JP2005342975A - 透明バリアフィルム - Google Patents
透明バリアフィルム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005342975A JP2005342975A JP2004164138A JP2004164138A JP2005342975A JP 2005342975 A JP2005342975 A JP 2005342975A JP 2004164138 A JP2004164138 A JP 2004164138A JP 2004164138 A JP2004164138 A JP 2004164138A JP 2005342975 A JP2005342975 A JP 2005342975A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- silicon nitride
- nitride film
- transparent
- barrier film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
【課題】酸素バリア性や水蒸気バリア性に優れかつ高透明性を合わせ持つ、エレクトロニクス素子用の透明バリアフィルムを提供すること。
【解決手段】透明プラスチックフィルムの少なくとも片面に窒化珪素膜が成膜されている透明バリアフィルムであって、該窒化珪素膜の元素比がN/Si=0.8〜1.4の範囲であり、膜密度が2.1〜3.0g/cm3 の範囲にあること。透明バリアフィルムの酸素透過度が0.1cc/m2 ・day以下であり、水蒸気透過度が0.1g/m2 ・day以下であること。
【選択図】なし
【解決手段】透明プラスチックフィルムの少なくとも片面に窒化珪素膜が成膜されている透明バリアフィルムであって、該窒化珪素膜の元素比がN/Si=0.8〜1.4の範囲であり、膜密度が2.1〜3.0g/cm3 の範囲にあること。透明バリアフィルムの酸素透過度が0.1cc/m2 ・day以下であり、水蒸気透過度が0.1g/m2 ・day以下であること。
【選択図】なし
Description
本発明は、液晶素子(LCD)、エレクトロルミネッセンス素子(EL)等に代表されるエレクトロニクス素子用のバリア性を付与した透明バリアフィルムに関するものである。
自己発光体である有機EL素子は、低消費電力、高い応答速度、高視野角等の多くの利点からブラウン管や液晶素子に変わるフラットパネルディスプレイとして注目されている。有機EL素子は、一般に透明基板上に陽極、有機発光層、陰極を積層し有機EL素子が形成され、両電極間に電圧を印加することにより有機発光層で発光が生じるものである。
しかしながら、有機EL素子は非常に酸素や水分に弱いことが知られており、このような有機EL素子は大気中に暴露した状態で放置すると、酸素、水蒸気の有機EL素子内への進入による劣化が引き起こされることが知られている。特に陰極層に用いられる仕事関数の低いアルカリ金属、またはアルカリ土類金属は水分により酸化されやすく、酸化されることにより電子の注入が阻害されダークスポットと呼ばれる非発光領域が発生し時間の経過と共に拡大する。この陰極層保護のために必要な水蒸気透過度は、1×10-6g/m2 ・dayともいわれている。
また、可撓性を有する有機ELディスプレイとして、バリア膜を形成した透明プラスチックフィルム上に有機EL素子を形成することも盛んに研究されている(特許文献1、非特許文献1参照)。一般的にプラスチックフィルムは、水、酸素のバリア性に乏しいため、有機EL素子の長寿命化のためにはプラスチックフィルムへのバリア性の付与が不可欠である。
この様なガスバリアの劣性を補う方法として、透明プラスチックフィルム上にバリア層を設ける検討が盛んになされている。このバリア層は、主に透明性の高い珪素、アルミニウムなどの金属酸化物や、金属窒化物があげられ、スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法、CVD法などにより形成される。更に、ディスプレイ作製時における種々な工程中での耐熱性、耐薬品性、耐アルカリ性、耐酸性等が要求され、また様々な環境下での高いバリア性を維持することが要求される。
窒化珪素膜はバリア性、透明性が高いことが知られているが、成膜方法によっては着色してしまったり(非特許文献1参照)、成膜条件によっては高温、高湿下に放置すると酸化されてしまうことが知られている。ディスプレイの前面板に用いるためには膜の着色は好ましいものではなく、また、酸化されてしまい物性が変化してしまうような膜では高い信頼性が得られない。
特開2001−118674号公報
PIONEER R&D,Vol11,No3 「有機フィルムディスプレイの開発」
本発明は、上記のような問題点を解決するためのものであり、その課題とするところは、酸素バリア性や水蒸気バリア性に優れ、かつ高透明性を合わせ持つ、透明バリアフィルムを提供することにある。
本発明は、透明プラスチックフィルムの少なくとも片面に窒化珪素膜が成膜されている透明バリアフィルムであって、該窒化珪素膜の元素比がN/Si=0.8〜1.4の範囲であり、膜密度が2.1〜3.0g/cm3 の範囲にあることを特徴とする透明バリアフィルムである。
また、本発明は、請求項1に記載される透明バリアフィルムの酸素透過度が0.1cc/m2 ・day以下であり、水蒸気透過度が0.1g/m2 ・day以下であることを特徴とする透明バリアフィルムである。
これまで示してきたように、本発明は、透明プラスチックフィルムの少なくとも片面に窒化珪素膜が成膜されている透明バリアフィルムであって,該窒化珪素膜の元素比がN/Si=0.8〜1.4の範囲であり、膜密度が2.1〜3.0g/cm3 の範囲にあるので、窒化珪素膜が非常に緻密で、かつ応力の少ない構造を取るため、極めて高いバリア性を示す透明バリアフィルムとなる。
