JPH0877508A - Laminated magnetic head - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To decrease nonuniform recording magnetic fields without deteriorating the reproduction efficiency of a head even at a narrow track width and to improve productivity by adopting a structure which is not affected even if a deviation by butting of magnetic metallic films is generated. CONSTITUTION: A pair of cores 1a, 1b composed by using first and second magnetic ferrites 2 and holding these ferrites between one or multiple layers of magnetic films 3 forming the track width are subjected to winding and are joined in a manner as to butt the magnetic materials against each other, by which the laminated magnetic head 1 is formed. In such a case, the deviation in the butting of the magnetic materials 3 arises but the first magnetic ferrite is formed thinner than the second magnetic ferrite 2 and is cut by polishing exclusive of the magnetic material 3 by a method, such as polishing before the magnetic ferrite is mounted on the nonmagnetic slider 4 and, therefore, the value in the deviation of the butting is eventually reduced to <=0.1μm at the time of mounting. The generation of the nonuniform recording magnetic fields by the deviation in the butting is, therefore, suppressed. Further, the optimum head efficiency is obtd. from the constitution formed by diagonally notching the second magnetic ferrite 2 near the head gap surface.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ハードディスク等に用
いられる積層型磁気ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated magnetic head used for hard disks and the like.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、磁気記録の高密度化が進み、ＨＤ
Ｄ（ハード・ディスク・ドライブ）ではトラック幅が１
０μｍ以下の２００Ｍｂ／inch2のシステムが商品化さ
れている。2. Description of the Related Art In recent years, the density of magnetic recording has been increasing and HD
Track width is 1 for D (hard disk drive)
A 200 Mb / inch 2 system of 0 μm or less has been commercialized.

【０００３】これらのシステムでは、３０ＭＨｚ以上の
転送速度を有し、このためインダクタンスが小さく且つ
高出力の磁気ヘッドが要求されていることから、一般に
薄膜磁気ヘッドが採用されている。In these systems, a thin film magnetic head is generally used because it requires a magnetic head having a transfer rate of 30 MHz or more and thus having a small inductance and a high output.

【０００４】このような薄膜磁気ヘッドを用いたハード
ディスク用ヘッドを図９に示す。図９は従来における薄
膜磁気ヘッドを用いたハードディスク用ヘッドの概略構
成を示すものであり、図９（ａ）は薄巻ヘッドをスライ
ダに貼着して構成された全体を示す斜視図、図９（ｂ）
は電磁変換部としての薄巻ヘッドを拡大した拡大図であ
る。A hard disk head using such a thin film magnetic head is shown in FIG. FIG. 9 shows a schematic structure of a conventional hard disk head using a thin film magnetic head, and FIG. 9 (a) is a perspective view showing the whole structure of a thin winding head attached to a slider. (B)
FIG. 6 is an enlarged view of a thin winding head as an electromagnetic conversion unit.

【０００５】図９（ａ）に示すように、非磁性体として
形成されたスライダ１０の正面側側面に、薄巻電磁変換
部としての薄巻ヘッド２０を貼着して構成されている。As shown in FIG. 9A, a thin winding head 20 as a thin winding electromagnetic conversion portion is attached to the front side surface of a slider 10 formed of a non-magnetic material.

【０００６】薄巻ヘッド２０が貼着されたスライダ１０
は、浮上面１０ａを上にして図示しないヘッド支持機構
に取り付けられると共に、所定のヘッド圧がかけられて
いる。 このような構成の薄巻ヘッド２０は、例えば図
９（ｂ）に示すように、ギャップ２１を備えた非磁性層
２２の外側に第１の絶縁層２３が積層され、この絶縁層
２３の上面にコイル導体２４が敷設され、この敷設され
たコイル導体２４を各々絶縁するように第２の絶縁層２
５が設けられている。また、この第２の絶縁層２５を積
重するように上部磁性層２６が設けられている。The slider 10 to which the thin winding head 20 is attached
Is attached to a head support mechanism (not shown) with the air bearing surface 10a facing upward, and a predetermined head pressure is applied. In the thin winding head 20 having such a structure, for example, as shown in FIG. 9B, the first insulating layer 23 is laminated on the outside of the non-magnetic layer 22 having the gap 21, and the upper surface of the insulating layer 23. Coil conductors 24 are laid on the second insulating layer 2 so as to insulate the laid coil conductors 24, respectively.
5 are provided. Further, an upper magnetic layer 26 is provided so as to stack the second insulating layer 25.

【０００７】一方、前記非磁性層２２の内側には、この
非磁性層２２を前記第１の絶縁層２３と挟持するように
積層される下部磁性層２７が設けられ、この下部磁性層
２７には下部保護層２８が積層され、この下部保護層２
８を介して前記スライダ１０に貼着されている。また、
前記上部磁性層２６と前記下部磁性層２７とは、スライ
ダ浮上面１０ａとは反対方向の結合部２９によって結合
しており、一方、スライダ浮上面１０ａ側は、前記非磁
性層２２を挟持するようにして積重し、ギャップ２１を
形成すると共に、所定寸法のポールティップ３０を形成
して結合されている。On the other hand, inside the non-magnetic layer 22, there is provided a lower magnetic layer 27 which is laminated so as to sandwich the non-magnetic layer 22 with the first insulating layer 23. The lower protective layer 28 is laminated on the lower protective layer 2
It is attached to the slider 10 via 8. Also,
The upper magnetic layer 26 and the lower magnetic layer 27 are coupled by a coupling portion 29 in the direction opposite to the slider air bearing surface 10a, while the slider air bearing surface 10a side sandwiches the nonmagnetic layer 22. Are stacked together to form a gap 21, and a pole tip 30 having a predetermined size is formed and joined.

【０００８】ところで、このような構成の薄膜ヘッド２
０においては、通常、前記した第１及び第２の絶縁層２
３、２５（以下、絶縁膜と記載）の材質として有機物が
用いられており、この有機物の中でも低温プロセスが可
能なＮｉＦｅのメッキコアが用いられている。しかしな
がら、このＮｉＦｅのメッキコアを絶縁膜として用いた
場合には、このＮｉＦｅのメッキコアの飽和磁束密度Ｂ
ｓが１テスラ以下であるため、あまり強い磁界を発生す
ることができず、つまり、媒体の抗磁力Ｈｃが２０００
Oe 以上になると、重ね書き特性（オーバ・ライト）が
不十分となるという欠点がある。By the way, the thin film head 2 having such a structure
At 0, the first and second insulating layers 2 described above are usually used.
An organic material is used as a material for 3, 25 (hereinafter, referred to as an insulating film), and among these organic materials, a NiFe plated core capable of a low temperature process is used. However, when this NiFe plated core is used as an insulating film, the saturation magnetic flux density B of this NiFe plated core is
Since s is 1 Tesla or less, a very strong magnetic field cannot be generated, that is, the coercive force Hc of the medium is 2000.
Above Oe, there is a drawback that the overwrite characteristic (overwrite) becomes insufficient.

