JP4634121B2 - Color filter defect correction method - Google Patents

Color filter defect correction method Download PDF

Info

Publication number
JP4634121B2
JP4634121B2 JP2004335056A JP2004335056A JP4634121B2 JP 4634121 B2 JP4634121 B2 JP 4634121B2 JP 2004335056 A JP2004335056 A JP 2004335056A JP 2004335056 A JP2004335056 A JP 2004335056A JP 4634121 B2 JP4634121 B2 JP 4634121B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
ink
color filter
dispenser
tip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2004335056A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2006145786A (en
Inventor
通伸 水村
貴文 平野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
V Technology Co Ltd
Original Assignee
V Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by V Technology Co Ltd filed Critical V Technology Co Ltd
Priority to JP2004335056A priority Critical patent/JP4634121B2/en
Publication of JP2006145786A publication Critical patent/JP2006145786A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4634121B2 publication Critical patent/JP4634121B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、液晶表示用カラーフィルタなどの白抜け欠陥等の欠陥部を補修する方法に関するものである。   The present invention relates to a method for repairing a defect portion such as a white defect in a color filter for liquid crystal display.

液晶カラーフィルタの製造過程において、異物の混入による転移不良、転写不良などの原因により、ブラックマトリックスやＲＧＢの画素パターン中に、いわゆる白抜け欠陥が生じることがあり、製品歩留まりを向上させるため、その欠陥部内に適切な量のフィルタ着色用インク等を塗布し、修正する必要があり、従来はインクジェットやディスペンサーを用いて、カラーフィルタ修正用液体を被修正面上方から滴下供給する方法（特許文献１，特許文献２）などのほか、ディスペンサーのノズルの先端をフィルタの欠陥部に接触させたままノズルから前記インクを吐出する方法（特許文献３）が用いられている。
特開平８−２９２３１２号公報 特開平６−１０６１１１号公報 特開平６−１０９９１４号公報 In the process of manufacturing a liquid crystal color filter, a so-called white defect may occur in a black matrix or RGB pixel pattern due to a transfer failure or transfer failure due to contamination of foreign matter, and this improves the product yield. It is necessary to apply and correct an appropriate amount of filter coloring ink in the defective portion. Conventionally, a method of supplying the color filter correcting liquid dropwise from above the surface to be corrected using an inkjet or a dispenser (Patent Document 1) In addition to Patent Document 2), a method of discharging the ink from the nozzle while the tip of the nozzle of the dispenser is in contact with the defective portion of the filter (Patent Document 3) is used.
JP-A-8-292121 JP-A-6-106111 JP-A-6-109914

しかし、上記の従来技術のインクジェットを用いる方法（特許文献１）では、ノズルの閉塞防止のため揮発性溶媒を含む粘度の低いカラーフィルタ修正用液体を用いることにより、同修正用液体が欠陥部分の表面で広がってしまうため、塗布した前記修正用液体の膜厚が薄くなり、白抜け欠陥を十分に補修できないという問題のほか、粘度の高いカラーフィルタ修正用液体を用いると、同液体の供給量の制御が困難になるという問題があった。   However, in the above-described conventional method using an ink jet (Patent Document 1), a correction liquid having a low viscosity containing a volatile solvent is used to prevent the nozzle from being clogged. In addition to the problem that the thickness of the applied correction liquid is thinned due to spreading on the surface and the white defect cannot be sufficiently repaired, the use of a high-viscosity color filter correction liquid leads to the supply amount of the same liquid There was a problem that it became difficult to control.

また、ディスペンサーのノズルをカラーフィルタの被修正面から離してカラーフィルタ修正用液体を供給する方法（特許文献２）では、同修正用液体が前記ノズル先端部外周に這い上がり、液滴状態になるため、カラーフィルタの被修正面に正確な量の前記修正用液体を供給することが難しいという問題のほか、前記液滴状態の前記修正用液体が凝固して、前記ノズルが閉塞するという問題があった。   In the method of supplying the color filter correcting liquid by separating the nozzle of the dispenser from the surface to be corrected of the color filter (Patent Document 2), the correcting liquid crawls up to the outer periphery of the nozzle tip and enters a droplet state. Therefore, in addition to the problem that it is difficult to supply the correct amount of the correction liquid to the surface to be corrected of the color filter, there is a problem that the correction liquid in the droplet state is solidified and the nozzle is blocked. there were.

