the formation of the light shielding portion of a general color filter, so detailed description thereof is omitted here. To do.

４．修正遮光部形成工程
次に、本発明における修正遮光部形成工程について説明する。本発明における修正遮光部形成工程は、上記修正遮光層の一部を除去し、欠陥として検出されないような修正遮光部を形成する工程である。 4). Next, the modified light shielding part forming step in the present invention will be described. The modified light shielding part forming step in the present invention is a process of removing a part of the modified light shielding layer and forming a modified light shielding part that is not detected as a defect.

上記欠陥として検出されないような修正遮光部とは、本発明により製造されたカラーフィルタを目視により観察した際、修正遮光部が欠陥として認識されないような形状を有する修正遮光部をいう。このような修正遮光部の形成は、上記修正遮光層の一部を除去することにより、例えば図４（ａ）に示すように修正遮光部４´の形状を、上述した欠陥部除去工程において除去される前の遮光部２の形状とほぼ同一の形状とすることや、例えば図４（ｂ）に示すように、修正遮光部４´の形状をカラーフィルタが液晶表示装置に用いられた際に、修正遮光部４´が欠陥として認識されない程度の凸部や凹部等を有するような形状とすること等により行うことができる。なお、上記修正遮光層４を除去することにより、通常、基材１が露出することとなる。   The modified light-shielding part that is not detected as a defect means a modified light-shielding part having a shape such that the corrected light-shielding part is not recognized as a defect when the color filter manufactured according to the present invention is visually observed. Such a modified light-shielding part is formed by removing a part of the modified light-shielding layer, for example, to remove the shape of the modified light-shielding part 4 'in the above-described defect removal process as shown in FIG. When the color filter is used in the liquid crystal display device, the shape of the modified light-shielding part 4 ′ is set to be substantially the same as the shape of the light-shielding part 2 before being applied, or as shown in FIG. The correction light-shielding portion 4 ′ can be formed by having a shape such as a convex portion or a concave portion that is not recognized as a defect. In addition, the base material 1 will be normally exposed by removing the said correction light-shielding layer 4. FIG.

また、上記修正遮光層の一部を除去する方法としては、上記修正遮光層を除去することが可能な方法であれば特に限定されるものではなく、上述した欠陥部除去工程で遮光部および着色層を除去する方法と同様とすることができる。   Further, the method for removing a part of the modified light shielding layer is not particularly limited as long as it is a method capable of removing the modified light shielding layer. It can be similar to the method of removing the layer.

なお、本工程により形成される上記修正遮光部の幅は、欠陥部除去工程前に形成されていた遮光部の幅を１としたときに０．２〜２の範囲内、中でも０．５〜１．５の範囲内となることが好ましい。これにより、上記修正遮光部が欠陥として認識されないものとすることができるからである。   The width of the modified light shielding portion formed in this step is within the range of 0.2 to 2, particularly 0.5 to 2, when the width of the light shielding portion formed before the defect portion removing step is 1. It is preferable to be within the range of 1.5. This is because the corrected light-shielding portion can not be recognized as a defect.

５．修正着色層形成工程
次に、本発明の修正着色層形成工程について説明する。本発明の修正着色層形成工程は、上記修正部形成工程により上記修正遮光層が除去された領域に修正着色層を形成する工程であり、上記領域に修正着色層を形成することが可能な方法であれば特に限定されるものではない。 5. Next, the corrected colored layer forming step of the present invention will be described. The corrected colored layer forming step of the present invention is a step of forming the corrected colored layer in the region from which the corrected light shielding layer has been removed by the corrected portion forming step, and a method capable of forming the corrected colored layer in the region. If it is, it will not specifically limit.

修正着色層を形成する方法としては、例えば修正着色層を形成する修正着色層形成用塗工液を、上記領域に塗布した後、紫外線硬化させ、さらに焼成する方法等とすることができる。修正着色層形成用塗工液の塗布方法等については、上記修正遮光層形成工程で説明した方法と同様とすることができる。   As a method for forming the corrected colored layer, for example, a correction colored layer forming coating liquid for forming the corrected colored layer may be applied to the above region, followed by UV curing and further baking. About the application method of the coating liquid for correction colored layer formation, it can be made to be the same as that of the method demonstrated in the said correction light shielding layer formation process.

