JP2006171516A - ポリマ光導波路及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 耐ヒートショック性、温度特性に優れたポリマ光導波路を提供する。
【解決手段】
基板2と、
基板2上に形成される緩衝層3と、
緩衝層3上に形成されるポリマ導波路本体4と
からなり、
緩衝層3は、基板2とポリマ導波路本体4の熱膨張差を吸収する材料で形成されるものである。
【選択図】 図1
【解決手段】
基板2と、
基板2上に形成される緩衝層3と、
緩衝層3上に形成されるポリマ導波路本体4と
からなり、
緩衝層3は、基板2とポリマ導波路本体4の熱膨張差を吸収する材料で形成されるものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、緩衝層付きポリマ光導波路及びその製造方法に関する。
近年、ガラスを用いたガラス光導波路に比べ、加工容易性、作製コスト低減などの点で優れているポリマを用いたポリマ光導波路が研究・開発されている。
基板上に形成される導波路本体の材料としては、アクリル(特許文献1参照)、エポキシ(特許文献2参照)、ポリイミド(特許文献3参照)など種々のものが提案されているが、これらの材料は、高温・高湿度状態では吸湿に伴う屈折率や損失の変化など耐熱性や耐湿性に劣ることが懸念される。
また、使用温度範囲内において、導波路本体にガラス転移温度が存在すると、ガラス転移温度以上の温度では、屈折率がさらに大きく変化するようになるなど、ポリマ光導波路の光学特性に悪影響を及ぼす懸念がある。そのため、導波路本体の材料としては、一般にガラス転移温度の高い材料が使用される。
一方、ガラス光導波路において、温度変化時にガラス光導波路に蓄積する熱応力を緩和して温度無依存化するため、基板と導波路本体の中間の線膨張係数を有する応力緩衝用のクラッド層を備えたものがある(特許文献4参照)。
なお、基板の裏面に金属からなる応力発生膜を形成し、その応力発生膜で予め基板を反らせておき、その後基板の表面に導波路本体を形成することで、内部応力の残留しないポリマ光導波路を製造する方法もある(特許文献5参照)。
しかしながら、ガラス転移温度の高い材料を用いたポリマ光導波路は、基板上に導波路本体を直接形成するので、ヒートショック試験(例えば、−40〜85℃の温度範囲内で周囲温度を繰り返し上昇・下降させる試験)を行うと、基板から導波路本体が剥離したり、導波路本体に亀裂が生じたりするという問題がある。
また、このようなポリマ光導波路を用いて作製した光合波器では、周囲温度の変化により、出力光量が変化してしまう。
一方、特許文献4のクラッド層は、基板と導波路本体との線膨張係数差が小さい場合には有効である。しかし、ポリマ光導波路の場合、導波路本体の線膨張係数が、一般的なSiウエハや石英ガラス基板に比べて非常に大きいため、基板と導波路本体との線膨張係数差が大きい。
したがって、特許文献4のクラッド層は、ポリマ光導波路にそのまま用いても、十分な緩衝効果を得ることができず、十分な緩衝効果を得ようとすると、厚さが非常に厚くなってしまう。さらに、特許文献4のクラッド層はガラスなので、樹脂に比べて加工が難しく、作製コストも高い。
そこで、本発明の目的は、耐ヒートショック性、温度特性に優れたポリマ光導波路及びその製造方法を安価に提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項1の発明は、
基板と、
基板上に形成される緩衝層と、
緩衝層上に形成されるポリマ導波路本体と
からなり、
上記緩衝層は、上記基板と上記ポリマ導波路本体の熱膨張差を吸収する材料で形成されるポリマ光導波路である。