そして、ディスペンサーのノズル先端をカラーフィルタの被修正面に接触させてカラーフィルタ修正用液体を供給する方法（特許文献３）では、前記接触によりカラーフィルタの被修正面のガラスにキズが発生することを防止するため、複雑な緩衝機構が必要になり、装置が複雑になるなどの問題があった。
また、前記着色用液体が前記ノズル先端部外周に這い上がり、液滴状に凝固することにより前記ノズルが閉塞してしまう問題や、この液滴状に凝固した前記修正用液体によって前記ノズル先端の位置決め精度が時間の経過に応じて変わってしまう問題があった。 In the method of supplying the color filter correcting liquid by bringing the nozzle tip of the dispenser into contact with the surface to be corrected (Patent Document 3), the glass on the surface to be corrected of the color filter is damaged by the contact. In order to prevent this, there is a problem that a complicated buffer mechanism is required and the apparatus becomes complicated.
In addition, the coloring liquid crawls up to the outer periphery of the nozzle tip and solidifies in the form of droplets, and the nozzle is blocked. There is a problem that the positioning accuracy changes with time.

そこで本発明は、このような問題点に対処するため、カラーフィルタの被修正面の修正に際して、カラーフィルタ修正用インクを精度良く、支障なくカラーフィルタの被修正面に供給できるようにした方法を提供することを課題とする。   In order to address such problems, the present invention provides a method for accurately supplying the color filter correcting ink to the corrected surface of the color filter without any trouble when correcting the corrected surface of the color filter. The issue is to provide.

上述の課題を解決するために、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法は、紫外線硬化性のカラーフィルタ修正用インクを内蔵するディスペンサーのノズルの先端部外周に、予め前記インクの液滴を形成した後,前記ノズルの先端部をカラーフィルタの被修正面に対し接触角度が鋭角となるように当接させ、ついで、前記ノズルから前記インクを少なくとも同ノズルの端部分が同インクによって覆われるように前記被修正面に供給し、このようにして供給された前記インクに紫外線を照射して同インクを硬化させることにより、同被修正面を修正することを特徴としている。 To solve the problems described above, defect correction method of the color filter of the present invention, the tip outer periphery of a nozzle of a dispenser incorporating the ultraviolet curable color filter repair ink, droplets of advance the ink form After that, the tip of the nozzle is brought into contact with the surface to be corrected of the color filter so that the contact angle becomes an acute angle, and then the ink is covered from the nozzle so that at least the end portion of the nozzle is covered with the ink. The surface to be corrected is supplied to the surface to be corrected, and the surface to be corrected is corrected by irradiating the ink thus supplied with ultraviolet rays to cure the ink .

本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、カラーフィルタの紫外線硬化性の修正用インクを内蔵するディスペンサーのノズルの先端部外周に、予め前記修正用インクの液滴を形成した後,前記ディスペンサーのノズルの先端部をフィルタの被修正面に対し接触角度が鋭角となるように当接させ、ついで、前記ディスペンサーのノズルから前記修正用インクを少なくとも同ノズルの先端部分が同修正用インクによって覆われるように前記被修正面に供給するため、前記修正用インクを精度良く供給できるという優れた効果を奏する。 According to defect correction method for a color filter of the present invention, the tip portion outer periphery of the nozzle of the dispenser with a built-in UV-curable fixes ink color filters, after forming the droplets in advance the correction ink, wherein contact angle tip to the balancing plane of the filter of the nozzle of the dispenser is brought into contact such that an acute angle, then, the ink tip portion the correction of at least the nozzles of the corrective ink from the nozzle of the dispenser to be supplied to the object to be modified surface to be covered by, so an excellent effect that the corrective ink can be accurately supplied.

また、紫外線硬化性のカラーフィルタ着色用インクを用いるため、ディスペンサーのノズル先端から同インクが這い上がって液滴を形成しても、同液滴が前記ノズル先端部外周面で凝固しないため、前記ノズル先端部を被修正面に直接当接できる、その際に前記液滴が緩衝材として機能することにより（図４ａ）、前記被修正面に傷を生じさせないという優れた効果を奏する。 Moreover, since the use of ultraviolet curable color filter colored inks, be formed droplets up the ink creeps from the nozzle tip of the dispenser, for the droplets do not solidify in the nozzle tip outer peripheral surface, The nozzle tip can be brought into direct contact with the surface to be corrected, and the liquid droplets function as a cushioning material at that time (FIG. 4a), thereby producing an excellent effect of preventing the surface to be corrected from being damaged.