また、修正着色層を形成する形状としては、上記修正遮光部形成工程により修正遮光層が除去された領域と相似する形状としてもよく、また上記領域と異なる形状としてもよい。なお、修正着色層は上記修正遮光部、および修正部分以外の着色層や遮光部にかかるように形成されることが好ましい。これにより、カラーフィルタとした際、白抜け等のないものとすることができるからである。   The shape for forming the corrected colored layer may be a shape similar to the region from which the corrected light shielding layer has been removed by the modified light shielding portion forming step, or may be a shape different from the above region. The modified colored layer is preferably formed so as to cover the modified light shielding part and the colored layer and the light shielding part other than the modified part. This is because when the color filter is formed, it can be free from white spots.

また、本工程において塗布する修正着色層形成用塗工液としては、未修正の着色層を形成した着色層形成用塗工液と同一のものであってもよく、また例えば粘度や流動性、濃度等が異なる修正着色層形成用塗工液を用いてもよい。このような修正着色層形成用塗工液としては、一般的なカラーフィルタの着色層の形成に用いられる材料等と同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。   In addition, the correction colored layer forming coating liquid to be applied in this step may be the same as the colored layer forming coating liquid in which an uncorrected colored layer is formed. You may use the coating liquid for correction | amendment colored layer formation from which density | concentration etc. differ. Such a modified colored layer forming coating solution can be the same as the material used for forming a colored layer of a general color filter, and therefore detailed description thereof is omitted here.

Ｂ．カラーフィルタ
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、基材と、上記基材上に形成された遮光部と、上記遮光部の開口部に形成された着色層とを有するカラーフィルタであって、欠陥として検出されないような形状に上記遮光部が修正された修正遮光部と、上記修正遮光部に隣接する上記着色層が修正された修正着色層とを含む修正部分を有することを特徴とするものである。 B. Next, the color filter of the present invention will be described. The color filter of the present invention is a color filter having a base material, a light shielding part formed on the base material, and a colored layer formed in an opening of the light shielding part, and is not detected as a defect. It has a correction part including a correction light-shielding part in which the light-shielding part is corrected in shape and a correction color layer in which the colored layer adjacent to the correction light-shielding part is corrected.

本発明のカラーフィルタは、例えば図５に示すように、基材１と、その基材１上に形成された遮光部２と、その遮光部２の開口部に形成された着色層３とを有し、その遮光部２および着色層３が製造時に修正された修正部分６を有しているものである。また、修正部分６は、本発明のカラーフィルタが液晶表示装置に用いられた際、欠陥として検出されないような形状に遮光部２が修正された修正遮光部２´と、その修正遮光部２´に隣接する着色層３が修正された修正着色層３´とを有するように形成されているものである。   For example, as shown in FIG. 5, the color filter of the present invention includes a base material 1, a light shielding portion 2 formed on the base material 1, and a colored layer 3 formed at an opening of the light shielding portion 2. The light-shielding portion 2 and the colored layer 3 have a corrected portion 6 corrected at the time of manufacture. The correction portion 6 includes a correction light-shielding portion 2 ′ in which the light-shielding portion 2 is corrected so as not to be detected as a defect when the color filter of the present invention is used in a liquid crystal display device, and the correction light-shielding portion 2 ′. The colored layer 3 adjacent to is formed so as to have a modified colored layer 3 ′ modified.

本発明は、遮光部の形成時または着色層の形成時に、遮光部上または遮光部の近傍で生じた欠陥が修正されたカラーフィルタであって、上記遮光部および着色層が修正された修正部分を有するが、これらの修正部分が、欠陥として検出されないような形状に形成されていることから、液晶表示装置に用いられた際、欠陥等のない、高品質なカラーフィルタとすることができる。   The present invention provides a color filter in which a defect generated on or near a light shielding portion at the time of forming a light shielding portion or a colored layer is corrected, wherein the light shielding portion and the colored layer are corrected. However, since these corrected portions are formed in a shape that is not detected as a defect, when used in a liquid crystal display device, a high-quality color filter having no defect or the like can be obtained.

以下、本発明のカラーフィルタの特徴である、修正部分について説明し、その後本発明のカラーフィルタの各構成ごとに説明する。   Hereinafter, the correction part, which is a feature of the color filter of the present invention, will be described, and then each configuration of the color filter of the present invention will be described.

