JP2005322738A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 薄く加工された半導体ウエーハの局所クラックや割れの発生を大幅に低減し、ダイシングされた半導体チップの切断面のチッピングや欠けを大幅に低減した半導体装置の製造方法を実現する。
【解決手段】 本発明では、半導体素子形成面2に設けられた種々の半導体素子を保護する第1の保護テープ3aを半導体素子形成面2に貼り付け、半導体ウエーハ1の裏面4の研磨を行う。転写後、半導体ウエーハ1の裏面4の第2の保護テープ3bの一部までカットしたフルカットダイシングを行い、薄く加工された半導体ウエーハ1を複数の半導体チップ30に分離する。転写後、ケミカルドライエッチング(CDE)を行い、半導体チップ30の裏面4の面粗さ(Ra)を、例えば、0.05μm以上にして半導体チップ30の切断面の微少なチッピング、微少なカケ、破砕層等を除去する。
【選択図】 図4
【解決手段】 本発明では、半導体素子形成面2に設けられた種々の半導体素子を保護する第1の保護テープ3aを半導体素子形成面2に貼り付け、半導体ウエーハ1の裏面4の研磨を行う。転写後、半導体ウエーハ1の裏面4の第2の保護テープ3bの一部までカットしたフルカットダイシングを行い、薄く加工された半導体ウエーハ1を複数の半導体チップ30に分離する。転写後、ケミカルドライエッチング(CDE)を行い、半導体チップ30の裏面4の面粗さ(Ra)を、例えば、0.05μm以上にして半導体チップ30の切断面の微少なチッピング、微少なカケ、破砕層等を除去する。
【選択図】 図4
Description
本発明は、半導体装置の製造技術に係り、特に、半導体素子或いは半導体素子を含む集積回路が作りこまれた半導体ウエーハの厚さを薄く加工する技術、及び薄く加工された半導体ウエーハの裏面に金属膜を形成する技術に適用する半導体装置の製造方法に関する。
半導体素子の微細化、高集積化とともに半導体ウエーハ径の大口径化が進み、裏面研磨を含め半導体ウエーハの厚さを薄くし、ダイシングにより半導体チップを個別に分離する半導体裏面処理工程では、半導体ウエーハの厚さを100μm以下に薄くすると、作業及び運搬時でのウエーハ割れや欠けが発生し易い。このため、ウエーハ割れや欠けを防止する対策が用いられている(例えば、特許文献1参照。)。この特許文献1では、薄く加工された半導体ウエーハの裏面に金属電極膜を蒸着する処理工程から、ダイシングする工程の間は、保護テープを貼り付けた状態で、薄く加工された半導体ウエーハを作業及び運搬ができるのでウエーハ割れや欠けの発生を抑制することができる。
ところが、近年、ICカード、ICタグ等に代表されるような薄型パッケージ、或いは半導体チップを積層するMCP(Multi chip package)に半導体装置(半導体チップ)を実装することが要求されており、200mm以上の大口径半導体ウエーハで製造された半導体装置を数十μmから90μmの厚さに加工することを要求されている。上述した特許文献1では、半導体ウエーハの厚さを薄く加工する工程から半導体ウエーハの裏面に電極を形成する工程まで、薄く加工された半導体ウエーハに保護テープを貼り付けない状態で半導体ウエーハを作業及び運搬している。そのため、数十μmから90μm厚さの大口径半導体ウエーハでは、作業及び運搬する時に半導体ウエーハに作用する局所的な力により、半導体ウエーハに局所クラックや割れが発生するという問題点がある。
更に、薄く加工された半導体ウエーハの裏面に金属電極膜を形成したウエーハを、例えば、ブレードダイシングでフルカットする場合、半導体ウエーハと裏面に設けられた金属電極膜の硬度が異なるので、ダイシングした半導体ウエーハの切断面やダイシング近傍の半導体ウエーハの裏面にチッピングや欠け、裏面に設けられた金属電極膜のバリが発生しやすいという問題点がある。
特開平10−92778号公報(頁5、図2)
本発明は、半導体ウエーハの厚さを薄くし、ダイシングにより半導体チップを個別に分離する半導体裏面処理工程において、薄く加工された半導体ウエーハの局所クラックや割れの発生を大幅に低減し、且つダイシングした半導体チップのチッピングや欠けを大幅に低減した半導体装置の製造方法を提供する。