【０００９】一方、薄膜ヘッドより、記録磁界を強くで
きる材料を用いた構造を有するヘッドとしては、従来の
フェライトヘッドの磁気ギャップ近傍に飽和磁束密度の
大きい金属磁性膜を配置したＭ１Ｇ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎ
Ｇａｐ）ヘッドがあることは周知である。ＭＩＧヘッ
ドは図１０に示すように、左右のコア部分にフェライト
３２を用いて構成し、更にヘッドのリード／ライト・ギ
ャップのセンタ・コア部分にセンダスト（鉄・ケイ素・
アルミニウム合金、透磁率が高いことを特徴とする）な
どの金属磁性膜３１を設けて構成されている。また、金
属磁性膜３１及びギャップ等を補強するために、ガラス
３３が用いられている。こうして、ＭＩＧヘッドは上記
のような構成により、従来のフェライトヘッドに比べて
特性を改善し、高密度記録に対応するようにしている。
しかしながらＭＩＧヘッドは、上述したように高密度記
録に際して幅広く使用されているが、当該ＭＩＧヘッド
はフェライト３２が磁路のほとんどを占めているため、
高周波ではフェライト透磁率の劣化によりノイズが多く
なり、実際には２０ＭＨｚ以下でしか用いられていな
い。On the other hand, as a head having a structure using a material capable of making a recording magnetic field stronger than that of a thin film head, an M1G (Metal In) in which a metal magnetic film having a high saturation magnetic flux density is arranged near the magnetic gap of a conventional ferrite head.
It is well known that there are Gap) heads. As shown in FIG. 10, the MIG head is constructed by using ferrites 32 in the left and right core parts, and further, in the center core part of the read / write gap of the head, sendust (iron, silicon,
A metal magnetic film 31 such as an aluminum alloy or having a high magnetic permeability) is provided. Further, the glass 33 is used to reinforce the metal magnetic film 31, the gap and the like. In this way, the MIG head is improved in characteristics as compared with the conventional ferrite head by the above-mentioned configuration, and is adapted to high density recording.
However, although the MIG head is widely used for high-density recording as described above, since the ferrite 32 occupies most of the magnetic path in the MIG head,
At high frequencies, noise is increased due to deterioration of ferrite permeability, and is actually used only at 20 MHz or less.

【００１０】そこで、最近では前記ＭＩＧヘッドより高
周波でのノイズが少ない特性を有するヘッドとして、積
層型磁気ヘッドが注目されている。積層型磁気ヘッドに
は、媒体が摺動する磁路に、例えばフェライトを全く用
いずに磁性体である金属磁性膜のみを用いて構成したも
のがある。つまり、積層型磁気ヘッドは磁路がフェライ
トで構成されていないことから、高周波でのノイズを抑
制する効果を得ている。Therefore, recently, a laminated magnetic head has been attracting attention as a head having a characteristic of less noise at high frequencies than the MIG head. Some laminated magnetic heads have a magnetic path along which a medium slides, for example, using only a metal magnetic film that is a magnetic body without using ferrite at all. That is, since the magnetic path of the laminated magnetic head is not made of ferrite, it has an effect of suppressing noise at high frequencies.

【００１１】図１１はこうような積層型磁気ヘッドを示
し、図１１（ａ）はヘッドの全体構成を示す斜視図、図
１１（ｂ）はヘッドのギャップ近傍を拡大した拡大図で
ある。FIG. 11 shows such a laminated magnetic head, FIG. 11 (a) is a perspective view showing the entire structure of the head, and FIG. 11 (b) is an enlarged view of the vicinity of the head gap.

【００１２】図１１（ａ）において、積層型磁気ヘッド
は金属磁性膜３４を２枚の挟持片である非磁性体３５で
挟持して積層した２つのコアを、媒体走行面にギャップ
を形成するように各々前記金属磁性膜３４を突き合わせ
た状態で固定して形成されている。更に、一方のコアに
巻線用溝を施し、この巻線用溝を用いて各コアに巻線を
施して磁気ヘッドと成している。In FIG. 11A, in the laminated magnetic head, two cores, in which a metal magnetic film 34 is sandwiched between two non-magnetic members 35 which are sandwiching pieces, are laminated to form a gap on the medium running surface. As described above, the metal magnetic films 34 are formed so as to be fixed to each other. Further, one core is provided with a winding groove, and each core is wound with the winding groove to form a magnetic head.

【００１３】更に、ギャップ近傍における積層状態の構
造を詳しく説明すると、図１１（ｂ）に示すように、２
枚の挟持片である非磁性体３５の間には、金属磁性膜３
４が挟持され、金属磁性膜３４は２枚の磁性膜３４ａが
絶縁膜３６を挟持して積層された構造となっている。ま
た、金属磁性膜３４と前記非磁性体３５の一方とは、接
合ガラス３７によって接合されて積層している。こうし
て積層された２つのコアは、金属磁性膜３４を形成する
各磁性膜３４ａが互いに突き合わせた状態で、ガラス部
材３９による溶解により固定される。Further, the structure of the stacked state in the vicinity of the gap will be described in detail. As shown in FIG.
The metal magnetic film 3 is provided between the non-magnetic members 35, which are sandwiching pieces.
4 is sandwiched, and the metal magnetic film 34 has a structure in which two magnetic films 34a are laminated with an insulating film 36 sandwiched therebetween. Further, the metal magnetic film 34 and one of the non-magnetic bodies 35 are bonded and laminated by a bonding glass 37. The two cores thus stacked are fixed by melting by the glass member 39 in a state where the magnetic films 34a forming the metal magnetic film 34 are butted against each other.

【００１４】しかしながら、このような構成の積層型ヘ
ッドでは、トラック幅を形成するために、前記２つのコ
アを固定する際に磁性膜３４ａ（図１１ｂ参照）の突き
合わせが製造工程中において必要であるが、現状ではこ
の突き合わせを精度良く行うことは極めて困難である。
言い替えれば、磁気ヘッドにおけるトラック幅及びギャ
ップ近傍は、一般に磁界を発生して摺動する媒体に対し
記録・再生を行う重要部分であることから、厳密な精度
で磁性膜３４ａを各々突き合わせて構成することが望ま
しい。しかし、厳密に突き合わせを行ったとしても、実
際には図１２に示すように、一方のコアの磁性膜３４ａ
と、他方のコアの磁性膜３４ａとは０．５μｍ〜１μｍ
程のずれが生じてしまう。また、最近の高密度記録化に
伴い、トラック幅が２０μｍ程度以下の積層型磁気ヘッ
ドとなると、磁界発生率の低下からヘッド効率に悪影響
を及ぼすことになる。そこで、このような狭トラックを
有する積層型磁気ヘッドにおいて、金属コアの側面にフ
ェライトを配置して磁路の断面積を大きくするように改
良を図った複合型磁気ヘッドが提案されている。図１３
にこのような複合型磁気ヘッドを示す。However, in the laminated head having such a structure, in order to form the track width, it is necessary to abut the magnetic films 34a (see FIG. 11b) at the time of fixing the two cores during the manufacturing process. However, at present, it is extremely difficult to perform this matching with high accuracy.
In other words, since the track width and the vicinity of the gap in the magnetic head are generally important parts for recording / reproducing on / from a medium that generates a magnetic field and slides, the magnetic films a are abutted to each other with strict accuracy. Is desirable. However, even if the strict matching is performed, as shown in FIG. 12, the magnetic film 34a of one core is actually formed.
And the magnetic film 34a of the other core is 0.5 μm to 1 μm
There will be some deviation. In addition, with the recent trend toward higher density recording, in the case of a laminated magnetic head having a track width of about 20 μm or less, the head efficiency is adversely affected due to a decrease in magnetic field generation rate. Therefore, in such a laminated magnetic head having a narrow track, a composite magnetic head has been proposed in which ferrite is arranged on the side surface of the metal core to improve the cross-sectional area of the magnetic path. FIG.
Shows such a composite magnetic head.