そして、前記ノズルを前記被修正面に対し接触角度が鋭角となるように同被修正面に当接することにより、同ノズルが若干撓み、前記ノズルと前記被修正面とが当接する際の衝撃が吸収され、前記ノズルが撓む際に同ノズルの先端が前記被修正面に沿って微小に移動し（図４ｂの矢印方向）、その際に、前記ノズルの先端部に予め形成された前記修正用インクの液滴が潤滑剤として機能し（図４ｂ）、前記ノズル先端による前記被修正面に擦り傷を生じさせないという優れた効果を奏する。   Then, when the nozzle is brought into contact with the surface to be corrected so that the contact angle is acute with respect to the surface to be corrected, the nozzle is slightly bent, and an impact is generated when the nozzle and the surface to be corrected come into contact. When the nozzle is absorbed and the tip of the nozzle is bent, the tip of the nozzle moves slightly along the surface to be corrected (in the direction of the arrow in FIG. 4b). At that time, the correction formed in advance at the tip of the nozzle is performed. The ink droplets function as a lubricant (FIG. 4b), and have an excellent effect of not causing scratches on the surface to be corrected by the nozzle tip.

また、前記ディスペンサーのノズルから前記修正用インクを少なくとも同ノズルの先端部分が同修正用インクによって覆われるように前記被修正面に供給されることにより、前記ノズル先端を被修正面から離間させた際に、前記ノズルの先端部の前記液滴が維持されるため、新たな被修正面を修正する際に上述の優れた効果を奏する。   Further, the correction ink is supplied from the nozzle of the dispenser to the surface to be corrected so that at least the tip portion of the nozzle is covered with the correction ink, thereby separating the nozzle tip from the surface to be corrected. At this time, since the liquid droplets at the tip of the nozzle are maintained, the above-described excellent effect can be achieved when a new surface to be corrected is corrected.

そして、上述の優れた効果の他に、前記インクが揮発性溶媒を含まないようにすると、前記被修正面に供給された前記インクがＵＶ硬化される際に同インクの体積の収縮が少なく、同インクの膜厚を厚くすることができ、白抜け欠陥を十分に補修できるという優れた効果も期待できるようになる。 Then, in addition to the above excellent effects, when the ink is to be free of volatile solvent, the volume of the ink of shrinkage is small when said ink supplied to the modified surface is UV cured, The thickness of the ink can be increased, and an excellent effect that white defects can be sufficiently repaired can be expected .

カラーフィルタの欠陥を精度良く、支障なく行うため、揮発性溶媒を含まない紫外線硬化性のカラーフィルタ着色用インクを内蔵するディスペンサーのノズルの先端部外周に、予め前記インクの液滴を形成した後、前記ノズルの先端部をフィルタの被修正面に対し接触角度が鋭角となるように当接させ、ついで、前記ノズルから前記インクを少なくとも同ノズルの端部分が同インクによって覆われるように前記被修正面に供給する操作が行われる。   After the ink droplets are formed in advance on the outer periphery of the tip of the nozzle of the dispenser that contains the UV-curable color filter coloring ink that does not contain a volatile solvent, in order to accurately and easily perform defects in the color filter. The tip of the nozzle is brought into contact with the surface to be corrected so that the contact angle is an acute angle, and then the ink is applied from the nozzle so that at least the end portion of the nozzle is covered with the ink. An operation to supply the correction surface is performed.

以下、本発明の一実施例としてのカラーフィルタの欠陥修正方法について図面を参照して説明する。
まず、本発明の実施例のカラーフィルタの欠陥修正方法に係る装置について説明すると、図１に示すように、欠陥修正装置１はカラーフィルタ（以下、単に「ワーク」という）２を載置するテーブル３と、テーブル３をＸ方向及びＹ方向（紙面に対し垂直な方向）に移動させるための移動手段４とを備える他、ワーク２に対向して設けられた対物レンズ５と、対物レンズ５の光軸Ｌ上にハーフミラー６Ａと、結像レンズ７と、ハーフミラー６Ｂと、可変スリット８と、開閉スイッチ（図示せず）が内蔵されたレーザ照射器９Ａとを備えており、可変スリット８と開閉スイッチ（図示せず）が内蔵されたレーザ照射器９Ａとは制御装置１７に電気的に接続されている。 Hereinafter, the defect correction method for a color filter according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
First, an apparatus according to a color filter defect correcting method of an embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 1, the defect correcting apparatus 1 is a table on which a color filter (hereinafter simply referred to as “workpiece”) 2 is placed. 3 and a moving means 4 for moving the table 3 in the X direction and the Y direction (direction perpendicular to the paper surface), an objective lens 5 provided opposite to the work 2, and an objective lens 5 On the optical axis L, a half mirror 6A, an imaging lens 7, a half mirror 6B, a variable slit 8, and a laser irradiator 9A having an open / close switch (not shown) are provided. The laser irradiator 9A having a built-in open / close switch (not shown) is electrically connected to the control device 17.