以下本発明を詳細に説明する。
本発明に用いられる透明プラスチックフィルムは、バリア層の透明性を生かすために透明なフィルムが好ましい。例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)などのポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム(PC)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリカーボネートフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリエチレンやポリプロピレンなどのポリオレフィンフィルムや、環状シクロオレフィンを含むシクロオレフィンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリアクリルニトリルフィルム、ポリイミドフィルム等が用いられる。
本発明に用いられる透明プラスチックフィルムは、バリア層の透明性を生かすために透明なフィルムが好ましい。例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)などのポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム(PC)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリカーボネートフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリエチレンやポリプロピレンなどのポリオレフィンフィルムや、環状シクロオレフィンを含むシクロオレフィンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリアクリルニトリルフィルム、ポリイミドフィルム等が用いられる。
延伸、未延伸のどちらでも良く、また機械的強度や寸法安定性を有するものが良い。これらをフィルム状に加工して用いられる。二軸方向に任意に延伸されていても問題ない。また、この基材の表面に、周知の種々の添加剤や安定剤、例えば、帯電防止剤、紫外線防止剤、可塑剤、滑剤などが使用されていても良く、薄膜との密着性を良くするために、前処理としてコロナ処理、低温プラズマ処理、イオンボンバード処理を施しておいても良く、さらに薬品処理、溶剤処理などを施しても良い。
本発明の窒化珪素膜は、高いバリア性を有するバリア層として用いられるものであり、窒化珪素膜の元素比がN/Si=0.8〜1.4の範囲であり、膜密度が2.1〜3.0g/cm3 の範囲にあることが好ましい。この範囲を外れると、窒化珪素膜の膜組成が崩れ、膜の緻密さが低下しバリア性の劣化や、湿度による膜の酸化劣化が起こり好ましくない。
このような窒化珪素膜の成膜方法としては,公知の真空蒸着法により形成することができるが、その他の薄膜形成方法である、プラズマCVD法、触媒化学気相堆積法(Cat−CVD)、スパッタリング法、イオンプレーティング法により成膜される。本発明で得られるような高い透明性とバリア性を兼ね備える窒化珪素膜を得るためには、プラズマCVD法、触媒化学気相堆積法、スパッタリング法が適していると考えられる。
窒化珪素膜の厚みは5〜1000nm、より好ましくは100〜300nmの範囲で最適化されるものと考えられる。窒化珪素膜の膜厚が5nm以下であると高いバリア性が得
られず、またバリア層の厚みが1000nmを超えるとフィルムのフレキシブル性、透明性を損なうおそれがある。さらに、応力の制御が困難になり、窒化珪素膜にクラックが入りやすくバリア性が低下する恐れがある。
られず、またバリア層の厚みが1000nmを超えるとフィルムのフレキシブル性、透明性を損なうおそれがある。さらに、応力の制御が困難になり、窒化珪素膜にクラックが入りやすくバリア性が低下する恐れがある。
また、窒化珪素膜の膜組成は光電子分光法(XPS)により測定が可能であり、具体的な装置としては、(株)島津製作所製:ESCA3200が挙げられる。また、膜密度についてはX線反射率法により測定が可能であり、具体的な測定装置としては、理学電機(株)製:ATX−Gが挙げられる。
本発明における窒化珪素膜の膜組成は、酸素、および炭素が含まれていても膜密度が、2.1〜3.0g/cm3 の範囲に入っている限りは何ら問題は無いと考えられる。上記の様な方法で透明プラスチックフィルムを用いて真空成膜法にて窒化珪素膜を付けようとした場合、透明プラスチックフィルム中に含まれる水分や、酸素によって混入してしまう場合が考えられる。
よって、窒化珪素膜中に含まれる酸素組成は制御されているものでは無く、透明プラスチックフィルムの種類、成膜前の脱ガス条件や、成膜中の条件によって変化していくものである。そういった条件の中でも酸素組成比は低いことが好ましい。また、同一条件で窒化珪素膜を脱ガスのないシリコンウエハーに成膜した場合、赤外線吸収法(IR)によるSi−O関するピークはほとんど観測されない。
よって、窒化珪素膜中に含まれる酸素組成は制御されているものでは無く、透明プラスチックフィルムの種類、成膜前の脱ガス条件や、成膜中の条件によって変化していくものである。そういった条件の中でも酸素組成比は低いことが好ましい。また、同一条件で窒化珪素膜を脱ガスのないシリコンウエハーに成膜した場合、赤外線吸収法(IR)によるSi−O関するピークはほとんど観測されない。
