JP2005354050A - 光学位置評価装置および方法 - Google Patents
光学位置評価装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005354050A JP2005354050A JP2005153230A JP2005153230A JP2005354050A JP 2005354050 A JP2005354050 A JP 2005354050A JP 2005153230 A JP2005153230 A JP 2005153230A JP 2005153230 A JP2005153230 A JP 2005153230A JP 2005354050 A JP2005354050 A JP 2005354050A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- array
- lens
- detector
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 250
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 47
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 23
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 10
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 12
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 12
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000007687 exposure technique Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000006100 radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000007634 remodeling Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70275—Multiple projection paths, e.g. array of projection systems, microlens projection systems or tandem projection systems
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】基板を基板テーブル上に支持し、投影システムを使用して、位置合わせビームを基板の目標部分に投影する。位置決めシステムは、基板と投影システムとの相対運動を引き起こす。レンズのアレイは、アレイの各レンズが位置合わせビームの個々の部分を目標部分の個々の一部に集束するように配置構成される。検出器のアレイは、アレイの各検出器が、アレイの個々のレンズを通して基板から反射した光を検出し、個々のレンズを通して基板からそれに反射した光の強度を表す出力を提供する。プロセッサは、基板に対するレンズアレイの位置を表すデータを検出器の出力から導出するために、検出器の出力に接続される。
【選択図】図5
Description
図1は、本発明の実施形態によるリソグラフィ投影装置100を概略的に示したものである。装置100は、少なくとも放射線システム102、個々に制御可能なエレメントのアレイ104、オブジェクトテーブル106(例えば基板テーブル)、および投影システム(「レンズ」)108を含む。
1.ステップモード。個々に制御可能なエレメント104のアレイ上のパターン全体が1回の作動(すなわち1回の「フラッシュ」)で目標部分120に投影される。次に基板テーブル106がx方向および/あるいはy方向で異なる位置へと移動し、異なる目標部分120がパターン形成した投影ビーム110により照射される。
2.走査モード。基本的にステップモードと同じであるが、所与の目標部分120が1回の「フラッシュ」で露光しない。代わりに、個々に制御可能なエレメント104のアレイが、速度vで所与の方向(いわゆる「操作方向」、例えばy方向)に移動可能であり、したがってパターン形成した投影ビーム110が、個々に制御可能なエレメント104のアレイを走査する。同時に、基板テーブル106が同じ方向または反対方向に速度V=Mvで同時に移動し、ここでMは投影システム108の倍率である。この方法で、比較的大きい目標部分120を、解像度を妥協せずに露光することができる。
3.パルスモード。個々に制御可能なエレメント104のアレイは、基本的に静止状態に維持され、パルス状放射線システム102を使用してパターン全体が基板114の目標部分120に投影される。基板テーブル106は、基本的に一定の速度で移動し、したがってパターン形成された投影ビーム510が基板106にわたって線を走査する。個々に制御可能なエレメント104のアレイ上のパターンは、放射線システム102のパルス間で必要に応じて更新され、パルスは、連続する目標部分120が基板114上の必要な位置で露光するようにタイミングがとられる。その結果、パターン形成した投影ビーム110は、基板114にわたって走査し、基板114の細片で完全なパターンを露光することができる。プロセスは、線を1本ずつ完全な基板114が露光されるまで繰り返される。
4.連続操作モード。基本的にパルスモードと同じであるが、ほぼ一定の放射線システム102を使用し、パターン形成した投影ビーム110が基板114にわたって、走査し、それを露光するにつれ、個々に制御可能なエレメント104のアレイ上のパターンが更新される。
図5は、本発明の1つの実施形態によるリソグラフィシステムを示す。図5では、適宜、図2で使用したものと同じ参照番号を使用する。図2と図5との主要な違いは、図5のシステムが3つの追加的構成要素を組み込んでいることである。これらの3つの構成要素は、位置合わせ照明ソース17、第二ビーム分割器18、および検出器の2次元アレイ(特に図示せず)である。一例では、検出器の2次元アレイは、プロセッサ19への入力デバイスに組み込まれる2次元CCDアレイである。
図15、図16および図17は、マイクロレンズアレイと、このようなレンズアレイを通して反射した光を検出するように設計された検出器アレイと、このようなアレイがある基板上の位置合わせマークとして使用するのに適切なスポットパターンを示す。図15は、6×6のマイクロレンズアレイを示し、図15の円はそれぞれ単一のマイクロレンズに対応する。一例では、各マイクロレンズは約50から約500マイクロメートルの直径を有する。別の例では、各マイクロレンズは約80マイクロメートルの直径を有する。アレイは、自身内に適切な数のレンズ、例えば512×512アレイのレンズを有し、レンズのサイズは、用途に応じて適宜選択することができる。
