JP2005272284A - カーボンナノチューブの作製方法、及びカーボンナノチューブの作製用基板 - Google Patents
カーボンナノチューブの作製方法、及びカーボンナノチューブの作製用基板 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基材S11上において、チタン膜S12及び触媒金属膜S13が順次に形成された基板Sを準備する。次いで、所定の成膜容器11内に設けられたカソード電極12に基板Sを配置する。次いで、カソード電極12の上方にグリッド電極17を配置する。次いで、成膜容器11内に原料ガスを流すとともに、前記原料ガスをプラズマ化し、基板S上にカーボンナノチューブを形成する。
【選択図】図2
Description
に関する。
所定の基材上において、チタン膜及び触媒金属膜が順次に形成された基板を準備する工程と、
前記基板を、成膜容器内に設けられたカソード電極に配置する工程と、
前記成膜容器内に原料ガスを流すとともに、前記原料ガスをプラズマ化し、前記基板上にカーボンナノチューブを形成する工程と、
を具えることを特徴とする、カーボンナノチューブの作製方法に関する。
所定の基材と、
前記基材上に順次に形成されたチタン膜及び触媒金属膜と、
を具えることを特徴とする、カーボンナノチューブ作製用基板に関する。
11 成膜容器
12 カソード電極
13 アノード電極
14 マイクロ波生成装置
15 電源
17 グリッド電極
S 基板
Claims (17)
- 所定の基材上において、チタン膜及び触媒金属膜が順次に形成された基板を準備する工程と、
前記基板を、成膜容器内に設けられたカソード電極に配置する工程と、
前記成膜容器内に原料ガスを流すとともに、前記原料ガスをプラズマ化し、前記基板上にカーボンナノチューブを形成する工程と、
を具えることを特徴とする、カーボンナノチューブの作製方法。 - 前記チタン膜の厚さが0.1nm〜20nmであることを特徴とする、請求項1に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記触媒金属膜は、Fe、Co及びNiの少なくとも一種を含むことを特徴とする、請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記触媒金属膜は、Fe膜であることを特徴とする、請求項3に記載のカーボンナノチューブの作製方法
- 前記触媒金属膜の厚さが0.1nm〜20nmであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記成膜容器内の圧力が500Pa〜5000Paであることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記原料ガスはマイクロ波を用いてプラズマ化することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記原料ガスは高周波を用いてプラズマ化することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記カソード電極と対向させてアノード電極を設ける工程を具えることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記カソード電極と前記アノード電極との間に、グリッド電極を設ける工程を具えることを特徴とする、請求項9に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記グリッド電極に対してバイアス電圧を印加する工程を具えることを特徴とする、請求項10に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記グリッド電極を電気的に浮いた状態にすることを特徴とする、請求項10に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記基板を400℃以上に加熱する工程を具えることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 所定の基材と、
前記基材上に順次に形成されたチタン膜及び触媒金属膜と、
を具えることを特徴とする、カーボンナノチューブ作製用基板。 - 前記チタン膜の厚さが0.1nm〜20nmであることを特徴とする、請求項14に記載のカーボンナノチューブの作製用基板。
- 前記触媒金属膜は、Fe、Co及びNiの少なくとも一種を含むことを特徴とする、請求項14又は15に記載のカーボンナノチューブの作製用基板。
- 前記触媒金属膜は、Fe膜であることを特徴とする、請求項16に記載のカーボンナノチューブの作製用基板
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004092471A JP3837451B2 (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | カーボンナノチューブの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004092471A JP3837451B2 (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | カーボンナノチューブの作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005272284A true JP2005272284A (ja) | 2005-10-06 |
JP3837451B2 JP3837451B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=35172336
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004092471A Expired - Lifetime JP3837451B2 (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | カーボンナノチューブの作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3837451B2 (ja) |
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JP3837451B2 (ja) | 2006-10-25 |
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