JP2006143496A - カーボンナノチューブの作製方法およびカーボンナノチューブの作製装置 - Google Patents
カーボンナノチューブの作製方法およびカーボンナノチューブの作製装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 陰極402の陽極側の表面に、基板404を配置する基板配置工程を行った後、ガス供給部406からメタンガスと水素ガスから成る混合ガスを所定量チャンバー401内に供給すると共に、ヒーター407を用いて基板404の温度を所定の温度に調整する。その後、カーボンナノチューブ形成工程で、電源409によって、陰極402と陽極403との間に強い電場を発生させて、絶縁破壊を生じさせることでプラズマを発生させるプラズマ放電を行って、陰極402の上に配置された基板404上に、電場の向きに沿った指向性のカーボンナノチューブを作製する。
【選択図】 図1
Description
第2の電極に対向する第1の電極における上記第2の電極に面する表面に基板を配置する基板配置工程と、
上記第1の電極と第2の電極との間に電場を生成した上で、上記基板上にカーボンナノチューブを形成するカーボンナノチューブ形成工程と
を備えることを特徴とする。
チャンバーと、
上記チャンバー内に水素ガスとメタンガスからなる混合ガスを供給する混合ガス供給手段と、
上記チャンバー内のガスを排気するガス排気手段と、
上記チャンバー内に配置されると共に、基板が配置されている陰極と、
上記陰極における基板が配置される側と反端側に配置されて上記陰極を加熱するヒーターと、
上記陰極を上記チャンバーの壁面から絶縁する絶縁部材と、
上記チャンバー内の上記陰極に対向して、表面が上記陰極の上記表面と略平行になっている状態で設置されると共に、複数の貫通孔を有する陽極と
を備え、
上記陰極と上記陽極との間に電場を生成した上で、上記混合ガス供給手段から上記混合ガスを上記チャンバー内に供給することによって、上記陰極の上記表面上に配置された基板上に、上記電場の向きと略同じ向きを有するカーボンナノチューブを形成することを特徴とする。
32,104,107,205,209,213,217 カーボンナノチューブ
33 絶縁体または不活性金属
51,53,101,201,206,210,215,403 陽極
52,54,102,202,207,211,214,402 陰極
61,64,71,105 基板ホルダー
62,65,72,74 絶縁体
63,78 プラズマ
73,103,106,203,208,212,216,404 基板
75 触媒金属膜
204 突起
401 チャンバー
405 ライン
406 絶縁部材
407 ヒーター
408 ガス供給部
409 電源
410 排気部
Claims (7)
- 第2の電極に対向する第1の電極における上記第2の電極に面する表面に基板を配置する基板配置工程と、
上記第1の電極と第2の電極との間に電場を生成した上で、上記基板上にカーボンナノチューブを形成するカーボンナノチューブ形成工程と
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブの作製方法。 - 請求項1に記載のカーボンナノチューブの作製方法において、
上記基板は、鉄族金属、鉄族金属のうちの1種類以上の金属を含有する合金、上記鉄族金属または上記合金を酸化させた金属酸化物で作成された基板、あるいは、上記鉄族金属、上記合金および上記金属酸化物のいずれとも異なる金属または非金属上に形成された上記鉄族金属、上記合金および上記金属酸化物のうちの少なくとも一つからなってパターニングされた触媒金属膜であることを特徴とするカーボンナノチューブの作製方法。 - チャンバーと、
上記チャンバー内に水素ガスとメタンガスからなる混合ガスを供給する混合ガス供給手段と、
上記チャンバー内のガスを排気するガス排気手段と、
上記チャンバー内に配置されると共に、基板が配置されている陰極と、
上記陰極における基板が配置される側と反端側に配置されて上記陰極を加熱するヒーターと、
上記陰極を上記チャンバーの壁面から絶縁する絶縁部材と、
上記チャンバー内の上記陰極に対向して、表面が上記陰極の上記表面と略平行になっている状態で設置されると共に、複数の貫通孔を有する陽極と
を備え、
上記陰極と上記陽極との間に電場を生成した上で、上記混合ガス供給手段から上記混合ガスを上記チャンバー内に供給することによって、上記陰極の上記表面上に配置された基板上に、上記電場の向きと略同じ向きを有するカーボンナノチューブを形成することを特徴とするカーボンナノチューブの作製装置。 - 請求項3に記載のカーボンナノチューブの作製装置において、
上記陽極の上記陰極側の表面の面積は、上記陰極の上記表面の面積よりも広いことを特徴とするカーボンナノチューブの作製装置。 - 請求項3に記載のカーボンナノチューブの作製装置において、
上記陰極は、その陰極の上記表面以外の全ての表面が上記絶縁部材で覆われていることを特徴とするカーボンナノチューブの作製装置。 - 請求項3に記載のカーボンナノチューブの作製装置において、
上記陰極の上記表面における導電部分の面積は、上記表面における基板が配置される部分の面積よりも広いことを特徴とするカーボンナノチューブの作製装置。 - 請求項3に記載のカーボンナノチューブの作製装置において、
上記チャンバー内の圧力を調整する圧力調整手段、上記混合ガス供給手段から流入する混合ガスの流量を調整するガス流量調整手段、上記陰極と上記陽極との間に印加される印加電圧を調整する印加電圧調整手段、および、基板の温度を調整する基板温度調整手段のうちの少なくとも一つを備えることを特徴とするカーボンナノチューブの作製装置。
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