本発明におけるバリア性とは、酸素透過度(JIS K7126のB法(等圧法))、および、水蒸気透過度(JIS K7129のB法(赤外センサー法))を指す。酸素透過度の測定は、MOCON社製:OXTRAN 2/21を用いて、温度25℃、湿度75%RHの環境下でゼロ点を測定した後の測定値を指す。また、水蒸気透過度の測定は、MOCON社製:PERMATRAN−W 3/32を用いて、温度40℃、湿度90%RHの環境下での測定値を指す。
本発明の窒化珪素膜によれば膜中の組成、および膜密度を規定することにより窒化珪素膜が緻密な構造、および高いバリア性を得ることが出来、また温度60℃、湿度90%RHの環境下に500時間保存した後の窒化珪素膜の組成を規定することにより高い信頼性を得ることが可能である。
次に実施例を示し本発明をさらに詳細に説明する。
(透明プラスチックフィルム上への窒化珪素膜の成膜)
透明プラスチックフィルムとして、ポリエーテルスルホン(PES)フィルム(住友ベークライト(株)製:PESフィルム UCPES、厚み200μm)を用いて、ロードロックを介して平行平板方式のプラズマCVD装置内のサンプルホルダーへと導入し、5×10-7Torrにまで排気を行った。続いて、サンプルホルダーを150℃にまで加熱し、1時間放置することにより脱ガスを行った。
透明プラスチックフィルムとして、ポリエーテルスルホン(PES)フィルム(住友ベークライト(株)製:PESフィルム UCPES、厚み200μm)を用いて、ロードロックを介して平行平板方式のプラズマCVD装置内のサンプルホルダーへと導入し、5×10-7Torrにまで排気を行った。続いて、サンプルホルダーを150℃にまで加熱し、1時間放置することにより脱ガスを行った。
次に、サンプルホルダー温度を150℃に保ったまま、SiH4 、NH3 、H2 をそれぞれ10、20、400sccm導入し、コンダクタンスバルブによりチャンバー内の圧力を10Paに保ち、13.56MHzの高周波電源を用い、投入電力を300Wで透明プラスチックフィルム上に100nmの窒化珪素膜を形成し透明バリアフィルムを得た。
次に、実施例1においてSiH4 流量を4sccmにした以外は実施例1と同様にして窒化珪素膜を形成し透明バリアフィルムを得た。
次に、実施例1においてSiH4 流量を14sccmにした以外は実施例1と同様にして窒化珪素膜を形成し透明バリアフィルムを得た。
次に、実施例1と比較するための実施例4においては、SiH4 流量を20sccmにした以外は実施例1と同様にして窒化珪素膜を形成し透明バリアフィルムを得た。
次に、実施例1と比較するための実施例5においては、SiH4 流量を2sccm、NH3 流量を40sccmにした以外は実施例1と同様にして窒化珪素膜を形成し透明バリアフィルムを得た。
(窒化珪素膜の組成の測定)
得られた窒化珪素膜の組成の分析は、(株)島津製作所製:ESCA3200を用いて測定を行った。X線源にはMgα線を使用し、電圧5kV、電流30mAに設定した。また、アナライザー透過エネルギーは10eVとし、光電子の取り込みは0.1eVステップで1ポイントの収拾時間は100msとした。
また、膜の深さ方向の情報を得るために、熱陰極型エッチングイオン銃を用いて60秒のエッチングを10回行い、デプスプロファイルを得た。窒化珪素膜中の組成比はSi、N、Oピーク面積に、各元素の感度補正係数(Si:0.288、O:1.082、C:0.293)を用いて補正を行いデプスプロファイルの平均を膜組成とした。
得られた窒化珪素膜の組成の分析は、(株)島津製作所製:ESCA3200を用いて測定を行った。X線源にはMgα線を使用し、電圧5kV、電流30mAに設定した。また、アナライザー透過エネルギーは10eVとし、光電子の取り込みは0.1eVステップで1ポイントの収拾時間は100msとした。
また、膜の深さ方向の情報を得るために、熱陰極型エッチングイオン銃を用いて60秒のエッチングを10回行い、デプスプロファイルを得た。窒化珪素膜中の組成比はSi、N、Oピーク面積に、各元素の感度補正係数(Si:0.288、O:1.082、C:0.293)を用いて補正を行いデプスプロファイルの平均を膜組成とした。
(窒化珪素膜の膜密度の測定)
得られた窒化珪素膜の密度の分析は、(株)理学電機製:ATX−Gを用いて測定を行った。X線源にCuKα線を用い、光学系には、Ge(111)非対称ビーム圧縮光学系を用いた。また、測定条件としてスキャン速度0.10゜/min、サンプリング幅0.002゜、走査範囲2θ=0.2〜5゜の範囲で測定を行った。得られたデータより付属の解析ソフトを用いて、臨界角付近のフィッティングを行い膜密度を求めた。
得られた窒化珪素膜の密度の分析は、(株)理学電機製:ATX−Gを用いて測定を行った。X線源にCuKα線を用い、光学系には、Ge(111)非対称ビーム圧縮光学系を用いた。また、測定条件としてスキャン速度0.10゜/min、サンプリング幅0.002゜、走査範囲2θ=0.2〜5゜の範囲で測定を行った。得られたデータより付属の解析ソフトを用いて、臨界角付近のフィッティングを行い膜密度を求めた。
(透明バリアフィルムのバリア性の評価)
酸素透過度は、MOCON社製:OXTRAN 2/21を用いて、温度25℃、湿度75%RHの環境下でゼロ点を測定した後の測定値を用いた。
水蒸気透過度は、MOCON社製:PERMATRAN−W 3/32を用いて、温度40℃、湿度90%RHの環境下での測定値を用いた。
酸素透過度は、MOCON社製:OXTRAN 2/21を用いて、温度25℃、湿度75%RHの環境下でゼロ点を測定した後の測定値を用いた。
水蒸気透過度は、MOCON社製:PERMATRAN−W 3/32を用いて、温度40℃、湿度90%RHの環境下での測定値を用いた。
実施例1〜5について、上記に示すとおり測定したデータを表1に示す。
Claims (2)