基板と、
基板上に形成される緩衝層と、
緩衝層上に形成されるポリマ導波路本体と
からなり、
上記緩衝層は、上記基板と上記ポリマ導波路本体の熱膨張差を吸収する材料で形成されるポリマ光導波路である。
請求項2の発明は、上記基板はSiあるいは石英ガラスからなり、上記ポリマ導波路本体は上記基板と線膨張係数が異なるポリマで形成される請求項1記載のポリマ光導波路である。
請求項3の発明は、上記ポリマ導波路本体は、紫外線硬化性アクリル系、フッ素化アクリル系、エポキシ系、感光性ポリイミド系のポリマで形成される請求項2記載のポリマ光導波路である。
請求項4の発明は、上記緩衝層は、10〜60℃の温度範囲内においてガラス転移温度を有し、かつゴム状態の弾性率が5×107 Pa以下である請求項1記載のポリマ光導波路である。
請求項5の発明は、上記緩衝層は、架橋構造を有する樹脂やゴムで形成される請求項4記載のポリマ光導波路である。
請求項6の発明は、上記緩衝層は、紫外線硬化性アクリル系、アクリル系、エポキシ系、ウレタン系、フッ素系の樹脂やシリコーンゴム、あるいはこれら樹脂を組み合わせた樹脂で形成される請求項5記載のポリマ光導波路である。
請求項7の発明は、上記緩衝層の厚さは、10〜100μmである請求項4記載のポリマ光導波路である。
請求項8の発明は、
基板を用意する第1工程と、
基板上に緩衝層を形成する第2工程と、
緩衝層上にポリマ導波路本体を形成する第3工程と
からなり、
第2工程で形成する緩衝層は、上記基板と上記ポリマ導波路本体の熱膨張差を吸収する材料を用いて形成されるポリマ光導波路の製造方法である。
基板を用意する第1工程と、
基板上に緩衝層を形成する第2工程と、
緩衝層上にポリマ導波路本体を形成する第3工程と
からなり、
第2工程で形成する緩衝層は、上記基板と上記ポリマ導波路本体の熱膨張差を吸収する材料を用いて形成されるポリマ光導波路の製造方法である。
請求項9の発明は、第1工程で用意する基板は、Siあるいは石英ガラスからなるものを用い、第3工程で形成するポリマ導波路本体は、上記基板と線膨張係数が異なるポリマを用いて形成される請求項8記載のポリマ光導波路の製造方法である。
請求項10の発明は、第2工程は、基板上に液状で未硬化の樹脂を塗布し、その樹脂を硬化して上記緩衝層を形成する工程を含む請求項8記載のポリマ光導波路の製造方法である。
請求項11の発明は、第1工程は、基板上に上記緩衝層を形成する前に、基板上にシランカップリング剤を塗布する工程を含む請求項8記載のポリマ光導波路の製造方法である。
本発明によれば、耐ヒートショック性、温度特性に優れたポリマ光導波路を安価に提供できるという優れた効果を発揮する。
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面にしたがって説明する。
図1は、本発明の好適な実施の形態を示すポリマ光導波路の断面図である。
図1に示すように、本実施の形態に係るポリマ光導波路1は、基板2と、基板2上に形成される緩衝層3と、緩衝層3上に形成されるポリマ導波路本体4とからなる緩衝層付きポリマ光導波路である。
基板2としては、例えば、Siや石英ガラスなどの無機材料からなるものを用いる。本実施の形態では、基板2として、厚さが400μmのSiウエハ(Si基板)を用いた。
ポリマ導波路本体4は、基板2と線膨張係数が異なるポリマで形成される。このポリマ導波路本体4は、アンダークラッド(下部クラッド)層5と、そのアンダークラッド層5上に形成されるコア6と、アンダークラッド層5の上部とコア6とを覆うオーバークラッド(上部クラッド)層7とで構成される。