上記目的を達成するために、本発明の一態様の半導体装置の製造方法は、半導体ウエーハの第1主面に第1の保護テープを貼り付ける工程と、前記第1の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面と相対向する第2主面を研磨して、前記半導体ウエーハの厚さを薄くする工程と、前記半導体ウエーハの第2主面に第2の保護テープを貼り付け、前記第1の保護テープを剥離する工程と、前記第2の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面からダイシングを行い、前記半導体ウエーハを複数の半導体チップに分離する工程と、前記半導体チップの第1主面に第3の保護テープを貼り付け、前記第2の保護テープを剥離する工程と、前記第3の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体チップの第1主面と相対向する第2主面及び前記ダイシングによる切断面をプラズマエッチングする工程とを具備することを特徴とする。
更に、上記目的を達成するために、本発明の他態様の半導体装置の製造方法は、半導体ウエーハの第1主面に第1の保護テープを貼り付ける工程と、前記第1の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面と相対向する第2主面を研磨して、前記半導体ウエーハの厚さを薄くする工程と、前記半導体ウエーハの第2主面に第2の保護テープを貼り付け、前記第1の保護テープを剥離する工程と、前記第2の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面からダイシングを行い、前記半導体ウエーハを複数の半導体チップに分離する工程と、前記半導体チップの第1主面に第3の保護テープを貼り付け、前記第2の保護テープを剥離する工程と、前記第3の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体チップの第1主面と相対向する第2主面及び前記ダイシングによる切断面をプラズマエッチングしてから、前記半導体チップの第2主面に金属膜を形成する工程とを具備することを特徴とする。
本発明によれば、半導体ウエーハの厚さを薄くし、ダイシングにより半導体チップを個別に分離する半導体裏面処理工程において、薄く加工された半導体ウエーハの局所クラックや割れの発生を大幅に低減し、且つダイシングした半導体チップのチッピングや欠けを大幅に低減した半導体装置の製造方法を提供することができる。
以下本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
まず、本発明の実施例1に係る半導体装置の製造法について、図1乃至図4を参照して説明する。図1は半導体装置の製造方法を示すフローチャート、図2乃至図4は半導体装置の製造工程を示す断面図である。
まず、図2に示すように、8インチサイズ(200mmΦ)の半導体ウエーハ、例えば、シリコンウエーハ1の半導体素子形成面(第1主面)2又は表面に、周知の半導体製造プロセスを用いて種々の半導体素子を形成する(ステップS1)。次に、半導体素子形成面2に、裏面研磨処理から半導体素子形成面2に設けられた種々の半導体素子を保護する第1の保護テープ3aを貼り付ける(ステップS2)。続いて、半導体ウエーハ1を真空吸着保持して回転する真空吸着テーブル5と、真空吸着テーブル5に対向して水平移動しながら回転される研削砥石6を備える半導体ウエーハ裏面研削装置20を用いて、半導体ウエーハ1の半導体素子形成面2と相対向する裏面(第2主面)4を研磨する。この裏面研磨として、まず、第1の保護テープ3aが貼り付けられた半導体ウエーハ1の半導体素子形成面2を真空吸着テーブル5に装着・真空吸着する。次に、メッシュの粗い研削砥石6を用いて裏面研磨する。続いて、メッシュの細かい、例えば、#3000の研削砥石6を用いて裏面研磨し、メッシュの粗い研削砥石6による裏面研磨で発生した微少な破砕層を除去して半導体ウエーハ1を鏡面に加工する。ここで、半導体ウエーハ1の厚さを、90μm以下、例えば、30μmに薄く加工する(ステップS3)。
続いて、図3に示すように、半導体ウエーハ1の裏面4に第2の保護テープ3bを貼り付けて、半導体素子形成面2の第1の保護テープ3aを剥離する。この工程により、半導体ウエーハ1の裏面4に第2の保護テープ3bが転写されることになる(ステップS4)。
