JP2005346764A - Magnetic head and method for manufacturing the same - Google Patents

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昌哉 香坂
Motoharu Tanno
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head and a method for manufacturing the same, in which the high-frequency characteristic is improved by preventing the deterioration in the high-frequency characteristic due to eddy current loss, by making the shape of a core of the magnetic head small. <P>SOLUTION: In the magnetic head 1, the pair of magnetic cores 11 are joined via a gap material; the magnetic core 11 consists of a stacked film 2 of a nonmagnetic film 17 and a metal magnetic film 16; nonmagnetic members 12 brought into contact with the magnetic core 11 and having faces facing a recording medium sliding surface 5 are disposed by sandwiching the magnetic core 11; and the magnetic path is formed of only the metal magnetic film. The part of the magnetic core at the side opposite to the sliding surface with respect to the magnetic recording medium is formed of a nonmagnetic material 14. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、磁気記録再生装置に備えられる磁気ヘッド、特に積層型磁気ヘッド及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a magnetic head provided in a magnetic recording / reproducing apparatus, and more particularly to a laminated magnetic head and a manufacturing method thereof.

ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）等の磁気記録再生装置では、高画質化を図るため情報信号の短波長記録化が進められている。この短波長記録化に対応して、磁性粉に強磁性体粉末を用いた所謂メタルテープやベースフィルム上に強磁性金属材料を直接被着した蒸着テープ等の高抗磁力磁気記録媒体が使用されるようになってきている。一方、磁気ヘッドの分野においても研究が進められており、このような高抗磁力磁気記録媒体の使用が可能な磁気ヘッド、すなわち、コア材料に金属磁性材料を用いると共に狭トラックを図った磁気ヘッドが開発されている。かかる磁気ヘッドとしては、高透磁率かつ高飽和磁束密度を有する金属磁性膜を非磁性材料よりなる基板で挟み込んだ所謂、積層型の磁気ヘッドが知られている。   2. Description of the Related Art In magnetic recording / reproducing apparatuses such as video tape recorders (VTRs), information signals have been shortened in wavelength to improve image quality. In response to this short wavelength recording, a high coercive force magnetic recording medium such as a so-called metal tape using a ferromagnetic powder as a magnetic powder or a vapor deposition tape in which a ferromagnetic metal material is directly coated on a base film is used. It is becoming. On the other hand, research is also being conducted in the field of magnetic heads, and a magnetic head capable of using such a high coercive force magnetic recording medium, that is, a magnetic head using a metal magnetic material as a core material and a narrow track. Has been developed. As such a magnetic head, a so-called laminated magnetic head in which a metal magnetic film having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is sandwiched between substrates made of a nonmagnetic material is known.

図１６は、従来の積層型磁気ヘッド（いわゆるラミネートヘッド）を示す。この積層型磁気ヘッド１０１は、閉磁路に構成する一対の磁性コア半体１２３、１２４を非磁性のギャップ材を介して突合せ接合一体化して、磁気ギャップ１０３を形成した磁性コア１３１を有して構成される。各磁性コア半体１２３、１２４は、非磁性ガード材１０９と金属磁性膜１０２とからなり、金属磁性膜１０２を２枚の非磁性ガード材１０９によって挟み込んで形成される。磁性コア半体１２３と磁性コア半体１２４同士の突合せ面には、磁性コア半体１２３と磁性コア半体１２４の夫々の金属磁性膜１０２の端部を突き合わすことで、磁気ギャップ１０３が形成される。磁気ギャップ１０３のトラック幅は、金属磁性膜１０２を挟む２枚の非磁性ガード材１０９が非磁性体であるため、金属磁性膜１０２の膜厚によって規制される。
また、夫々の磁性コア半体１２３、１２４の突合せ面には、磁気ギャップ１０３のデプスDpを規制すると共にコイルを巻回させるための巻き線溝１０６が形成される。磁性コア半体１２３、１２４には、さらにその外側にコイルを巻回させるガイド溝１０７が形成され、その記録媒体摺動面側に記録媒体の当たり幅規制溝１０８が形成される。 FIG. 16 shows a conventional laminated magnetic head (so-called laminate head). This laminated magnetic head 101 has a magnetic core 131 in which a pair of magnetic core halves 123 and 124 constituting a closed magnetic path are butt-joined and integrated through a nonmagnetic gap material to form a magnetic gap 103. Composed. Each of the magnetic core halves 123 and 124 includes a nonmagnetic guard material 109 and a metal magnetic film 102, and is formed by sandwiching the metal magnetic film 102 between two nonmagnetic guard materials 109. The magnetic gap 103 is formed by abutting the ends of the metal magnetic films 102 of the magnetic core half 123 and the magnetic core half 124 on the abutting surfaces of the magnetic core half 123 and the magnetic core half 124. Is done. The track width of the magnetic gap 103 is regulated by the thickness of the metal magnetic film 102 because the two nonmagnetic guard members 109 sandwiching the metal magnetic film 102 are nonmagnetic.
In addition, a winding groove 106 for restricting the depth Dp of the magnetic gap 103 and winding the coil is formed on the abutting surfaces of the magnetic core halves 123 and 124. The magnetic core halves 123 and 124 are further formed with a guide groove 107 around which a coil is wound, and a recording medium contact width restriction groove 108 is formed on the recording medium sliding surface side.

上述の磁気ヘッド１０１は、金属磁性膜１０２の膜厚（すなわち磁気ギャップ１０３のトラック幅）を制御することで簡単に狭トラック化が図られ、また、構造的に疑似ギャップも発生しない。さらに金属磁性膜１０２は、金属磁性膜とＳｉＯ２Ａｌ２Ｏ３、Ｓｉ３Ｎ４等の酸化物や窒化物等の如き電気的絶縁膜とを交互に積層させる構造をとることで、渦電流損失を回避することができ高周波帯域での高出力化が望めるなど、種々の利点を有する。 The magnetic head 101 described above can be easily narrowed by controlling the film thickness of the metal magnetic film 102 (that is, the track width of the magnetic gap 103), and does not generate a pseudo gap structurally. Furthermore, the metal magnetic film 102 has a structure in which a metal magnetic film and an electrical insulating film such as an oxide or nitride such as SiO 2 Al 2 O 3 or Si 3 N 4 are alternately stacked, thereby providing an eddy current. There are various advantages such as loss can be avoided and high output in the high frequency band can be expected.

次に上述の従来の積層型磁気ヘッド１０１の製造方法について説明する。
先ず、図１７Ａに示すように、両面が鏡面加工された非磁性材からなる基板１２０を用意する。なお、この基板１２０は便宜的に短冊状に作成されているが実際はこれより大面積である。次に、この基板１２０の片面に磁性コアとなる金属磁性膜１０２をスパッタ等の真空薄膜形成法により形成した後、図１７Ｂに示すように、短冊状に切断して短冊状コア基板１２１を形成する。金属磁性膜としてはＣｏに主としてＺｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｕ等の一種または数種添加して構成されたアモルファス材料が選ばれる。なお、上記基板に成膜する金属磁性膜１０２は高周波帯域での渦電流損失を回避させるために金属磁性膜とＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｓｉ３Ｎ４等の酸化物や窒化物等の如き電気的絶縁膜と絶縁層を交互に積層させた所謂積層膜としてもよい。 Next, a method for manufacturing the above-described conventional laminated magnetic head 101 will be described.
First, as shown in FIG. 17A, a substrate 120 made of a nonmagnetic material whose both surfaces are mirror-finished is prepared. The substrate 120 is formed in a strip shape for convenience, but actually has a larger area. Next, after forming a metal magnetic film 102 to be a magnetic core on one surface of the substrate 120 by a vacuum thin film forming method such as sputtering, a strip-shaped core substrate 121 is formed by cutting into a strip shape as shown in FIG. 17B. To do. As the metal magnetic film, an amorphous material constituted by adding one kind or several kinds of Zr, Ta, Ti, Hf, Mo, Nb, Au, Pd, Ru or the like to Co is selected. The metal magnetic film 102 formed on the substrate is made of a metal magnetic film and an oxide or nitride such as SiO 2 , Al 2 O 3 , Si 3 N 4 in order to avoid eddy current loss in a high frequency band. Such a so-called laminated film in which electrical insulating films and insulating layers are alternately laminated may be used.

次に、図１７Ｃに示すように、金属磁性膜の形成された複数の短冊状コア基板１２１を整列させ接合一体化して磁性コア基板１２２を作製する。接合については、予め短冊状コア基板の各接合面に金（Ａｕ） の薄膜をスパッタ等で形成して加圧しながら加熱して拡散接合を行なってもよいし、樹脂で接合してもよい。この磁性コア基板１２２をＡ−Ａ´、Ｂ−Ｂ´、Ｃ−Ｃ´線に沿って切断する。この切断によって図１８Ｄに示すように、互いに略対称な１対の磁性コア半体ブロック１２３Ａ、１２４Ａを作製する。この磁性コア半体ブロック１２３Ａ、１２４Ａの一方の基板１２３Ａの端部を、図１８Ｅに示すように、Ｄ−Ｄ´線、Ｅ−Ｅ´線より切断して、図１８Ｆに示すように、磁性コア半体ブロック１２３Ａは、磁性コア半体ブロック１２４Ａよりも短く形成する。   Next, as shown in FIG. 17C, a plurality of strip-shaped core substrates 121 on which metal magnetic films are formed are aligned and joined together to produce a magnetic core substrate 122. As for the bonding, a gold (Au) thin film may be formed in advance on each bonding surface of the strip-shaped core substrate by sputtering or the like and heated while being pressed to perform diffusion bonding or may be bonded with a resin. The magnetic core substrate 122 is cut along the lines AA ′, BB ′, and CC ′. By this cutting, as shown in FIG. 18D, a pair of magnetic core half blocks 123A and 124A that are substantially symmetrical to each other are produced. As shown in FIG. 18E, one end of one substrate 123A of the magnetic core half blocks 123A and 124A is cut along the DD ′ line and the EE ′ line, and as shown in FIG. The core half block 123A is formed shorter than the magnetic core half block 124A.

次に、図１９Ｇに示すように、磁性コア半体ブロック１２３Ａ、１２４Ａの対向面に、その長手方向に沿って伸びる巻き線溝１０６を形成した後、各対向面を鏡面研磨し、ギャップ材となりかつ接合材となる非磁性材を鏡面加工面にスパッタ等の真空薄膜形成法により成膜する。ここでの非磁性材としては低温拡散接合が可能な金（Ａｕ）が使用されている。次に図１９Ｈに示すように、両磁性コア半体ブロック１２３Ａと１２４Ａとを突合せて接合一体化して磁気ヘッドブロック１２５を作製する。この磁気ヘッドブロック１２５の巻き線溝１０６内に、図１９Ｉに示すように、ガラス棒１３２を入れ磁気記録媒体との摺動面１０５側を下となるように配置して熱処理しガラスを巻き線溝１０６上部に充填する。ここでのガラス棒１３２が溶融し充填された後のガラス１０４は半体コア１２３、１２４（図１６参照）の接合補強及び磁気記録媒体との摺動によりヘッドが摩耗した際の強度低下を防止する役割を担う。   Next, as shown in FIG. 19G, winding grooves 106 extending along the longitudinal direction are formed on the opposing surfaces of the magnetic core half blocks 123A and 124A, and then each opposing surface is mirror-polished to form a gap material. In addition, a nonmagnetic material to be a bonding material is formed on the mirror-finished surface by a vacuum thin film forming method such as sputtering. As the nonmagnetic material here, gold (Au) capable of low-temperature diffusion bonding is used. Next, as shown in FIG. 19H, both magnetic core half blocks 123A and 124A are butted and integrated to form a magnetic head block 125. In the winding groove 106 of the magnetic head block 125, as shown in FIG. 19I, a glass rod 132 is placed and disposed so that the sliding surface 105 side with the magnetic recording medium faces downward, and the glass is wound by heat treatment. The upper part of the groove 106 is filled. Here, after the glass rod 132 is melted and filled, the glass 104 prevents the strength from being reduced when the head is worn due to the joint reinforcement of the half cores 123 and 124 (see FIG. 16) and sliding with the magnetic recording medium. To play a role.

