JP2006059941A - 半導体チップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体ウエーハ2の裏面側から分割予定ラインに沿って照射し変質層210を形成する変質層形成工程と、半導体ウエーハ2の裏面に紫外線を照射することにより硬化する接着フィルム6を貼着する接着フィルム貼着工程と、半導体ウエーハ2の接着フィルム6側を環状のフレーム7に装着されたダイシングテープ70に貼着するウエーハ支持工程と、接着フィルム70に紫外線84を照射して硬化せしめる接着フィルム硬化工程と、ダイシングテープ70を拡張することにより半導体ウエーハ2および接着フィルム6を分割予定ラインに沿って破断するテープ拡張工程を含む。
【選択図】 図12
Description
また、ウエーハが貼着されているダイシングテープを拡張することにより、ウエーハおよび該ウエーハに貼着された接着フィルムを分割予定ラインに沿って破断する方法を用いた場合、接着フィルムは通常の状態では粘りがあり、張力が作用すると伸びてしまって確実に破断することが困難であるという問題がある。
該半導体ウエーハに対して透過性を有するレーザー光線を該半導体ウエーハの裏面側から該分割予定ラインに沿って照射し、該ウエーハの内部に該分割予定ラインに沿って変質層を形成する変質層形成工程と、
該変質層形成工程が実施された該半導体ウエーハの裏面に紫外線を照射することにより硬化する接着フィルムを貼着する接着フィルム貼着工程と、
該接着フィルム貼着工程が実施された該半導体ウエーハの該接着フィルム側を、環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施され該ダイシングテープに該半導体ウエーハの該接着フィルム側が貼着された状態で、該ダイシングテープ側から紫外線を照射して該接着フィルムを硬化せしめる接着フィルム硬化工程と、
該接着フィルム硬化工程が実施された後に、該ダイシングテープを拡張することにより該半導体ウエーハおよび該接着フィルムを該分割予定ラインに沿って破断するテープ拡張工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体チップの製造方法が提供される。
該半導体ウエーハに対して透過性を有するレーザー光線を該半導体ウエーハの裏面側から該分割予定ラインに沿って照射し、該ウエーハの内部に該分割予定ラインに沿って変質層を形成する変質層形成工程と、
該変質層形成工程が実施された該半導体ウエーハの裏面に紫外線を照射することにより硬化する接着フィルムを貼着する接着フィルム貼着工程と、
該半導体ウエーハの裏面に貼着された接着フィルムに紫外線を照射して該接着フィルムを硬化せしめる接着フィルム硬化工程と、
該接着フィルム硬化工程が実施された後に、該半導体ウエーハの該接着フィルム側を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施された後に、該ダイシングテープを拡張することにより該半導体ウエーハおよび該接着フィルムを該分割予定ラインに沿って破断するテープ拡張工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体チップの製造方法が提供される。
該半導体ウエーハに対して透過性を有するレーザー光線を該半導体ウエーハの裏面側から該分割予定ラインに沿って照射し、該ウエーハの内部に該分割予定ラインに沿って変質層を形成する変質層形成工程と、
該変質層形成工程が実施された該半導体ウエーハの裏面を、環状のフレームに装着されたダイシングテープに配設され紫外線を照射することにより硬化する接着フィルムに貼着するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施され該ダイシングテープに配設された該接着フィルムに該半導体ウエーハが貼着された状態で、該ダイシングテープ側から紫外線を照射して該接着フィルムを硬化せしめる接着フィルム硬化工程と、
該接着フィルム硬化工程が実施された後に、該ダイシングテープを拡張することにより該半導体ウエーハおよび該接着フィルムを該分割予定ラインに沿って破断するテープ拡張工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体チップの製造方法が提供される。
この変質層形成行程は、先ず上述した図4に示すレーザー加工装置5のチャックテーブル51上に裏面2bが研磨加工された半導体ウエーハ2の保護部材3側を載置し(従って、半導体ウエーハ2は研磨加工された裏面2bが上側となる)、図示しない吸引手段によってチャックテーブル51上に半導体ウエーハ2を吸着保持する。半導体ウエーハ2を吸引保持したチャックテーブル51は、図示しない移動機構によって撮像手段53の直下に位置付けられる。
光源 :LD励起QスイッチNd:YVO4スレーザー
波長 :1064nmのパルスレーザー
パルス出力 :10μJ
集光スポット径 :φ1μm
集光点のピークパワー密度:3.2×1010W/cm2
繰り返し周波数 :100kHz
加工送り速度 :100mm/秒
第2の実施形態は上述した第1の実施形態におけるウエーハ支持工程と接着フィルム硬化工程の順序を逆にしたものである。
即ち、半導体チップの製造方法の第2の実施形態は、上述した第1の実施形態における保護部材貼着工程、裏面研磨工程、変質層形成工程、接着フィルム貼着工程を実施することにより、上記図9に示すように分割予定ライン21に沿って変質層210が形成された半導体ウエーハ2の裏面2bに紫外線を照射することにより硬化する接着フィルム6を貼着したならば、接着フィルム6に紫外線を照射して接着フィルム6を硬化せしめる接着フィルム硬化工程を実施する。この接着フィルム硬化工程は、図15に示す紫外線照射器9を用いて実施する。図15に示す紫外線照射器9は、上壁911に開口912を備えたハウジング91と、該ハウジング91内に配設された紫外線照射ランプ92とを具備している。このように構成された紫外線照射器9の上壁911上に導体ウエーハ2の接着フィルム6側を載置する。そして、紫外線照射ランプ92を点灯して接着フィルム6に紫外線を照射する。この結果、接着フィルム6は硬化せしめられる。このようにして、接着フィルム硬化工程を実施したならば、上述した第1の実施形態におけるウエーハ支持工程、テープ拡張工程を実施する。