そして、切断ライン8を中心として、ダイシングソー7を用いて半導体ウエーハ1の半導体素子形成面2から裏面4の第2の保護テープ3bの一部に達するフルカットダイシング(フルカットブレードダイシングとも表現する)を行い、薄く加工された半導体ウエーハ1を複数の半導体チップ30に分離する。ここで、半導体ウエーハ1の切断ライン8の位置調整は、半導体素子形成面2に形成された金属配線層或いは半導体素子形成面2に設けられたダイシングラインのエッジを感知して位置決めしている。ダイシングソー7は、裏面チッピングを抑制できる粒度で、且つカーフ幅(ダイシング溝の幅)が狭いものを用いるのが好ましい(ステップS5)。
次に、図4(a)に示すように、複数の半導体チップ30の半導体素子形成面2に第3の保護テープ3c貼り付けて、複数の半導体チップ30の裏面4の第2の保護テープ3bを剥離する。そして、プラズマエッチングの中で、プラズマの寿命が長く、且つ半導体チップ30に対してプラズマダメージの影響の少ないケミカルドライエッチング(CDE)を行い、半導体チップ30の裏面4の有機物層を除去すると共に、半導体チップ30の切断面の微少なチッピング、微少なカケ、破砕層等を除去する。このケミカルドライエッチングでは、半導体チップ30の裏面4をミクロンオーダ乃至それ以下のマイクロラフネスとしての面粗さ(Ra)を、例えば、0.05μm以上にするのが好ましい。
また、ケミカルドライエッチングには、CF4、N2、O2、Cl2の混合ガスを用いている。
なお、プラズマエッチングとして、ここではケミカルドライエッチングを用いているが、これに限らず、他のガスを用いたプラズマエッチングやRIE(Reactive ion etching)などを用いてもよい。また、面粗さ(Ra)の測定は接触式表面形状測定装置を用いているが、レーザ式非接触型表面粗さ計や非接触式表面形状測定装置などを用いてもよい(ステップS6)。
続いて、図4(b)に示すように、半導体チップ30の裏面4に第4の保護テープ3d貼り付けて、半導体素子形成面2の第3の保護テープ3cを剥離する(ステップS7)。そして、薄く加工された半導体チップ30は、薄型パッケージ或いは半導体チップを積層するMCP(Multi chip package)を形成する実装工程に払い出される。
上述したように、本実施例の半導体装置の製造方法では、半導体ウエーハ1を薄く加工する半導体裏面処理工程において、処理工程の作業及び運搬時に半導体ウエーハ1及び半導体チップ30の裏面4或いは半導体素子形成面2に必ず保護テープを貼り付けている。このため、半導体ウエーハ1又は半導体チップ30の局所クラックや割れを従来よりも大幅に低減することができる。
更に、ダイシングされた半導体チップ30をケミカルドライエッチングによりエッチングしているので、半導体チップ30の切断面がエッチングされ、半導体チップの切断面の微少なチッピング、微少なカケ、破砕層等を除去することができる。
次に、本発明の実施例2に係る半導体装置の製造方法について、図5及び図6を参照して説明する。図5は半導体装置の製造方法を示すフローチャート、図6は半導体装置の製造工程を示す断面図である。本実施例では、半導体チップの裏面にメタルを設けたことを特徴としている。
以下、実施例1と同一構成部分には、同一符号を付してその部分の説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
まず、図6(a)に示すように、実施例1と同様な処理手順よりケミカルドライエッチングを行った後(ステップS6)、半導体チップ30の裏面(第2主面)4に金属膜10を形成する。ここで、金属膜10は、V(バナジウム)/Ni(ニッケル)/Au(金)の積層膜を蒸着形成している。V/Ni膜は半導体チップ30とAuとの密着性を向上するために設けられたもので、数μm以上の膜厚のAuよりも比較的薄い、例えば100nmの膜厚である。なお、V/Niの代わりにTi、TiN、WN、或いはWSi等を用いてもよく、Auの代わりにCuやW等を用いてもよい。また、V/Ni/Auの代わりにAuを用いてもよい。また、蒸着の代わりにスパッタで金属膜10を形成してもよい(ステップ11)。