レーザ照射器９Ａから照射されるレーザ光は可変スリット８によって所定の形状に整形されて後、ワーク２の被修正面に照射されるようになっており、同被修正面が所定の形状にトリミング（図５，図６参照）されるようになっている。   The laser light emitted from the laser irradiator 9A is shaped into a predetermined shape by the variable slit 8, and is then applied to the surface to be corrected of the workpiece 2. The surface to be corrected is trimmed into the predetermined shape. (See FIGS. 5 and 6).

また、ハーフミラー６Ｂによって光軸Ｌから分岐された光軸Ｌ１上には、光軸Ｌ１を光軸Ｌ２に偏向するための偏向用ミラー６Ｃが備えられており、光軸Ｌ２上には撮影手段としてのＣＣＤカメラ１１が備えられている。
そして、ＣＣＤカメラ１１は表示器１２に電気的に接続されており、ＣＣＤカメラ１１によって取込まれた画像が表示器１２に表示されるようになっている。 Further, a deflection mirror 6C for deflecting the optical axis L1 to the optical axis L2 is provided on the optical axis L1 branched from the optical axis L by the half mirror 6B, and photographing means is provided on the optical axis L2. The CCD camera 11 is provided.
The CCD camera 11 is electrically connected to the display device 12, and an image captured by the CCD camera 11 is displayed on the display device 12.

そして、ハーフミラー６Ａによって光軸Ｌから分岐された光軸Ｌ３上には光軸Ｌ３の一部を分岐するハーフミラー１０が備えられており、ハーフミラー１０によって光軸Ｌ３から分岐された光軸Ｌ４の光軸上には光軸Ｌとワーク２との交点イを含む所定の領域に光を照射するための照明手段９Ｃが備えられており、ハーフミラー１０を透過した光軸Ｌ３上には前記修正用インクを硬化させるための紫外線を照射する紫外線照射器９Ｂが設けられている。
そして、紫外線照射器９Ｂには開閉用シャッター（図示せず）が内蔵されており、紫外線照射器９Ｂと照明手段９Ｃは制御装置１７に電気的に接続されている。 A half mirror 10 that branches a part of the optical axis L3 is provided on the optical axis L3 branched from the optical axis L by the half mirror 6A, and the optical axis branched from the optical axis L3 by the half mirror 10 On the optical axis of L4, there is provided illumination means 9C for irradiating a predetermined area including the intersection point a of the optical axis L and the workpiece 2 on the optical axis L3 transmitted through the half mirror 10. An ultraviolet irradiator 9B that irradiates ultraviolet rays for curing the correction ink is provided.
The ultraviolet irradiator 9B has a built-in shutter (not shown), and the ultraviolet irradiator 9B and the illumination means 9C are electrically connected to the control device 17.

また、交点イの近傍にはディスペンサーのノズル１３が接触角度θが鋭角となるように設けられ、ディスペンサーのノズル１３の移動手段（図示せず）によって、同ノズル１３がワーク２に対し図１の矢印β方向に沿って接近離間可能にされている。 Further, a nozzle 13 of the dispenser is provided in the vicinity of the intersection point a so that the contact angle θ is an acute angle, and the nozzle 13 is moved with respect to the workpiece 2 by the moving means (not shown) of the nozzle 13 of the dispenser. It can be approached and separated along the arrow β direction.

ディスペンサーのノズル１３には、予め修正用インク２２（例えば、揮発性溶媒を含まない顔料と分散剤と紫外線開始剤と紫外線硬化性樹脂とからなる液体）が充填されており、同ノズルの吐出口の反対側の端部は導管１４と開閉弁１５と圧力調節弁１８とを介して圧縮空気製造機１６に接続されており、前記ディスペンサーのノズル１３の移動手段と開閉弁１５および圧力調節弁１８と圧縮空気製造機１６とはそれぞれ制御装置１７に電気的に接続されている。   The nozzle 13 of the dispenser is preliminarily filled with a correction ink 22 (for example, a liquid containing a pigment not containing a volatile solvent, a dispersant, an ultraviolet initiator, and an ultraviolet curable resin). The other end is connected to the compressed air production machine 16 via a conduit 14, an on-off valve 15 and a pressure control valve 18, and the moving means of the nozzle 13 of the dispenser, the on-off valve 15 and the pressure control valve 18 are connected. And the compressed air production machine 16 are electrically connected to the control device 17, respectively.