【００１５】図１３（イ）乃至図１３（ニ）は複合型磁
気ヘッドの製造工程を示すものであり、複合型磁気ヘッ
ドは図１３（イ）に示すように先ず、フェライトと非磁
性体セラミックとを接合して基板を作成し、この基板を
ベースにして積層し積層型磁気ヘッドを製造する。その
後、図１３（ロ）に示す製造段階では、作成した基板の
上面に、磁性膜を多層して形成された金属磁性多層膜を
スパッタリング等の製方により積層する。次に、図１３
（ハ）に示す製造段階では、作成した金属磁性多層膜付
き基板を多数積層してコアブロックを作成し、このコア
ブロックを２つのコアブロックに分離する。更に、一方
のコアブロックには、溝加工を施して巻線を巻回するた
めの巻線用溝を形成する。その後、当該コアブロックと
他方のコアブロックとを、媒体摺動面にギャップを形成
するようにガラス部材（図示せず））を用いて固定す
る。この場合、各コアブロックの金属磁性多層膜を互い
に突き合わせるようにして固定する。更に固定されたコ
アブロックをワイヤソー等を用いて切断して磁気ヘッド
チップを作成する。なお、この切断工程では、トラック
幅として形成される金属磁性多層膜の両側に、所定の寸
法幅の非磁性セラミックを残存するように切断する。こ
うして、作成された磁気ヘッドチップは図１３（ニ）に
示すものとなる。その後、図示はしないが、磁気ヘッド
チップをスライダに張り付けると共にコイル巻線を行
い、更に磁気ヘッドチップの媒体摺動面を鏡研摩を施し
て複合型磁気ヘッドの製造工程を完了する。13 (A) to 13 (D) show the manufacturing process of the composite magnetic head. As shown in FIG. 13 (A), the composite magnetic head is manufactured by first using ferrite and non-magnetic ceramics. A substrate is created by joining and a substrate, and the substrates are laminated with the substrate as a base to manufacture a laminated magnetic head. After that, in the manufacturing stage shown in FIG. 13B, a metal magnetic multilayer film formed by stacking magnetic films in layers is laminated on the upper surface of the formed substrate by a method such as sputtering. Next, FIG.
In the manufacturing stage shown in (c), a large number of the prepared substrates with metal magnetic multilayer films are laminated to form a core block, and the core block is separated into two core blocks. Further, a groove is formed on one core block to form a winding groove for winding the winding. After that, the core block and the other core block are fixed using a glass member (not shown) so as to form a gap on the medium sliding surface. In this case, the metal magnetic multilayer films of each core block are fixed so as to abut against each other. Further, the fixed core block is cut with a wire saw or the like to form a magnetic head chip. In this cutting step, the nonmagnetic ceramic having a predetermined width is cut on both sides of the metal magnetic multilayer film formed as the track width. The magnetic head chip thus produced is as shown in FIG. Thereafter, although not shown, the magnetic head chip is attached to the slider, the coil winding is performed, and the medium sliding surface of the magnetic head chip is mirror-polished to complete the manufacturing process of the composite magnetic head.

【００１６】しかしながら、複合型ヘッドを作成するた
めには、図１３（イ）の工程に示すようにフェライトと
非磁性体セラミックとを接合した基板を先ず作成する必
要がある。このため、通常の積層型磁気ヘッドよりも製
造工程が煩雑であり、しかも工程数が増大してしまう。
また、複合型磁気ヘッドでは、磁気ヘッドチップを作成
するために２つのコアブロックをガラス部材を用いて加
熱処理を行って接合することになるが、このとき、加熱
処理による熱により、フェライトと非磁性体セラミック
とが熱膨張係数の差異によって生ずる応力の影響から、
割れなどのクラックが発生するという欠点がある。更
に、２のコアブロックを接合する際に、トラック幅を形
成するため互いの金属磁性多層膜を突き合わせて接合す
ることになるが、このとき、図１２で説明したときと同
様に突きき合わせずれが生じ易くなり、すなわちこの突
き合わせずれによる影響から記録磁界が不均一になって
しまい、実効トラック幅よりもトラックピッチをある程
度大きくしないと、クロストークが発生するという問題
点もあった。However, in order to manufacture a composite type head, it is necessary to first prepare a substrate in which ferrite and a non-magnetic ceramic are bonded as shown in the step of FIG. For this reason, the manufacturing process is more complicated than that of an ordinary stacked magnetic head, and the number of processes is increased.
Further, in the composite type magnetic head, two core blocks are heat-treated and joined together by using a glass member in order to form a magnetic head chip. From the effect of stress caused by the difference in thermal expansion coefficient between magnetic ceramics,
There is a drawback that cracks such as cracks occur. Furthermore, when the two core blocks are joined, the metal magnetic multilayer films are butted and joined to each other in order to form the track width. At this time, the butted misalignment is caused as in the case described with reference to FIG. Is more likely to occur, that is, the recording magnetic field becomes non-uniform due to the influence of the butt displacement, and there is a problem that crosstalk occurs unless the track pitch is made larger than the effective track width to some extent.

【００１７】[0017]

【発明が解決しようとする課題】上記の如く、従来のハ
ードディスク用ヘッドに用いられる積層型磁気ヘッドで
は、トラック幅が狭い構造である場合、ヘッドの再生効
率を改善するためにギャップ近傍の非磁性セラミックア
の側面にフェライトを配置して磁路の断面積を大きくし
た複合型の磁気ヘッドが使用されているが、製造工程が
煩雑で、しかもトラック幅を形成するための金属磁性膜
を突き合わせて固定する製造段階において、加熱処理に
よる熱により、前記非磁性セラミックとフェライトとが
割れなどのクラックを発生してしまう不都合がある。更
に、この場合に金属磁性膜の突き合わせずれが生じ易
く、このため記録磁界が不均一になってしまい、磁気ヘ
ッドの再生効率に悪影響を及ぼしてしまうという問題点
があった。As described above, in the conventional laminated magnetic head used for the hard disk head, when the track width is narrow, the non-magnetic area near the gap is improved in order to improve the reproducing efficiency of the head. A composite type magnetic head is used in which ferrite is placed on the side surface of the ceramics to increase the cross-sectional area of the magnetic path, but the manufacturing process is complicated, and the metal magnetic film for forming the track width is abutted. There is a disadvantage that cracks such as cracks are generated between the non-magnetic ceramic and the ferrite due to heat generated by the heat treatment in the fixing manufacturing stage. Further, in this case, there is a problem that the abutting displacement of the metal magnetic film is apt to occur, which makes the recording magnetic field non-uniform and adversely affects the reproducing efficiency of the magnetic head.