第3の実施形態は上記変質層形成工程が実施された半導体ウエーハを支持する環状のフレームに装着されたダイシングテープに接着フィルムが貼着されている、所謂接着フィルム付ダイシングテープを用いた例である。即ち、図16の(a)に示すように環状のフレーム7に装着されたダイシングテープ70の表面には、接着フィルム60が貼着されている。この接着フィルム60も上記接着フィルム6と同様に、紫外線を照射することにより硬化するアクリル系樹脂によって形成されている。
20:半導体チップ
21:分割予定ライン
22:回路
210:変質層
3:保護部材
4:研磨装置
41:研磨装置のチャックテーブル
43:研磨工具
5:レーザー加工装置
51:レーザー加工装置のチャックテーブル
51:レーザー光線照射手段
53:撮像手段
6:接着フィルム
60:接着フィルム
7:環状のフレーム
70:ダイシングテープ
8:テープ拡張装置
81:フレーム保持手段
811:フレーム保持部材
812:クランプ機構
82:張力付与手段
821:拡張ドラム
83:支持手段
831:エアシリンダ
84:紫外線照射ランプ
9:紫外線照射器
Claims (3)
- 表面に複数の分割予定ラインが格子状に形成されているとともに該複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを、該分割予定ラインに沿って個々の半導体チップに分割する半導体チップの製造方法であって、
該半導体ウエーハに対して透過性を有するレーザー光線を該半導体ウエーハの裏面側から該分割予定ラインに沿って照射し、該ウエーハの内部に該分割予定ラインに沿って変質層を形成する変質層形成工程と、
該変質層形成工程が実施された該半導体ウエーハの裏面に紫外線を照射することにより硬化する接着フィルムを貼着する接着フィルム貼着工程と、
該接着フィルム貼着工程が実施された該半導体ウエーハの該接着フィルム側を、環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施され該ダイシングテープに該半導体ウエーハの該接着フィルム側が貼着された状態で、該ダイシングテープ側から紫外線を照射して該接着フィルムを硬化せしめる接着フィルム硬化工程と、
該接着フィルム硬化工程が実施された後に、該ダイシングテープを拡張することにより該半導体ウエーハおよび該接着フィルムを該分割予定ラインに沿って破断するテープ拡張工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 表面に複数の分割予定ラインが格子状に形成されているとともに該複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを、該分割予定ラインに沿って個々の半導体チップに分割する半導体チップの製造方法であって、
該半導体ウエーハに対して透過性を有するレーザー光線を該半導体ウエーハの裏面側から該分割予定ラインに沿って照射し、該ウエーハの内部に該分割予定ラインに沿って変質層を形成する変質層形成工程と、
該変質層形成工程が実施された該半導体ウエーハの裏面に紫外線を照射することにより硬化する接着フィルムを貼着する接着フィルム貼着工程と、
該半導体ウエーハの裏面に貼着された接着フィルムに紫外線を照射して該接着フィルムを硬化せしめる接着フィルム硬化工程と、
該接着フィルム硬化工程が実施された後に、該半導体ウエーハの該接着フィルム側を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施された後に、該ダイシングテープを拡張することにより該半導体ウエーハおよび該接着フィルムを該分割予定ラインに沿って破断するテープ拡張工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 表面に複数の分割予定ラインが格子状に形成されているとともに該複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを、該分割予定ラインに沿って個々の半導体チップに分割する半導体チップの製造方法であって、
該半導体ウエーハに対して透過性を有するレーザー光線を該半導体ウエーハの裏面側から該分割予定ラインに沿って照射し、該ウエーハの内部に該分割予定ラインに沿って変質層を形成する変質層形成工程と、
該変質層形成工程が実施された該半導体ウエーハの裏面を、環状のフレームに装着されたダイシングテープに配設され紫外線を照射することにより硬化する接着フィルムに貼着するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施され該ダイシングテープに配設された該接着フィルムに該半導体ウエーハが貼着された状態で、該ダイシングテープ側から紫外線を照射して該接着フィルムを硬化せしめる接着フィルム硬化工程と、
該接着フィルム硬化工程が実施された後に、該ダイシングテープを拡張することにより該半導体ウエーハおよび該接着フィルムを該分割予定ラインに沿って破断するテープ拡張工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体チップの製造方法。
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