そして、ステップS6において、半導体チップ30の裏面4の有機物層の除去、金属膜10と半導体チップ30の裏面4との良好なコンタクト、及びダイシングされた半導体チップ30の切断面の微少なチッピング、微少なカケ、破砕層等の除去を目的としてケミカルドライエッチングを行う。このケミカルドライエッチングの条件としては、半導体チップ30の裏面4の面粗さ(Ra)を、例えば、0.05μm以上にするのが好ましい。更に好ましくは、0.05μm以上、0.4μm以下の範囲にするのがよい。なお、面粗さを0.4μm以上にすると金属膜10と半導体チップ30の裏面4との接合が悪化して良好なコンタクトが得られなくなる。
次に、図6(b)に示すように、半導体チップ30に設けられた金属膜10に第4の保護テープ3dを貼り付けて、半導体チップ30の半導体素子形成面2の第3の保護テープ3cを剥離する(ステップS7)。
上述したように、本実施例の半導体装置の製造方法では、半導体ウエーハ1を薄く加工する半導体裏面処理工程において、処理工程の作業及び運搬時に半導体ウエーハ1及び半導体チップ30の裏面4或いは半導体素子形成面2に必ず保護テープを貼り付けている。そして、ダイシングされた半導体チップ30をケミカルドライエッチングによりエッチングしている。このため、実施例1と同じ効果を有する。
また、金属膜10を形成する前に半導体チップ30の裏面4及びダイシングされた切断面をケミカルドライエッチングしているので、半導体チップ30の裏面4に設けられた金属膜10のバリの発生を大幅に低減することができる。
更に、半導体チップ30の裏面4の面粗さ(Ra)を、例えば、0.05〜0.4μmにしてから、金属膜10を形成しているので金属膜10と半導体チップ30の裏面4の間の接合を強固にすることができる。
次に、本発明の実施例3に係る半導体装置の製造方法について、図7及び図8を参照して説明する。図7は半導体装置の製造方法を示すフローチャート、図8は半導体装置の製造工程を示す断面図である。本実施例では、半導体裏面処理工程の工程数を短縮している。
以下、実施例1と同一構成部分には、同一符号を付してその部分の説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
まず、図8(a)に示すように、実施例1と同様な処理手順により裏面研磨を行った後(ステップS3)、切断ライン8を中心として、ダイシングソー7を用いて、半導体ウエーハ1の裏面4から半導体ウエーハ1の半導体素子形成面2の第1の保護テープ3aの一部までカットしたフルカットダイシングを行い、薄く加工された半導体ウエーハ1を複数の半導体チップに分離する。
ここで、半導体ウエーハ1の切断ライン8の位置調整は、赤外顕微鏡11を用いて半導体ウエーハ1の裏面4から半導体素子形成面2に形成された金属配線層或いは半導体素子形成面2に設けられたダイシングラインのエッジを感知して位置決めしている。なお、赤外顕微鏡11に用いる赤外線の波長(λ)は、シリコンデバイスの場合1300〜1600nmの範囲、例えば、1360nmを用いるのが好ましく、GaAsデバイスの場合1300〜1500nmの範囲を用いるのが好ましい。そして、ダイシングソー7は、チッピングを抑制できる粒度で、且つカーフ幅が狭いものを用いるのが好ましい(ステップS5)。
次に、図8(b)に示すように、ダイシング後、第1の保護テープ3aを貼り付けた状態で、転写及び前処理等を行わずに半導体チップ30の裏面4をケミカルドライエッチング(ステップS16)してから半導体チップ30の裏面4に金属膜10を形成する(ステップS11)。このため、半導体チップ30の裏面4の面粗さ(Ra)を、例えば、0.05〜0.4μmに保ちながら、有機物汚染されない清浄な面を確保できる。
上述したように、本実施例の半導体装置の製造方法では、半導体ウエーハ1を薄く加工する半導体裏面処理工程において、処理工程の作業及び運搬時に半導体ウエーハ1の半導体素子形成面2に第1の保護テープ3aを貼り付けている。このため、実施例1と同じ効果を有する。また、半導体ウエーハ1の半導体素子形成面2に第1の保護テープ3aを貼り付けたまま、ダイシング、ケミカルドライエッチング、及び金属膜10の形成を連続的に行っているので、半導体チップ30の切断面がエッチングされ、半導体チップ30の切断面の微少なチッピング、微少なカケ、破砕層等を除去することができ、且つ金属膜10のバリの発生を大幅に低減させながら実施例2よりも工程数を削減することができる。
更に、半導体チップ30の裏面4の面粗さ(Ra)を、例えば、0.05〜0.4μmにし、且つ転写及び前処理等を省略して半導体チップ30の裏面4に金属膜10を設けているので、金属膜10と半導体チップ30の裏面4との接合を実施例2よりも更に強固にすることができる。