図20は、基板上の位置合わせマークとして使用できる位相偏移格子パターンを示す。一例では、格子のピッチは、図15のマイクロレンズアレイにあるレンズのピッチと同じである。
図22は、薄膜トランジスタ(TFT)液晶フラットパネルディスプレイ装置に形成する露光パターンのレイアウトを概略的に示す。長方形の区域51は、通常は約100マイクロメートル以上の幅の液晶エレメントを示す。エレメント51の隣接する横列は、アドレス線52によって分離され、エレメント51の隣接する縦列は、データ線53によって分離される。
図23、図24および図25は、マイクロレンズアレイと、マイクロレンズアレイに対して動作中の基板との間の距離を監視するために本発明を使用する方法を示す。アレイと基板との間の距離は、例えば3つの異なる位置で測定して、基板に対するアレイのレベリングを制御可能にすることができる。
以上で本発明の様々な実施形態を説明したが、これは例示によってのみ提示されたもので、制限するものではないことを理解されたい。本発明の精神および範囲から逸脱することなく、形態および細部に様々な変更を実施できることが当業者には明白である。したがって、本発明の広さおよび範囲は、上述した例示的実施形態のいずれからも制限されず、請求の範囲およびその均等物に従ってのみ定義されるものとする。
Claims (44)
- 光学位置測定装置であって、
放射線のビームを供給する照明システムと、
基板を支持する基板テーブルと、
放射線のビームを基板の目標位置に投影する投影システムと、
基板と投影システムとの相対運動を引き起こす位置決めシステムと、
基板に対する投影システムの少なくとも1つの構成要素の位置を求める測定システムとを有し、測定システムが、
アレイの各レンズがビームの個々の部分を目標部分の個々の一部に集束するように配置構成されたレンズのアレイと、
アレイの各検出器が、アレイの個々のレンズを通して基板から反射した光を検出し、個々のレンズを通して基板から検出器に反射した光の強度を表す出力を提供する検出器のアレイと、
検出器の出力から基板に対するレンズアレイの位置を表すデータを導出するために、検出器の出力に接続されたプロセッサとを有する装置。 - プロセッサが、検出された強度からレンズアレイの下にある基板の領域の特徴を求め、検出した強度から基板の位置の尺度を導出するように配置構成される、請求項1に記載の装置。
- プロセッサが、検出された強度に対応する強度パターンを導出し、導出した強度パターンを、位置合わせパターンに対応する記憶された強度パターンと比較して、記憶された強度パターンと同じであるパターンが導出されるレンズアレイ内のレンズの位置から、レンズアレイに対する基板の位置を求めるように配置構成される、請求項2に記載の装置。
- プロセッサが、記憶された強度パターンと同じであるパターンが導出されない場合に、障害を表示する出力を提供するように配置構成される、請求項3に記載の装置。
- レンズアレイが、基板に投影される露光ビームにパターンを形成するデバイスを備えるリソグラフィ装置の構成要素である、請求項1に記載の装置。
- パターン形成した露光ビームを生成する露光照明ソースと、
放射線のビームを生成する位置合わせ照明ソースとを有し、
パターン形成された露光ビームと放射線のビームとが異なる波長を有する、請求項5に記載の装置。 - 投影システムが、放射線のビームと、パターン形成された露光ビームとの両方をレンズのアレイに投影する、請求項6に記載の装置。
- 投影システムが、
それぞれ放射線のビームおよびパターン形成された露光ビームとに対応する第一および第二投影システムを有し、第一および第二投影システムが、放射線のビームおよびパターン形成した露光ビームをレンズのアレイに投影する、請求項6に記載の装置。 - 放射線のビームがレンズのアレイの周囲区間に投影される、請求項6に記載の装置。
- 投影システムが、それぞれ放射線のビームおよびパターン形成した露光ビームに対応する第一および第二投影システムを有し、
レンズのアレイが第一および第二アレイのレンズを有し、したがって第一および第二投影システムが、放射線のビームおよびパターン形成された露光ビームを個々のアレイのレンズに投影する、請求項6に記載の装置。 - さらに、
放射線のビームでの基板表面の走査、および検出器からの出力の記憶を制御する位置合わせ走査制御システムと、
記憶した出力に応じた基板の露光中に、レンズのアレイに対する基板の位置を補正する露光制御システムとを有する、請求項6に記載の装置。 - 露光制御システムが、
基板上で検出されるパターンに対応する検出器出力の所定のパターンを、記憶された検出器出力と比較し、
所定のパターンと同じであるパターンのレンズのアレイに対する位置から、レンズアレイに対する基板の位置を決定し、
決定した位置を、基板の名目位置と比較し、
決定した位置と名目位置との差を補正する、請求項11に記載の装置。 - 所定のパターンが、
反射した光の検出器に関連するレンズアレイのレンズのピッチと等しいピッチを有する形体のアレイを有する、請求項12に記載の装置。 - 所定のパターンがスポットのアレイを有する、請求項13に記載の装置。
- 所定のパターンが線のアレイを有する、請求項13に記載の装置。
- 所定のパターンが、隣接する形体の間の間隔が異なる形体を有する、請求項13に記載の装置。
- パターン形成された露光ビームおよび放射線のビームが共通ソースから生成される、請求項5に記載の装置。
- 少なくとも1つの検出器が、検出器の非均一照明を検出するように配置構成された少なくとも2つの副検出器を有する、請求項1に記載の装置。
- 基板とアレイの関連するレンズとの間の距離が適正でない場合のみ、関連するレンズを通って反射する光が少なくとも1つの検出器に入射するように、少なくとも1つの検出器が配置構成され、
プロセッサは、所定の最低強度の光が少なくとも1つの検出器に入射すると、基板とレンズアレイとの不適正な間隔を検出するように配置構成される、請求項1に記載の装置。 - 基板とアレイの関連するレンズとの間の距離が適正でない場合のみ、関連するレンズを通って反射する光が検出器に入射するように、少なくとも2つの検出器が配置構成され、
プロセッサは、所定の最低強度の光が少なくとも2つの検出器のうちいずれか一方に入射すると、基板に対してレンズのアレイをレベリングするように、基板とレンズアレイとの間隔を補正するように配置構成される、請求項19に記載の装置。 - 検出器が、アレイの個々のレンズに投影される位置合わせビームの個々の部分が通る開口を画定するように、検出器が環状である、請求項19に記載の装置。
- さらに、
放射線の露光ビームを供給するシステムを有し、レンズのアレイが、露光ビームを基板上に集束するように配置構成される、請求項1に記載の装置。 - 光学位置測定方法であって、
放射線の位置合わせビームを生成することと、
投影システムからの位置合わせビームを基板の目標部分に投影することと、
