JP2006197477A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基部と、前記基部に接続された第１、第２の振動腕と、前記基部に接続され前記第１、第２の振動腕を挟む第１、第２の固定部と、を有する音叉型圧電振動片と、
   前記音叉型圧電振動片を収容する内部空間を囲う第１の基板と、
   前記第１の基板が積層され、かつ、前記内部空間に面する領域に、第１、第２のマウント電極が形成された第２の基板と、
   前記第２の基板が積層された第３の基板と、
   を有する音叉型圧電振動子であって、
   前記第１のマウント電極には、前記第１の固定部が接続され、
   前記第２のマウント電極には、前記第２の固定部が接続され、
   前記第２の基板は、第１の封止孔を有し、かつ、前記第１、第２の振動腕の自由端に対向する領域に第１の貫通孔を有し、
   前記第３の基板は、前記第１の封止孔と重なる第２の封止孔を有し、
   前記第１、第２の封止孔は、前記内部空間と外部とを連通し、
   前記第２の封止孔の一部が前記第２の基板で塞がれる段部が形成され、
   前記第２の封止孔は、封止材で封止されていることを特徴とする音叉型圧電振動子。
2. 前記第２の基板は、前記音叉型圧電振動片の前記自由端と反対側の端と対向する領域に第２の貫通孔を有することを特徴とする請求項１に記載の音叉型圧電振動子。
3. 前記第２の基板は、第１、第２のビアホールと、前記第１、第２のビアホール内にそれぞれ形成された、第１、第２の導電部とを有し、
   前記第３の基板には、前記第１、第２の導電部と、実装端子とを接続する導電パターンが形成され、
   前記第１、第２のマウント電極は、前記第１、第２の導電部および前記導電パターンを介して実装端子部に接続されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の音叉型圧電振動子。
4. 前記第１、第２の固定部は、それぞれ、導電性接着剤を介して前記第１、第２のマウント電極に電気的機械的に接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載の音叉型圧電振動子。
5. 前記第１の基板に積層され、前記内部空間を封止する蓋体を有し、
   前記内部空間のガスは排出されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載の音叉型圧電振動子。
6. 前記蓋体は、ガラスから形成され、低融点ガラスを介して前記第１の基板の開口端面と接合されていることを特徴とする請求項５に記載の音叉型圧電振動子。
7. 基部と、前記基部に接続された第１、第２の振動腕と、前記基部に接続され前記第１、第２の振動腕を挟む第１、第２の固定部と、を有する音叉型圧電振動片と、前記音叉型圧電振動片を収容する内部空間を囲う第１の基板と、前記第１の基板が積層され、かつ、前記内部空間に面する領域に、第１、第２のマウント電極が形成された第２の基板と、前記第２の基板が積層された第３の基板と、を有する音叉型圧電振動子であって、前記第１のマウント電極には、前記第１の固定部が接続され、前記第２のマウント電極には、前記第２の固定部が接続され、前記第２の基板は、第１の封止孔を有し、かつ、前記第１、第２の振動腕の自由端に対向する領域に第１の貫通孔を有し、前記第３の基板は、前記第１の封止孔と重なる第２の封止孔を有し、前記第１、第２の封止孔は、前記内部空間と外部とを連通し、前記第２の封止孔の一部が前記第２の基板で塞がれる段部が形成され、前記第２の封止孔は、封止材で封止されている音叉型圧電振動子の製造方法であって、
   前記第１〜第３の基板を積層する工程と、
   前記第１の基板の開口端面に蓋体を接合する工程と、
   前記第１、第２の封止孔から前記内部空間のガスを排出する工程と、
   封止材を前記第２の封止孔に載置し、前記封止材を溶融して、前記第２の封止孔を封止する工程と、を有することを特徴とする音叉型圧電振動子の製造方法。
8. レーザ光を、前記蓋体を透過させて前記音叉型圧電振動片に照射し、質量削減方式で、前記音叉型圧電振動片の周波数を調整する工程を有し、
   前記第１の基板の開口端面に蓋体を接合する工程は、前記開口端面に低融点ガラスを介して、ガラスからなる蓋体を接合する工程であることを特徴とする請求項７に記載の音叉型圧電振動子の製造方法。