次に、本発明の実施例4に係る半導体装置の製造方法について、図9及び図10を参照して説明する。図9は半導体装置の製造方法を示すフローチャート、図10は半導体装置の製造工程を示す断面図である。
以下、実施例1と同一構成部分には、同一符号を付してその部分の説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
まず、図10に示すように、実施例1と同様な処理手順により裏面研磨を行った後(ステップS3)、半導体ウエーハ1の半導体素子形成面2にレーザグルービングを行い切断ライン8を中心とした浅い溝12を形成する。ここで、レーザグルービングには、半導体レーザを用いている。なお、レーザグルービングの代わりにカーフ幅の広いダイシングソー7を用いて浅い溝12を形成してもよい(ステップS12)。
次に、切断ライン8を中心として、浅い溝12よりもカーフ幅の狭いダイシングソー7を用いて半導体ウエーハ1の半導体素子形成面2から裏面4の第2の保護テープ3bの一部に達するフルカットダイシングを行い、薄く加工された半導体ウエーハ1を複数の半導体チップ30に分離する。ここで、ダイシング時のカーフ幅は浅い溝12よりも狭く形成される(ステップS5)。
続いて、転写後にケミカルドライエッチングを行った後、半導体チップ30の裏面4に金属膜10を形成する。ここで、半導体チップ30の表面(第1主面)は裏面(第2主面)4よりも後退しているので、蒸着時のメタルが飛散することはない。
上述したように、本実施例の半導体装置の製造方法では、半導体ウエーハ1を薄く加工する半導体裏面処理工程において、処理工程の作業及び運搬時に半導体ウエーハ1及び半導体チップ30の裏面4或いは半導体素子形成面2に必ず保護テープを貼り付けている。このため、実施例1と同じ効果を有する。
また、半導体ウエーハ1の裏面4よりも表面を後退させた形状でダイシングし、半導体チップ30をケミカルドライエッチングした後に、半導体チップ30の裏面4に金属膜10を形成しているので、半導体チップ30の切断面がエッチングされ、半導体チップ30の切断面の微少なチッピング、微少なカケ、破砕層等を除去した状態を維持しながら、実施例2よりも金属膜10のバリの発生を大幅に低減することができる。
本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々、変更してもよい。
例えば、本実施例では、シリコンデバイスの半導体裏面処理工程に用いているが、GaAs等の化合物デバイスの半導体裏面処理工程に用いることができる。また、ダイシングソーを用いてフルカットダイシングを行っているが、レーザを用いてフルカットダイシングを行ってもよい。
本発明は、以下の付記に記載されているような構成が考えられる。
(付記1) 半導体ウエーハの第1主面に保護テープを貼り付ける工程と、前記保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面と相対向する第2主面を研磨して、前記半導体ウエーハの厚さを薄くする工程と、前記保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第2主面から前記半導体ウエーハの第1主面に設けられた金属配線層或いはダイシングラインのエッジを感知する赤外顕微鏡を用いてダイシングの位置決めをしてからダイシングを行い、前記半導体ウエーハを複数の半導体チップに分離する工程と、前記保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体チップの第1主面と相対向する第2主面及び前記ダイシングによる切断面をプラズマエッチングしてから、前記半導体チップの第2主面に金属膜を形成する工程とを具備する半導体装置の製造方法。
(付記1) 半導体ウエーハの第1主面に保護テープを貼り付ける工程と、前記保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面と相対向する第2主面を研磨して、前記半導体ウエーハの厚さを薄くする工程と、前記保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第2主面から前記半導体ウエーハの第1主面に設けられた金属配線層或いはダイシングラインのエッジを感知する赤外顕微鏡を用いてダイシングの位置決めをしてからダイシングを行い、前記半導体ウエーハを複数の半導体チップに分離する工程と、前記保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体チップの第1主面と相対向する第2主面及び前記ダイシングによる切断面をプラズマエッチングしてから、前記半導体チップの第2主面に金属膜を形成する工程とを具備する半導体装置の製造方法。