制御装置１７には外部入力装置１９が電気的に接続されており、外部入力装置１９によって、上記ディスペンサーのノズル１３の移動手段の移動量、開閉弁１５の開閉時間及び開閉回数、圧力調節弁１８の設定圧力を自由に変更できるようになっている。   An external input device 19 is electrically connected to the control device 17. By the external input device 19, the moving amount of the moving means of the nozzle 13 of the dispenser, the opening / closing time and the number of opening / closing times of the opening / closing valve 15, the pressure adjusting valve 18. The set pressure can be changed freely.

次に、上記構成を備えた欠陥修正装置１の作用とともに、同欠陥修正装置１によって実施される本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法について、図１〜図７を参照して説明する。
ワーク２をテーブル３に載置し、移動手段４によって被修正面を対物レンズ５の光軸Ｌの直下にセットする（ステップ１）。その際、照明手段９Ｃを作動させ、レーザ照射器９Ａの開閉器及び紫外線照射器９Ｂの開閉用シャッターは閉じておく。 Next, the defect correction method of the color filter of the present invention implemented by the defect correction apparatus 1 will be described together with the operation of the defect correction apparatus 1 having the above configuration with reference to FIGS.
The workpiece 2 is placed on the table 3, and the surface to be corrected is set immediately below the optical axis L of the objective lens 5 by the moving means 4 (step 1). At that time, the illumination means 9C is activated, and the switch of the laser irradiator 9A and the shutter for opening / closing of the ultraviolet irradiator 9B are closed.

前記被修正面の画像は、撮影手段１１によって取込み表示器１２に表示される（ステップ２）。次に前記被修正面をレーザ照射器９Ａの開閉スイッチをＯＮにして、レーザ照射器９Ａからのレーザ光を可変スリット８により所定の形状にして（図５，図６参照）から、ＲＧＢの着色層２１における欠陥部分（２１ａ，２１ｂ）に照射することにより、同被修正面の欠陥部分（２１ａ，２１ｂ）のカラーフィルタ（ＲＧＢ等の膜）を除去し、除去部分の形状をトリミングする（ステップ３）。
なお、前記トリミングとは、前記欠陥部分が異物混入の場合、同異物を含む所定の範囲をレーザ光で除去して、所定形状の白抜き状態に変えることを意味し、また前記欠陥部分が既に白抜け欠陥である場合はその形状を所定の形状に成形することを意味している（図５，図６参照）。 The image of the modified surface that is displayed on the capture display 12 by the photographing unit 11 (Step 2). Next, the open / close switch of the laser irradiator 9A is turned ON on the surface to be corrected, and the laser light from the laser irradiator 9A is shaped into a predetermined shape by the variable slit 8 (see FIGS. 5 and 6), and then the RGB coloration is performed. By irradiating the defective portions (21a, 21b) in the layer 21, the color filters (films of RGB, etc.) of the defective portions (21a, 21b) on the surface to be corrected are removed, and the shape of the removed portions is trimmed (step) 3).
The trimming means that, when the defective portion is contaminated with foreign matter, a predetermined range including the foreign matter is removed with a laser beam to change to a white shape with a predetermined shape. When the defect is a white defect, it means that the shape is formed into a predetermined shape (see FIGS. 5 and 6).

その後、レーザ照射器９Ａの開閉スイッチをＯＦＦにして、ついで前記ディスペンサー移動手段を作動させてディスペンサーのノズル１３の先端を前記トリミングされた欠陥部分のガラス基板２０の上方に移動させた後、外部入力装置１９を用いて圧力調節弁１６をセットして、開閉弁１５の開閉を少なくとも１回行い、ディスペンサーノズル１３の先端に図３に示すごとく前記修正インクの液滴２４を形成させる（ステップ４）。 Thereafter, the open / close switch of the laser irradiator 9A is turned OFF, and then the dispenser moving means is operated to move the tip of the nozzle 13 of the dispenser above the glass substrate 20 of the trimmed defective portion, and then external input The pressure control valve 16 is set using the device 19 and the on-off valve 15 is opened and closed at least once to form the correction ink droplet 24 at the tip of the dispenser nozzle 13 as shown in FIG. 3 (step 4). .