【００１８】そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなさ
れたもので、金属磁性膜の突き合わせによるずれが生じ
ても影響のない構造にすることにより、狭トラック幅に
おいてもヘッド再生効率が劣化することなく不均一な記
録磁界を軽減することができると共に、製造性の向上を
図るのに好適の積層型磁気ヘッドの提供を目的とする。Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and the head reproducing efficiency is deteriorated even in a narrow track width by adopting a structure that does not affect even if a deviation occurs due to the butting of the metal magnetic films. It is an object of the present invention to provide a laminated magnetic head suitable for reducing the non-uniform recording magnetic field without increasing the productivity and improving the manufacturability.

【００１９】[0019]

【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明に
よる積層型磁気ヘッドは、トラック幅を形成する一層ま
たは多層の磁性体に、第１及び第２の積層部材を用いて
挟持して構成された一対のコアに、巻線を施し且つ前記
磁性体を突き合わせるようにして接合して、非磁性スラ
イダに取り付けられて構成した積層型磁気ヘッドにおい
て、前記第１の積層部材は、第２の積層部材よりも薄く
積層して設け、前記非磁性スライダに取り付ける前に予
め削除して前記磁性体の面を該非磁性スライダに取り付
ると共に、前記第２の積層部材は磁性フェライトを使用
して構成し、媒体と対向する側のヘッドギャップ面に前
記磁性フェライトが露出しないように形成したことを特
徴とする。 請求項２記載の本発明による積層型磁気ヘ
ッドは、請求項１に記載の積層型磁気ヘッドであって、
前記磁性体は一層の金属磁性膜及び絶縁性薄膜が交互に
多層積層され、非磁性スライダに取り付けられた際にト
ラック幅を形成するもので、前記トラック幅を形成した
ときに、磁性体の突き合わせずれが、０．１μｍ以下の
寸法で構成したことを特徴とする。According to another aspect of the present invention, there is provided a laminated magnetic head in which a first and a second laminated member are sandwiched between a single-layer or multi-layer magnetic body forming a track width. In a laminated magnetic head constructed by winding a coil on a pair of configured cores and joining the magnetic bodies so as to abut each other, and mounting the magnetic body on the non-magnetic slider, the first laminated member is The second laminated member is made of a magnetic ferrite and is removed in advance before being attached to the non-magnetic slider to attach the surface of the magnetic body to the non-magnetic slider. The magnetic ferrite is formed so as not to be exposed on the head gap surface on the side facing the medium. A laminated magnetic head according to a second aspect of the present invention is the laminated magnetic head according to the first aspect,
The magnetic body is formed by alternately laminating a single layer of a metal magnetic film and an insulating thin film, and forms a track width when attached to a non-magnetic slider. When the track width is formed, the magnetic bodies are butted to each other. The feature is that the deviation is configured to have a dimension of 0.1 μm or less.

【００２０】[0020]

【作用】本発明においては、トラック幅を形成する一層
または多層の磁性体に、第１及び第２の積層部材を用い
て挟持して構成された一対のコアに、巻線を施し且つ前
記磁性体を突き合わせるようにして接合し積層型磁気ヘ
ッドを作成する。この場合、磁性体の突き合わせずれが
生じる。しかし、前記第１の積層部材は第２の積層部材
よりも薄く積層され、且つ非磁性スライダに取り付ける
前に、前記第１の積層部材は例えばポリシング等の製法
により、磁性体を残して研摩されて削除されることか
ら、非磁性スライダ取付時には、結果として突き合わせ
ずれの値を縮小することができる。よって、突き合わせ
ずれによる不均一な記録磁界の発生を抑制することがで
きる。また、第２の積層部材には、磁性フェライトが用
いられ且つヘッドギャップ面近傍の磁性フェライトを斜
めに欠切された構成となっていることから、ヘッド効率
が劣化することなく、最適なヘッド効率を得ることがで
きる。更に、積層型磁気ヘッドを作成するために、異な
る材質で形成された複合基板を用いずに作成することが
できるため、製造工程を容易にすることができることか
ら、製造性の向上を図ることができる効果を有する。In the present invention, a pair of cores formed by sandwiching a single-layer or multi-layer magnetic body for forming the track width by using the first and second laminated members is wound and the magnetic The bodies are abutted against each other and bonded to form a laminated magnetic head. In this case, the butting of the magnetic bodies is displaced. However, the first laminated member is laminated thinner than the second laminated member, and before being attached to the non-magnetic slider, the first laminated member is polished by a manufacturing method such as polishing while leaving a magnetic material. When the non-magnetic slider is attached, the value of the butt displacement can be reduced as a result. Therefore, it is possible to suppress the generation of a non-uniform recording magnetic field due to the butt displacement. Further, since magnetic ferrite is used for the second laminated member and the magnetic ferrite in the vicinity of the head gap surface is obliquely cut off, the head efficiency does not deteriorate and the optimum head efficiency is obtained. Can be obtained. Further, since the stacked magnetic head can be manufactured without using a composite substrate formed of different materials, the manufacturing process can be facilitated, and thus the manufacturability can be improved. Has the effect that can.

【００２１】[0021]

【実施例】実施例について図面を参照して説明する。図
１及び図２は本発明に係る積層型磁気ヘッドの一実施例
を示し、図１は積層型ヘッドの構成を示す斜視図、図２
は図１に示すヘッドの主要部を拡大した拡大図である。EXAMPLES Examples will be described with reference to the drawings. 1 and 2 show an embodiment of the laminated magnetic head according to the present invention, and FIG. 1 is a perspective view showing the structure of the laminated head.
FIG. 2 is an enlarged view showing an enlarged main part of the head shown in FIG. 1.