基板および投影システムのうち少なくとも一方を他方に対して動作させることと、
基板に対する投影システムの少なくとも1つの構成要素の位置を決定することとを含み、決定するステップが、
アレイの各レンズが位置合わせビームの個々の部分を目標部分の個々の一部に集束するように配置構成されたレンズのアレイを照明することと、
アレイの個々の各レンズを通して基板から反射した光を検出し、各レンズを通して基板から反射した光の検出強度を表す出力を提供することと、
基板に対するレンズアレイの位置を表すデータを出力から導出することとを含む方法。 - さらに、
検出した強度から、レンズのアレイの下にある基板領域の特徴を決定することと、
検出した強度から基板の位置の測定値を導出することとを含む、請求項23に記載の方法。 - さらに、
検出した強度に対応する強度パターンを導出することと、
位置合わせパターンに対応する記憶した強度パターンと導出した強度パターンを比較することと、
レンズアレイ内のレンズの位置から、レンズアレイに対する基板の位置を決定することとを含む、請求項24に記載の方法。 - さらに、
記憶した強度パターンと同じであるパターンが導出されない場合に、障害を表示する出力を提供することを含む、請求項25に記載の方法。 - さらに、
露光ビームにパターンを形成することを含む、請求項23に記載の方法。 - さらに、
露光照明ソースからパターン形成した露光ビームを生成することと、
位置合わせ照明ソースから位置合わせビームを生成することとを含み、ソースが異なる波長のビームを生成する、請求項27に記載の方法。 - さらに、
投影システムを使用して、位置合わせおよびパターン形成露光ビームをソースからレンズアレイへと投影することを含む、請求項28に記載の方法。 - さらに、
投影システムの第一および第二投影デバイスを使用して、位置合わせおよびパターン形成露光ビームをソースからレンズアレイへと投影することを含む、請求項28に記載の方法。 - さらに、
位置合わせビームをレンズアレイの周囲区間に投影することを含む、請求項28に記載の方法。 - さらに、
投影システムの別個のデバイスを使用して、位置合わせおよびパターン形成露光ビームをソースからレンズアレイの別個かつ個々のレンズアレイへと投影することを含む、請求項28に記載の方法。 - さらに、
位置合わせビームで基板の表面を走査することと、
検出器からの出力を記憶することと、
記憶するステップに基づいて、基板露光中にレンズのアレイに対する基板の位置を制御することとを含む、請求項28に記載の方法。 - さらに、
基板上で検出されるパターンに対応する検出器出力の所定のパターンを、記憶された検出器出力と比較することと、
所定のパターンと同じであるパターンのレンズアレイに対する位置から、レンズアレイに対する基板の位置を決定することと、
決定された位置を基板の名目位置と比較することと、
所定の位置と名目位置との差を補償するために、基板の位置を補正することとを含む、請求項33に記載の方法。 - さらに、
反射した光の検出器に関連するレンズアレイのレンズのピッチと等しいピッチを有する形体のアレイを提供するために、所定のパターンを形成することを含む、請求項34に記載の方法。 - さらに、スポットのアレイを所定のパターンとして使用することを含む、請求項33に記載の方法。
- さらに、線のアレイを所定のパターンとして使用することを含む、請求項33に記載の方法。
- さらに、隣接する形体間の間隔が異なる形体を所定のパターンとして使用することを含む、請求項35に記載の方法。
- さらに、パターン形成した露光ビームおよび位置合わせビームを共通ソースから生成することを含む、請求項27に記載の方法。
- さらに、
少なくとも1つの検出器について少なくとも2つの副検出器を使用することと、
検出器の非均一照明を検出するために副検出器の出力を監視することとを含む、請求項23に記載の方法。 - さらに、
基板とレンズアレイの関連するレンズとの間の距離が適正でない場合のみ、関連するレンズを通って反射する光が少なくとも1つの検出器に入射し、所定の最低強度の光が少なくとも1つの検出器に入射すると、基板とレンズアレイとの間の不適正な間隔が表示されるように、少なくとも1つの検出器を配置構成することを含む、請求項23に記載の方法。 - さらに、
基板と少なくとも2つ検出器に対応するアレイの関連するレンズとの間の距離が適正でない場合のみ、関連するレンズを通って反射する光が検出器に入射するように、少なくとも2つの検出器を配置構成することと、
所定の最低強度の光が少なくとも2つの検出器のうちいずれか一方に入射すると、基板に対してレンズのアレイをレベリングするように、基板とレンズアレイとの間隔を補正することとを含む、請求項23に記載の方法。 - さらに、
位置合わせビームの個々の部分を、検出器内に画定された開口を通してレンズアレイの個々のレンズに投影することを含む、請求項41に記載の方法。 - さらに、
放射線の露光ビームを生成することと、
放射線の露光ビームをレンズのアレイを通して基板に投影することとを含む、請求項23に記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/854,770 US7477403B2 (en) | 2004-05-27 | 2004-05-27 | Optical position assessment apparatus and method |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008253068A Division JP5009886B2 (ja) | 2004-05-27 | 2008-09-30 | 光学位置評価装置および方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005354050A true JP2005354050A (ja) | 2005-12-22 |
JP4294614B2 JP4294614B2 (ja) | 2009-07-15 |
Family
ID=35460172
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005153230A Active JP4294614B2 (ja) | 2004-05-27 | 2005-05-26 | 光学位置評価装置および方法 |
JP2008253068A Active JP5009886B2 (ja) | 2004-05-27 | 2008-09-30 | 光学位置評価装置および方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008253068A Active JP5009886B2 (ja) | 2004-05-27 | 2008-09-30 | 光学位置評価装置および方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7477403B2 (ja) |