ついで、ディスペンサーのノズル１３を同ディスペンサーのノズル１３の移動手段によって図１の矢印βの方向に沿い接触角度θが鋭角となるように移動させて、ノズル１３の先端を前記欠陥部のガラス基板２０に当接させ、さらに外部入力装置１９を用いて、開閉弁１５の開閉を前記欠陥部に前記修正用インクが所定の量供給されるまで繰り返す（ステップ５）。
液滴２４を介しディスペンサーノズル１３の先端を前記欠陥部に当接させた際に、同液滴２４が緩衝材および潤滑剤としての役目を果たすので（図４ａ，図４ｂ）、前記欠陥部のガラス基板２０に接触傷や擦り傷等を生じさせない効果がある。 Then, the nozzle 13 of the dispenser along have contact angle θ in the direction of arrow β in FIG. 1 moves to an acute angle by moving means of the nozzle 13 of the dispenser, the glass substrate the tip of the nozzle 13 of the defect 20 and the external input device 19 is used to repeat the opening and closing of the opening / closing valve 15 until a predetermined amount of the correction ink is supplied to the defective portion (step 5).
When the tip of the dispenser nozzle 13 is brought into contact with the defective portion via the droplet 24 , the droplet 24 serves as a buffer material and a lubricant (FIGS. 4a and 4b). The glass substrate 20 is effective in preventing contact scratches, scratches, and the like.

なお、前記所定の供給量とは、前記被修正面のトリミングされた部分が、図２における符号２３で示されるように前記修正用インクによって満たされ、且つディスペンサーノズル１３の先端部も、図２に符号２３で示されるように前記修正用インクによって覆われた状態となる量を言う。 The predetermined supply amount means that the trimmed portion of the surface to be corrected is filled with the correction ink as indicated by reference numeral 23 in FIG. 2 , and the tip of the dispenser nozzle 13 is also shown in FIG. the amount to be covered state by O urchin the corrective ink Ru indicated by reference numeral 23 say.

その後、ディスペンサーノズル１３を前記被修正面から所定の距離だけ離間させた後、紫外線照射器９Ｂの前記開閉用シャッターを開くことにより前記修正用インクが充填された前記被修正面に紫外線を照射して前記修正用インクを硬化させた後、紫外線照射器９Ｂの前記開閉用シャッターを閉じて、修正を完了する（ステップ６）。
なお、前記所定の距離とは、ディスペンサーのノズル１３の先端が前記紫外線によって照射されない位置までの距離をいう。 Then, after separating the dispenser nozzle 13 from the target balancing plane by a predetermined distance, ultraviolet rays are irradiated to the object to be modified surface on which the modified ink has been filled by opening the opening and closing shutter of the ultraviolet irradiator 9B After the correction ink is cured, the open / close shutter of the ultraviolet irradiator 9B is closed to complete the correction (step 6).
The predetermined distance refers to a distance to a position where the tip of the nozzle 13 of the dispenser is not irradiated with the ultraviolet rays.

また、被修正面が複数存在するワークを修正する場合は、ステップ６で離間させたディスペンサーノズル１３の先端には前記ステップ５において前記修正用インクが同ディスペンサーノズル１３の先端に這い上がった液滴２４が維持されているため、前記ステップ４における液滴２４の形成のための開閉弁１５の開閉は省略でき、その結果、修正作業に掛かる時間を短縮することができる。 When a workpiece having a plurality of surfaces to be corrected is to be corrected, a droplet in which the correction ink crawls up to the tip of the dispenser nozzle 13 in step 5 at the tip of the dispenser nozzle 13 separated in step 6. 24 is maintained, the opening / closing of the opening / closing valve 15 for forming the droplet 24 in the step 4 can be omitted, and as a result, the time required for the correction work can be shortened.

図１に示す本発明を実施するための形態では、紫外線照射器９Ｂを、ハーフミラー１０を透過した光軸Ｌ３上に設けているが、紫外線照射器９Ｂを設ける位置はこれに限らず、前記修正インクを紫外線で硬化できる位置であればよい。
また、照明手段９Ｃの位置は、図１に示される位置に限定されず、前記交点イを含めた近傍に光を照射できる位置であれば良い。 In the form for carrying out the present invention shown in FIG. 1, the ultraviolet irradiator 9B is provided on the optical axis L3 transmitted through the half mirror 10, but the position where the ultraviolet irradiator 9B is provided is not limited to this. Any position may be used as long as the correction ink can be cured with ultraviolet rays.
Further, the position of the illumination means 9C is not limited to the position shown in FIG. 1, and may be any position that can irradiate light in the vicinity including the intersection a.