【００２２】図１において、本実施例における積層型磁
気ヘッド１は、左コア１ａと右コア１ｂとで構成されて
いる。前記左コア１ａ及び右コア１ｂは、例えば２つの
積層部材である磁性フェライト２を用いて、単層の磁性
薄膜または磁性薄膜と絶縁性薄膜を多層して形成される
磁性体３を挟持して積層したものであり、当該積層型磁
気ヘッド１を非磁性スライダ４に貼着する際に、貼着面
側の磁性フェライト２をポリシング等の方法で取り除い
た状態で貼着されている。また、積層型磁気ヘッド１の
ギャップ１ｃを有する媒体摺動面は、図２に示すように
非磁性スライダ４の浮上面４ａと同一の高さで貼着され
ており、磁性体３の外側には磁性フェライト２が浮上面
４ａに露出しないように斜めに切り裂かれた構造となっ
ている。In FIG. 1, the laminated magnetic head 1 of this embodiment is composed of a left core 1a and a right core 1b. The left core 1a and the right core 1b use, for example, a magnetic ferrite 2 which is two laminated members, and sandwich a magnetic body 3 formed of a single magnetic thin film or a multilayer of a magnetic thin film and an insulating thin film. They are laminated, and when the laminated magnetic head 1 is attached to the non-magnetic slider 4, the magnetic ferrite 2 on the attaching surface side is attached by a method such as polishing. Further, the medium sliding surface having the gap 1c of the laminated magnetic head 1 is attached at the same height as the air bearing surface 4a of the non-magnetic slider 4 as shown in FIG. Has a structure in which the magnetic ferrite 2 is obliquely cut so as not to be exposed on the air bearing surface 4a.

【００２３】なお、左コア１ａと右コア１ｂとは、媒体
摺動面にギャップ１ｃを形成するために接合ガラス５を
用いて加熱処理を行うことにより、固定されるようにな
っている。The left core 1a and the right core 1b are fixed to each other by performing a heat treatment using the bonding glass 5 to form the gap 1c on the medium sliding surface.

【００２４】次に、このような構成の積層型磁気ヘッド
の製造方法を図３乃至図７を参照しながら詳細に説明す
る。Next, a method of manufacturing the laminated magnetic head having such a structure will be described in detail with reference to FIGS.

【００２５】図３乃至図７は本発明の積層型磁気ヘッド
の製造工程を説明するための説明図である。本実施例に
おける積層型磁気ヘッドでは、上述したように磁性膜３
を２つの積層部材に磁性フェライトを用いて挟持した場
合について説明する。3 to 7 are explanatory views for explaining the manufacturing process of the laminated magnetic head of the present invention. In the laminated magnetic head of this embodiment, the magnetic film 3 is used as described above.
A case will be described in which the above is sandwiched between two laminated members using magnetic ferrite.

【００２６】先ず、図３に示すように磁性膜を挟持する
積層膜（以下、基板と称す）に磁性フェライトを用いた
磁性フェライト基板２を複数用意し、これらの基板２の
上面にスパッタリング等の製法により、単層の磁性膜ま
たは磁性薄膜と絶縁性薄膜を交互に積層した磁性体３
（以下、金属磁性多層膜と称す）を形成する。このと
き、金属多層膜の総厚は、目的とするトラック幅よりも
数ミクロン厚くしておく。First, as shown in FIG. 3, a plurality of magnetic ferrite substrates 2 using magnetic ferrite for a laminated film (hereinafter referred to as a substrate) sandwiching a magnetic film are prepared, and the upper surface of these substrates 2 is subjected to sputtering or the like. A magnetic body 3 in which a single-layer magnetic film or magnetic thin films and insulating thin films are alternately laminated by the manufacturing method
(Hereinafter, referred to as a metal magnetic multilayer film) is formed. At this time, the total thickness of the metal multilayer film is set to be several microns thicker than the target track width.

【００２７】次に、図４に示すようにこの金属磁性膜３
を形成した表面に接合ガラス５ａをコーティングして成
形し、この接合ガラス５ａを成形したものを複数個作成
する。そしてこの基板を図４に示すように積み重ね、上
下から加圧しながら加熱し、一体化してコアブロック
（積層体）を成形する。このとき、金属磁性多層膜３と
接合ガラス５ａとは磁性フェライト基板２に挟持された
状態で積層されることになる。Next, as shown in FIG. 4, the metal magnetic film 3 is formed.
The surface on which is formed is coated with the bonding glass 5a and molded, and a plurality of molded bonding glasses 5a are prepared. Then, the substrates are stacked as shown in FIG. 4, heated while being pressed from above and below, and integrated to form a core block (laminate). At this time, the metal magnetic multilayer film 3 and the bonding glass 5a are laminated while being sandwiched between the magnetic ferrite substrates 2.

【００２８】その後の製造工程は、従来技術で説明した
積層磁気ヘッド（図１３参照）の製造工程と同様に、コ
アブロックを波線（図４中における波線）に沿って切断
し、２つのコアブロックを得る。そして、一方のコアブ
ロックには、溝加工を施して巻線を巻回するための巻線
用溝６を形成する。その後、当該コアブロックと他方の
コアブロックとを、媒体摺動面にギャップ１ｃを形成す
るように接合ガラス５（図２参照）を用いて固定する。
この場合、各コアブロックの金属磁性多層膜３を互いに
突き合わせるようにして固定する。更に固定されたコア
ブロックをワイヤソー等を用いて切断して図５に示すよ
うに磁気ヘッドチップを作成する。なお、本実施例にお
ける切断工程においては、金属磁性多層膜３の両側に積
層される磁性フェライト基板２の内、一方の磁性フェラ
イト基板２の厚さを薄くするように切断を行う。例え
ば、磁性フェライト及び非磁性フェライトや非磁性体を
用いて、金属磁性多層膜３を挟持した場合、薄く切断さ
れた側の基板にはどのような材質ものを使用しても良い
が、この薄く切断された反対側の基板には、必ず磁性フ
ェライトを用いた基板を使用するようにする。こうし
て、作成された磁気ヘッドチップは図５に示すものとな
る。In the subsequent manufacturing process, the core block is cut along the wavy line (the wavy line in FIG. 4) to cut the two core blocks similarly to the manufacturing process of the laminated magnetic head (see FIG. 13) described in the prior art. To get Groove processing is performed on one core block to form a winding groove 6 for winding the winding. After that, the core block and the other core block are fixed using the bonding glass 5 (see FIG. 2) so as to form the gap 1c on the medium sliding surface.
In this case, the metal magnetic multilayer films 3 of each core block are fixed so as to abut against each other. Further, the fixed core block is cut with a wire saw or the like to prepare a magnetic head chip as shown in FIG. In the cutting step of this embodiment, one of the magnetic ferrite substrates 2 laminated on both sides of the metal magnetic multilayer film 3 is cut so as to reduce the thickness of the magnetic ferrite substrate 2. For example, when the metal magnetic multilayer film 3 is sandwiched by using magnetic ferrite, non-magnetic ferrite or non-magnetic material, any material may be used for the substrate on the thinly cut side. Be sure to use a magnetic ferrite substrate for the opposite substrate. The magnetic head chip thus manufactured is as shown in FIG.