JP (2) | JP4294614B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011509401A (ja) * | 2007-12-27 | 2011-03-24 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | 折返し光学エンコーダ及びその用途 |
CN111095110A (zh) * | 2017-09-08 | 2020-05-01 | Asml荷兰有限公司 | 用于估计重叠的方法 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060044533A1 (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Asmlholding N.V. | System and method for reducing disturbances caused by movement in an immersion lithography system |
US7230677B2 (en) * | 2004-12-22 | 2007-06-12 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing hexagonal image grids |
US7804603B2 (en) * | 2006-10-03 | 2010-09-28 | Asml Netherlands B.V. | Measurement apparatus and method |
US20080297649A1 (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-04 | Igor Subbotin | Methods and apparatus providing light assisted automatic focus |
KR101680754B1 (ko) * | 2010-02-18 | 2016-12-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 광학 헤드의 중첩 거리 결정 방법 및 이를 이용한 디지털 노광 장치 |
SG184034A1 (en) | 2010-04-01 | 2012-10-30 | 3M Innovative Properties Co | Precision control of web material having micro-replicated lens array |
SE535491C2 (sv) | 2010-06-21 | 2012-08-28 | Rolling Optics Ab | Metod och anordning för att läsa optiska anordningar |
CN102985786A (zh) * | 2010-07-16 | 2013-03-20 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 投光器和用于距离测定的视觉*** |
CN102890433B (zh) * | 2011-07-20 | 2015-03-25 | 上海微电子装备有限公司 | 一种用于光刻设备的对准装置和对准方法 |
JP5837693B2 (ja) * | 2011-08-18 | 2015-12-24 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
US9829798B2 (en) * | 2013-03-15 | 2017-11-28 | Palo Alto Research Center Incorporated | Flow lithography technique to form microstructures using optical arrays |
US9523645B2 (en) * | 2014-10-20 | 2016-12-20 | Exnodes Inc. | Lenticular wafer inspection |
CN109186494A (zh) * | 2018-07-30 | 2019-01-11 | 深圳阜时科技有限公司 | 一种感测方法 |
NL2023776A (en) * | 2018-09-27 | 2020-05-01 | Asml Netherlands Bv | Apparatus and method for measuring a position of a mark |
EP3926403A1 (en) * | 2020-06-17 | 2021-12-22 | Mycronic Ab | Maskless second layer alignment method and apparatus |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06204121A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Canon Inc | 照明装置及びそれを用いた投影露光装置 |
WO1997034171A2 (en) * | 1996-02-28 | 1997-09-18 | Johnson Kenneth C | Microlens scanner for microlithography and wide-field confocal microscopy |
JPH11260712A (ja) * | 1998-03-12 | 1999-09-24 | Nikon Corp | 露光装置及び方法 |
JP2001168003A (ja) * | 1999-12-06 | 2001-06-22 | Olympus Optical Co Ltd | 露光装置 |
JP2003007614A (ja) * | 2001-05-23 | 2003-01-10 | Asml Netherlands Bv | 位置決めマークを備えた基板、マスクを設計する方法、コンピュータ・プログラム、位置決めマークを露光するマスク、デバイス製造方法、およびこれらによって製造されるデバイス |
JP2004062156A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 露光ヘッド及び露光装置 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5523193A (en) * | 1988-05-31 | 1996-06-04 | Texas Instruments Incorporated | Method and apparatus for patterning and imaging member |
