JP2006156456A - フィルム剥離方法およびフィルム剥離装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウェーハ(20)の外周部の少なくとも一部分を含む第一部分(121)とウェーハから第一部分を除いた第二部分(122)とに貼付けられたフィルム(3)を剥離するフィルム剥離方法において、ウェーハの第一および第二部分に貼付けられたフィルム上に剥離テープ(103)を繰出し、ウェーハの第一部分のフィルムが第二部分のフィルムよりも下方になるように第一部分および/または第二部分を相対的に移動させて、フィルムをウェーハの第一部分から離脱させ、剥離テープを介して剥離手段(146)を第一部分から離脱したフィルムに押付け、剥離手段をウェーハの表面に沿って移動させることによりフィルムをウェーハの第二部分から剥離するようにしたフィルム剥離方法およびこの方法を実施するフィルム剥離装置が提供される。
【選択図】 図8
Description
すなわち3番目の発明においては、ウェーハの表面に切断予定線から外れた割れ等が生じること無しに、およびウェーハの表面を溶融させること無しに、ウェーハに溝を形成することができる。
すなわち4番目の発明においては、第一部分を相対的に下方に移動させることによってウェーハ周りのダイシングテープも表面保護テープから離間する方向に移動する。従って、4番目の発明においては、剥離テープがダイシングテープに接着することを避けることが可能となる。また、通常はダイシングテープとウェーハとの間の接着力がウェーハとフィルムとの間の接着力よりも大きいので、第一部分を相対的に下方に移動させることによってフィルムをウェーハの第一部分から容易に剥離できる。
すなわち7番目の発明においては、ウェーハの表面に切断予定線から外れた割れ等が生じること無しに、およびウェーハの表面を溶融させること無しに、ウェーハに溝を形成することができる。
すなわち8番目の発明においては、第一部分を相対的に下方に移動させることによってウェーハ周りのダイシングテープも表面保護テープから離間する方向に移動する。従って、8番目の発明においては、剥離テープがダイシングテープに接着することを避けることが可能となる。また、通常はダイシングテープとウェーハとの間の接着力がウェーハとフィルムとの間の接着力よりも大きいので、第一部分を相対的に下方に移動させることによってフィルムをウェーハの第一部分から容易に剥離できる。
さらに、3番目および6番目の発明によれば、ウェーハの表面に切断予定線から外れた割れ等が生じること、およびウェーハの表面が溶融するのを避けられるという効果を奏しうる。
さらに、4番目および8番目の発明によれば、剥離テープがダイシングテープに接着することを避けられるという効果を奏しうる。
図1は本発明に基づくウェーハ処理装置を示す略図である。さらに、図2は、ウェーハを示す図である。図2に示されるように、ウェーハ20の表面21には、前工程において複数の回路パターンCが格子状に形成されている。図2から分かるように、全ての回路パターンCはウェーハ20の平坦部27上に形成されており、平坦部27周りに位置するウェーハ20の外周部は面取部28として形成されている。なお、ウェーハ20の裏面22には、このような回路パターンCは形成されていない。図1に示されるウェーハ処理装置100には、このようなウェーハ20が供給されるものとする。
15 ダイシングフレーム
20 ウェーハ
21 表面
22 裏面
25 溝
27 平坦部
28 面取部
31 ダイシングテープ
61、62 保持テーブル
66 傾斜面
81 研削部
100 ウェーハ処理装置
103 剥離テープ
121 第一部分
122 第二部分
142 テープ繰出手段
146 剥離ローラ
150 先ダイシングユニット
200 貼付ユニット
300 反転ユニット
350 裏面研削ユニット
400 UV照射ユニット
500 剥離ユニット
C 回路パターン
Claims (8)
- ウェーハの外周部の少なくとも一部分を含む第一部分と前記ウェーハから前記第一部分を除いた第二部分とに貼付けられたフィルムを剥離するフィルム剥離方法において、
前記ウェーハの前記第一および第二部分に貼付けられた前記フィルム上に剥離テープを繰出し、