１．修正部分
まず、本発明のカラーフィルタにおける修正部分について説明する。本発明のカラーフィルタにおける修正部分は、製造時に生じた欠陥が修正された部分であって、欠陥として検出されないような形状に上記遮光部が修正された修正遮光部と、上記修正遮光部に隣接する上記着色層が修正された修正着色層とを含むものである。 1. First, the correction part in the color filter of the present invention will be described. The correction part in the color filter of the present invention is a part in which a defect generated at the time of manufacture is corrected, and the correction light-shielding part in which the light-shielding part is corrected to a shape that is not detected as a defect, and adjacent to the correction light-shielding part The colored layer includes a modified colored layer modified.

本発明のカラーフィルタにおいて、上記修正部分の形状としては、遮光部の一部と、その遮光部の一部に隣接する着色層の一部とが修正されたものであれば、特に限定されるものではなく、遮光部の一部と、その遮光部の一部と隣接する両隣の着色層の一部とが修正された形状であってもよく、また例えば遮光部の一部と、その遮光部と隣接する片側の着色層の一部とが修正された形状等であってもよい。   In the color filter of the present invention, the shape of the correction part is particularly limited as long as a part of the light shielding part and a part of the colored layer adjacent to the part of the light shielding part are corrected. Instead, it may have a shape in which a part of the light shielding part and a part of the adjacent colored layer adjacent to the part of the light shielding part are modified. The shape etc. by which one part of the colored layer of the one side adjacent to a part was corrected may be sufficient.

ここで、上記修正遮光部は、遮光部が修正されたものであり、かつ欠陥として検出されないような形状に形成されたものであれば、特に限定されるものではない。欠陥として検出されないような形状に上記遮光部が修正されたとは、本発明のカラーフィルタを目視により観察した際、修正遮光部が黒い点等の欠陥として認識されないような形状に遮光部が修正されたことをいう。このような修正遮光部としては、例えば修正前の遮光部と同様の形状に形成したものや、カラーフィルタが液晶表示装置に用いられた際に、修正遮光部が欠陥として認識されない程度の凸部や凹部等を有するような形状に形成したもの等とすることができる。このような修正遮光部の形状や修正遮光部の形成方法等としては、上述した「Ａ．カラーフィルタの製造方法」の修正遮光層形成工程および修正遮光部形成工程で説明したものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。なお、本発明においては、上記修正遮光部が、修正部分以外の遮光部にかかるように形成されていることが好ましい。これにより、修正遮光部と修正部分以外の遮光部との間に隙間ができず、製造されたカラーフィルタに白抜け等のないものとすることができるからである。   Here, the corrected light-shielding part is not particularly limited as long as the light-shielding part is modified and formed in a shape that is not detected as a defect. The light-shielding part is corrected to a shape that is not detected as a defect.When the color filter of the present invention is observed visually, the light-shielding part is corrected to a shape that the corrected light-shielding part is not recognized as a defect such as a black dot. That means. As such a modified light-shielding part, for example, one that is formed in the same shape as the light-shielding part before modification, or a convex part that is not recognized as a defect when the color filter is used in a liquid crystal display device Or a shape having a recess or the like. The shape of the modified light-shielding portion, the method of forming the modified light-shielding portion, and the like are the same as those described in the modified light-shielding layer forming step and the modified light-shielding portion forming step in “A. Color filter manufacturing method” described above. Detailed explanation here is omitted. In the present invention, it is preferable that the modified light shielding portion is formed so as to cover a light shielding portion other than the modified portion. This is because there is no gap between the corrected light-shielding part and the light-shielding part other than the corrected part, and the manufactured color filter can be free from white spots or the like.

また、上記修正着色層は、着色層が修正されたものであり、上記修正遮光部に隣接する着色層が修正されたものであれば、特に限定されるものではない。このような修正着色層の形状や、修正着色層の形成方法等については、上述した「Ａ．カラーフィルタの製造方法」で説明したものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。   The modified colored layer is not particularly limited as long as the colored layer is modified, and the colored layer adjacent to the modified light shielding portion is modified. The shape of the corrected colored layer, the method of forming the corrected colored layer, and the like can be the same as those described in “A. Color filter manufacturing method” described above. Omitted.

なお、修正着色層は上記修正遮光部、および修正部分以外の着色層や遮光部にかかるように形成されることが好ましい。これにより、カラーフィルタとした際、白抜け等のないものとすることができるからである。   The modified colored layer is preferably formed so as to cover the modified light shielding part and the colored layer and the light shielding part other than the modified part. This is because when the color filter is formed, it can be free from white spots.