DE59105735D1 (de) * | 1990-05-02 | 1995-07-20 | Fraunhofer Ges Forschung | Belichtungsvorrichtung. |
US5229872A (en) * | 1992-01-21 | 1993-07-20 | Hughes Aircraft Company | Exposure device including an electrically aligned electronic mask for micropatterning |
US6219015B1 (en) * | 1992-04-28 | 2001-04-17 | The Board Of Directors Of The Leland Stanford, Junior University | Method and apparatus for using an array of grating light valves to produce multicolor optical images |
JP3224041B2 (ja) * | 1992-07-29 | 2001-10-29 | 株式会社ニコン | 露光方法及び装置 |
US5729331A (en) | 1993-06-30 | 1998-03-17 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, optical projection apparatus and a method for adjusting the optical projection apparatus |
JP3339149B2 (ja) * | 1993-12-08 | 2002-10-28 | 株式会社ニコン | 走査型露光装置ならびに露光方法 |
US5677703A (en) * | 1995-01-06 | 1997-10-14 | Texas Instruments Incorporated | Data loading circuit for digital micro-mirror device |
US5530482A (en) * | 1995-03-21 | 1996-06-25 | Texas Instruments Incorporated | Pixel data processing for spatial light modulator having staggered pixels |
DE69711929T2 (de) | 1997-01-29 | 2002-09-05 | Micronic Laser Systems Ab Taeb | Verfahren und gerät zur erzeugung eines musters auf einem mit fotoresist beschichteten substrat mittels fokusiertem laserstrahl |
US6177980B1 (en) * | 1997-02-20 | 2001-01-23 | Kenneth C. Johnson | High-throughput, maskless lithography system |
SE509062C2 (sv) | 1997-02-28 | 1998-11-30 | Micronic Laser Systems Ab | Dataomvandlingsmetod för en laserskrivare med flera strålar för mycket komplexa mikrokolitografiska mönster |
US5982553A (en) * | 1997-03-20 | 1999-11-09 | Silicon Light Machines | Display device incorporating one-dimensional grating light-valve array |
SE9800665D0 (sv) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | Micronic Laser Systems Ab | Improved method for projection printing using a micromirror SLM |
US6671048B1 (en) * | 1999-10-21 | 2003-12-30 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method for determining wafer misalignment using a pattern on a fine alignment target |
US6628390B1 (en) * | 2000-01-24 | 2003-09-30 | Kenneth C. Johnson | Wafer alignment sensor using a phase-shifted microlens array |
JP2001326161A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Nikon Corp | 露光方法と露光装置、及びデバイスの製造方法とマイクロデバイス |
TW520526B (en) | 2000-05-22 | 2003-02-11 | Nikon Corp | Exposure apparatus, method for manufacturing thereof, method for exposing and method for manufacturing micro-device |
JP3563384B2 (ja) | 2001-11-08 | 2004-09-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 画像記録装置 |
TWI298825B (en) | 2002-06-12 | 2008-07-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US6870554B2 (en) | 2003-01-07 | 2005-03-22 | Anvik Corporation | Maskless lithography with multiplexed spatial light modulators |
EP1482375B1 (en) | 2003-05-30 | 2014-09-17 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7133118B2 (en) * | 2004-02-18 | 2006-11-07 | Asml Netherlands, B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US6967711B2 (en) * | 2004-03-09 | 2005-11-22 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