次に図２０Ｊに示すように、曲率をもった磁気記録媒体との摺動面１０５を形成する。この際の研磨はギャップデプスＤｐ値をある一定の値とするためにＤｐ寸法をチェックしながら行われる。つまり接合一体化された磁気ヘッドブロック１２５、すなわち、磁性コア半体ブロック１２３Ａ、１２４Ａのうち長い方のブロック１２４Ａの端部Ｍ部が曲率を持った摺動面加工時のマーカー部となる。そして両磁性コア半体ブロック１２３Ａ、１２４Ａの外側に夫々巻線のガイド溝１０７を形成する。さらに磁気記録媒体との接触状態を良好なものとするために、図２０Ｋに示すように、当たり幅規制溝１０８を入れる。次に、図２０Ｌで示すように、磁気ヘッドブロック１２５をＡ−Ａ´線、Ｂ−Ｂ´線、Ｃ−Ｃ´線、Ｄ−Ｄ´線、Ｅ−Ｅ´線、Ｆ−Ｆ´線、Ｇ−Ｇ´線、Ｈ−Ｈ´線、Ｉ−Ｉ´線、Ｊ−Ｊ´線に沿って切断することで、各ヘッドチップ、即ち図１６に示す、磁気ヘッドコアを完成する。   Next, as shown in FIG. 20J, a sliding surface 105 with a magnetic recording medium having a curvature is formed. Polishing at this time is performed while checking the Dp dimension in order to set the gap depth Dp value to a certain value. That is, the end M portion of the longer one of the magnetic head blocks 125, that is, the longer ones of the magnetic core half blocks 123A and 124A, serves as a marker portion when processing a sliding surface having a curvature. Then, guide grooves 107 for winding are formed on the outer sides of both magnetic core half blocks 123A and 124A. Further, in order to make the contact state with the magnetic recording medium good, as shown in FIG. Next, as shown in FIG. 20L, the magnetic head block 125 is moved along the lines AA ′, BB ′, CC ′, DD ′, EE ′, and FF ′. , G-G 'line, H-H' line, I-I 'line, and JJ' line to cut each head chip, that is, the magnetic head core shown in FIG.

特許文献１は、非磁性基板を両サイドに設ける磁気ヘッドが開示され、特許文献２には、非磁性ガラスを両サイドに設ける磁気ヘッドが開示されている。特許文献３は、薄膜コイルの磁気ヘッドが開示されている。   Patent Document 1 discloses a magnetic head provided with a nonmagnetic substrate on both sides, and Patent Document 2 discloses a magnetic head provided with nonmagnetic glass on both sides. Patent Document 3 discloses a thin film coil magnetic head.

特開平６−２７４８１６号公報JP-A-6-274816 特開２００２−３１２９０７号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-312907 特開平６−２５９７１７号公報JP-A-6-259717

上述した積層型磁気ヘッド１０１の場合は、ヘッド幅、ヘッド高さと金属磁性膜１０２による磁性コア１３１の形状が同一となってしまい、再生出力にあまり関与しない外側部分の磁路がインダクタンスを引き上げて悪影響を及ぼしている。このため、ヘッドアンプとの共振点が下がり、高周波領域での使用が制限される。
また、積層型磁気ヘッド１０１は、渦電流損失を抑えることができ、高周波特性を向上させるために積層型の磁性コアを通常使用している。ところが、この積層型磁気ヘッド（ラミネートヘッド）では、砥石を使ってヘッドチップ切断加工するため磁性膜の引きずりを発生させて積層間が電気的にショートして目的となる渦電流損失抑制を妨げてしまい、高周波特性を劣化させてしまう。 In the case of the laminated magnetic head 101 described above, the head width, the head height, and the shape of the magnetic core 131 formed by the metal magnetic film 102 are the same, and the magnetic path of the outer portion that does not significantly affect the reproduction output increases the inductance. It has an adverse effect. For this reason, the resonance point with the head amplifier is lowered, and use in a high frequency region is restricted.
In addition, the laminated magnetic head 101 can suppress eddy current loss and normally uses a laminated magnetic core in order to improve high frequency characteristics. However, in this laminated magnetic head (laminate head), since the head chip is cut using a grindstone, a drag of the magnetic film is generated, and the laminate is electrically shorted to prevent the suppression of the target eddy current loss. As a result, the high frequency characteristics are deteriorated.

本発明は、上述の点に鑑み、磁気ヘッドのコア形状を小さくし、さらに渦電流損失による高周波特性劣化を防ぎ高周波特性を向上した磁気ヘッド及びその製造方法を提供するものである。   SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, the present invention provides a magnetic head having a reduced magnetic core shape, further preventing high-frequency characteristic deterioration due to eddy current loss and improving high-frequency characteristics, and a method for manufacturing the same.

本発明に係る磁気ヘッドは、１対の磁性コアがギャップ材を介して接合され、磁性コアが非磁性膜と金属磁性膜の積層膜からなり、磁性コアに接して記録媒体摺動面に臨む面を有した非磁性部材が磁性コアを挟むように配され、磁路が金属磁性膜のみにより形成される磁気ヘッドであって、磁性コアの磁気記録媒体と摺動する面と反対側の部分が非磁性材で形成されて成る。   In the magnetic head according to the present invention, a pair of magnetic cores are joined via a gap material, the magnetic core is formed of a laminated film of a nonmagnetic film and a metal magnetic film, and comes into contact with the magnetic core and faces the recording medium sliding surface. A magnetic head in which a nonmagnetic member having a surface is arranged so as to sandwich a magnetic core, and a magnetic path is formed only by a metal magnetic film, and a portion of the magnetic core opposite to a surface that slides on a magnetic recording medium Is formed of a non-magnetic material.

本発明に磁気ヘッドでは、非磁性膜と金属磁性膜の積層膜による磁性コアを有し、磁性コアの磁気記録媒体と摺動する面と反対側の部分が非磁性材で形成されるので、磁気ヘッド全体の大きさに比べて磁性コアが小さく形成される。磁性コアが小型化されることにより、磁気ギャップに近い巻線窓の近傍のみに磁性コアが流れ、磁束の損失が限りなく少なくなる。   The magnetic head according to the present invention has a magnetic core made of a laminated film of a nonmagnetic film and a metal magnetic film, and a portion of the magnetic core opposite to the surface that slides with the magnetic recording medium is formed of a nonmagnetic material. The magnetic core is formed smaller than the size of the entire magnetic head. By downsizing the magnetic core, the magnetic core flows only in the vicinity of the winding window close to the magnetic gap, and the loss of magnetic flux is reduced as much as possible.

磁性コアの媒体摺動方向の両側には非磁性部材を形成することが好ましい。
磁性コアの高さは巻き線窓の高さ＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）とし、巻線窓を挟んで磁気記録媒体と摺動する面と反対側の磁性コアの磁路幅は１００μｍ以上２００μｍ以下とすることが好ましい。磁性コアの摺動方向の幅は巻き線窓の幅＋（２５０μｍ〜５５０μｍ）とし、巻線窓を挟んで巻線窓の幅方向の各磁路幅は１２５μｍ以上２７５μｍ以下とすることが好ましい。
磁性コアの高さは、磁路長／３＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）とし、巻線窓を挟んで磁気記録媒体と摺動する面と反対側の磁性コアの磁路幅は１００μｍ以上２００μｍ以下とすることが好ましい。磁性コアの摺動方向の幅は、磁路長／６＋（２５０μｍ〜５５０μｍ）とし、巻線窓を挟んで巻線窓の幅方向の各磁路幅は１２５μｍ以上２７５μｍ以下とすることが好ましい。 It is preferable to form nonmagnetic members on both sides of the magnetic core in the medium sliding direction.
The height of the magnetic core is the height of the winding window + (120 μm to 220 μm), and the magnetic path width of the magnetic core on the side opposite to the surface sliding with the magnetic recording medium across the winding window is 100 μm or more and 200 μm or less. It is preferable to do. The width in the sliding direction of the magnetic core is preferably the width of the winding window + (250 μm to 550 μm), and each magnetic path width in the width direction of the winding window with the winding window interposed is preferably 125 μm or more and 275 μm or less.
The height of the magnetic core is the magnetic path length / 3 + (120 μm to 220 μm), and the magnetic path width of the magnetic core opposite to the surface sliding with the magnetic recording medium across the winding window is 100 μm or more and 200 μm or less. It is preferable. The width in the sliding direction of the magnetic core is preferably a magnetic path length / 6 + (250 μm to 550 μm), and each magnetic path width in the width direction of the winding window with the winding window interposed is preferably 125 μm or more and 275 μm or less.

磁気ヘッドは磁性コアにコイルを巻回して構成することができるし、磁気ヘッドは磁性コアに薄膜コイルを形成して構成することもできる。   The magnetic head can be configured by winding a coil around a magnetic core, and the magnetic head can also be configured by forming a thin film coil on the magnetic core.

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、非磁性膜と金属磁性膜からなる積層膜と、第１の非磁性部材とが積層された第１の磁性コアブロックの両側に第２の非磁性部材を接合して第２の磁性コアブロックを形成する工程と、第２の磁性コアブロックを所要の厚さに切断して第１の磁性コアブロックの両側に第２の非磁性部材を有する第３の磁性コアブロックを形成する工程と、第３の磁性コアブロックの下部に第３の非磁性部材を接合して第４の磁性コアブロックを形成する工程と、表面側の第１の磁性コアブロックを２分するように第４の磁性コアブロックを切断して第１の磁性コアブロックの片側と下部とに夫々第２の非磁性部材と第３の非磁性部材を有する磁性コア半体ブロックを形成する工程と、磁性コア半体ブロックにコイル巻線溝を形成する工程と、１対の記磁性コア半体ブロックをギャップ材を介して突合せて磁気ヘッドブロックを形成し、各ヘッドチップに切断した後、コイル巻線溝にコイルを巻回する工程とを有する。   The method of manufacturing a magnetic head according to the present invention includes a second nonmagnetic member on both sides of a first magnetic core block in which a laminated film composed of a nonmagnetic film and a metal magnetic film and a first nonmagnetic member are laminated. Forming a second magnetic core block by bonding the second magnetic core block and cutting the second magnetic core block to a required thickness and having a second nonmagnetic member on both sides of the first magnetic core block Forming a magnetic core block, forming a fourth magnetic core block by bonding a third nonmagnetic member to the lower portion of the third magnetic core block, and a first magnetic core block on the surface side The magnetic core half block having the second non-magnetic member and the third non-magnetic member on one side and the lower portion of the first magnetic core block by cutting the fourth magnetic core block so as to bisect Forming process and coil winding on magnetic core half block Forming a magnetic head block by abutting a pair of magnetic core half blocks through a gap material, cutting each head chip, and then winding a coil in a coil winding groove; Have

本発明の磁気ヘッドの製造方法では、第２の磁性コアブロックを所要の厚さに切断して非磁性膜と金属磁性膜からなる積層膜を有する第１磁性コアブロックの両側に第２の非磁性部材を接合して第３の磁性コアブロックを形成する工程を有するので、完成後の磁気ヘッドにおいて、積層型の磁性コアの媒体摺動方向の両側に非磁性部材が形成されることになる。第３の磁性コアブロックの下部に第３の非磁性部材を接合して第４の磁性コアブロックを形成する工程を有するので、完成後の磁気ヘッドにおいて、磁性コアの下部、すなわち磁気記録媒体と摺動する面とは反対側の部分に非磁性部材が形成されることになる。さらに、第４の磁性コアブロックを２分割し磁性コア半体ブロックにコイル巻線溝を形成する工程、及びギャプ材を介して両磁性コア半体ブロックを突合せて接合して磁気ヘッドブロックを形成し、各ヘッドチプに切断した後にコイルを巻回する工程を有することにより、磁気ヘッド全体の大きさに比べて磁性コアが小さい磁気ヘッドが製造される。   In the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention, the second magnetic core block is cut to a required thickness, and the second non-magnetic film is formed on both sides of the first magnetic core block having a laminated film composed of a nonmagnetic film and a metal magnetic film. Since the third magnetic core block is formed by joining the magnetic members, the non-magnetic member is formed on both sides of the laminated magnetic core in the medium sliding direction in the completed magnetic head. . Since the fourth magnetic core block is formed by bonding a third non-magnetic member to the lower part of the third magnetic core block, in the completed magnetic head, the lower part of the magnetic core, that is, the magnetic recording medium A nonmagnetic member is formed in a portion opposite to the sliding surface. Furthermore, the fourth magnetic core block is divided into two to form a coil winding groove in the magnetic core half block, and both magnetic core half blocks are butted together via a gap material to form a magnetic head block Then, by having a step of winding the coil after cutting into each head chip, a magnetic head having a magnetic core smaller than the size of the entire magnetic head is manufactured.