２．遮光部
次に、本発明に用いられる遮光部について説明する。本発明に用いられる遮光部は、後述する基材上に形成され、かつ後述する着色層間に設けられるものであって、上記修正遮光部を有するものであれば、特に限定されるものではない。このような遮光部としては、一般的なカラーフィルタに遮光部として用いられるもの等を用いることができる。例えば、スパッタリング法、真空蒸着法等によって、厚み１０００〜２０００Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングしたもの等であってもよく、また例えば樹脂バインダ中にカーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子を含有させた層をフォトリソ法、印刷法等により形成したもの等であってもよい。 2. Next, the light shielding part used in the present invention will be described. The light-shielding part used in the present invention is not particularly limited as long as it is formed on a base material to be described later and provided between colored layers to be described later, and has the above-described modified light-shielding part. As such a light-shielding part, what is used as a light-shielding part for a general color filter can be used. For example, a thin metal film of chromium or the like having a thickness of about 1000 to 2000 mm may be formed by sputtering, vacuum deposition, or the like, and the thin film may be patterned. For example, carbon fine particles or metal oxides may be formed in a resin binder. A layer containing light-shielding particles such as a product, an inorganic pigment, or an organic pigment may be formed by a photolithography method, a printing method, or the like.

３．着色層
次に、本発明のカラーフィルタに用いられる着色層について説明する。本発明に用いられる着色層は、上記遮光部の開口部に形成され、上記修正着色層を有するものであれば、特に限定されるものではない。このような着色層としては、通常、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３色で形成される。またこの着色パターンの形状としては、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の配列とすることができ、着色面積は任意に設定することができる。 3. Colored layer Next, the colored layer used for the color filter of this invention is demonstrated. The colored layer used in the present invention is not particularly limited as long as it is formed in the opening of the light shielding part and has the modified colored layer. Such a colored layer is usually formed of three colors of red (R), green (G), and blue (B). In addition, the shape of the coloring pattern may be a known arrangement such as a stripe type, a mosaic type, a triangle type, or a four-pixel arrangement type, and the coloring area can be arbitrarily set.

なお、本発明に用いられる着色層の形成方法や形成材料等については、一般的なカラーフィルタに用いられる着色層と同様とすることができるので、ここでの説明は省略する。   In addition, about the formation method of a colored layer used for this invention, a forming material, etc., since it can be the same as that of the colored layer used for a general color filter, description here is abbreviate | omitted.

４．基材
次に、本発明に用いられる基材について説明する。本発明に用いられる基材としては、通常カラーフィルタに用いられるものであれば特に限定されるものではなく、例えば石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジッド材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材等を用いることができる。 4). Next, the substrate used in the present invention will be described. The base material used in the present invention is not particularly limited as long as it is usually used in color filters. For example, it is a non-flexible transparent material such as quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass or synthetic quartz plate. A transparent material having flexibility, such as a rigid material or a transparent resin film or an optical resin plate, can be used.

５．カラーフィルタ
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明におけるカラーフィルタは、基材と、上記修正部分を有する着色層および遮光部とを有するものであれば特に限定されるものではなく、必要に応じて適宜、オーバーコート層や、透明電極層等を有していてもよい。このようなオーバーコート層や透明電極層等は、一般的なカラーフィルタに用いられる部材と同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。 5. Next, the color filter of the present invention will be described. The color filter in the present invention is not particularly limited as long as it has a substrate, a colored layer having the above-mentioned correction portion, and a light-shielding portion, and an overcoat layer or a transparent electrode layer is appropriately used as necessary. Etc. may be included. Such an overcoat layer, a transparent electrode layer, and the like can be the same as members used in general color filters, and thus detailed description thereof is omitted here.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。   The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples.

［実施例］
基材として、厚さ０．７ｍｍのガラス基板（コーニング社製１７３７ガラス）を準備した。この基材を定法にしたがって洗浄した後、基材の片側全面に下記の組成を有する遮光部形成用塗工液を塗布し、乾燥後ホットプレート上で９０℃に加熱（プリベーク）した。その後、所定のフォトマスクと遮光部形成用塗工液とのギャップが１５０μｍとなるようにフォトマスクを配置し、５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。その後、２．５ｋｇｆの現像圧で現像した後、焼成して遮光部を形成した。 [Example]
As a base material, a 0.7 mm thick glass substrate (Corning 1737 glass) was prepared. After this substrate was washed according to a conventional method, a light shielding part-forming coating solution having the following composition was applied to the entire surface of one side of the substrate, dried and then heated (prebaked) at 90 ° C. on a hot plate. Thereafter, the photomask was arranged so that the gap between the predetermined photomask and the light shielding part forming coating solution was 150 μm, and the exposure was performed at an exposure amount of 50 mJ / cm 2 . Thereafter, development was performed at a development pressure of 2.5 kgf, followed by baking to form a light shielding portion.