【００２９】その後、当該磁気ヘッドチップの金属磁性
多層膜３に薄く積層された基板に対して、ポリシング等
の製法で研摩を行い、薄く切断して積層されている基板
及び接合ガラス５ａを取り除く。つまり本実施例では磁
性フェライト基板が両面に用いられていることから、薄
い方の磁性フェライト基板２が取り除かれることにな
る。したがって、上述したように薄い方の基板は、非磁
性体であろうが、磁性フェライトであろうが、全てこの
工程により取り除くことができる。すなわち、残存する
基板（厚い方の基板）は磁性フェライトということにな
る。また、本実施例のように、両側の基板が磁性フェラ
イトである場合、薄い方の磁性フェライトは接合ガラス
５（図５参照）と隣接して接合された方の磁性フェライ
ト基板にすることが望ましい。なぜならば、磁性膜３と
磁性フェライト２との界面に接合ガラス５が存在する
と、磁性膜３と磁性フェライト３との磁気抵抗が大きく
なるため、例えば接合ガラスが介在しない磁性フェライ
ト基板を薄くした場合よりもヘッド効率が劣化するから
である。Thereafter, the substrate thinly laminated on the metal magnetic multilayer film 3 of the magnetic head chip is polished by a manufacturing method such as polishing, and thinly cut to remove the laminated substrate and the bonding glass 5a. That is, in this embodiment, since the magnetic ferrite substrates are used on both sides, the thinner magnetic ferrite substrate 2 is removed. Therefore, as described above, the thinner substrate, whether it is a non-magnetic material or magnetic ferrite, can be removed by this process. That is, the remaining substrate (thicker substrate) is magnetic ferrite. When the substrates on both sides are magnetic ferrites as in this embodiment, it is desirable that the thinner magnetic ferrite be the magnetic ferrite substrate which is bonded adjacent to the bonding glass 5 (see FIG. 5). . This is because when the bonding glass 5 is present at the interface between the magnetic film 3 and the magnetic ferrite 2, the magnetic resistance between the magnetic film 3 and the magnetic ferrite 3 increases, so that, for example, when the magnetic ferrite substrate without the bonding glass is thinned. This is because the head efficiency deteriorates.

【００３０】また、通常の積層型磁気ヘッドの製造工程
では、トラック幅を形成するために金属磁性多層膜の突
き合わせずれ（図１２参照）が生じる場合があるが、本
実施例においても、例えば図６に示すように突き合わせ
ずれが考えられる。しかしながら、本発明では上述した
ようにポリシング等の製法により、金属磁性多層膜の表
面を磁性フェライト基板２及び接合ガラス５ａと共に均
一に削除するため、トラック幅の一方の突き合わせずれ
を、例えばポリシング時の段差程度、つまり０．１μｍ
以下まで小さくすることができる。Further, in the usual manufacturing process of the laminated magnetic head, the metal magnetic multilayer film may be abutted with each other (see FIG. 12) due to the formation of the track width. As shown in 6, a butt displacement may be considered. However, in the present invention, the surface of the metal magnetic multilayer film is uniformly removed together with the magnetic ferrite substrate 2 and the bonding glass 5a by a manufacturing method such as polishing as described above. Step difference, that is 0.1 μm
It can be reduced to the following.

【００３１】そして、このように形成した磁気ヘッドチ
ップを図７に示すように、ハードディスク用の非磁性ス
ライダ４に取り付ける。この場合、ポリシング等の処理
を施した磁気ヘッドチップの膜面側を非磁性スライダ４
側となるように取り付る。磁気ヘッドチップの取り付け
方法としては、例えばチップの側面にガラスをコーティ
ングし、非磁性スライダ４の所定の位置に配置して加圧
・加熱して接合する。このとき、磁気ヘッドチップのト
ラック幅及びギャップ１ｃを有する端面は、非磁性スラ
イダ４の浮上面４ａと平坦となる。尚、上記のようにガ
ラス部材を用いてチップを取り付ける場合、ガラスと磁
性膜との拡散を防止するために、当該ガラスのコーティ
ングの前にＳｉＯ2 膜などの拡散防止膜を用いるように
しても良い。Then, the magnetic head chip thus formed is attached to the non-magnetic slider 4 for a hard disk as shown in FIG. In this case, the film surface side of the magnetic head chip which has been subjected to polishing or the like is placed on the nonmagnetic slider 4
Attach so that it is on the side. As a method of attaching the magnetic head chip, for example, the side surface of the chip is coated with glass, and the non-magnetic slider 4 is arranged at a predetermined position and pressed and heated to be bonded. At this time, the end surface of the magnetic head chip having the track width and the gap 1c is flat with the air bearing surface 4a of the non-magnetic slider 4. When the chip is attached using the glass member as described above, a diffusion prevention film such as a SiO2 film may be used before the coating of the glass in order to prevent the diffusion of the glass and the magnetic film. .

【００３２】次ぎに、図７に示すように非磁性スライダ
４の浮上面４ａを、ギャップデプスが所定の値となるよ
うに研摩仕上げを行う。これにより、非磁性スライダ４
の浮上面４ａと磁気ヘッドチップの上面とは、更に均一
な平面となる。その後、非磁性スライダ４との接合面
（貼着面）の反対側、つまり金属磁性多層膜３を介して
形成される非磁性フェライト２の上部を、トラック幅分
の平坦部を残して斜めに除去するように加工を施す。そ
うすると、図２に示すように非磁性スライダ４の浮上面
４ａ側は、トラック幅として形成される金属磁性多層膜
３のみの形状となる。また、この場合に、図２に示すよ
うに磁性金属多層膜３の一部を含んで非磁性フェライト
２を斜めに除去するようにすれば、非磁性スライダ４の
浮上面４ａには磁性フェライト２が露出することはな
く、チップのトラック幅全域が全て磁性金属磁性多層膜
３となる。なお、図３に示す製造段階において、非磁性
フェライト基板２に堆積する金属磁性多層膜３の膜厚
を、図２に示す仕上がりのトラック幅よりも厚くするよ
うに形成されていることから、上述したように金属磁性
多層膜３のみの媒体摺動面を得ることができる。Next, as shown in FIG. 7, the air bearing surface 4a of the non-magnetic slider 4 is polished and finished so that the gap depth becomes a predetermined value. As a result, the non-magnetic slider 4
The air bearing surface 4a and the top surface of the magnetic head chip form a more uniform plane. After that, the side opposite to the joining surface (bonding surface) with the non-magnetic slider 4, that is, the upper portion of the non-magnetic ferrite 2 formed via the metal magnetic multilayer film 3 is obliquely left with a flat portion corresponding to the track width. Process to remove. Then, as shown in FIG. 2, the air bearing surface 4a side of the non-magnetic slider 4 has only the metal magnetic multilayer film 3 formed as the track width. Further, in this case, if the nonmagnetic ferrite 2 is obliquely removed by including a part of the magnetic metal multilayer film 3 as shown in FIG. 2, the magnetic ferrite 2 is attached to the air bearing surface 4a of the nonmagnetic slider 4. Is not exposed, and the entire track width of the chip becomes the magnetic metal magnetic multilayer film 3. In the manufacturing stage shown in FIG. 3, the metal magnetic multilayer film 3 deposited on the non-magnetic ferrite substrate 2 is formed so as to be thicker than the finished track width shown in FIG. As described above, the medium sliding surface of only the metal magnetic multilayer film 3 can be obtained.

