JP7233815B2 - ダミーウェーハ及びダミーウェーハの製造方法 - Google Patents
ダミーウェーハ及びダミーウェーハの製造方法 Download PDFInfo
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Description
1a 表面
1b 裏面
1c ダミーウェーハ
7 樹脂シート
7a 微小凹部
9,15 プレート
9a,15a 穴
11 球体
13 環状フレーム
13a 開口
2,6 ホットプレート
4 押圧部材
4a 微小凸部
8 固定具
Claims (4)
- 上面に複数の球体を備えるダミーウェーハの製造方法であって、
ウェーハの上面に樹脂シートを載置し該ウェーハを加熱して、該ウェーハの該上面に該樹脂シートが密着したシート積層ウェーハを形成するシート積層ウェーハ形成ステップと、
該シート積層ウェーハ形成ステップを実施した後、該樹脂シート上に複数の球体を配置する球体配置ステップと、
該球体配置ステップを実施した後、複数の該球体が配置された該シート積層ウェーハを加熱して、該樹脂シートを介して該球体を該ウェーハに固定する固定ステップと、を備え、
該球体配置ステップでは、複数の微小凸部を有した押圧部材で該樹脂シートを押圧することで該樹脂シートに複数の微小凹部を形成し、該微小凹部に該球体を配置することを特徴とするダミーウェーハの製造方法。 - 該樹脂シートの径は、該ウェーハの径よりも大きく、
該固定ステップを実施する前に、該樹脂シートの外周部を環状フレームに固定するフレーム固定ステップを更に備えることを特徴とする請求項1に記載されたダミーウェーハの製造方法。 - 上面に複数の球体を備えるダミーウェーハの製造方法であって、
ウェーハの上面に樹脂シートを載置し該ウェーハを加熱して、該ウェーハの該上面に該樹脂シートが密着したシート積層ウェーハを形成するシート積層ウェーハ形成ステップと、
該シート積層ウェーハ形成ステップを実施した後、該樹脂シート上に複数の球体を配置する球体配置ステップと、
該球体配置ステップを実施した後、複数の該球体が配置された該シート積層ウェーハを加熱して、該樹脂シートを介して該球体を該ウェーハに固定する固定ステップと、を備え、
該樹脂シートの径は、該ウェーハの径よりも大きく、
該固定ステップを実施する前に、該樹脂シートの外周部を環状フレームに固定するフレーム固定ステップを更に備えることを特徴とするダミーウェーハの製造方法。 - 該球体配置ステップでは、該球体が通過可能な大きさの複数の穴が形成されたプレートを該樹脂シート上に配置し、該プレート上に複数の該球体を供給して該穴を通過させることで該樹脂シート上に該球体を配置し、
該固定ステップでは、該プレートを該樹脂シート上に配置した状態で該シート積層ウェーハを加熱し、
該固定ステップを実施した後、該樹脂シート上から該プレートを除去するプレート除去ステップを更に備えることを特徴とする請求項3に記載のダミーウェーハの製造方法。
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