（遮光部形成用塗工液）
・カーボンブラック ６１重量部
・感光性樹脂組成物 ３９重量部
・メトキシブチルアセテート ３００重量部
上記感光性樹脂組成物は、下記組成を有するものである。以下の実施例について用いられる感光性樹脂組成物についても、同様である。 (Shading part forming coating solution)
Carbon black 61 parts by weight Photosensitive resin composition 39 parts by weight Methoxybutyl acetate 300 parts by weight The above photosensitive resin composition has the following composition. The same applies to the photosensitive resin compositions used in the following examples.

（感光性樹脂組成物）
・アクリル樹脂 ３２重量部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ４２重量部
・エピコート１８０Ｓ７０（三菱油化シェル（株）社製） １８重量部
・Ｉｒｇ．９０７（チバスペシャリティケミカルズ（株）社製） ８重量部 (Photosensitive resin composition)
Acrylic resin 32 parts by weight Dipentaerythritol hexaacrylate 42 parts by weight Epicoat 180S70 (manufactured by Mitsubishi Yuka Shell Co., Ltd.) 18 parts by weight Irg. 907 (Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 8 parts by weight

次に、下記組成の赤色着色層、緑色着色層、青色着色層用の各着色層形成用塗工液を調整し、これらを用いて公知の顔料分散法にしたがって、画素領域に赤色着色層、緑色着色層、および青色着色層（各厚み１．７μｍ）をそれぞれ形成してカラーフィルタとした。   Next, each colored layer forming coating solution for red colored layer, green colored layer, and blue colored layer having the following composition is prepared, and a red colored layer is formed in the pixel region according to a known pigment dispersion method using these. A green colored layer and a blue colored layer (each thickness of 1.7 μm) were formed to form a color filter.

（赤色着色層形成用塗工液の組成）
・ＰＲ２５４分散液 ３３重量部
・感光性樹脂組成物 ６７重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ４００重量部 (Composition of red colored layer forming coating solution)
-PR254 dispersion 33 parts by weight-Photosensitive resin composition 67 parts by weight-Propylene glycol monomethyl ether acetate 400 parts by weight

（緑色着色層形成用塗工液の組成）
・ＰＧ３６／ＰＹ１５０分散液 ３４重量部
・感光性樹脂組成物 ６６重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ４００重量部 (Composition of green colored layer forming coating solution)
-34 parts by weight of PG36 / PY150 dispersion-66 parts by weight of photosensitive resin composition-400 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate

（青色着色層形成用塗工液の組成）
・ＰＢ１５：６／ＰＶ２３分散液 １７重量部
・感光性樹脂組成物 ８３重量部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート ４００重量部 (Composition of blue colored layer forming coating solution)
-17 parts by weight of PB15: 6 / PV23 dispersion-83 parts by weight of photosensitive resin composition-400 parts by weight of propylene glycol monomethyl acetate

上記カラーフィルタにハロゲンランプ光を照射し、その反射光をＣＣＤライセンサにて受光した後、その受光した結果を画像処理して欠陥部を検出する装置により検査したところ、着色層および遮光部に欠陥が検出された。   When the color filter is irradiated with halogen lamp light and the reflected light is received by a CCD licensor, the received light is subjected to image processing and inspected by a device for detecting a defective portion. Was detected.

上記検査により検出された欠陥およびその周辺部を、図２（ａ）に示すような形状に、ＹＡＧレーザ（第２高調波）を用いてスリット径□５０μｍにて３パルス照射し、上記領域の遮光部および着色層を除去した。   The defect detected by the inspection and its peripheral part are irradiated with 3 pulses with a slit diameter of 50 μm using a YAG laser (second harmonic) in the shape as shown in FIG. The light shielding part and the colored layer were removed.

次に、修正遮光層形成用塗工液を先端に付着させた上記欠陥修正用針を、上記遮光部を除去した部分に接触させ、その後欠陥除去部から引き離すことにより、修正遮光層形成用塗工液を塗布した。   Next, the correction light-shielding layer-forming coating liquid is attached to the tip of the defect-correcting needle by bringing it into contact with the portion from which the light-shielding portion has been removed, and then pulling it away from the defect-removing portion. The working fluid was applied.