前記ウェーハの前記第一部分のフィルムが前記第二部分のフィルムよりも下方になるように前記第一部分および/または前記第二部分を相対的に移動させて、前記フィルムを前記ウェーハの前記第一部分から離脱させ、
前記剥離テープを介して剥離手段を前記第一部分から離脱した前記フィルムに押付け、
前記剥離手段を前記ウェーハの表面に沿って移動させることにより前記フィルムを前記ウェーハの前記第二部分から剥離するようにしたフィルム剥離方法。 - ウェーハの一面において前記ウェーハの外周部よりも内側に溝を形成し、
該溝が形成された前記ウェーハの前記一面にフィルムを貼付け、
少なくとも前記溝の底部に到達するまで、前記ウェーハの前記一面とは反対側の面を研削し、それにより、前記ウェーハは前記外周部の少なくとも一部分を含む第一部分と前記ウェーハから前記第一部分を除いた第二部分とにウェーハを分割するようにし、
さらに、
前記ウェーハの前記第一および第二部分に貼付けられた前記フィルム上に剥離テープを繰出し、
前記ウェーハの前記第一部分のフィルムが前記第二部分のフィルムよりも下方に位置するように前記第一部分および/または前記第二部分を相対的に移動させて、前記フィルムを前記ウェーハの前記第一部分から離脱させ、
前記剥離テープを介して剥離手段を前記第一部分から離脱した前記フィルムに押付け、
前記剥離手段を前記ウェーハの表面に沿って移動させることにより前記フィルムを前記ウェーハの前記第二部分から剥離するようにしたフィルム剥離方法。 - レーザによって改質領域を前記ウェーハ内部に形成することにより、前記溝が形成される請求項2に記載のフィルム剥離方法。
- 前記ウェーハは、前記フィルムが貼付けられた面とは反対側の面においてがダイシングテープに貼付けられていて、該ダイシングテープがフレームに固定されている請求項1から3のいずれか一項に記載のフィルム剥離方法。
- ウェーハの外周部の少なくとも一部分を含む第一部分と前記ウェーハから前記第一部分を除いた第二部分とに貼付けられたフィルムを剥離するフィルム剥離装置において、
前記ウェーハの前記第一および第二部分に貼付けられた前記フィルム上に剥離テープを繰出すテープ繰出手段と、
前記ウェーハの前記第一部分のフィルムが前記第二部分のフィルムよりも下方に位置するように前記第一部分および/または前記第二部分を相対的に移動させて、前記フィルムを前記ウェーハの前記第一部分から離脱させる移動手段と、
前記テープ繰出手段から繰出された前記剥離テープを前記第一部分から離脱した前記フィルムに押付けて前記ウェーハの表面に沿って移動することにより前記フィルムを前記ウェーハの第一および第二部分から剥離する剥離手段とを具備する剥離装置。 - ウェーハの一面において前記ウェーハの外周部よりも内側に溝を形成する溝形成手段と、
該溝が形成された前記ウェーハの前記一面にフィルムを貼付けるフィルム貼付手段と、
少なくとも前記溝の底部に到達するまで、前記ウェーハの前記一面とは反対側の面を研削する研削手段とを具備し、それにより、前記ウェーハは前記外周部を含む第一部分と該第一部分よりも内方に位置する第二部分とにウェーハを分割するようになり、
さらに、
前記ウェーハの前記第一および第二部分に貼付けられた前記フィルム上に剥離テープを繰出すテープ繰出手段と、
前記ウェーハの前記第一部分のフィルムが前記第二部分のフィルムよりも上方に位置するように前記第一部分および/または前記第二部分を相対的に移動させて、前記フィルムを前記ウェーハの前記第一部分から離脱させる移動手段と、
前記テープ繰出手段から繰出された前記剥離テープを前記第一部分から離脱した前記フィルムに押付けて前記ウェーハの表面に沿って移動することにより前記フィルムを前記ウェーハの前記第二部分から剥離する剥離手段とを具備する剥離装置。 - レーザによって改質領域を前記ウェーハ内部に形成することにより、前記溝が形成される請求項6に記載のフィルム剥離装置。
- 前記ウェーハは、前記フィルムが貼付けられた面とは反対側の面においてがダイシングテープに貼付けられていて、該ダイシングテープがフレームに固定されている請求項5から7のいずれか一項に記載のフィルム剥離装置。
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