JP2006024831A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板上に設けられた下層配線3と、下層配線3を覆う第2層間絶縁膜5と、下層配線3に達する状態で第2層間絶縁膜5に設けられた接続孔5a内を導電性材料で埋め込んでなるビア7と、ビア7に接続された状態で第2層間絶縁膜5上にパターン形成された上層配線9とを備えた半導体装置において、接続孔5は、上層配線9の延設方向に長い開口形状を有しており、また上層配線9側から下層配線3側にかけて連続した傾斜角度θを有して開口径が狭くなるテーパ形状に整形されている。
【選択図】図1
Description
図1は、実施形態の半導体装置の構成を示す要部平面図であり、図2は図1におけるA−A’断面図である。これらの図に示す半導体装置は、配線を複数層に積層してなる多層配線構造を有するものであり、次のような構成となっている。
以上のような構成の半導体装置の製造方法を、図3の断面工程図に基づいて説明する。
Claims (8)
- 基板上に設けられた下層配線と、当該下層配線を覆う層間絶縁膜と、前記下層配線に達する状態で当該層間絶縁膜に設けられた接続孔内を導電性材料で埋め込んでなるビアと、当該ビアに接続された状態で前記層間絶縁膜上にパターン形成された上層配線とを備えた半導体装置において、
前記接続孔は、前記上層配線の延設方向に長い開口形状を有している
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記接続孔は、前記上層配線側から前記下層配線側にかけて連続した傾斜角度を有して開口径が狭くなるテーパ形状に整形されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項2記載の半導体装置において、
前記下層配線と前記上層配線とは、直交する状態で配置されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項2記載の半導体装置において、
前記上層配線のうち同一の上層配線に接続されている複数の接続孔の上層部分が、互いに連通している
ことを特徴とする半導体装置。 - 下層配線を覆う層間絶縁膜に当該下層配線に達する接続孔を形成した後、当該接続孔内を導電性材料膜で埋め込んで当該下層配線に達するビアを形成すると共に、当該ビアに接続された上層配線を前記層間絶縁膜上に形成する半導体装置の製造方法において、
前記接続孔を形成する際には、
リソグラフィ法によって、前記上層配線の延設方向に長い開口形状のレジストパターンを前記層間絶縁膜上に形成し、当該レジストパターンに基づいて前記層間絶縁膜をエッチングすることにより当該層間絶縁膜に前記上層配線に達する接続孔を形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項5記載の半導体装置の製造方法において、
前記層間絶縁膜のエッチングは、前記下層配線側にかけて連続した傾斜角度を有して開口径が狭くなるテーパ形状となるように行われる
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、
前記上層配線は、前記下層配線と直交するように形成される
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、
前記接続孔の開口形状の長手方向に隣接して配置される接続孔の上層部分が互いに連通するように形成される
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP2007214567A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体素子及びその製造方法 |
CN108975267A (zh) * | 2018-07-20 | 2018-12-11 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 3d管道形成方法 |
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2004
- 2004-07-09 JP JP2004203006A patent/JP2006024831A/ja active Pending
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