JP2006066904A5 - - Google Patents
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Claims (11)
- 第１のレーザ発振器と、第２のレーザ発振器と、前記第１のレーザ発振器より出射された第１のレーザビームの端部を遮断するためのスリットと、集光レンズとを有し、
前記第１のレーザビームが照射面に照射される範囲を覆って前記第２のレーザ発振器より出射される第２のレーザビームを照射する手段と、
前記第１のレーザビームおよび前記第２のレーザビームに対して、前記照射面を相対的に第１の方向に移動する手段と、
前記第１のレーザビームおよび前記第２のレーザビームに対して、前記照射面を相対的に第２の方向に移動する手段とを有し、
前記第２のレーザビームは基本波であり、前記第１のレーザビームは前記第２のレーザビームの高調波であることを特徴とするレーザ照射装置。 - 第１のレーザ発振器と、第２のレーザ発振器と、回折光学素子と、前記第１のレーザ発振器より出射された第１のレーザビームの端部を遮断するためのスリットと、集光レンズとを有し、
前記第１のレーザビームが回折光学素子を通った後に照射面に照射される範囲を覆って、前記第２のレーザ発振器より出射される第２のレーザビームを照射する手段と、
前記第１のレーザビームおよび前記第２のレーザビームに対して、前記照射面を相対的に第１の方向に移動する手段と、
前記第１のレーザビームおよび前記第２のレーザビームに対して、前記照射面を相対的に第２の方向に移動する手段とを有し、
前記第２のレーザビームは基本波であり、前記第１のレーザビームは前記第２のレーザビームの高調波であることを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項１または２において、
前記第１のレーザ発振器と前記第２のレーザ発振器は、単結晶のＹＡＧ、ＹＶＯ４、ＹＬＦ、ＹＡｌＯ３、ＧｄＶＯ４、アレキサンドライト、Ｔｉ：サファイア、または多結晶のＹＡＧ、Ｙ２Ｏ３、ＹＶＯ４、ＹＡｌＯ３、ＧｄＶＯ４に、ドーパントとしてＮｄ、Ｙｂ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｔａのうち１種または複数種添加されているものを媒質とする連続発振の固体レーザ、ＧａＮレーザ、ＧａＡｓレーザ、ＩｎＡｓレーザのいずれかであることを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項１または２において、
前記第１のレーザ発振器と前記第２のレーザ発振器は、単結晶のＹＡＧ、ＹＶＯ４、ＹＬＦ、ＹＡｌＯ３、ＧｄＶＯ４、または多結晶のＹＡＧ、Ｙ２Ｏ３、ＹＶＯ４、ＹＡｌＯ３、ＧｄＶＯ４に、ドーパントとしてＮｄ、Ｙｂ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｔａのうち１種または複数種添加されているものを媒質とする発振周波数が１０ＭＨｚ以上のパルスレーザであることを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記集光レンズは、シリンドリカルレンズまたは球面レンズであることを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記第１の方向と前記第２の方向は互いに直交していることを特徴とするレーザ照射装置。 - 第１のレーザ発振器より第１のレーザ光を発振し、
前記第１のレーザ光をスリットを通して第２のレーザ光とし、
前記第２のレーザ光を集光レンズを用いて第３のレーザ光とし、
前記第３のレーザ光を照射面に照射し、
第２のレーザ発振器より発振した第４のレーザ光を前記照射面において前記第３のレーザ光を覆うように重ねて照射し、
前記第３のレーザと前記第４のレーザを前記照射面に対して相対的に走査し、
前記第４のレーザ光は基本波であり、前記第３のレーザ光は前記第４のレーザ光の高調波であることを特徴とするレーザ照射方法。 - 第１のレーザ発振器より第１のレーザ光を発振し、
前記第１のレーザ光を回折光学素子を通して第２のレーザ光とし、
前記第２のレーザ光をスリットを通して第３のレーザ光とし、
前記第３のレーザ光を集光レンズを用いて第４のレーザ光とし、
前記第４のレーザ光を照射面に照射し、
第２のレーザ発振器より発振した第５のレーザ光を前記照射面において前記第４のレーザ光を覆うように重ねて照射し、
前記第４のレーザと前記第５のレーザを前記照射面に対して相対的に走査し、
前記第５のレーザ光は基本波であり、前記第４のレーザ光は前記第５のレーザ光の高調波であることを特徴とするレーザ照射方法。 - 請求項７または８において、
前記第１のレーザ発振器と前記第２のレーザ発振器は、単結晶のＹＡＧ、ＹＶＯ４、ＹＬＦ、ＹＡｌＯ３、ＧｄＶＯ４、アレキサンドライト、Ｔｉ：サファイア、または多結晶のＹＡＧ、Ｙ２Ｏ３、ＹＶＯ４、ＹＡｌＯ３、ＧｄＶＯ４に、ドーパントとしてＮｄ、Ｙｂ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｔａのうち１種または複数種添加されているものを媒質とする連続発振の固体レーザ、ＧａＮレーザ、ＧａＡｓレーザ、ＩｎＡｓレーザのいずれかを用いることを特徴とするレーザ照射方法。 - 請求項７または８において、
前記第１のレーザ発振器と前記第２のレーザ発振器は、単結晶のＹＡＧ、ＹＶＯ４、ＹＬＦ、ＹＡｌＯ３、ＧｄＶＯ４、または多結晶のＹＡＧ、Ｙ２Ｏ３、ＹＶＯ４、ＹＡｌＯ３、ＧｄＶＯ４に、ドーパントとしてＮｄ、Ｙｂ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｔａのうち１種または複数種添加されているものを媒質とする発振周波数が１０ＭＨｚ以上のパルスレーザを用いることを特徴とするレーザ照射方法。 - 請求項７乃至１０のいずれか一項において、
前記集光レンズは、シリンドリカルレンズまたは球面レンズを用いることを特徴とするレーザ照射方法。
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