その後、図４（ｂ）に示すような形状に、上記と同様の装置により、ＹＡＧレーザ（第２高調波）を用いてスリット径□５０μｍにて３パルス照射し、上記修正遮光層の一部を除去した。   After that, in the shape as shown in FIG. 4B, using a YAG laser (second harmonic) with a device similar to the above, 3 pulses were irradiated with a slit diameter of 50 μm, and a part of the modified light-shielding layer Was removed.

続いて、上記着色層が除去された領域および上記修正着色層が除去された領域に、先端に上記着色層形成用塗工液と同様の修正着色層形成用塗工液を付着させた上記欠陥修正用針を、上記着色層を除去した部分に接触させ、その後欠陥除去部から引き離すことにより、修正着色層形成用塗工液を塗布した。その後、５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光し、焼成して修正着色層を形成した。 Subsequently, the defect in which the correction liquid layer forming coating liquid similar to the color layer formation coating liquid is attached to the tip of the area where the color layer is removed and the area where the correction color layer is removed. The correction colored layer forming coating solution was applied by bringing the correction needle into contact with the portion from which the colored layer had been removed and then pulling it away from the defect removing portion. Then, it exposed with the exposure amount of 50 mJ / cm < 2 >, baked and formed the correction colored layer.

本発明のカラーフィルタの製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of the color filter of this invention. 本発明のカラーフィルタの製造方法における欠陥部除去工程を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the defect part removal process in the manufacturing method of the color filter of this invention. 本発明のカラーフィルタの製造方法における修正遮光層形成工程を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the correction light shielding layer formation process in the manufacturing method of the color filter of this invention. 本発明のカラーフィルタの製造方法における修正遮光部形成工程を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the correction light-shielding part formation process in the manufacturing method of the color filter of this invention. 本発明のカラーフィルタを説明するための概略断面図である。It is a schematic sectional drawing for demonstrating the color filter of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ …基材
２ …遮光部
３ …着色層
３´…修正着色層
４ …修正遮光層
２´、４´…修正遮光部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base material 2 ... Light-shielding part 3 ... Colored layer 3 '... Modified colored layer 4 ... Modified light-shielding layer 2', 4 '... Modified light-shielding part

Claims (2)

遮光部が形成された基材上の、前記遮光部の開口部に着色層を形成する着色層形成工程と、
前記遮光部の一部および前記遮光部の一部に隣接する前記着色層の一部を除去し、前記遮光部または前記着色層に生じた欠陥部およびその周辺部を除去する欠陥部除去工程と、
前記欠陥部除去工程により前記遮光部および前記着色層が除去された領域に修正遮光層を形成する修正遮光層形成工程と、
前記修正遮光層の一部を除去し、欠陥として検出されないような修正遮光部を形成する修正遮光部形成工程と、
前記修正遮光部形成工程により前記修正遮光層が除去された領域に修正着色層を形成する修正着色層形成工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 A colored layer forming step of forming a colored layer on the opening of the light shielding part on the base material on which the light shielding part is formed;
A defect removing step of removing a part of the light shielding part and a part of the colored layer adjacent to the part of the light shielding part, and removing a defective part generated in the light shielding part or the colored layer and its peripheral part; ,
A modified light shielding layer forming step for forming a modified light shielding layer in the region where the light shielding portion and the colored layer are removed by the defect portion removing step;
A modified light shielding part forming step of removing a part of the modified light shielding layer and forming a modified light shielding part that is not detected as a defect;
And a modified colored layer forming step of forming a modified colored layer in a region where the modified light shielding layer has been removed by the modified light shielding portion forming step. 基材と、前記基材上に形成された遮光部と、前記遮光部の開口部に形成された着色層とを有するカラーフィルタであって、
欠陥として検出されないような形状に前記遮光部が修正された修正遮光部と、前記修正遮光部に隣接する前記着色層が修正された修正着色層とを含む修正部分を有することを特徴とするカラーフィルタ。
A color filter having a base material, a light shielding part formed on the base material, and a colored layer formed in an opening of the light shielding part,
A color having a correction portion including a correction light-shielding portion in which the light-shielding portion is corrected to a shape that is not detected as a defect, and a correction coloring layer in which the colored layer adjacent to the correction light-shielding portion is corrected filter.
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