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、非磁性膜と金属磁性膜からなる積層膜と、第１の非磁性部材とが積層された第１の磁性コアブロックの両側に第２の非磁性部材を接合して第２の磁性コアブロックを形成する工程と、第２の磁性コアブロックを所要の厚さに切断して第１の磁性コアブロックの両側に第２の非磁性部材を有する第３の磁性コアブロックを形成する工程と、第３の磁性コアブロックの下部に第３の非磁性部材を接合して第４の磁性コアブロックを形成する工程と、表面側の第１の磁性コアブロックを２分するように第４の磁性コアブロックを切断して第１の磁性コアブロックの片側と下部とに夫々第２の非磁性部材と第３の非磁性部材を有する磁性コア半体ブロックを形成する工程と、磁性コア半体ブロックに薄膜コイルを形成する工程と、１対の薄膜コイルを有する磁性コア半体をギャップ材を介して突合せて磁気ヘッドブロックを形成する工程と、磁気ヘッドブロックを各ヘッドチップに切断する工程とを有する。   The method of manufacturing a magnetic head according to the present invention includes a second nonmagnetic member on both sides of a first magnetic core block in which a laminated film composed of a nonmagnetic film and a metal magnetic film and a first nonmagnetic member are laminated. Forming a second magnetic core block by bonding the second magnetic core block and cutting the second magnetic core block to a required thickness and having a second nonmagnetic member on both sides of the first magnetic core block Forming a magnetic core block, forming a fourth magnetic core block by bonding a third nonmagnetic member to the lower portion of the third magnetic core block, and a first magnetic core block on the surface side The magnetic core half block having the second non-magnetic member and the third non-magnetic member on one side and the lower portion of the first magnetic core block by cutting the fourth magnetic core block so as to bisect Forming process and thin film coil on magnetic core half block And a step of forming, a step of forming a magnetic head block magnetic core half body butt through a gap member having a pair film coil, and a step of cutting the magnetic head block in each head chip.

本発明の磁気ヘッドの製造方法では、第２の磁性コアブロックを所要の厚さに切断して非磁性膜と金属磁性膜からなる積層膜を有する第１磁性コアブロックの両側に第２の非磁性部材を接合して第３の磁性コアブロックを形成する工程を有するので、完成後の磁気ヘッドにおいて、積層型の磁性コアの媒体摺動方向の両側に非磁性部材が形成されることになる。第３の磁性コアブロックの下部に第３の非磁性部材を接合して第４の磁性コアブロックを形成する工程を有するので、完成後の磁気ヘッドにおいて、磁性コアの下部、すなわち磁気記録媒体と摺動する面とは反対側の部分に非磁性部材が形成されることになる。さらに、第４の磁性コアブロックを２分割し磁性コア半体ブロックに薄膜コイルを形成する工程、及びギャプ材を介して両磁性コア半体ブロックを突合せて接合して磁気ヘッドブロックを形成し、各ヘッドチプに切断した後にコイルを巻回する工程を有することにより、磁気ヘッド全体の大きさに比べて磁性コアが小さい磁気ヘッドが製造される。薄膜コイルを形成するので、コイル巻回型の磁気ヘッドに比べてさらに磁性コアが小さい磁気ヘッドが製造できる。   In the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention, the second magnetic core block is cut to a required thickness, and the second non-magnetic film is formed on both sides of the first magnetic core block having a laminated film composed of a nonmagnetic film and a metal magnetic film. Since the third magnetic core block is formed by joining the magnetic members, the non-magnetic member is formed on both sides of the laminated magnetic core in the medium sliding direction in the completed magnetic head. . Since the fourth magnetic core block is formed by bonding a third non-magnetic member to the lower part of the third magnetic core block, in the completed magnetic head, the lower part of the magnetic core, that is, the magnetic recording medium A nonmagnetic member is formed in a portion opposite to the sliding surface. Further, the step of dividing the fourth magnetic core block into two to form a thin film coil in the magnetic core half block, and a magnetic head block is formed by abutting and joining both magnetic core half blocks via a gap material, By having a step of winding the coil after cutting into each head chip, a magnetic head having a magnetic core smaller than the entire size of the magnetic head is manufactured. Since a thin film coil is formed, a magnetic head having a smaller magnetic core than that of a coil winding type magnetic head can be manufactured.

本発明に係る磁気ヘッドによれば、磁気ヘッドとして通常外形を保ちつつ、磁性コアのみを小さくし、磁性コアに流れる磁束の損失を低減することにより、磁気ヘッドのインダクタンスの低下と、再生出力の飛躍的な向上を図ることができる。磁性コアが非磁性膜と金属磁性膜の積層膜で形成されるので、渦電流損失による高周波特性劣化を防ぐことができ、高周波特性の向上を図ることができる。   The magnetic head according to the present invention reduces the inductance of the magnetic head and reduces the reproduction output by reducing only the magnetic core and reducing the loss of magnetic flux flowing through the magnetic core while maintaining the normal outer shape of the magnetic head. A dramatic improvement can be achieved. Since the magnetic core is formed of a laminated film of a nonmagnetic film and a metal magnetic film, it is possible to prevent high frequency characteristics from being deteriorated due to eddy current loss, and to improve high frequency characteristics.

磁性コアの媒体摺動方向の両側に非磁性部材を形成することにより、磁性コアの更なる小型化を図ることができる。磁性コアの高さを巻き線窓の高さ＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）とし、巻線窓を挟んで磁気記録媒体と摺動する面と反対側の磁性コアの磁路幅を１００μｍ以上２００μｍ以下とすることにより、磁性コアのみの小型化を図ることができ、インダクタンスを低下し、再生出力を向上することができる。さらに磁性コアの摺動方向の幅を巻き線窓の幅＋（２５０μｍ〜５５０μｍ）とし、巻線窓を挟んで巻線窓の幅方向の各磁路幅を１２５μｍ以上２７５μｍ以下とすることにより、更なるインダクタンスの低下、再生出力の向上を図ることができる。
磁性コアの高さを磁路長／３＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）とし、巻線窓を挟んで磁気記録媒体と摺動する面と反対側の磁性コアの磁路幅を１００μｍ以上２００μｍ以下とすることにより、磁性コアのみの小型化を図ることができ、インダクタンスを低下し、再生出力を向上することができる。さらに磁性コアの摺動方向の幅を磁路長／６＋（２５０μｍ〜５５０μｍ）とし、巻線窓を挟んで巻線窓の幅方向の各磁路幅を１２５μｍ以上２７５μｍ以下とすることにより、更なるインダクタンスの低下、再生出力の向上を図ることができる。 By forming nonmagnetic members on both sides of the magnetic core in the medium sliding direction, the magnetic core can be further reduced in size. The height of the magnetic core is set to the height of the winding window + (120 μm to 220 μm), and the magnetic path width of the magnetic core on the side opposite to the surface sliding with the magnetic recording medium across the winding window is 100 μm to 200 μm. By doing so, it is possible to reduce the size of only the magnetic core, reduce the inductance, and improve the reproduction output. Furthermore, the width in the sliding direction of the magnetic core is set to the width of the winding window + (250 μm to 550 μm), and each magnetic path width in the width direction of the winding window with the winding window interposed therebetween is set to 125 μm or more and 275 μm or less, Further reduction in inductance and improvement in reproduction output can be achieved.
The height of the magnetic core is the magnetic path length / 3 + (120 μm to 220 μm), and the magnetic path width of the magnetic core on the side opposite to the surface sliding with the magnetic recording medium across the winding window is 100 μm or more and 200 μm or less. Thus, only the magnetic core can be reduced in size, the inductance can be reduced, and the reproduction output can be improved. Further, the width of the magnetic core in the sliding direction is set to the magnetic path length / 6 + (250 μm to 550 μm), and the width of each magnetic path in the width direction of the winding window is set to 125 μm or more and 275 μm or less by sandwiching the winding window. Thus, the inductance can be reduced and the reproduction output can be improved.

コイルとして薄膜コイルを設けることにより、コイル巻回型の磁気ヘッドに比べてさらに磁性コアの小型化を可能にし、更なるインダクタンスの低下、再生出力の向上を図ることができる。   By providing a thin film coil as the coil, it is possible to further reduce the size of the magnetic core as compared with the coil-wound type magnetic head, and to further reduce the inductance and improve the reproduction output.

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法によれば、磁気ヘッドとして通常外形を保ちつつ、磁性コアのみを小さくし、インダクタンスを低下し、再生出力を向上したコイル巻回型の磁気ヘッドを製造することができる。
磁性コアの媒体摺動方向の両側に非磁性材（第２の非磁性部材）の接合、磁性コアの下部に非磁性材（第３の非磁性部材）を接合するので、この接合の際に接合強度を確保するための平坦化鏡面加工を施すことになり、磁性コアである積層膜において金属磁性膜間の引きずりを完全に除去することができる。これにより渦電流損失による高周波特性の劣化を防ぎ、高周波特性の向上した磁気ヘッドを製造することができる。
本製造方法は、磁性コアの媒体摺動方向の両側と下部とに非磁性材を接合することにより、通常外形を保ちつつ磁性コアのみを小型化することにができる製造方法であり、磁性コア形状を一定にしたまま外形寸法を自由に選択することができる。 According to the method for manufacturing a magnetic head according to the present invention, it is possible to manufacture a coil-wound type magnetic head in which only the magnetic core is reduced, the inductance is reduced, and the reproduction output is improved while maintaining the normal outer shape of the magnetic head. Can do.
Since the non-magnetic material (second non-magnetic member) is joined to both sides of the magnetic core in the medium sliding direction, and the non-magnetic material (third non-magnetic member) is joined to the lower portion of the magnetic core. Flattening mirror surface processing is performed to ensure the bonding strength, and the drag between the metal magnetic films can be completely removed from the laminated film as the magnetic core. Thereby, it is possible to prevent the deterioration of the high frequency characteristics due to the eddy current loss and to manufacture the magnetic head with improved high frequency characteristics.
This manufacturing method is a manufacturing method in which only the magnetic core can be reduced in size while maintaining the normal outer shape by joining nonmagnetic materials to both sides and the lower part of the magnetic core in the medium sliding direction. The external dimensions can be freely selected while keeping the shape constant.

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法によれば、磁気ヘッドとして通常外形を保ちつつ、磁性コアのみを小さくし、インダクタンスを低下し、再生出力を向上した磁気ヘッドを製造することができる。特に薄膜コイルを形成することにより、コイル巻回型の磁気ヘッドに比べて磁性コア形状をさらに小さく形成することが可能になり、更なる高再生出力の磁気ヘッドを製造することができる。
薄膜コイルを形成することにより、コイル巻回工程を省略することができ、製造工程の短縮を図ることができる。
磁性コアの媒体摺動方向の両側に非磁性材（第２の非磁性部材）の接合、磁性コアの下部に非磁性材（第３の非磁性部材）を接合するので、この接合の際に接合強度を確保するための平坦化鏡面加工を施すことになり、磁性コアである積層膜において金属磁性膜間の引きずりを完全に除去することができる。これにより渦電流損失による高周波特性の劣化を防ぎ、高周波特性の向上した磁気ヘッドを製造することができる。
本製造方法は、磁性コアの媒体摺動方向の両側と下部とに非磁性材を接合することにより、通常外形を保ちつつ磁性コアのみを小型化することができる製造方法であり、磁性コア形状を一定にしたまま外形寸法を自由に選択することができる。 According to the method for manufacturing a magnetic head according to the present invention, it is possible to manufacture a magnetic head in which only the magnetic core is reduced, the inductance is reduced, and the reproduction output is improved while maintaining the normal outer shape of the magnetic head. In particular, by forming a thin film coil, the magnetic core shape can be made smaller than that of a coil-wound type magnetic head, and a magnetic head with higher reproduction output can be manufactured.
By forming the thin film coil, the coil winding process can be omitted, and the manufacturing process can be shortened.
Since the non-magnetic material (second non-magnetic member) is joined to both sides of the magnetic core in the medium sliding direction, and the non-magnetic material (third non-magnetic member) is joined to the lower portion of the magnetic core. Flattening mirror surface processing is performed to ensure the bonding strength, and the drag between the metal magnetic films can be completely removed from the laminated film as the magnetic core. Thereby, it is possible to prevent the deterioration of the high frequency characteristics due to the eddy current loss and to manufacture the magnetic head with improved high frequency characteristics.
This manufacturing method is a manufacturing method in which only the magnetic core can be reduced in size while maintaining its normal shape by joining nonmagnetic materials to both sides and the lower part of the magnetic core in the medium sliding direction. The external dimensions can be freely selected while maintaining a constant value.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図１は、本発明に係る積層型磁気ヘッドの一実施の形態を示す。
本実施の形態に係る積層型磁気ヘッド（いわゆるラミネートヘッド）１は、磁気ギャップ３が形成された積層型の磁性コア１１を有し、この磁性コア１１の両面、磁気記録媒体の摺動方向の両側及び磁気記録媒体摺動面５とは反対側に夫々非磁性部材１２［１２Ａ、１２Ｂ］、１３［１３Ａ、１３Ｂ］及び１４を接合し、磁性コア１１の巻き線窓６を通してコイル１５を巻回して構成される。即ち、磁性コア１１を挟むように磁気ギャップ幅方向の両側に非磁性部材１２［１２Ａ、１２Ｂ］が接合されると共に、磁性コア１１の磁気記録媒体摺動方向の両側に非磁性部材１３［１３Ａ、１３Ｂ］が接合され、さらに磁性コア１１及び非磁性部材１３［１３Ａ，１３Ｂ］を含む、摺動面５とは反対側の下部に非磁性部材１４が接合される。積層型の磁性コア１１は、後述するように金属磁性膜１６と非磁性膜１７とを交互に複数積層して形成される。磁気ギャップ３は、磁性コア半体の突合せ面に非磁性のギャップスペーサを成膜し、両磁性コア半体をギャップスペーサを介して接合して形成される。ギャップスペーサとしては、例えば低温拡散接合が可能な金（Ａｕ）を使用することができる。巻き線窓６の磁気ギャップ３側には、コア半体間の接合を補強するためのガラス部材４が充填される。磁性コア１１を囲う非磁性部材１２［１２Ａ、１２Ｂ］及び１３［１３Ａ、１３Ｂ］の摺動面５側には、磁気記録媒体の当たり幅を規制するための当たり幅規制溝８が、摺動方向に沿って形成される。当たり幅規制溝８は、摺動面５を挟んで両側に形成される。両側の非磁性部材１３Ａ、１３Ｂの側面には、巻き線窓６に対応する位置にコイル１５のガイド溝７が形成される。 FIG. 1 shows an embodiment of a laminated magnetic head according to the present invention.
A laminated magnetic head (so-called laminate head) 1 according to the present embodiment has a laminated magnetic core 11 in which a magnetic gap 3 is formed. Both sides of the magnetic core 11 are arranged in the sliding direction of the magnetic recording medium. Non-magnetic members 12 [12 A, 12 B], 13 [13 A, 13 B] and 14 are joined to both sides and the side opposite to the magnetic recording medium sliding surface 5, and the coil 15 is wound through the winding window 6 of the magnetic core 11. Configured by turning. That is, the nonmagnetic members 12 [12A, 12B] are joined to both sides of the magnetic gap width direction so as to sandwich the magnetic core 11, and the nonmagnetic members 13 [13A] are arranged on both sides of the magnetic core 11 in the magnetic recording medium sliding direction. , 13B], and the nonmagnetic member 14 is joined to the lower portion on the opposite side of the sliding surface 5 including the magnetic core 11 and the nonmagnetic member 13 [13A, 13B]. The laminated magnetic core 11 is formed by alternately laminating a plurality of metal magnetic films 16 and nonmagnetic films 17 as will be described later. The magnetic gap 3 is formed by forming a nonmagnetic gap spacer on the abutting surface of the magnetic core half and joining the two magnetic core halves via the gap spacer. As the gap spacer, for example, gold (Au) capable of low-temperature diffusion bonding can be used. A glass member 4 for reinforcing the bonding between the core halves is filled on the magnetic gap 3 side of the winding window 6. On the sliding surface 5 side of the nonmagnetic members 12 [12A, 12B] and 13 [13A, 13B] surrounding the magnetic core 11, a contact width restriction groove 8 for restricting the contact width of the magnetic recording medium slides. It is formed along the direction. The contact width restricting grooves 8 are formed on both sides of the sliding surface 5. Guide grooves 7 of the coil 15 are formed at positions corresponding to the winding window 6 on the side surfaces of the nonmagnetic members 13A and 13B on both sides.