【００３３】こうして、本実施例における積層型磁気ヘ
ッドの製造工程を完了し、図１に示すものと成す。In this way, the manufacturing process of the laminated magnetic head in this embodiment is completed, and the structure shown in FIG. 1 is completed.

【００３４】いま、図１に示す積層型磁気ヘッドをＨＤ
Ｄに使用して記録を行うものとする。すると、本実施例
では非磁性スライダ４の浮上面４ａにおける磁気ヘッド
チップのトラックずれが、ポリシング等の製造工程及び
ダイヤモンドブレードによる磁性フェライトの除去加工
によって、通常０．１μｍ以下の極めて小さな値とする
ことができることから、結果として、記録時にトラック
幅のずれによる不均一な記録磁界の発生を軽減すること
ができる。これにより、良好な記録状態を得ることがで
きる。また、狭トラック幅を有する構造であった場合に
おいても、トラック幅を形成する金属磁性多層膜３の側
面に磁性フェライトが配置されていることから、ヘッド
効率も劣化することなく最適なヘッド効率を得ることが
できる。更に、従来技術としての複合型磁気ヘッド（図
１３参照）では、非磁性セラミックとフェライトとを接
合した基板を用いて積層することから、製造工程が煩雑
であったが、本実施例では上記基板を用いずに簡単な構
成の基板を積層して製造することにより、磁気ヘッドチ
ップの製造工程を容易にすることができる。Now, the laminated magnetic head shown in FIG.
It shall be used for D for recording. Then, in this embodiment, the track deviation of the magnetic head chip on the air bearing surface 4a of the non-magnetic slider 4 is usually set to an extremely small value of 0.1 μm or less due to the manufacturing process such as polishing and the magnetic ferrite removal processing by the diamond blade. As a result, it is possible to reduce the occurrence of a non-uniform recording magnetic field due to the track width deviation during recording. As a result, a good recording state can be obtained. Further, even in the case of the structure having a narrow track width, since the magnetic ferrite is arranged on the side surface of the metal magnetic multilayer film 3 forming the track width, the head efficiency does not deteriorate and the optimum head efficiency is obtained. Obtainable. Further, in the conventional composite magnetic head (see FIG. 13), since the non-magnetic ceramic and the ferrite are laminated using the substrate bonded to each other, the manufacturing process is complicated. By laminating and manufacturing substrates having a simple structure without using, the manufacturing process of the magnetic head chip can be facilitated.

【００３５】図８は本発明に係る積層型磁気ヘッドの他
の実施例を示すものであり、磁性フェライトの除去する
形状を改良した例を示す主要部の断面図である。FIG. 8 shows another embodiment of the laminated magnetic head according to the present invention, and is a sectional view of the main part showing an example in which the shape for removing the magnetic ferrite is improved.

【００３６】本実施例における積層型磁気ヘッドは、前
記実施例における非磁性フェライト２の除去形状を斜め
にしないで、例えば非磁性スライダ４の浮上面４ａに対
し、トラック幅を形成する金属磁性多層膜３を残存する
ように、直角に磁性フェライト２を除去したことを特徴
としている。In the laminated magnetic head of this embodiment, the removal shape of the non-magnetic ferrite 2 in the above embodiment is not slanted, and for example, the metal magnetic multilayer for forming the track width with respect to the air bearing surface 4a of the non-magnetic slider 4 is used. The feature is that the magnetic ferrite 2 is removed at a right angle so that the film 3 remains.

【００３７】このような構成により、非磁性スライダ４
に取り付けられる磁気ヘッドチップのギャップ面は、ト
ラック幅を形成する金属磁性多層膜３のみで形成するこ
とができ、またこのギャップ面と浮上面４ａとは、均一
な媒体摺動面にすることができる。また、前記実施例と
同様にポリシング等の研摩により、トラック幅を形成す
るための一方の突き合わせずれを縮小することができ
る。更に、図８に示すように反対側の磁気ヘッドチップ
のギャップ近傍において、磁性フェライト２が直角に除
去されていることから、他方の突き合わせずれも、縮小
することができる。With such a configuration, the non-magnetic slider 4
The gap surface of the magnetic head chip mounted on the magnetic head chip can be formed only by the metal magnetic multilayer film 3 forming the track width, and the gap surface and the air bearing surface 4a can be a uniform medium sliding surface. it can. Further, as in the case of the above-described embodiment, polishing such as polishing can reduce one butt displacement for forming the track width. Further, as shown in FIG. 8, since the magnetic ferrite 2 is removed at a right angle in the vicinity of the gap of the magnetic head chip on the opposite side, the butt displacement of the other side can be reduced.

【００３８】したがって、本実施例によれば、前記実施
例と同様に効果を得ることができることは勿論のこと、
狭トラック幅の構造である場合によりヘッド効率を向上
することができる効果を有する。Therefore, according to the present embodiment, it is of course possible to obtain the same effect as the above-mentioned embodiment,
The structure having a narrow track width has the effect of improving the head efficiency.

【００３９】尚、本実施例においては、ヘッドギャップ
が媒体回転方向と直角でなく、トラック幅方向に対して
アジマス角を有して構成するようにしても良い。In the present embodiment, the head gap may be configured to have an azimuth angle with respect to the track width direction instead of being perpendicular to the medium rotation direction.

【００４０】また、本発明は、ハードディスク用のヘッ
ドに限定されるものではなく、フロッピ、ＶＴＲなどの
磁気記録一般に広く用いることができることは勿論であ
る。Further, the present invention is not limited to a head for a hard disk, and it is needless to say that it can be widely used in general magnetic recording such as a floppy disk and a VTR.

【００４１】[0041]

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、磁気
ヘッドチップの非磁性スライダとの接合面をポリシング
等の研摩処理を施すことにより、金属磁性膜の突き合わ
せによるずれが生じていても、一方のずれの値を極めて
縮小することができる。よって、突き合わせずれによる
記録磁界の不均一な発生を軽減することができる。ま
た、チップのギャップ面にトラック幅を形成する金属磁
性多層膜を残存するように、磁性フェライトを斜めに除
去し、且つ露出することなく磁性フェライトを配置する
ことにより、狭トラック幅においてもヘッド再生効率を
劣化することなく最適な効率を得ることができる。更
に、本発明では、複合基板を用いずに製造することがで
きることから、製造工程を容易にすることができ、製造
性を向上することができる効果を有する。As described above, according to the present invention, even if the surface of the magnetic head chip to be joined to the non-magnetic slider is subjected to a polishing treatment such as polishing, the displacement due to the butting of the metal magnetic films occurs. The value of the deviation on the one hand can be extremely reduced. Therefore, it is possible to reduce the occurrence of non-uniformity of the recording magnetic field due to the butt displacement. In addition, by removing the magnetic ferrite obliquely and arranging the magnetic ferrite without exposing it so that the metal magnetic multilayer film forming the track width remains on the gap surface of the chip, head reproduction is performed even in a narrow track width. Optimal efficiency can be obtained without degrading efficiency. Further, in the present invention, since it is possible to manufacture without using the composite substrate, there is an effect that the manufacturing process can be facilitated and the manufacturability can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】図１及び図２は本発明に係る積層型磁気ヘッド
の一実施例を示し、図１は積層型磁気ヘッドの全体構成
を示す斜視図。FIG. 1 and FIG. 2 show an embodiment of a laminated magnetic head according to the present invention, and FIG. 1 is a perspective view showing the overall structure of the laminated magnetic head.