本発明に係る欠陥修正法方を実施するための一実施の形態の概念を示すブロ ック図である。It is a block diagram which shows the concept of one Embodiment for enforcing the defect correction method which concerns on this invention. 修正用インクの供給量とディスペンサーノズルの位置とを示す側面図である。It is a side view which shows the supply amount of correction ink, and the position of a dispenser nozzle. ディスペンサーノズル先端に形成される修正用インクの液滴を示す側面図である。It is a side view which shows the droplet of the ink for correction formed in the tip of a dispenser nozzle. 液滴の緩衝材としての機能を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the function as a buffer material of a droplet. 液滴の潤滑剤としての機能を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the function as a lubricant of a droplet. 欠陥が異物である場合のトリミングの一例を示すもので、（ａ）図は異物欠 陥の存在を示す説明図、（ｂ）図は異物部分のトリミング後の状態を示す説明図である。An example of trimming when the defect is a foreign object is shown. (A) is an explanatory view showing the presence of a foreign object defect, and (b) is an explanatory view showing a state after trimming of the foreign object portion. 欠陥が白抜けである場合のトリミングの一例を示すもので、（ａ）図は白抜 け欠陥の存在を示す説明図、（ｂ）図は白抜け部分のトリミング後の状態を示す説明図である。An example of trimming when a defect is a white spot is shown. (A) is an explanatory diagram showing the existence of a white spot defect, and (b) is an explanatory diagram showing a state after trimming of a white spot portion. is there. 本発明の欠陥修正方法の工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process of the defect correction method of this invention.

１ 欠陥修正装置
２ ワーク（カラーフィルタ）
３ テーブル
４ テーブル移動手段
５ 対物レンズ
６Ａ ハーフミラー
６Ｂ ハーフミラー
６Ｃ 偏向用ミラー
７ 結像レンズ
８ 可変スリット
９Ａ レーザ照射器
９Ｂ 紫外線照射器
９Ｃ 照明手段
１０ ハーフミラー
１１ ＣＣＤカメラ
１２ 表示器
１３ ディスペンサーのノズル
１４ 導管
１５ 開閉弁
１６ 圧縮空気製造機
１７ 制御装置
１８ 圧力調節弁
１９ 外部入力装置
２０ カラーフィルタのガラス基板
２１ ＲＧＢの着色層
２１ａ，２１ｂ 欠陥部分
２２ 紫外線硬化性のカラーフィルタ着色用インク
２３ カラーフィルタのガラス基板に供給する修正用インクの量
２４ 液滴
Ｌ 光軸
Ｌ１ 光軸Ｌから分岐された光軸
Ｌ２ 光軸Ｌ１から分岐された光軸
Ｌ３ 光軸Ｌ２から分岐された光軸
β ディスペンサーのノズルの移動方向
θ ディスペンサーのノズルとカラーフィルタの接触角度 1 Defect correction device 2 Workpiece (color filter)
3 Table 4 Table moving means 5 Objective lens 6A Half mirror 6B Half mirror 6C Deflection mirror 7 Imaging lens 8 Variable slit 9A Laser irradiator 9B Ultraviolet irradiator 9C Illuminating means 10 Half mirror 11 CCD camera 12 Display 13 Dispenser nozzle 14 conduit 15 on-off valve 16 the compressed air producing unit 17 control unit 18 pressure regulating valve 19 external input device 20 a color filter glass substrate 21 RGB colored layers 21a, 21b defect 2 2 ultraviolet curable color filter colored inks 23 Amount of correction ink supplied to glass substrate of color filter 24 Droplet L Optical axis L1 Optical axis L2 branched from optical axis L Optical axis L3 branched from optical axis L1 Optical axis β branched from optical axis L2 Direction of movement of dispenser nozzle θ Dispenser nozzle and collar Contact angle of the filter

Claims (1)

