JP2006102737A5 - - Google Patents

Description

酸化物微粒子，窒化物微粒子，炭化物微粒子等の微粒子は、半導体基板，プリント基板，各種電気絶縁部品などの電気絶縁材料や、ダイス，軸受などの高硬度高精度の機械工作材料や、粒界コンデンサ，湿度センサなどの機能性材料、精密焼結成形材料などの焼結体の製造や、エンジンバルブなどのような高温耐摩耗性が要求される材料などの溶射部品製造、さらには燃料電池の電極や電解質材料および各種触媒などの分野で用いられている。このような微粒子を用いることにより、焼結体や溶射部品などにおける異種セラミックス同士や異種金属同士の接合強度や緻密性、あるいは機能性を向上させている。 Fine particles such as oxide fine particles, nitride fine particles, and carbide fine particles are used for electrical insulating materials such as semiconductor substrates, printed circuit boards, and various electric insulating parts, high-hardness and high-precision machine tool materials such as dies and bearings, and grain boundary capacitors. , Production of sintered materials such as functional materials such as humidity sensors, precision sintered molding materials, thermal spray parts such as materials that require high-temperature wear resistance such as engine valves, and fuel cell electrodes And electrolyte materials and various catalysts. By using such fine particles, the bonding strength, denseness, or functionality of dissimilar ceramics or dissimilar metals in a sintered body or a sprayed part is improved.

第一の実施形態に係る微粒子の製造方法により、酸化アルミニウム（Ａl_２Ｏ_３）の微粒子を製造した。まず、粉末原材料，分散剤（ソルビタン脂肪酸エステル），分散媒としてのアルコールとを混合し、それらと直径０．５ｍｍのジルコニアビーズをビーズミル（寿工業株式会社製）に投入し、この混合溶液を粉砕処理した。このとき、粉末原材料として、酸化アルミニウムを用い、質量比が粉末原材料：分散剤：アルコール＝６５：１：３４となるように混合したものを用いた。 Fine particles of aluminum oxide (Al ₂ O ₃ ) were produced by the method for producing fine particles according to the first embodiment. First, powder raw materials, a dispersant (sorbitan fatty acid ester) and alcohol as a dispersion medium are mixed, and these and zirconia beads having a diameter of 0.5 mm are put into a bead mill (manufactured by Kotobuki Industries Co., Ltd.), and this mixed solution is pulverized. Processed. At this time, as a powder raw material, using an acid of aluminum, the mass ratio of powder Ingredients: Dispersant: alcohol = 65: 1: was used 34 as a mixture so.

本実施例では、第三の実施形態に係る微粒子の製造方法により、硝酸アルミニウム（Ａl（ＮＯ_３）_３の微粒子を製造した。まず、金属塩である硝酸アルミニウムを水に溶解させ、２０ｗｔ％の硝酸アルミニウム水溶液を調製した。
また、可燃性材料としては、実施例１で用いたと同じケロシン（和光純薬工業株式会社製、ケロシン（Ｓp．Ｇr．０.７８〜０.７９））を用いた。ケロシンの添加量は、粉末原材料を含む水溶液の総質量に対するケロシン量［ｗｔ％］で１５［ｗｔ％］とした。 In this example, fine particles of aluminum nitrate (Al (NO ₃ ) ₃ were produced by the fine particle production method according to the third embodiment. First, aluminum nitrate, which is a metal salt, was dissolved in water, and 20 wt% An aqueous aluminum nitrate solution was prepared .
As the combustible material, the same kerosene used in Example 1 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., kerosene (Sp. Gr. 0.78 to 0.79)) was used. The amount of kerosene added was 15 [wt%] in the amount of kerosene [wt%] based on the total mass of the aqueous solution containing the powder raw material.