【図２】図２は図１に示す積層型磁気ヘッドの主要部を
示す拡大図。FIG. 2 is an enlarged view showing a main part of the laminated magnetic head shown in FIG.

【図３】図３乃至図７は図１に示すヘッドの製造工程を
示す説明図であり、図３は磁性膜付きフェライト基板の
製造工程を示す図。3 to 7 are explanatory views showing a manufacturing process of the head shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a view showing a manufacturing process of a ferrite substrate with a magnetic film.

【図４】図４は図１に示す磁性膜付きフェライト基板を
積層して作成する積層体の製造工程を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a manufacturing process of a laminated body formed by laminating the ferrite substrates with magnetic films shown in FIG. 1.

【図５】図５は図４に示す積層体を加工して磁気ヘッド
チップを製造するための説明図。5 is an explanatory view for manufacturing the magnetic head chip by processing the laminated body shown in FIG. 4;

【図６】図６は図５に示す磁気ヘッドチップにポリシン
グ加工を施した状態を示す図。FIG. 6 is a view showing a state in which the magnetic head chip shown in FIG. 5 is subjected to polishing processing.

【図７】図７は図５の磁気ヘッドチップをスライダに取
り付けた状態を示す図。7 is a diagram showing a state in which the magnetic head chip of FIG. 5 is attached to a slider.

【図８】図８は本発明に係る積層型磁気ヘッドの他の実
施例を示し、媒体摺動面近傍のヘッドチップをトラック
加工した場合のヘッド主要部の断面図。FIG. 8 shows another embodiment of the laminated magnetic head according to the present invention, and is a cross-sectional view of the main part of the head when the head chip near the medium sliding surface is track processed.

【図９】図９は従来における薄膜ヘッドの構成を示す斜
視図。FIG. 9 is a perspective view showing a configuration of a conventional thin film head.

【図１０】図１０は従来におけるＭＩＧヘッドの構成を
示す斜視図。FIG. 10 is a perspective view showing a configuration of a conventional MIG head.

【図１１】図１１は従来の積層型磁気ヘッドの構成を示
す斜視図。FIG. 11 is a perspective view showing the structure of a conventional laminated magnetic head.

【図１２】図１２は図１１に示す積層型磁気ヘッドのギ
ャップ近傍の拡大図。12 is an enlarged view of the vicinity of the gap of the laminated magnetic head shown in FIG.

【図１３】図１３は図１１に示す積層型磁気ヘッドの製
造工程を示す図。FIG. 13 is a diagram showing a manufacturing process of the laminated magnetic head shown in FIG. 11;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…積層型磁気ヘッド、１ａ…左コア、１ｂ…右コア、
１ｃ…ギャップ、２…磁性フェライト、３…磁性膜（金
属磁性多層膜）、４…非磁性スライダ、４ａ…浮上面、
５…接合ガラス、６…巻線用溝。1 ... laminated magnetic head, 1a ... left core, 1b ... right core,
1c ... Gap, 2 ... Magnetic ferrite, 3 ... Magnetic film (metal magnetic multilayer film), 4 ... Non-magnetic slider, 4a ... Air bearing surface,
5 ... Bonded glass, 6 ... Groove for winding.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】トラック幅を形成する一層または多層の磁
性体に、第１及び第２の積層部材を用いて挟持して構成
された一対のコアに、巻線を施し且つ前記磁性体を突き
合わせるようにして接合して、非磁性スライダに取り付
けられて構成した積層型磁気ヘッドにおいて、 前記第１の積層部材は、第２の積層部材よりも薄く積層
して設け、前記非磁性スライダに取り付ける前に予め削
除して前記磁性体の面を該非磁性スライダに取り付ると
共に、前記第２の積層部材は磁性フェライトを使用して
構成し、媒体と対向する側のヘッドギャップ面に前記磁
性フェライトが露出しないように形成したことを特徴と
する積層型磁気ヘッド。1. A pair of cores formed by sandwiching a single-layer or multi-layer magnetic body, which forms a track width, by using first and second laminated members, and winding the winding and abutting the magnetic body. In the laminated magnetic head configured to be bonded in this manner and attached to the non-magnetic slider, the first laminated member is provided so as to be thinner than the second laminated member, and is attached to the non-magnetic slider. The surface of the magnetic body is previously removed and attached to the non-magnetic slider, and the second laminated member is formed by using magnetic ferrite, and the magnetic ferrite is formed on the head gap surface facing the medium. A laminated magnetic head characterized in that it is formed so as not to be exposed. 【請求項２】前記磁性体は、一層の金属磁性膜及び絶縁
性薄膜が交互に多層積層され、非磁性スライダに取り付
けられた際にトラック幅を形成するものであって、前記
トラック幅を形成したときに、磁性体の突き合わせずれ
が、０．１μｍ以下の寸法で構成したことを特徴とする
請求項１に記載の積層型磁気ヘッド。2. The magnetic body has a track width formed by alternately laminating a single layer of a metal magnetic film and an insulating thin film, and forms a track width when attached to a non-magnetic slider. 2. The laminated magnetic head according to claim 1, wherein the butt displacement of the magnetic bodies is 0.1 μm or less. 【請求項３】前記第１の積層部材は、非磁性フェライト
と磁性フェライトとの少なくとも一方を用いて構成され
たものであって、前記磁性体と積層するときに接合ガラ
スを用いて接合し、削除するときには当該第１の積層部
材と共に接合ガラスも削除することを特徴とする請求項
１に記載の積層型磁気ヘッド。3. The first laminated member is constituted by using at least one of non-magnetic ferrite and magnetic ferrite, and is bonded with a bonding glass when laminated with the magnetic body, The laminated magnetic head according to claim 1, wherein when the deletion is performed, the bonding glass is also deleted together with the first laminated member. 【請求項４】前記第２の積層部材は、ヘッドギャップ近
傍の磁性フェライトを前記磁性体を残すように斜めに欠
切して形成したことを特徴とする請求項１に記載の積層
型磁気ヘッド。4. The laminated magnetic head according to claim 1, wherein the second laminated member is formed by obliquely cutting magnetic ferrite near a head gap so as to leave the magnetic body. . 【請求項５】前記第２の積層部材は、磁性体の一部を含
んでヘッドギャップ近傍の磁性フェライトを欠切して形
成したものであって、媒体方向に対して直角に欠切した
ことを特徴とする請求項１に記載の積層型磁気ヘッド。5. The second laminated member is formed by cutting off a magnetic ferrite in the vicinity of the head gap including a part of a magnetic body, and is cut out at a right angle to the medium direction. The laminated magnetic head according to claim 1, wherein