ここで、磁気ヘッドは、通常の外形、大きさ（幅Ｌ２、高さＨ２）を保ちつつ、磁性コア１１を外形の大きさより小さくなるように形成される。即ち、磁気ヘッド１において、磁気ヘッド全体の記録媒体摺動方向の幅をＬ２、その磁気ヘッド全体の高さをＨ２としたとき、磁性コア１１の記録媒体摺動方向の幅Ｌ１は磁気ヘッド全体の幅Ｌ２より小さく（Ｌ１＜Ｌ２）、また磁性コア１１の高さＨ１は磁気ヘッド全体の高さＨ２より小さく（Ｈ１＜Ｈ２）設定される。例えば、磁性コア１１の幅Ｌ１は、具体的数値で巻き線窓の幅＋（２５０μｍ〜５５０μｍ）の範囲、磁性コア１１の高さＨ１は、具体的数値で巻き線窓の高さ＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）の範囲とすることができる。このときの磁性コアの巻線窓を挟んで磁気記録媒体と摺動する面と反対側の磁路幅Ｗ１は１００μｍ以上２００μｍ以下とすることができる（フロントデプスは最大で２０μｍ程度）。   Here, the magnetic head is formed so that the magnetic core 11 is smaller than the size of the outer shape while maintaining the normal outer shape and size (width L2, height H2). That is, in the magnetic head 1, when the width of the entire magnetic head in the sliding direction of the recording medium is L2, and the height of the entire magnetic head is H2, the width L1 of the magnetic core 11 in the sliding direction of the recording medium is the entire magnetic head. The height H1 of the magnetic core 11 is set to be smaller than the height H2 of the entire magnetic head (H1 <H2). For example, the width L1 of the magnetic core 11 is a specific value in the range of the winding window width + (250 μm to 550 μm), and the height H1 of the magnetic core 11 is a specific value of the height of the winding window + (120 μm). ˜220 μm). At this time, the magnetic path width W1 opposite to the surface sliding with the magnetic recording medium across the winding window of the magnetic core can be set to 100 μm or more and 200 μm or less (the front depth is about 20 μm at the maximum).

磁性コア幅Ｌ１を磁路長で規定すると次のようになる。例えば、磁路長９００μｍの場合には、巻き線窓の幅１５０μｍ、巻き線高さ（長さ）３００μｍであるので、磁性コア幅Ｌ１の範囲は４００〜７００μｍとなる。巻き線窓の幅と高さはおおよそ１：２の比率とすると、磁路長と巻き線窓の幅の関係はおおよそ、
巻き線窓幅＝（磁路長÷２）÷３＝磁路長／６となる。従って、磁性コア幅＝磁路長／６＋（２５０〜５５０）μｍとなる。この数値範囲の理由は、前述の巻き線幅で規定した場合と同様であるので、重複説明を省略する。
磁性コアの高さＨ１を磁路長で規定すると次のようになる。磁性コア高さ＝フロントデプス（最大２０μｍ）＋巻き線窓高さ＋バックデプスと規定できる。磁場解析シミュレーションからバックデプスが１００μｍあれば十分な磁束が通ることになる。磁性コア高さの最低値は１２０μｍ＋巻き線窓高さとなる。
よって、巻き線窓高さ＝（磁路長／２）×（２／３）とすると、
磁性コア高さ＝磁路長／３＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）となる。
例えば磁路長９００μｍの場合には磁性コア高さＨ１は、４２０μｍ〜５２０μｍになる。 When the magnetic core width L1 is defined by the magnetic path length, it is as follows. For example, when the magnetic path length is 900 μm, the winding window width is 150 μm and the winding height (length) is 300 μm, so the magnetic core width L1 is in the range of 400 to 700 μm. If the width and height of the winding window are approximately 1: 2, the relationship between the magnetic path length and the width of the winding window is approximately:
Winding window width = (magnetic path length ÷ 2) ÷ 3 = magnetic path length / 6. Therefore, magnetic core width = magnetic path length / 6 + (250 to 550) μm. The reason for this numerical range is the same as that defined by the above-described winding width, and thus the duplicate description is omitted.
When the height H1 of the magnetic core is defined by the magnetic path length, it is as follows. Magnetic core height = front depth (maximum 20 μm) + winding window height + back depth. From the magnetic field analysis simulation, if the back depth is 100 μm, a sufficient magnetic flux will pass. The minimum value of the magnetic core height is 120 μm + the winding window height.
Therefore, if the winding window height = (magnetic path length / 2) × (2/3),
Magnetic core height = magnetic path length / 3 + (120 μm to 220 μm).
For example, when the magnetic path length is 900 μm, the magnetic core height H1 is 420 μm to 520 μm.

このコイル巻回型の磁気ヘッド１の場合、例えば磁性コアの磁路長が９００μｍとすると、磁性コア１１の幅Ｌ１は、９００÷６＋（２５０〜５５０）＝４００〜７００μｍの範囲とすることができる。磁性コア１１の高さＨ１は、９００÷３＋（１２０〜２２０）＝４２０〜５２０μｍの範囲とすることができる。   In the case of this coil-wound magnetic head 1, for example, if the magnetic path length of the magnetic core is 900 μm, the width L1 of the magnetic core 11 may be in a range of 900 ÷ 6 + (250 to 550) = 400 to 700 μm. it can. The height H1 of the magnetic core 11 can be in a range of 900 ÷ 3 + (120 to 220) = 420 to 520 μm.

ここで、磁性コアの高さが巻き線窓の高さ＋１２０μｍ、幅が巻き線窓の幅＋２５０μｍ未満であると、磁性コアの磁気抵抗が高くなり過ぎる。磁性コアの高さ巻き線窓の高さ＋２２０μｍ、幅が巻き線窓の幅＋５５０μｍを越えると、磁気ヘッドのインダクタンスが大きくなり過ぎる。磁性コアの磁路幅が１００μｍ未満であると、磁性コアの磁気抵抗が高くなり過ぎる。   Here, when the height of the magnetic core is less than the height of the winding window + 120 μm and the width is less than the width of the winding window + 250 μm, the magnetic resistance of the magnetic core becomes too high. When the height of the magnetic core is +220 μm and the width is more than 550 μm, the inductance of the magnetic head becomes too large. When the magnetic path width of the magnetic core is less than 100 μm, the magnetic resistance of the magnetic core becomes too high.

本実施の形態の磁気ヘッド１によれば、従来の磁気ヘッド１０１に比べると、磁気ヘッドの外形、大きさは同じでも（幅Ｌ２、高さＨ２）、磁性コア１１を小さくするので、インダクタンス低下と再生出力の飛躍的な向上を図ることができる。磁性コア１１が金属磁性膜と絶縁膜の積層膜で形成され、後述するように非磁性部材１３［１３Ａ、１３Ｂ］、１４を磁性コア１１に低温金接合する際に、接合強度を確保するために平坦化鏡面加工を施すことで、積層間の引きずりを完全に除去でき、従来型の磁気ヘッドで問題となっている渦電流損失による高周波特性劣化を防ぐことができる。よって、高周波数特性の向上を図ることができる。   According to the magnetic head 1 of the present embodiment, compared with the conventional magnetic head 101, the magnetic core 11 is made smaller even if the outer shape and size of the magnetic head are the same (width L2, height H2), so that the inductance is reduced. And dramatic improvement in playback output. The magnetic core 11 is formed of a laminated film of a metal magnetic film and an insulating film, and in order to secure bonding strength when the nonmagnetic members 13 [13A, 13B] and 14 are bonded to the magnetic core 11 at a low temperature as will be described later. By applying a flattened mirror finish, the drag between the stacked layers can be completely removed, and deterioration of high frequency characteristics due to eddy current loss, which is a problem with conventional magnetic heads, can be prevented. Therefore, the high frequency characteristics can be improved.

次に、上述の磁気ヘッド１の製造方法の実施の形態を図２〜図８を用いて説明する。
先ず、図２Ａに示すように、両面が鏡面加工された非磁性材からなる基板２０を用意する。例えばアルミナ等のセラミック基板を用意する。なお、この基板２０は、便宜的に短冊状に作用したが実際にはこれより大面積に形成されている。 Next, an embodiment of a method for manufacturing the magnetic head 1 will be described with reference to FIGS.
First, as shown in FIG. 2A, a substrate 20 made of a nonmagnetic material whose both surfaces are mirror-finished is prepared. For example, a ceramic substrate such as alumina is prepared. The substrate 20 acts in a strip shape for convenience, but is actually formed in a larger area.

次に、基板２０の片面に磁性コアとなる積層膜（以下、積層磁性膜という）２をスパッタ等の真空薄膜形成法により形成する。この積層磁性膜２は、金属磁性膜１６と非磁性膜１７を交互に積層して形成される。そして、図２Ｂに示すように、積層磁性膜２を成膜した基板２０を短冊状に切断して短冊状コア基板２１を形成する。金属磁性膜１６としては、Ｃｏに主としてＺｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｕ等の１種または数種を添加して構成されたアモルファス材料が選ばれる。非磁性膜１７としては、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｓｉ３Ｎ４等の酸化物や窒化物等の如き電気的絶縁膜が選ばれる。 Next, a laminated film (hereinafter referred to as a laminated magnetic film) 2 serving as a magnetic core is formed on one surface of the substrate 20 by a vacuum thin film forming method such as sputtering. The laminated magnetic film 2 is formed by alternately laminating metal magnetic films 16 and nonmagnetic films 17. 2B, the substrate 20 on which the laminated magnetic film 2 is formed is cut into a strip shape to form a strip-shaped core substrate 21. As the metal magnetic film 16, an amorphous material constituted by adding one kind or several kinds such as Zr, Ta, Ti, Hf, Mo, Nb, Au, Pd, and Ru to Co is selected. As the nonmagnetic film 17, an electrical insulating film such as an oxide or nitride such as SiO 2 , Al 2 O 3 , Si 3 N 4 or the like is selected.