本実施の形態では、ポリマとして、UV(紫外線)硬化性アクリル系(架橋タイプ)で、ガラス転移温度Tgが120℃の架橋構造を有するポリマを用いた。架橋構造を有するポリマを用いたのは、耐溶剤性や耐熱性が高いからである。コア6の屈折率は、アンダークラッド層5やオーバークラッド層7の屈折率よりも高くする。
本実施の形態では、アンダークラッド層5の厚さを20μm、横断面が矩形状のコア6の径を60μm(コア幅w:60μm、コア高さh6:60μm)、コア6の表面からオーバークラッド層7の表面までの厚さh7を20μmとした。なお、導波路のサイズに特に制限はなく、自由に設計可能である。
ポリマとしては、例えば、フッ素化アクリル系、エポキシ系、感光性ポリイミド系などのポリマを用いてもよい。
さて、緩衝層(膜)3は、基板2とポリマ導波路本体4の熱膨張差により発生する応力を吸収する材料で形成される。言い換えれば緩衝層3は、基板2とポリマ導波路本体4の線膨張係数が互いに異なることから、温度変化時の基板2とポリマ導波路本体4間に発生する熱応力を緩和(低減)するものである。
緩衝層3としては、弾性率の小さな材料が適当である。さらに、緩衝層3としては、ポリマ光導波路1の使用温度範囲、あるいはヒートショック試験の温度範囲である−50〜100℃において、基板2とポリマ導波路本体4間の熱膨張差を吸収する効果を発揮する材料が適当である。
より詳細には、緩衝層3は、10〜60℃の温度範囲内においてガラス転移温度Tgを有し、かつゴム状態の弾性率Eが5×107 Pa以下であるとよい。
ゴム状態とは、分子が動きやすく、引っ張ったり押したりすると分子が流れて伸び縮みできる軟らかい固体状態をいう。これに対し、ガラス状態とは、分子がランダムで結晶化しておらず(非晶質)、押しても分子があまり流れない硬い固体状態をいう。ゴム状態とガラス状態との境界点の温度がガラス転移温度Tgである。
緩衝層3のガラス転移温度Tgと弾性率Eを上述したように限定したのは、以下の理由による。
緩衝層3における温度T(℃)と弾性率E(Pa)の関係の一例を図2に示す。図2では弾性率Eを対数目盛で示している。図2に示すように、ゴム状態ではガラス状態と比較して弾性率Eがオーダー単位で小さく(急激に小さく)なり、緩衝層が軟らかくなるので、緩衝層としての効果が大きい。このため、ポリマ光導波路の使用温度範囲内にガラス転移温度Tgを有することで、緩衝層としての効果が期待できるが、ポリマ光導波路の使用温度の上限となる60℃以下にガラス転移温度Tgを有していないと、その効果が小さい。
一方、緩衝層としてのゴム状態の範囲が広い方が熱応力の発生は小さくなると考えられるが、ガラス転移温度Tgが10℃未満であると、軟らかすぎてダイシングが困難であるという問題が生じる。
さらに、ゴム状態の弾性率Eが5×107 Paを超えると、ゴム状態での弾性率Eの減少が十分でなくなり、緩衝層が硬くなるので、緩衝層としての効果が小さくなる。
また、緩衝層3は、高温時に流動を起こさないためにも、架橋型の材料、例えば、架橋構造を有する樹脂で形成される。
緩衝層3の厚さは、10〜100μmであるとよい。これは、10μm未満であると緩衝層としての効果が発揮されず、100μmを超えると、後述するスピンコート法を用いて均一な層が形成できないからである。本実施の形態では、緩衝層3の厚さを15μmとした。
本実施の形態では、緩衝層3として、UV硬化性アクリル系(架橋タイプ)で、ガラス転移温度Tgが30℃の架橋構造を有する樹脂で形成されるものを用いた。UV硬化性の樹脂を用いたのは、固まりが早く、しかも緩衝層3の形成が容易だからである。