2004
- 2004-05-27 US US10/854,770 patent/US7477403B2/en active Active
-
2005
- 2005-05-26 JP JP2005153230A patent/JP4294614B2/ja active Active
-
2008
- 2008-09-30 JP JP2008253068A patent/JP5009886B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06204121A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Canon Inc | 照明装置及びそれを用いた投影露光装置 |
WO1997034171A2 (en) * | 1996-02-28 | 1997-09-18 | Johnson Kenneth C | Microlens scanner for microlithography and wide-field confocal microscopy |
JPH11260712A (ja) * | 1998-03-12 | 1999-09-24 | Nikon Corp | 露光装置及び方法 |
JP2001168003A (ja) * | 1999-12-06 | 2001-06-22 | Olympus Optical Co Ltd | 露光装置 |
JP2003007614A (ja) * | 2001-05-23 | 2003-01-10 | Asml Netherlands Bv | 位置決めマークを備えた基板、マスクを設計する方法、コンピュータ・プログラム、位置決めマークを露光するマスク、デバイス製造方法、およびこれらによって製造されるデバイス |
JP2004062156A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 露光ヘッド及び露光装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011509401A (ja) * | 2007-12-27 | 2011-03-24 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | 折返し光学エンコーダ及びその用途 |
CN111095110A (zh) * | 2017-09-08 | 2020-05-01 | Asml荷兰有限公司 | 用于估计重叠的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4294614B2 (ja) | 2009-07-15 |
US20050275840A1 (en) | 2005-12-15 |
JP2009049423A (ja) | 2009-03-05 |
US7477403B2 (en) | 2009-01-13 |
JP5009886B2 (ja) | 2012-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5009886B2 (ja) | 光学位置評価装置および方法 | |
JP5554819B2 (ja) | リソグラフィ機器及び方法 | |
US7116404B2 (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method | |
KR100674225B1 (ko) | 잠재 오버레이 메트롤로지 | |
KR100583694B1 (ko) | 정렬마크가 제공된 기판, 마스크 설계방법, 컴퓨터프로그램, 상기 마크를 노광하는 마스크, 디바이스제조방법 및 그 디바이스 | |
US8345231B2 (en) | Method of determining defects in a substrate and apparatus for exposing a substrate in a lithographic process | |
JP5210138B2 (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP4401368B2 (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
US7233384B2 (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method, and device manufactured thereby for calibrating an imaging system with a sensor | |
US7239393B2 (en) | Calibration method for a lithographic apparatus and device manufacturing method | |
EP1491966A1 (en) | Calibration method for a lithographic apparatus | |
NL1036026A1 (nl) | Apparatus and method for obtaining information indicative of the uniformity of a projection system of a lithographic apparatus. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060919 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061128 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080930 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090324 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090408 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4294614 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130417 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130417 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140417 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |