JP2005347675A - 微小な構造を有する素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 微小な構造を有する素子の製造方法は、表面に微小な構造を有する板状部材10を保持部材26によってチャック24に固定し、該板状部材10の表面に温度変化により状態が変化する物質36を塗布し、該物質36を冷却して該物質を該板状部材の表面で固化し、該物質36が固化された状態で該板状部材10を複数の素子に切断し、個片化された素子を保持部材から取外す構成とする。
【選択図】 図3
Description
12…素子
14…微小な構造
20…ダイシング装置
22…送りテーブル
24…真空チャック
26…接着シート
28…砥石ブレード
30…真空吸着溝
34…冷媒孔
36…状態が変化する物質
38…ノズル
40…ハンドラ
42…回路基板
Claims (5)
- 表面に微小な構造を有する板状部材を保持部材によってチャックに固定し、
該板状部材の表面に温度変化により状態が変化する物質を塗布し、
該物質を冷却して該物質を該板状部材の表面で固化し、
該物質が固化された状態で該板状部材を複数の素子に切断し、
個片化された素子を保持部材から取外す、
ことを特徴とする微小な構造を有する素子の製造方法。 - 該保持部材は接着シートからなることを特徴とする請求項1に記載の微小な構造を有する素子の製造方法。
- 該板状部材を複数の素子に切断した後で、該物質を融解し、該複数の素子を該保持部材とともに移送することを特徴とする請求項2に記載の微小な構造を有する素子の製造方法。
- 該板状部材を複数の素子に切断した後で、該物質が固化された状態で該複数の素子を該保持部材とともに移送することを特徴とする請求項2に記載の微小な構造を有する素子の製造方法。
- 該物質が固化された状態で、該移送された素子を保持部材から取り外して素子を実装することを特徴とする請求項4に記載の微小な構造を有する素子の製造方法。
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