次に、図２Ｃに示すように、積層磁性膜２が形成された複数の短冊状コア基板２１を整列させ接合一体化して磁性コア基板２２を形成する。この場合、例えば接合する夫々の面にＣｒ膜及びＡｕ膜を順次堆積し、Ａｕ膜による低温拡散接合で一体化させることができる。この磁性コア基板２２を短冊状コア基板２１の整列方向に沿い、且つＡ−Ａ´線、Ｂ−Ｂ´線、Ｃ−Ｃ´線に沿って切断する。
これによって、図３Ｄに示すように、複数の短冊状コア基板２１が一体化された所要の幅を有する第１の磁性コアブロック２３が形成される。 Next, as shown in FIG. 2C, a plurality of strip-shaped core substrates 21 on which the laminated magnetic film 2 is formed are aligned and joined together to form a magnetic core substrate 22. In this case, for example, a Cr film and an Au film can be sequentially deposited on each surface to be bonded, and can be integrated by low-temperature diffusion bonding using an Au film. The magnetic core substrate 22 is cut along the alignment direction of the strip-shaped core substrate 21 and along the lines AA ′, BB ′, and CC ′.
As a result, as shown in FIG. 3D, a first magnetic core block 23 having a required width in which a plurality of strip-shaped core substrates 21 are integrated is formed.

次に、図３Ｅに示すように、第１の磁性コアブロック２３の両側面に非磁性基板２４を接合し、図３Ｆに示すように、第２の磁性コアブロック２５を形成する。この接合についても上記と同様、Ａｕ膜による低温拡散接合で一体化させることができる。次に、この第２の磁性コアブロック２５をＤ−Ｄ´線で切断し、第１の磁性コアブロックの両側に非磁性部材２４を有する。第３の磁性コアブロック２６を形成する。   Next, as shown in FIG. 3E, the nonmagnetic substrate 24 is bonded to both side surfaces of the first magnetic core block 23, and the second magnetic core block 25 is formed as shown in FIG. 3F. As in the above, this bonding can also be integrated by low-temperature diffusion bonding using an Au film. Next, this 2nd magnetic core block 25 is cut | disconnected by DD 'line, and it has the nonmagnetic member 24 on both sides of the 1st magnetic core block. A third magnetic core block 26 is formed.

次に、図４Ｇに示すように、第３の磁性コアブロック２６の下部に非磁性基板２７を接合して第４の磁性コアブロック２８を形成する。この接合についても上記と同様、Ａｕ膜による低温拡散接合で一体化させることができる。この第４の磁性コアブロック２８を図４Ｈに示すように、Ｅ−Ｅ´線で分離する。即ち、第１の磁性コアブロック２３の中央から２分するように切断し、図４Ｉに示すように、第１の磁性コアブロック２３の片面と下面に非磁性部材２４及び２７が接合されてなる。略対称な磁性コア半体ブロック２９、３０を形成する。   Next, as shown in FIG. 4G, a nonmagnetic substrate 27 is bonded to the lower part of the third magnetic core block 26 to form a fourth magnetic core block 28. As in the above, this bonding can also be integrated by low-temperature diffusion bonding using an Au film. The fourth magnetic core block 28 is separated by the line EE ′ as shown in FIG. 4H. That is, the first magnetic core block 23 is cut into two parts from the center, and nonmagnetic members 24 and 27 are joined to one side and the lower surface of the first magnetic core block 23 as shown in FIG. 4I. . The substantially symmetrical magnetic core half blocks 29 and 30 are formed.

次に、図５Ｊに示すように、一方の磁性コア半体ブロック３０の両側を一部切断して、他方の磁性コア半体ブロック２９より短くした後、半体コアブロック２９、３０の対向面に、その長手方向に沿って伸びる巻き線溝６Ａを形成する。巻き線溝６Ａの形成面、即ち突合せ面を鏡面研磨し、その鏡面加工面にギャップ材かつ接合材となる非磁性材をスパッタ等の真空薄膜形成法により成膜する。ここでの非磁性材としては、低温拡散接合できる金（Ａｕ）が使用される。例えば、下層をＣｒ膜、上層をＡｕ膜とした２層膜を用いることができる。   Next, as shown in FIG. 5J, after partially cutting both sides of one magnetic core half block 30 to make it shorter than the other magnetic core half block 29, the opposing surfaces of the half core blocks 29, 30 The winding groove 6A extending along the longitudinal direction is formed. The formation surface of the winding groove 6A, that is, the butt surface is mirror-polished, and a non-magnetic material serving as a gap material and a bonding material is formed on the mirror-finished surface by a vacuum thin film forming method such as sputtering. As the nonmagnetic material here, gold (Au) capable of low-temperature diffusion bonding is used. For example, a two-layer film in which the lower layer is a Cr film and the upper layer is an Au film can be used.

次に、図５Ｋに示すように、磁性コア半体ブロック２９と３０の積層磁性膜２同士が相対向するように突合せて熱処理を行い接合一体化して磁気ヘッドブロック３１を形成する。   Next, as shown in FIG. 5K, the laminated magnetic films 2 of the magnetic core half blocks 29 and 30 are abutted so as to face each other and subjected to heat treatment to be bonded and integrated to form the magnetic head block 31.

次に、図６Ｌに示すように、接合一体化された磁気ヘッドブロック３１の巻き線溝６Ａにガラス棒４Ａを入れて磁気記録媒体との摺動面５側を下となるように配置して熱処理してガラス４を巻き線溝６Ａ上部に充填する。ガラス４は、磁性コア半体ブロック２９、３０の接合補強及び磁気記録媒体との摺動によりヘッドが摩耗した際の強度低下を防止する役割を担う。   Next, as shown in FIG. 6L, the glass rod 4A is placed in the winding groove 6A of the magnetic head block 31 that is joined and integrated, and the sliding surface 5 side with the magnetic recording medium is arranged downward. The glass 4 is filled in the upper part of the winding groove 6A by heat treatment. The glass 4 plays a role of preventing a decrease in strength when the head is worn due to joint reinforcement of the magnetic core half blocks 29 and 30 and sliding with the magnetic recording medium.

次に、図６Ｍに示すように、磁気ヘッドブロック３１の磁性コアに対応する両側の非磁性材２４にコイルのガイド溝７を形成する。
次に、図７Ｎに示すように、磁気ヘッドブロック３１の磁気記録媒体摺動面側の非磁性材に当たり幅規制溝８を形成する。 Next, as shown in FIG. 6M, coil guide grooves 7 are formed in the nonmagnetic material 24 on both sides corresponding to the magnetic core of the magnetic head block 31.
Next, as shown in FIG. 7N, the width restricting groove 8 is formed against the nonmagnetic material on the magnetic recording medium sliding surface side of the magnetic head block 31.

次に、図７Ｏに示すように、当たり幅規制溝８の中央をＡ−Ａ´線、Ｂ−Ｂ´線、・・・Ｉ−Ｉ´線、Ｊ−Ｊ´線に沿って切断する。これにより、図８に示すように、磁気ヘッドチップ４１が得られる。その後、巻き線窓６及びガイド溝７にコイル１５を巻回して図１に示す目的の積層型磁気ヘッド１を完成する。   Next, as shown in FIG. 7O, the center of the contact width restricting groove 8 is cut along the lines AA ′, BB ′,..., I ′ ′, and JJ ′. As a result, the magnetic head chip 41 is obtained as shown in FIG. Thereafter, the coil 15 is wound around the winding window 6 and the guide groove 7 to complete the target laminated magnetic head 1 shown in FIG.

本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法によれば、第１の磁性コアブロック２３の両側部に非磁性材２４を接合し、所要の厚さで切断して得た第３の磁性コアブロック２６の下部に非磁性材２７を接合することにより、最終的に通常の外形の大きさを保ちつつ、磁性コアのみを小型化することができる。また、コア形状を一定にしたまま外形寸法を自由に選択することができる。従って、インダクタンスが低下し、再生出力が向上した積層型磁気ヘッドを製造することができる。磁性コア１１に両側の非磁性材２４及び下部の非磁性材２７を低温接合する際に、接合強度を確保するために、平坦化鏡面加工施すことにより、積層磁性膜２の積層間の金属磁性膜の引きずりを完全に除去することができる。これにより、従来型で問題となっていた渦電流損失による高周波特性の劣化を防ぐことができる。   According to the method of manufacturing a magnetic head according to the present embodiment, the third magnetic core block obtained by joining the nonmagnetic material 24 to both sides of the first magnetic core block 23 and cutting it at a required thickness. By joining the non-magnetic material 27 to the lower part of 26, it is possible to downsize only the magnetic core while maintaining the normal size of the final shape. Further, the outer dimensions can be freely selected while keeping the core shape constant. Therefore, it is possible to manufacture a laminated magnetic head with reduced inductance and improved reproduction output. When the non-magnetic material 24 on both sides and the non-magnetic material 27 on the lower side are bonded to the magnetic core 11 at a low temperature, in order to ensure the bonding strength, the surface of the laminated magnetic film 2 between the laminated magnetic films 2 is subjected to a flattened mirror finish. The film drag can be completely removed. Thereby, it is possible to prevent the deterioration of the high frequency characteristics due to the eddy current loss, which has been a problem in the conventional type.

図９は、本発明に係る積層磁気ヘッドの他の実施の形態を示す。本実施の形態に係る積層型磁気ヘッド８１は、磁気ギャップ８３を有する積層型の磁性コア８２の両側の面に非磁性部材８４［８４Ａ、８４Ｂ］を接合すると共に、磁性コア８２の下部に非磁性部材８５を接合して構成される。この場合、磁気ヘッド８１の全体の外形、大きさは、通常と同じにし、即ち前述と同様に磁気記録媒体の摺動方向の幅をＬ２、ヘッド高さをＨ２とし、磁性コア８２のみを小さく、即ち摺動方向の幅をＬ２、磁性コア高さをＨ１として構成される。この薄膜コイルを有する磁気ヘッド８１の場合も、上述の実施の形態と同様に、通常の外形、大きさ（幅Ｌ２，高さＨ２）を保ちつつ、磁性コア８２を外形の大きさより小さくなるように形成される。即ち、磁気ヘッド８１において、磁気ヘッド全体の記録媒体摺動方向の幅をＬ２、その磁気ヘッド全体の高さをＨ２としたとき、磁性コア１１の記録媒体摺動方向の幅Ｌ１は磁気ヘッド全体の幅Ｌ２より小さく（Ｌ１＜Ｌ２）、また磁性コア１１の高さＨ１は磁気ヘッド全体の高さＨ２より小さく（Ｈ１＜Ｈ２）設定される。例えば、具体的数値で巻き線窓の幅＋（２５０μｍ〜５５０μｍ）の範囲、磁性コア１１の高さＨ１は、具体的数値で巻き線窓の高さ＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）の範囲とすることができる。このときの磁性コアの巻線窓を挟んで磁気記録媒体と摺動する面と反対側の磁路幅Ｗ１は１００μｍ以上２００μｍ以下とすることができる。この場合も、磁性コアの高さが巻き線窓の高さ＋１２０μｍ未満、幅が巻き線窓の幅＋２５０μｍ未満であると、磁性コアの磁気抵抗が高くなり過ぎる。磁性コアの高さが巻き線窓の高さ＋２２０μｍを超えて、幅が巻き線窓の幅＋５５０μｍを越えると、磁気ヘッドのインダクタンスが大きくなり過ぎる。磁性コアの磁路幅が１００μｍ未満であると、磁性コアの磁気抵抗が高くなり過ぎる。その他の構成は前述の図１と同様であるので、対応する部分に同一符号を付して重複説明を省略する。   FIG. 9 shows another embodiment of the laminated magnetic head according to the present invention. In the laminated magnetic head 81 according to the present embodiment, nonmagnetic members 84 [84A, 84B] are bonded to both sides of the laminated magnetic core 82 having the magnetic gap 83, and the magnetic core 82 is not attached to the lower part. The magnetic member 85 is joined. In this case, the overall outer shape and size of the magnetic head 81 are the same as usual, that is, the width in the sliding direction of the magnetic recording medium is L2, the head height is H2, and only the magnetic core 82 is reduced as described above. That is, the width in the sliding direction is L2, and the height of the magnetic core is H1. Also in the case of the magnetic head 81 having this thin film coil, the magnetic core 82 is made smaller than the size of the outer shape while maintaining the normal shape and size (width L2, height H2) as in the above-described embodiment. Formed. That is, in the magnetic head 81, when the width of the entire magnetic head in the sliding direction of the recording medium is L2, and the height of the entire magnetic head is H2, the width L1 of the magnetic core 11 in the sliding direction of the recording medium is the entire magnetic head. The height H1 of the magnetic core 11 is set to be smaller than the height H2 of the entire magnetic head (H1 <H2). For example, the specific value is in the range of the winding window width + (250 μm to 550 μm), and the height H1 of the magnetic core 11 is the specific value in the range of the winding window height + (120 μm to 220 μm). Can do. At this time, the magnetic path width W1 on the opposite side of the surface sliding with the magnetic recording medium across the winding window of the magnetic core can be set to 100 μm or more and 200 μm or less. Also in this case, if the height of the magnetic core is less than the height of the winding window + 120 μm and the width is less than the width of the winding window + 250 μm, the magnetic resistance of the magnetic core becomes too high. If the height of the magnetic core exceeds the height of the winding window + 220 μm and the width exceeds the width of the winding window + 550 μm, the inductance of the magnetic head becomes too large. When the magnetic path width of the magnetic core is less than 100 μm, the magnetic resistance of the magnetic core becomes too high. Since the other configuration is the same as that of FIG. 1 described above, the same reference numerals are assigned to the corresponding portions, and redundant description is omitted.