- 透明プラスチックフィルムの少なくとも片面に窒化珪素膜が成膜されている透明バリアフィルムであって、該窒化珪素膜の元素比がN/Si=0.8〜1.4の範囲であり、膜密度が2.1〜3.0g/cm3 の範囲にあることを特徴とする透明バリアフィルム。
- 請求項1に記載される透明バリアフィルムの酸素透過度が0.1cc/m2 ・day以下であり、水蒸気透過度が0.1g/m2 ・day以下であることを特徴とする透明バリアフィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004164138A JP2005342975A (ja) | 2004-06-02 | 2004-06-02 | 透明バリアフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004164138A JP2005342975A (ja) | 2004-06-02 | 2004-06-02 | 透明バリアフィルム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005342975A true JP2005342975A (ja) | 2005-12-15 |
Family
ID=35495790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004164138A Pending JP2005342975A (ja) | 2004-06-02 | 2004-06-02 | 透明バリアフィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005342975A (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007220646A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-30 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
WO2007111074A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及び透明バリア性シートの製造方法 |
WO2007111075A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及び透明バリア性シートの製造方法 |
WO2007111098A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及びその製造方法 |
WO2009001924A1 (ja) | 2007-06-27 | 2008-12-31 | Ulvac, Inc. | 樹脂基板 |
JP2009031611A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ulvac Japan Ltd | 樹脂基板 |
JP2009133000A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-06-18 | Fujifilm Corp | シリコン窒化物膜及びそれを用いたガスバリア膜、薄膜素子 |
JP2010059528A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-18 | Fujifilm Corp | ガスバリアフィルムの製造方法 |
EP2309022A1 (en) | 2009-09-17 | 2011-04-13 | Fujifilm Corporation | Gas barrier coating and gas barrier film |
JPWO2011074214A1 (ja) * | 2009-12-14 | 2013-04-25 | シャープ株式会社 | 防湿フィルム及びその製造方法、並びにそれを備えた有機電子デバイス |
US20140183498A1 (en) * | 2012-12-31 | 2014-07-03 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Thin Film Silicon Nitride Barrier Layers On Flexible Substrate |
US20150050478A1 (en) * | 2012-03-29 | 2015-02-19 | Fujifilm Corporation | Gas barrier film and manufacturing method of gas barrier film |
WO2019065020A1 (ja) * | 2017-09-27 | 2019-04-04 | 富士フイルム株式会社 | ガスバリアフィルム |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09123334A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-13 | Toppan Printing Co Ltd | バリアー性積層体及びその製造方法 |
JP2002321311A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 透明積層フィルム |
JP2004042502A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Kureha Chem Ind Co Ltd | バリア性透明積層フィルムおよびその製造方法 |
JP2004066730A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Dainippon Printing Co Ltd | ガスバリア性フィルム、積層体の検査方法及びガスバリア性フィルムの製造システム |
JP2004292877A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Ishikawa Seisakusho Ltd | 窒化シリコン膜及びその製造方法 |
JP2005111729A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Mitsui Chemicals Inc | ガスバリアフィルム |
-
2004
- 2004-06-02 JP JP2004164138A patent/JP2005342975A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09123334A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-13 | Toppan Printing Co Ltd | バリアー性積層体及びその製造方法 |
JP2002321311A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 透明積層フィルム |
JP2004042502A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Kureha Chem Ind Co Ltd | バリア性透明積層フィルムおよびその製造方法 |
JP2004066730A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Dainippon Printing Co Ltd | ガスバリア性フィルム、積層体の検査方法及びガスバリア性フィルムの製造システム |
JP2004292877A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Ishikawa Seisakusho Ltd | 窒化シリコン膜及びその製造方法 |
JP2005111729A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Mitsui Chemicals Inc | ガスバリアフィルム |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007220646A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-30 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JPWO2007111098A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2009-08-06 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 透明バリア性シート及びその製造方法 |
WO2007111074A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及び透明バリア性シートの製造方法 |
WO2007111075A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及び透明バリア性シートの製造方法 |
WO2007111098A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及びその製造方法 |
EP2168763A1 (en) * | 2007-06-27 | 2010-03-31 | Ulvac, Inc. | Resin substrate |
JP2009006568A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Ulvac Japan Ltd | 樹脂基板 |
WO2009001924A1 (ja) | 2007-06-27 | 2008-12-31 | Ulvac, Inc. | 樹脂基板 |
EP2168763A4 (en) * | 2007-06-27 | 2010-09-29 | Ulvac Inc | RESIN SUBSTRATE |
JP2009031611A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ulvac Japan Ltd | 樹脂基板 |
JP2009133000A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-06-18 | Fujifilm Corp | シリコン窒化物膜及びそれを用いたガスバリア膜、薄膜素子 |
JP2010059528A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-18 | Fujifilm Corp | ガスバリアフィルムの製造方法 |
US8236388B2 (en) | 2008-09-08 | 2012-08-07 | Fujifilm Corporation | Method of producing gas barrier film |
EP2309022A1 (en) | 2009-09-17 | 2011-04-13 | Fujifilm Corporation | Gas barrier coating and gas barrier film |
JPWO2011074214A1 (ja) * | 2009-12-14 | 2013-04-25 | シャープ株式会社 | 防湿フィルム及びその製造方法、並びにそれを備えた有機電子デバイス |
JP5595421B2 (ja) * | 2009-12-14 | 2014-09-24 | シャープ株式会社 | 防湿フィルム及びその製造方法、並びにそれを備えた有機電子デバイス |
US20150050478A1 (en) * | 2012-03-29 | 2015-02-19 | Fujifilm Corporation | Gas barrier film and manufacturing method of gas barrier film |
US20140183498A1 (en) * | 2012-12-31 | 2014-07-03 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Thin Film Silicon Nitride Barrier Layers On Flexible Substrate |
WO2019065020A1 (ja) * | 2017-09-27 | 2019-04-04 | 富士フイルム株式会社 | ガスバリアフィルム |
CN111065514A (zh) * | 2017-09-27 | 2020-04-24 | 富士胶片株式会社 | 阻气膜 |
JPWO2019065020A1 (ja) * | 2017-09-27 | 2020-11-05 | 富士フイルム株式会社 | ガスバリアフィルム |
CN111065514B (zh) * | 2017-09-27 | 2022-01-25 | 富士胶片株式会社 | 阻气膜 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Carcia et al. | Ca test of Al2O3 gas diffusion barriers grown by atomic layer deposition on polymers | |
US8445937B2 (en) | Barrier films for plastic substrates fabricated by atomic layer deposition | |
US7102176B2 (en) | Organic electroluminescent display panel and manufacturing method therefor | |
JP2005342975A (ja) | 透明バリアフィルム | |
US20080006819A1 (en) | Moisture barrier coatings for organic light emitting diode devices | |
US9660208B2 (en) | Transparent gas barrier film, method for producing transparent gas barrier film, organic EL element, solar battery, and thin film battery | |
US7345420B2 (en) | Organic electroluminescence display panel and method for manufacturing the same | |
JP4279816B2 (ja) | 透明ガスバリア基板 | |
JP2004314599A (ja) | バリアフィルム | |
JP2009172986A (ja) | 積層体の製造方法、バリア性フィルム基板、デバイスおよび光学部材 | |
JP2009274251A (ja) | 透明バリアフィルムおよびその製造方法 | |
JP2005166400A (ja) | 表面保護膜 | |
JP2005288851A (ja) | 透明ガス遮断性フィルム、並びにそれを用いるディスプレイ基板及びディスプレイ。 | |
WO2012133704A1 (ja) | ガスバリア積層フィルムとその製造方法 | |
JP2009196318A (ja) | 積層体とバリア性フィルム基板の製造方法、バリア材料、デバイスおよび光学部材 | |
JP2005319678A (ja) | 積層体、発光素子及びその使用 | |
JP2006057121A (ja) | 窒化シリコン膜の製造方法及び表示装置用フィルム | |
JP4106931B2 (ja) | 透明ガスバリア薄膜被覆フィルム | |
JP2007123174A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP4775763B2 (ja) | ガスバリアフィルム | |
JP4224330B2 (ja) | バリアフィルム | |
JP2016171038A (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP2007123173A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2002321311A (ja) | 透明積層フィルム | |
JP2008108652A (ja) | 有機デバイスの製造方法および有機デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070525 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091124 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100330 |