緩衝層3としては、アクリル系、エポキシ系、ウレタン系、フッ素系などの架橋構造を有する樹脂やシリコーンゴム、あるいはこれら樹脂を組み合わせた(アクリル系+フッ素系、エポキシ系+フッ素系)樹脂で形成されるものを用いてもよい。
ポリマ導波路本体4の剥がれに対しては、緩衝層3の接着性も重要であり、緩衝層3としては、基板2およびポリマ導波路本体4との接着性に優れる材料を選択する必要がある。材料の組み合わせの一例として、フッ素系のポリマを用いてポリマ導波路本体4を作製する場合には、接着性を考慮して、フッ素系の樹脂を用いて緩衝層3を形成する。
また、緩衝層3としては、インタミキシング(互いに混ざること)の問題があるので、緩衝層3の作製後に塗布するクラッド材(硬化後にアンダークラッド層5となる)等に溶解したり、染みこんだりしない材料を用いることが望ましい。
次に、ポリマ光導波路1の製造方法を説明する。
まず、基板2を用意し(図3(a):第1工程)、この基板2上に緩衝層3を形成する(図3(b):第2工程)。ここで、基板2上に緩衝層3を形成する方法の一例を図4(a)〜図4(c)を用いて説明する。
まず、基板2上に緩衝層3を形成する前に、基板2上にシランカップリング剤cを塗布し、基板2の表面処理を行う(図4(a))。基板2を用意する第1工程は、この図4(a)の工程を含む。
表面処理した基板2上に、スピンコート法により、液状で未硬化の架橋構造を有する樹脂rを塗布し、塗布した樹脂rを硬化させる(図4(b))。
本実施の形態では、UV硬化性の樹脂rを用いたので、液状の樹脂rを塗布した後、上方から樹脂rに紫外線Lを照射し、塗布した樹脂rを硬化して緩衝層3を形成する(図4(c))。基板2上に緩衝層3を形成する第2工程は、これら図4(b)、図4(c)の工程を含む。
樹脂rは、モノマあるいはオリゴマを含んだ状態で基板2上に塗布されるので、未反応基が残っており、硬化(ポリマー化、あるいは樹脂化)する際、シランカップリング剤cとくっつきやすい。これにより、樹脂rとシランカップリング剤cが化学的に結合しやすいので、基板2と樹脂rの接着性が向上し、基板2から緩衝層3が剥がれにくくなる。
基板2と樹脂rの接着性がよい場合には、図4(a)のシランカップリング剤cを塗布する工程を省略してもよい。
次に、図3に戻り、直接露光法を用いて図1に示したコア6を形成する。緩衝層3を形成した後、その緩衝層3上にアンダークラッド層5を形成し(図3(c))、そのアンダークラッド層5上にコア材料26を塗布する(図3(d))。
コア材料26を塗布した後、コア材料26の上方に、コア6と同じ形状のパターンが形成されたマスク21を配置し、そのマスク21の上方からコア材料26に紫外線Lを照射する(図3(e))。その後、紫外線Lが照射されなかったコア材料26を、コア現像液でエッチングして除去する。紫外線Lが照射されたコア材料26は硬化するため、コア現像液でエッチングされずにコア6となる。本実施の形態では、コア現像液としてアセトンを用いた。
コア現像液としては、例えば、酢酸ブチル、酢酸エチル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコール、トルエン、キシレンなどを用いてもよい。
コア6を形成した後、アンダークラッド層5の上部とコア6とを覆うようにオーバークラッド層7を形成してポリマ導波路本体4を形成する。緩衝層3上にポリマ導波路本体4を形成する第3工程は、これら図3(c)〜図3(f)の工程である。さらに、ダイシング等を行って所定形状に加工すると、図1に示した緩衝層付きポリマ光導波路1が得られる(図3(f))。
作製したポリマ光導波路1について、−40〜85℃の温度範囲で周囲温度を1000サイクル繰り返し上昇・下降させるヒートショック(ヒートサイクル)試験を行った。その結果、ポリマ導波路本体4の剥離はなく、ポリマ光導波路1の損失増加もなかった。
本実施の形態の作用を説明する。
ポリマ光導波路1は、ポリマ導波路本体4の線膨張係数が基板2に比べて非常に大きい。通常、無機材料からなる基板2の線膨張係数は20ppm/℃(×10-6/℃)以下、例えば、一般的なガラス基板では10ppm/℃、石英ガラス基板では0.5ppm/℃、Si基板では3ppm/℃である。また、有機材料からなるポリマ導波路本体4の線膨張係数は一般的には50〜200ppm/℃である。
このため、周囲温度が高くなると、ポリマ導波路本体4は大きく伸びようとし、基板2はあまり伸びようとしないので、基板2とポリマ導波路本体4間に熱膨張差が生じる。周囲温度が低くなると、ポリマ導波路本体4は大きく縮もうとし、基板2はあまり縮もうとしないので、同様に基板2とポリマ導波路本体4間に熱膨張差(この場合は熱収縮差ともいう)が生じる。
ポリマ光導波路1は、予め基板2とポリマ導波路本体4間に、軟らかい緩衝層3を設けたので、基板2とポリマ導波路本体4との線膨張係数差が大きくても、緩衝層3によって両者の熱膨張差により発生する応力を吸収して小さくできる。すなわち、温度変化時の基板2とポリマ導波路本体4間に発生する熱応力を緩和でき、基板2とポリマ導波路本体4間に熱応力が加わりにくい。
したがって、ポリマ光導波路1は、ヒートショック試験を行っても、基板2からポリマ導波路本体4が剥離したり、ポリマ導波路本体4に亀裂を生じたりせず、耐ヒートショック性に優れている。
さらに、ポリマ光導波路1は、周囲温度が変化しても、ポリマ導波路本体4に歪が蓄積しにくいので、損失が増加するなどの光学特性の変化を小さくでき、温度特性に優れている。
また、本実施の形態に係る製造方法によれば、基板2上に液状で未硬化の樹脂rを塗布し、その樹脂rを硬化することで、緩衝層3を短時間で容易に形成できる。緩衝層3を形成するために用いる材料は樹脂rなので、取り扱いが容易であり、ガラスに比べて加工が容易で作製コストも安い。したがって、緩衝層付きポリマ光導波路1を安価に製造できる。
上記実施の形態では、直接露光法を用いてコア6を形成する例で説明したが、金型、あるいはRIE(反応性イオンエッチング)を用いてコア6を形成してもよい。
金型を用いる場合は、図3(a)〜図3(c)の工程後、図5(a)に示すように、アンダークラッド層5上に、コア6と同じ形状のパターンの注入溝52を有する紫外線に対して透明な金型51を配置し、注入溝52にコア材料26を注入する。その後、図5(b)に示すように、金型51の上方からコア材料26に紫外線Lを照射し、注入したコア材料26を硬化させてコア6を形成する。基板2、緩衝層3、アンダークラッド層5が紫外線に対して透明な場合には、基板2の底面側からコア材料26に紫外線を照射してもよい。
また、図1のポリマ光導波路1の変形例として、基板上に、緩衝層、コア、オーバークラッド層を順次形成したポリマ光導波路でもよい。つまり、緩衝層にアンダークラッド層の機能を追加することで、アンダークラッド層を省略してもよい。この場合、緩衝層としては、コアを伝送する光に対して透明な樹脂で形成されるものを用いる。
次に、ポリマ光導波路1を用いた光デバイスの一例を説明する。
図6に示すように、光合波器61は、図1のポリマ光導波路1を用いて作製したものであり、4つの入力導波路62、3つのY結合部63、1つの出力導波路64で図1のコア6を構成した4入力1出力型のポリマ光導波路である。各入力導波路62には、互いに異なる波長帯域の光信号を出力するLD(半導体レーザ)65がそれぞれ光結合される。出力導波路64には、光ファイバ66が接続される。