紫外線硬化性のカラーフィルタ修正用インクを内蔵するディスペンサーのノズルの先端部外周に、予め前記インクの液滴を形成した後、
前記ノズルの先端部をカラーフィルタの欠陥としての被修正面に対し接触角度が鋭角となるようにして前記インクの液滴を介し当接させるとともに、
前記ノズルから前記インクを少なくとも同ノズルの先端部が同インクによって覆われるように前記被修正面に供給し、ついで前記ディスペンサーのノズルを前記被修正面から離間させた後、同被修正面に紫外線を照射して前記インクを硬化させることにより、前記被修正面を修正することを特徴とする、カラーフィルタの欠陥修正方法。 After forming the ink droplets in advance on the outer periphery of the tip of the nozzle of the dispenser containing the ultraviolet curable color filter correcting ink,
Rutotomoni contact angle as an acute angle to the abutment via the droplets of the ink to be modified surface of the tip portion of the nozzle as defective color filter,
After-edge portion of at least the nozzles of the ink from the nozzle the supply to be modified surface to be covered by the same ink, which was then separated nozzle of the dispenser from the object modified surface, in the target balancing plane the Rukoto ultraviolet is irradiated with curing the ink, characterized in that said modifying the target balancing plane, defect correction method of the color filter.
JP2004335056A 2004-11-18 2004-11-18 Color filter defect correction method Active JP4634121B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004335056A JP4634121B2 (en) 2004-11-18 2004-11-18 Color filter defect correction method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004335056A JP4634121B2 (en) 2004-11-18 2004-11-18 Color filter defect correction method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006145786A JP2006145786A (en) 2006-06-08
JP4634121B2 true JP4634121B2 (en) 2011-02-16

Family

ID=36625576

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004335056A Active JP4634121B2 (en) 2004-11-18 2004-11-18 Color filter defect correction method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4634121B2 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4910482B2 (en) 2006-05-25 2012-04-04 トヨタ自動車株式会社 Variable valve operating device, control method thereof, and vehicle equipped with the same
JP2008003285A (en) * 2006-06-22 2008-01-10 Toppan Printing Co Ltd Defect correction method for color filter
JP2008076725A (en) * 2006-09-21 2008-04-03 Toppan Printing Co Ltd Method of restoring ink delivery print
TW200925704A (en) * 2007-12-10 2009-06-16 Contrel Technology Co Ltd Pixel-repairing device and applications thereof

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006007295A (en) * 2004-06-28 2006-01-12 Ntn Corp Fine pattern correction device and method for correcting defect of fine pattern
JP2006068627A (en) * 2004-09-01 2006-03-16 V Technology Co Ltd Dispenser and flaw correction method

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6254774A (en) * 1985-09-04 1987-03-10 Toyo Ink Mfg Co Ltd Ink composition for color filter
JPH06109914A (en) * 1992-09-30 1994-04-22 Toppan Printing Co Ltd Method and device to retouch defect in filter pattern
JPH0954206A (en) * 1995-06-27 1997-02-25 Aitesu:Kk Device and method for recovering color filter
JP4675611B2 (en) * 2004-11-15 2011-04-27 株式会社ブイ・テクノロジー Liquid material supply device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006007295A (en) * 2004-06-28 2006-01-12 Ntn Corp Fine pattern correction device and method for correcting defect of fine pattern
JP2006068627A (en) * 2004-09-01 2006-03-16 V Technology Co Ltd Dispenser and flaw correction method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006145786A (en) 2006-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4410042B2 (en) Fine pattern correction device
WO2015081756A1 (en) Photo-curing 3d printing device and imaging system thereof
JP2001066418A (en) Method for correction of defect in color filter
JP2018041774A (en) Imprint device and article manufacturing method
JP4634121B2 (en) Color filter defect correction method
JP4924192B2 (en) Defect correcting method for color filter substrate with transparent conductive film and color filter substrate with transparent conductive film
JP4464747B2 (en) Color filter defect correction method
JP4667886B2 (en) Color filter correction method
JP5531229B2 (en) Color filter correction method
JPH06109919A (en) Defect correcting method and defect correcting device for color filter for lcd
CN105313481A (en) Transparent material laser-inducing wet process colorful marking device and method
JP2006350121A (en) Method and device for correcting defect in color filter
US20160370614A1 (en) Laser processing apparatus, methods of laser-processing workpieces and related arrangements
KR100814276B1 (en) Device and method for correcting faults of panel
JP5212681B2 (en) Defect correction method for color filter forming substrate
JP4872673B2 (en) Defect correction method for color filter forming substrate and color filter forming substrate
JP2010019880A (en) Method and apparatus for correcting defect of color filter
KR100751709B1 (en) Apparatus and method for repairing color filter of liquid crystal display
JP2008003287A (en) Method and device for correcting pattern
KR102173976B1 (en) Method and apparatus for repairing light leakage defects
JP2009258229A (en) Defect correction device, defect correction method, and pattern substrate manufacturing method
JPH09230128A (en) Correcting method of defect in color filter and defect correcting device
JP4788501B2 (en) Color filter defect correction method
JP5017610B2 (en) Liquid material supply device
JP2008233624A (en) Repair method of ink jet head and repair apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071101

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100513

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100518

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100714

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101116

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101118

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4634121

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131126

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250