磁性コア幅Ｌ１及び高さＨ１を磁路長で規定すると、前述と同様に次のようになる。すなわち、磁性コア幅Ｌ１は、磁性コア幅＝磁路長／６＋（２５０〜５５０）μｍとなる。
磁性コア高さＨ１は、磁性コア高さ＝磁路長／３＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）となる。この数値範囲の理由は、前述の巻き線幅及び巻き線高さで規定した場合と同様であるので、重複説明を省略する。 When the magnetic core width L1 and height H1 are defined by the magnetic path length, the following is obtained as described above. That is, the magnetic core width L1 is magnetic core width = magnetic path length / 6 + (250 to 550) μm.
The magnetic core height H1 is magnetic core height = magnetic path length / 3 + (120 μm to 220 μm). The reason for this numerical range is the same as that defined by the above-described winding width and winding height, and therefore a duplicate description is omitted.

本実施の形態に係る積層型磁気ヘッド８１によれば、磁性コア８２の下部に非磁性部材８５が形成され、磁性コア８２が実質的に小さく形成されるので、磁路長が従来型より短くなり、積層型磁気ヘッドにおけるインダクタンスを低減し、再生出力を向上することができる。また、磁性コア８２の金属磁性膜１６の積層間引きずりを完全に除去し、従来型で問題となっていた渦電流損失による高周波特性の劣化を防ぐことができる。   According to the laminated magnetic head 81 according to the present embodiment, the nonmagnetic member 85 is formed below the magnetic core 82, and the magnetic core 82 is formed to be substantially smaller, so that the magnetic path length is shorter than that of the conventional type. Thus, the inductance in the laminated magnetic head can be reduced and the reproduction output can be improved. In addition, it is possible to completely remove the stacking thinning of the metal magnetic film 16 of the magnetic core 82, and to prevent the deterioration of the high frequency characteristics due to the eddy current loss which has been a problem in the conventional type.

図１０は、図１６の従来型の磁気ヘッド１０１と、図９の磁性コア８２の下部に非磁性部材８５を接合した本発明の磁気ヘッド８１と、図１の磁性コア１１の両側及び下部に非磁性部材１３［１３Ａ、１３Ｂ］及び１４を接合した本発明の磁気ヘッド１とを比較したインダクタンス特性と相対再生出力特性を示す。各試料（磁気ヘッド）は外形、大きさ、巻き線窓、及びコイルの巻き数を夫々同じにした。また、磁気ヘッド８１の磁性コア高さは従来型の磁気ヘッド１０１の１／５とした。磁気ヘッド１の磁性コア高さ及び磁性コア幅は夫々従来型の磁気ヘッド１０１の１／５とした。
図１０において、横軸は、各磁気ヘッド１０１、８１、１を示し、縦軸のうち、左側は棒グラフのインダクタンス［μＨ］、右側は折れ線グラフａの相対再生出力（従来型との比を示す）［ｄＢ］を示す。 10 shows the conventional magnetic head 101 of FIG. 16, the magnetic head 81 of the present invention in which a nonmagnetic member 85 is joined to the lower part of the magnetic core 82 of FIG. 9, and both sides and the lower part of the magnetic core 11 of FIG. An inductance characteristic and a relative reproduction output characteristic are shown in comparison with the magnetic head 1 of the present invention in which the nonmagnetic members 13 [13A, 13B] and 14 are joined. Each sample (magnetic head) had the same outer shape, size, winding window, and number of coil turns. The magnetic core 81 has a magnetic core height that is 1/5 that of the conventional magnetic head 101. The magnetic core height and magnetic core width of the magnetic head 1 were set to 1/5 that of the conventional magnetic head 101, respectively.
In FIG. 10, the horizontal axis represents the magnetic heads 101, 81, and 1. The vertical axis represents the inductance [μH] of the bar graph on the left side, and the relative reproduction output of the line graph a (the ratio to the conventional type) on the right side. ) [DB].

従来型の磁性コアを備えた磁気ヘッドは、インダクタンス約０．５μＨ、相対再生出力は０ｄＢである。ここで、磁気ヘッドの磁性コア形状を磁性コア高さを短くしたコア形状にすることで、インダクタンス約０．３μＨ、相対再生出力を約１，８ｄＢとすることができる（磁気ヘッド８１参照）。さらに、磁気ヘッドの磁性コア形状を磁性コア高さ及び幅を短くしたコア形状にすることで、インダクタンスを約０．２５μＨ、相対再生出力を約２，８ｄＢにすることができる（磁気ヘッド１参照）。すなわち、従来の磁気ヘッド１０１と磁性コア高さ及び幅を短くした磁気ヘッド１と比較すると、インダクタンスは半分に低減でき、相対再生出力＋２，８ｄＢと向上することができる。さらに、磁気ヘッドのコイルの巻き数を増やしてインダクタンスを同等にした場合には、相対再生出力＋６ｄＢ（計算値）となる見込みである。磁性コア形状を小さくすることでインダクタンスを小さくすることができ、さらに相対再生出力を向上させることができる。   A magnetic head having a conventional magnetic core has an inductance of about 0.5 μH and a relative reproduction output of 0 dB. Here, by making the magnetic core shape of the magnetic head into a core shape in which the height of the magnetic core is shortened, the inductance can be about 0.3 μH and the relative reproduction output can be about 1,8 dB (see the magnetic head 81). Furthermore, by making the magnetic core shape of the magnetic head into a core shape in which the height and width of the magnetic core are shortened, the inductance can be about 0.25 μH and the relative reproduction output can be about 2,8 dB (see the magnetic head 1). ). That is, compared with the conventional magnetic head 101 and the magnetic head 1 in which the height and width of the magnetic core are shortened, the inductance can be reduced to half and the relative reproduction output can be improved to +2, 8 dB. Furthermore, when the number of turns of the coil of the magnetic head is increased and the inductance is made equal, the relative reproduction output is expected to be +6 dB (calculated value). By reducing the magnetic core shape, the inductance can be reduced, and the relative reproduction output can be further improved.

磁気ヘッドの小コア化のときに問題となるのは、巻き線窓である。巻き線を行うためには、巻き線窓の大きさがある程度必要であるため、小コア化に限界が生じる。そのため、薄膜コイルをあらかじめ形成することにより、この問題を回避することができる。   A winding window is a problem when the magnetic head is made smaller. In order to perform winding, the winding window needs to have a certain size. Therefore, this problem can be avoided by forming the thin film coil in advance.

図１１は、薄膜コイルを利用した本発明に係る積層型磁気ヘッドのさらに他の実施の形態を示す。本実施の形態に係る積層型磁気ヘッド７１は、図１２Ａ、Ｂに示すように、金属磁性膜１６と非磁性膜１７とを交互に積層し、磁気ギャップ６３を有した積層磁性コア６２を小さく形成し、この積層磁性コア６２の両面、磁気記録媒体の摺動方向の両側、及び磁性コア６２の下部側に夫々非磁性部材７２［７２Ａ、７２Ｂ］、７３［７３Ａ、７３Ｂ］、及び７４を接合して構成される。この磁気ヘッド７１では、図１２Ｂに示すように、磁気ヘッド半体７５（一方のみ示すが、他方の磁気ヘッド半体７６も同様の構成である）の他方の磁気ヘッド半体との突合せ面７５ａに、磁性コア半体６２Ａの磁路を取り巻くように薄膜コイル半体７６ａが形成される。薄膜コイル半体７６ａには内端末７７が形成され、外端末が一方の外部導出端子７８に接続されている。他方の磁気ヘッド半体７６の薄膜コイル半体７６も同様に形成され、その外端末が図１２Ａに示す他方の外部導出端子７９に接続される。薄膜コイル半体７６ａと外部導出端子７８、他方の薄膜コイル半体７６ａと外部導出端子７９は後述するように同時に形成される。両磁気ヘッド半体７５及び７６をギャップ材となる非磁性材を介して接合一体化したとき、薄膜コイル半体７６ａの内端末７７同士が接続されて、１つの薄膜コイル７６が形成される。   FIG. 11 shows still another embodiment of a laminated magnetic head according to the present invention using a thin film coil. As shown in FIGS. 12A and 12B, the laminated magnetic head 71 according to the present embodiment has the metal magnetic film 16 and the nonmagnetic film 17 alternately laminated, and the laminated magnetic core 62 having the magnetic gap 63 is made smaller. Nonmagnetic members 72 [72A, 72B], 73 [73A, 73B], and 74 are formed on both sides of the laminated magnetic core 62, both sides in the sliding direction of the magnetic recording medium, and the lower side of the magnetic core 62, respectively. Constructed by joining. In this magnetic head 71, as shown in FIG. 12B, a butting surface 75a of the magnetic head half 75 (only one is shown, but the other magnetic head half 76 has the same configuration) with the other magnetic head half. Further, the thin film coil half 76a is formed so as to surround the magnetic path of the magnetic core half 62A. An inner terminal 77 is formed on the thin-film coil half 76 a, and the outer terminal is connected to one external lead-out terminal 78. The thin film coil half 76 of the other magnetic head half 76 is formed in the same manner, and its outer terminal is connected to the other external lead-out terminal 79 shown in FIG. 12A. The thin film coil half 76a and the external lead-out terminal 78, and the other thin film coil half 76a and the external lead-out terminal 79 are formed at the same time as described later. When the magnetic head halves 75 and 76 are joined and integrated via a nonmagnetic material serving as a gap material, the inner terminals 77 of the thin film coil half 76a are connected to form one thin film coil 76.

本実施の形態の薄膜コイルを利用した積層型磁気ヘッド７１においても、前述の図１の積層型磁気ヘッド１と同様に、磁気ヘッド全体の記録媒体摺動方向の幅をＬ２、その磁気ヘッド全体の高さをＨ２としたとき、磁性コア６２の記録媒体摺動方向の幅Ｌ１は磁気ヘッド全体の幅Ｌ２より小さく（Ｌ１＜Ｌ２）、また磁性コア６２の高さＨ１は磁気ヘッド全体の高さＨ２より小さく（Ｈ１＜Ｈ２）設定される。例えば、磁性コア６２の幅Ｌ１は、具体的数値で巻き線窓の幅＋（２５０μｍ〜５５０μｍ）の範囲、磁性コア６２の高さＨ１は、具体的数値で巻き線窓の高さ＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）の範囲とすることができる。このときの磁性コアの巻線窓を挟んで磁気記録媒体と摺動する面と反対側の磁路幅Ｗ１は１００μｍ以上２００μｍ以下とすることができる。   Also in the laminated magnetic head 71 using the thin film coil of the present embodiment, the width of the whole magnetic head in the sliding direction of the recording medium is L2, as in the laminated magnetic head 1 of FIG. The height L1 of the magnetic core 62 is smaller than the width L2 of the entire magnetic head (L1 <L2), and the height H1 of the magnetic core 62 is the height of the entire magnetic head. Is set smaller than the height H2 (H1 <H2). For example, the width L1 of the magnetic core 62 is a specific value in the range of the winding window width + (250 μm to 550 μm), and the height H1 of the magnetic core 62 is a specific value of the height of the winding window + (120 μm). ˜220 μm). At this time, the magnetic path width W1 on the opposite side of the surface sliding with the magnetic recording medium across the winding window of the magnetic core can be set to 100 μm or more and 200 μm or less.

磁性コアＬ１及び高さＨ１を磁路長で規定すると、前述と同様に次のようになる。すなわち、磁性コア幅Ｌ１は、磁性コア幅＝磁路長／６＋（２５０〜５５０）μｍとなる。
磁性コア高さＨ１は、磁性コア高さ＝磁路長／３＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）となる。この数値範囲の理由は、前述の巻き線幅及び巻き線高さで規定した場合と同様であるので、重複説明を省略する。
この薄膜コイル型の磁気ヘッド７１の場合、例えば磁性コア６２の磁路長が２５０μｍとすると、磁性コア６２の幅Ｌ１は、２５０÷６＋（２５０〜５５０）≒３００〜６００μｍの範囲とすることができる。磁性コア６２の高さＨ１は、２５０÷３＋（１２０〜２２０）≒２００〜３００μｍの範囲とすることができる。 When the magnetic core L1 and the height H1 are defined by the magnetic path length, the following is obtained as described above. That is, the magnetic core width L1 is magnetic core width = magnetic path length / 6 + (250 to 550) μm.
The magnetic core height H1 is magnetic core height = magnetic path length / 3 + (120 μm to 220 μm). The reason for this numerical range is the same as that defined by the above-described winding width and winding height, and therefore a duplicate description is omitted.
In the case of this thin-film coil type magnetic head 71, for example, if the magnetic path length of the magnetic core 62 is 250 μm, the width L1 of the magnetic core 62 may be in a range of 250 ÷ 6 + (250 to 550) ≈300 to 600 μm. it can. The height H1 of the magnetic core 62 can be in a range of 250 ÷ 3 + (120 to 220) ≈200 to 300 μm.