この光合波器61では、各LD65から各入力導波路62に入力された4つの光信号は、3つのY結合部63で合波され、4つの光信号が波長分割多重された1つの光信号として出力導波路64から出力され、光ファイバ66に伝送される。
上述したように、従来のポリマ光導波路を用いて作製した光合波器は、基板上に導波路本体を直接形成しており、基板と導波路本体の線膨張係数が異なるため、周囲温度の変化により、導波路本体に歪が蓄積し、それに伴い出力光量が変化するという問題が生じる。また、同様の理由で、PDL(偏波依存損失)が増加するなどの光学特性にも影響を及ぼす。
これに対し、光合波器61は、図1の緩衝層3により、温度変化時に発生する熱応力を緩和できるので、周囲温度の変化に伴う出力光量の変化を小さくすることができ、PDLが増加するなどの光学特性の変化も小さくできる。
ポリマ光導波路1は、上述した光合波器に限らず、例えば、VOA(光可変減衰器)、光カプラ、CWDM(粗波長多重分割)方式のAWG(アレイ導波路回折格子)などの光デバイスとしても使用される。ポリマ光導波路1はシングルモードでも、マルチモードでもよい。
1 ポリマ光導波路
2 基板
3 緩衝層
4 ポリマ導波路本体
5 アンダークラッド層
6 コア
7 オーバークラッド層
2 基板
3 緩衝層
4 ポリマ導波路本体
5 アンダークラッド層
6 コア
7 オーバークラッド層
Claims (11)
- 基板と、
基板上に形成される緩衝層と、
緩衝層上に形成されるポリマ導波路本体と
からなり、
上記緩衝層は、上記基板と上記ポリマ導波路本体の熱膨張差を吸収する材料で形成されることを特徴とするポリマ光導波路。 - 上記基板はSiあるいは石英ガラスからなり、上記ポリマ導波路本体は上記基板と線膨張係数が異なるポリマで形成される請求項1記載のポリマ光導波路。
- 上記ポリマ導波路本体は、紫外線硬化性アクリル系、フッ素化アクリル系、エポキシ系、感光性ポリイミド系のポリマで形成される請求項2記載のポリマ光導波路。
- 上記緩衝層は、10〜60℃の温度範囲内においてガラス転移温度を有し、かつゴム状態の弾性率が5×107 Pa以下である請求項1記載のポリマ光導波路。
- 上記緩衝層は、架橋構造を有する樹脂やゴムで形成される請求項4記載のポリマ光導波路。
- 上記緩衝層は、紫外線硬化性アクリル系、アクリル系、エポキシ系、ウレタン系、フッ素系の樹脂やシリコーンゴム、あるいはこれら樹脂を組み合わせた樹脂で形成される請求項5記載のポリマ光導波路。
- 上記緩衝層の厚さは、10〜100μmである請求項4記載のポリマ光導波路。
- 基板を用意する第1工程と、
基板上に緩衝層を形成する第2工程と、
緩衝層上にポリマ導波路本体を形成する第3工程と
からなり、
第2工程で形成する緩衝層は、上記基板と上記ポリマ導波路本体の熱膨張差を吸収する材料を用いて形成されることを特徴とするポリマ光導波路の製造方法。 - 第1工程で用意する基板は、Siあるいは石英ガラスからなるものを用い、第3工程で形成するポリマ導波路本体は、上記基板と線膨張係数が異なるポリマを用いて形成される請求項8記載のポリマ光導波路の製造方法。
- 第2工程は、基板上に液状で未硬化の樹脂を塗布し、その樹脂を硬化して上記緩衝層を形成する工程を含む請求項8記載のポリマ光導波路の製造方法。
- 第1工程は、基板上に上記緩衝層を形成する前に、基板上にシランカップリング剤を塗布する工程を含む請求項8記載のポリマ光導波路の製造方法。
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