本実施の形態に係る積層型磁気ヘッド７１によれば、薄膜コイル７６を用いることにより、コイル巻回型に比べてさらに磁性コア６２を小型化することができ、さらに高出力化することができる。巻き線窓８０の更なる小型化により高周波特性を向上することができる。また、コイル巻回工程を省略することができる。そして、本磁気ヘッド７１においても、前述の実施の形態と同様に、磁性コア６２が小型化することにより、積層型磁気ヘッドにおけるインダクタンスの低減を図り、再生出力の飛躍的な向上を図ることができる。また、金属磁性膜１６間の引きずりがなく従来型で問題となった渦電流損失による高周波特性の劣化を防ぐことができる。   According to the laminated magnetic head 71 according to the present embodiment, by using the thin film coil 76, the magnetic core 62 can be further reduced in size and higher in output than the coil winding type. . Higher frequency characteristics can be improved by further downsizing the winding window 80. Further, the coil winding step can be omitted. In the magnetic head 71 as well, in the same way as in the above-described embodiment, the magnetic core 62 is reduced in size so that the inductance in the laminated magnetic head can be reduced and the reproduction output can be greatly improved. it can. Further, there is no drag between the metal magnetic films 16, and deterioration of the high frequency characteristics due to eddy current loss, which is a problem in the conventional type, can be prevented.

ここで、図１５を用いて磁気ヘッドの磁路長（巻き線窓形状）と再生出力の関係を説明する。
縦軸に再生出力［ｄＢｍ］、横軸を磁路長［μｍ］である。直線αは信号周波数が２８ＭＨｚの場合、直線βは信号周波数が４４ＭＨｚの場合、直線γは信号周波数が５６ＭＨｚの場合である。従来型の磁気ヘッド１０１の磁性コアの磁路長の限界は２０００μｍ程度、本発明のコイル巻回型磁気ヘッドの磁性コアの磁路長は９００μｍ程度、本発明の薄型コイル型の磁気ヘッドの磁性コアの磁路長は２５０μｍ程度である。 Here, the relationship between the magnetic path length (winding window shape) of the magnetic head and the reproduction output will be described with reference to FIG.
The vertical axis represents the reproduction output [dBm], and the horizontal axis represents the magnetic path length [μm]. The straight line α is when the signal frequency is 28 MHz, the straight line β is when the signal frequency is 44 MHz, and the straight line γ is when the signal frequency is 56 MHz. The limit of the magnetic path length of the magnetic core of the conventional magnetic head 101 is about 2000 μm, the magnetic path length of the magnetic core of the coil winding type magnetic head of the present invention is about 900 μm, and the magnetic property of the thin coil type magnetic head of the present invention. The magnetic path length of the core is about 250 μm.

周波数２８ＭＨｚのとき再生出力は、従来型磁気ヘッドで磁路長が長いＰ１と、磁路長が短い薄膜コイル型磁気ヘッドＰ２を比べても、それ程再生出力は向上しない。
しかし、周波数４４ＭＨｚのとき、磁路長が長いＱ１と比べて、磁路長が短い薄膜コイル型Ｑ２では約＋３ｄＢ再生出力が向上する。さらに、周波数５６ＭＨｚのとき、磁路長が長いＲ１と比べて、磁路長が短い薄膜コイル型Ｒ２では約＋５ｄＢ以上再生出力が向上する。すなわち、高周波領域（４０ＭＨｚ以上）での出力を改善することができる。また、巻き線窓を小型化することにより磁路が短くなるため渦電流損失などの高周波数損失を低減できる。 When the frequency is 28 MHz, the reproduction output does not improve so much even if the conventional magnetic head P1 having a long magnetic path length is compared with the thin film coil type magnetic head P2 having a short magnetic path length.
However, when the frequency is 44 MHz, the reproduction output of about +3 dB is improved in the thin film coil type Q2 having a short magnetic path length compared to Q1 having a long magnetic path length. Furthermore, when the frequency is 56 MHz, the reproduction output is improved by about +5 dB or more in the thin film coil type R2 having a short magnetic path length compared to R1 having a long magnetic path length. That is, the output in the high frequency region (40 MHz or higher) can be improved. Further, since the magnetic path is shortened by downsizing the winding window, high frequency loss such as eddy current loss can be reduced.

次に、図１２〜図１４を用いて、上述の薄膜コイルを有する積層型磁気ヘッド７１の製造方法の実施の形態を説明する。なお、本製造方法では、前述の図２Ａ〜図５Ｊまでの工程と同じ工程を有する。但し、符号は一部変更してある。
本実施の形態においては、図１２Ａ（図５Ｊと同じ工程）に示すように、一方の磁性コア半体ブロック５０の両側を一部切断して、他方の磁性コア半体ブロック４９より短くした後、磁性コア半体ブロック４９及び５０の対向面に、その長手方向に沿って伸びるコイルの巻き線溝４６Ａを形成する。巻き線溝４６Ａの形成面を鏡面研磨し、その鏡面加工面にギャップ材かつ接合材となる非磁性材をスパッタ等の真空薄膜形成法により成膜する。ここでの非磁性材としては、低温拡散接合できる金（Ａｕ）が使用される。 Next, an embodiment of a manufacturing method of the laminated magnetic head 71 having the above-described thin film coil will be described with reference to FIGS. In addition, in this manufacturing method, it has the same process as the process to above-mentioned FIG. 2A-FIG. 5J. However, the reference numerals are partially changed.
In this embodiment, as shown in FIG. 12A (the same step as FIG. 5J), after partially cutting both sides of one magnetic core half block 50 to make it shorter than the other magnetic core half block 49 The coil winding grooves 46 </ b> A extending along the longitudinal direction are formed on the opposing surfaces of the magnetic core half blocks 49 and 50. The formation surface of the winding groove 46A is mirror-polished, and a non-magnetic material serving as a gap material and a bonding material is formed on the mirror-finished surface by a vacuum thin film forming method such as sputtering. As the nonmagnetic material here, gold (Au) capable of low-temperature diffusion bonding is used.

以下の工程図では両磁性コア半体ブロック４９、５０基に同じ加工をおこなうので、一方のみの磁性コア半体ブロック４９についてのみ説明する。
次に、図１２Ｂに示すように、巻き線溝４６Ａを非磁性材（例えばアルミナ）５２で埋める。 In the following process diagrams, since the same processing is performed on both magnetic core half blocks 49 and 50, only one magnetic core half block 49 will be described.
Next, as shown in FIG. 12B, the winding groove 46 </ b> A is filled with a nonmagnetic material (for example, alumina) 52.

次に、図１３Ｃに示すように、磁性コア半体ブロック４９の突合せ面において、コイルを形成する部分に凹部５４とを形成すると共に、外部導出端子を形成する部分に端子溝５３を形成する。次いで、図１３Ｄに示すように、凹部５４内と端子溝５３内を含む全面に下地メッキ層５５を形成する。例えば、下地メッキとして銅などを用いることができる。   Next, as shown in FIG. 13C, on the butting surface of the magnetic core half block 49, the recess 54 is formed in the portion where the coil is formed, and the terminal groove 53 is formed in the portion where the external lead-out terminal is formed. Next, as shown in FIG. 13D, a base plating layer 55 is formed on the entire surface including the inside of the recess 54 and the inside of the terminal groove 53. For example, copper or the like can be used as the base plating.

次に、図１４Ｅに示すように、下地メッキ層５５上にレジストマスクを用いて凹部５４内に薄膜コイル半体のパターン５７を端子溝５３内に外部導出端子７８を夫々メッキにより形成する。内端７７は薄膜コイル半体パターン５７の中央に臨み、外端は外部導出端子７８に一体に形成される。   Next, as shown in FIG. 14E, a pattern 57 of a thin film coil half body is formed in the recess 54 on the base plating layer 55 using a resist mask, and an external lead-out terminal 78 is formed in the terminal groove 53 by plating. The inner end 77 faces the center of the thin-film coil half pattern 57, and the outer end is formed integrally with the external lead-out terminal 78.

次に、図１４Ｆに示すように、レジストマスクを除去した後、さらに、浅いエッチングで下地メッキ層５５を除去することで、薄膜コイルパターン５９及び外部導出端子７８が形成される。   Next, as shown in FIG. 14F, after removing the resist mask, the underlying plating layer 55 is further removed by shallow etching, whereby the thin film coil pattern 59 and the external lead-out terminal 78 are formed.

以下は図示しないが、薄膜コイルパターン及び外部導出端子を形成した略対称な磁性コア半体ブロック４９、５０を突合せて熱処理を行い低温拡散接合で接合一体化する。この際、十分な接合強度を確保するために接合面は平坦化しなければならない。接合面は鏡面平坦加工を従来型と同等の形状に加工する。一体化した磁気ヘッドブロックを所要の厚さのヘッドチップ毎に切断する。これにより、図１１に示す目的の薄型コイル内蔵の磁気ヘッド７１を得る。   Although not shown below, the substantially symmetrical magnetic core half blocks 49 and 50 having the thin film coil pattern and the external lead-out terminal are brought into contact with each other and subjected to heat treatment to be integrated by low-temperature diffusion bonding. At this time, the bonding surface must be flattened in order to ensure sufficient bonding strength. The joint surface is processed by mirror flattening into the same shape as the conventional type. The integrated magnetic head block is cut for each head chip having a required thickness. As a result, the magnetic head 71 with a built-in thin coil shown in FIG. 11 is obtained.

本実施の形態に係る磁気ヘッド７１の製造方法によれば、薄膜コイル５９を一体に形成することにより、より小型化された積層型磁気ヘッドを作製することができる。また、巻き線工程を廃止することができ、工程短縮を図ることができる。その他、前述の製法と同様の効果を奏する。   According to the method of manufacturing the magnetic head 71 according to the present embodiment, the miniaturized laminated magnetic head can be manufactured by integrally forming the thin film coil 59. Moreover, the winding process can be abolished and the process can be shortened. In addition, the same effects as the above-described manufacturing method are obtained.

本発明に係る磁気ヘッドの一実施の形態の斜視図である。1 is a perspective view of an embodiment of a magnetic head according to the present invention. Ａ〜Ｃ 本発明に係る磁気ヘッドの一実施の形態の工程図（その１）である。FIGS. 8A to 8C are process diagrams (part 1) illustrating an embodiment of a magnetic head according to the invention. FIGS. Ｄ〜Ｆ 本発明に係る磁気ヘッドの一実施の形態の工程図（その２）である。DF are process drawings (2) of an embodiment of a magnetic head according to the invention. Ｇ〜Ｉ 本発明に係る磁気ヘッドの一実施の形態の工程図（その３）である。GI is a process diagram (part 3) of an embodiment of the magnetic head according to the invention; FIG. Ｊ〜Ｋ 本発明に係る磁気ヘッドの一実施の形態の工程図（その４）である。J to K are process diagrams (part 4) of an embodiment of the magnetic head according to the invention. Ｌ〜Ｍ 本発明に係る磁気ヘッドの一実施の形態の工程図（その５）である。L to M are process diagrams (part 5) of the embodiment of the magnetic head according to the invention. Ｎ〜Ｏ 本発明に係る磁気ヘッドの一実施の形態の工程図（その６）である。N to O are process diagrams (No. 6) of an embodiment of the magnetic head according to the invention. 本発明に係る磁気ヘッドの一実施の形態の完成図である。FIG. 5 is a completed view of an embodiment of a magnetic head according to the present invention. 本発明に係る磁気ヘッドの他の実施の形態の完成図である。It is a completion figure of other embodiment of the magnetic head based on this invention. 従来と本発明を比較したインダクタンス特性と相対再生出力特性を示す。An inductance characteristic and a relative reproduction output characteristic comparing the conventional and the present invention are shown. Ａ 本発明に係る磁気ヘッドのさらに他の実施の形態の斜視図である。 Ｂ 図１１Ａを切断した斜視図である。A is a perspective view of still another embodiment of the magnetic head according to the present invention. FIG. B is a perspective view of FIG. 11A cut. Ａ〜Ｂ 本発明に係る磁気ヘッドのさらに他の実施の形態の工程図（その１）である。A to B are process diagrams (part 1) of still another embodiment of the magnetic head according to the present invention. Ｃ〜Ｄ 本発明に係る磁気ヘッドのさらに他の実施の形態の工程図（その２）である。C to D are process diagrams (part 2) of still another embodiment of the magnetic head according to the invention. Ｅ〜Ｆ 本発明に係る磁気ヘッドのさらに他の実施の形態の工程図（その３）である。E to F are process diagrams (part 3) of still another embodiment of the magnetic head according to the invention. 磁気ヘッドの磁路長（巻き線窓形状）と再生出力の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the magnetic path length (winding window shape) of a magnetic head, and reproduction | regeneration output. 従来の磁気ヘッドの斜視図である。It is a perspective view of the conventional magnetic head. Ａ〜Ｃ 従来の磁気ヘッドの工程図（その１）である。FIGS. 8A to 8C are process diagrams (part 1) of a conventional magnetic head. FIGS. Ｄ〜Ｆ 従来の磁気ヘッドの工程図（その２）である。DF are process drawings (part 2) of the conventional magnetic head. Ｇ〜Ｉ 従来の磁気ヘッドの工程図（その３）である。GI are process diagrams (Part 3) of the conventional magnetic head. Ｊ〜Ｌ 従来の磁気ヘッドの工程図（その４）である。J to L are process diagrams (part 4) of the conventional magnetic head.

符号の説明Explanation of symbols

１・・磁気ヘッド、２・・積層磁性膜、３・・磁気ギャップ、４・・ガラス、４Ａ・・ガラス棒、５・・磁気記録媒体摺動面、６・・巻き線窓、６Ａ・・巻き線溝、７・・ガイド溝、８・・当たり幅規制溝、９・・、１１・・磁性コア、１２［１２Ａ、１２Ｂ］、１３［１３Ａ、１３Ｂ］、１４・・非磁性部材、１５・・コイル、１６・・金属磁性膜、１７・・非磁性膜、２０・・基板、２１・・短冊状コア基板、２２・・磁性コア基板、２３・・第１の磁性コアブロック、２４、２７・・非磁性基板、２５・・第２の磁性コアブロック、２６・・第３の磁性コアブロック、２８・・第４の磁性コアブロック、２９、３０・・磁性コア半体ブロック、３１・・磁気ヘッドブロック、４１・・磁気ヘッドチップ、４６Ａ・・巻き線溝、４９、５０・・磁性コア半体ブロック、５２・・非磁性材、５３・・端子溝、５４・・凹部、５５・・下地メッキ層、５７・・薄膜コイルのパターン、５９・・薄膜コイルパターン、７１・・磁気ヘッド、７７・・内端、７８・・外部導出端子、８１・・磁気ヘッド、８２・・磁性コア、８３・・磁気ギャップ、８４［８４Ａ、８４Ｂ］、８５・・非磁性部材、１０１・・磁気ヘッド、１０２・・金属磁性膜、１０３・・磁気ギャップ、１０４・・ガラス、１０５・・摺動面、１０６・・巻き線溝、１０７・・ガイド溝、１０８・・当たり幅規制溝、１０９・・非磁性ガード材、１２０・・基板、１２１・・短冊状コア基板、１２２・・磁性コア基板、１２３、１２４・・磁性コア半体、１２３Ａ、１２４Ａ・・磁性コア半体ブロック、１２５・・磁気ヘッドブロック、１３１・・磁性コア、１３２・・ガラス棒   1 .... Magnetic head 2 .... Laminated magnetic film 3 .... Magnetic gap 4 .... Glass 4A ... Glass rod 5 ... Magnetic recording medium sliding surface 6 ... Winding window 6A ... Winding groove, 7 .. Guide groove, 8 .. Contact width regulating groove, 9... 11 .. Magnetic core, 12 [12A, 12B], 13 [13A, 13B], 14 .. Nonmagnetic member, 15 .. Coil, 16 .. Metal magnetic film, 17 .. Non-magnetic film, 20 .. Substrate, 21 .. Strip core substrate, 22 .. Magnetic core substrate, 23 .. First magnetic core block, 24 27..Non-magnetic substrate, 25..Second magnetic core block, 26..Third magnetic core block, 28..Fourth magnetic core block, 29, 30..Magnetic core half block, 31. · Magnetic head block, 41 · · Magnetic head chip, 46A · · Winding groove, 49, 5 .. half core block of magnetic core, 52 .. non-magnetic material, 53 .. terminal groove, 54 .. concave portion, 55 .. base plating layer, 57 .. pattern of thin film coil, 59 .. thin film coil pattern, 71 · Magnetic head, 77 ·· Inner end, 78 · · External lead terminal, 81 · · Magnetic head, 82 · · Magnetic core, 83 · · Magnetic gap, 84 [84A, 84B], 85 · · Nonmagnetic member, 101 ..Magnetic head, 102 ..Metal magnetic film, 103 ..Magnetic gap, 104 ..Glass, 105 ..Sliding surface, 106 ..Winding groove, 107 ..Guide groove, 108. 109 ··· Non-magnetic guard material, 120 ·· substrate, 121 · · strip core substrate, 122 · · magnetic core substrate, 123, 124 · · magnetic core half, 123A, 124A · · magnetic core half block, 125 ・ ・ Magnetic Head block, 131 ... magnetic core, 132 ... glass rod

Claims (12)

１対の磁性コアがギャップ材を介して接合され、
前記磁性コアは非磁性膜と金属磁性膜の積層膜からなり、前記磁性コアに接して記録媒体摺動面に臨む面を有した非磁性部材が前記磁性コアを挟むように配され、
磁路が前記金属磁性薄膜のみにより形成される磁気ヘッドであって、
前記磁性コアの磁気記録媒体と摺動する面と反対側の部分が非磁性材で形成されて成る
ことを特徴とする磁気ヘッド。 A pair of magnetic cores are joined via a gap material,
The magnetic core is formed of a laminated film of a nonmagnetic film and a metal magnetic film, and a nonmagnetic member having a surface facing the magnetic core and facing a recording medium sliding surface is disposed so as to sandwich the magnetic core.
A magnetic head having a magnetic path formed only by the metal magnetic thin film,
A magnetic head, wherein a portion of the magnetic core opposite to the surface sliding with the magnetic recording medium is formed of a non-magnetic material. 前記磁性コアの媒体摺動方向の両側に非磁性部材が形成されて成る
ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。 The magnetic head according to claim 1, wherein nonmagnetic members are formed on both sides of the magnetic core in the medium sliding direction. 前記磁性コアのコア高さが、巻き線窓の高さ＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）であり、かつ巻線窓を挟んで磁気記録媒体と摺動する面と反対側の磁路幅が１００μｍ以上２００μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。   The core height of the magnetic core is the height of the winding window + (120 μm to 220 μm), and the magnetic path width on the side opposite to the surface sliding with the magnetic recording medium across the winding window is 100 μm or more and 200 μm. The magnetic head according to claim 1, wherein: 前記磁性コアのコア高さが、磁路長／３＋（１２０μｍ〜２２０μｍ）であり、かつ巻線窓を挟んで磁気記録媒体と摺動する面と反対側の磁路幅が１００μｍ以上２００μｍ以下であることを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッド。   The core height of the magnetic core is magnetic path length / 3 + (120 μm to 220 μm), and the magnetic path width opposite to the surface sliding with the magnetic recording medium across the winding window is 100 μm or more and 200 μm or less. 4. The magnetic head according to claim 3, wherein the magnetic head is provided. 前記磁性コアの摺動方向の幅が巻き線窓の幅＋（２５０μｍ〜５５０μｍ）であり、かつ巻線窓を挟んで巻線窓の幅方向の各磁路幅が１２５μｍ以上２７５μｍ以下であることを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッド。   The width of the magnetic core in the sliding direction is the width of the winding window + (250 μm to 550 μm), and each magnetic path width in the width direction of the winding window across the winding window is 125 μm or more and 275 μm or less. The magnetic head according to claim 3. 前記磁性コアの摺動方向の幅が磁路長／６＋（２５０μｍ〜５５０μｍ）であり、かつ巻線窓を挟んで巻線窓の幅方向の各磁路幅が１２５μｍ以上２７５μｍ以下であることを特徴とする請求項５記載の磁気ヘッド。   The width of the magnetic core in the sliding direction is a magnetic path length / 6 + (250 μm to 550 μm), and each magnetic path width in the width direction of the winding window across the winding window is 125 μm or more and 275 μm or less. 6. A magnetic head according to claim 5, wherein: 前記磁性コアにコイルが巻回されて成る
ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。 The magnetic head according to claim 1, wherein a coil is wound around the magnetic core. 前記磁性コアにコイルが巻回されて成る
ことを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド。 The magnetic head according to claim 2, wherein a coil is wound around the magnetic core. 前記磁性コアに薄膜コイルが形成されて成る
ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。 The magnetic head according to claim 1, wherein a thin film coil is formed on the magnetic core. 前記磁性コアに薄膜コイルが形成されて成る
ことを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド。 The magnetic head according to claim 2, wherein a thin film coil is formed on the magnetic core. 非磁性膜と金属磁性膜からなる積層膜と、第１の非磁性部材とが積層された第１の磁性コアブロックの両側に第２の非磁性部材を接合して第２の磁性コアブロックを形成する工程と、
前記第２の磁性コアブロックを所要の厚さに切断して前記第１の磁性コアブロックの両側に前記第２の非磁性部材を有する第３の磁性コアブロックを形成する工程と、
前記第３の磁性コアブロックの下部に第３の非磁性部材を接合して第４の磁性コアブロックを形成する工程と、
表面側の前記第１の磁性コアブロックを２分するように前記第４の磁性コアブロックを切断して前記第１の磁性コアブロックの片側と下部とに夫々前記第２の非磁性部材と前記第３の非磁性部材を有する磁性コア半体ブロックを形成する工程と、
前記磁性コア半体ブロックにコイル巻き線溝を形成する工程と、
１対の前記磁性コア半体ブロックをギャップ材を介して突合せて磁気ヘッドブロックを形成し、各ヘッドチップに切断した後、前記コイル巻き線溝にコイルを巻回する工程とを有する
ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 A second magnetic core block is formed by joining a second nonmagnetic member on both sides of a first magnetic core block in which a laminated film composed of a nonmagnetic film and a metal magnetic film and a first nonmagnetic member are laminated. Forming, and
Cutting the second magnetic core block to a required thickness to form a third magnetic core block having the second nonmagnetic member on both sides of the first magnetic core block;
Forming a fourth magnetic core block by bonding a third nonmagnetic member to a lower portion of the third magnetic core block;
The fourth magnetic core block is cut so as to divide the first magnetic core block on the surface side into two, and the second non-magnetic member and the one side are respectively formed on one side and the lower part of the first magnetic core block. Forming a magnetic core half block having a third non-magnetic member;
Forming a coil winding groove in the magnetic core half block;
Forming a magnetic head block by abutting a pair of the magnetic core half blocks through a gap material, cutting the head chip into coils, and then winding the coil around the coil winding groove. A method of manufacturing a magnetic head. 非磁性膜と金属磁性膜からなる積層膜と、第１の非磁性部材とが積層された第１の磁性コアブロックの両側に第２の非磁性部材を接合して第２の磁性コアブロックを形成する工程と、
前記第２の磁性コアブロックを所要の厚さに切断して前記第１の磁性コアブロックの両側に前記第２の非磁性部材を有する第３の磁性コアブロックを形成する工程と、
前記第３の磁性コアブロックの下部に第３の非磁性部材を接合して第４の磁性コアブロックを形成する工程と、
表面側の前記第１の磁性コアブロックを２分するように前記第４の磁性コアブロックを切断して前記第１の磁性コアブロックの片側と下部とに夫々前記第２の非磁性部材と前記第３の非磁性部材を有する磁性コア半体ブロックを形成する工程と、
前記磁性コア半体ブロックに薄膜コイルを形成する工程と、
１対の前記薄膜コイルを有する磁性コア半体をギャップ材を介して突合せて磁気ヘッドブロックを形成する工程と、
前記磁気ヘッドブロックを各ヘッドチップに切断する工程とを有する
ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 A second magnetic core block is formed by joining a second nonmagnetic member on both sides of a first magnetic core block in which a laminated film composed of a nonmagnetic film and a metal magnetic film and a first nonmagnetic member are laminated. Forming, and
Cutting the second magnetic core block to a required thickness to form a third magnetic core block having the second nonmagnetic member on both sides of the first magnetic core block;
Forming a fourth magnetic core block by bonding a third nonmagnetic member to a lower portion of the third magnetic core block;
The fourth magnetic core block is cut so as to divide the first magnetic core block on the surface side into two, and the second non-magnetic member and the one side are respectively formed on one side and the lower part of the first magnetic core block. Forming a magnetic core half block having a third non-magnetic member;
Forming a thin film coil on the magnetic core half block;
Forming a magnetic head block by abutting a magnetic core half having a pair of the thin film coils through a gap material;
Cutting the magnetic head block into head chips. A method of manufacturing a magnetic head, comprising:
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