(付記2) 半導体ウエーハの第1主面に第1の保護テープを貼り付ける工程と、前記第1の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面と相対向する第2主面を研磨して、前記半導体ウエーハの厚さを薄くする工程と、前記半導体ウエーハの第2主面に第2の保護テープを貼り付け、前記第1の保護テープを剥離する工程と、前記第2の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面をレーサでエッチングして浅い溝を形成する工程と、前記第2の保護テープを貼り付けた状態で、前記浅い溝の底面の中央部に、前記浅い溝よりも幅の狭いダイシングを行い、前記半導体ウエーハを複数の半導体チップに分離する工程と、前記半導体チップの第1主面に第3の保護テープを貼り付け、前記第2の保護テープを剥離する工程と、前記第3の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体チップの第1主面と相対向する第2主面及び前記ダイシングによる切断面をプラズマエッチングしてから、前記半導体チップの第2主面に金属膜を形成する工程とを具備する半導体装置の製造方法。
(付記3) 半導体ウエーハの第1主面に第1の保護テープを貼り付ける工程と、前記第1の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面と相対向する第2主面を研磨して、前記半導体ウエーハの厚さを薄くする工程と、前記半導体ウエーハの第2主面に第2の保護テープを貼り付け、前記第1の保護テープを剥離する工程と、前記第2の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面をダイシングソーで浅い溝を形成する工程と、前記第2の保護テープを貼り付けた状態で、前記浅い溝の底面の中央部に、前記浅い溝よりも幅の狭いダイシングを行い、前記半導体ウエーハを複数の半導体チップに分離する工程と、前記半導体チップの第1主面に第3の保護テープを貼り付け、前記第2の保護テープを剥離する工程と、前記第3の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体チップの第1主面と相対向する第2主面及び前記ダイシングによる切断面をプラズマエッチングしてから、前記半導体チップの第2主面に金属膜を形成する工程とを具備する半導体装置の製造方法。
1 半導体ウエーハ
2 半導体素子形成面
3a 第1の保護テープ
3b 第2の保護テープ
3c 第3の保護テープ
3d 第4の保護テープ
4 裏面
5 真空吸着テーブル
6 研削砥石
7 ダイシングソー
8 切断ライン
9 ケミカルドライエッチング
10 金属膜
11 赤外顕微鏡
12 浅い溝
20 半導体ウエーハ裏面研削装置
30 半導体チップ
2 半導体素子形成面
3a 第1の保護テープ
3b 第2の保護テープ
3c 第3の保護テープ
3d 第4の保護テープ
4 裏面
5 真空吸着テーブル
6 研削砥石
7 ダイシングソー
8 切断ライン
9 ケミカルドライエッチング
10 金属膜
11 赤外顕微鏡
12 浅い溝
20 半導体ウエーハ裏面研削装置
30 半導体チップ
Claims (5)
- 半導体ウエーハの第1主面に第1の保護テープを貼り付ける工程と、
前記第1の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面と相対向する第2主面を研磨して、前記半導体ウエーハの厚さを薄くする工程と、
前記半導体ウエーハの第2主面に第2の保護テープを貼り付け、前記第1の保護テープを剥離する工程と、
前記第2の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面からダイシングを行い、前記半導体ウエーハを複数の半導体チップに分離する工程と、
前記半導体チップの第1主面に第3の保護テープを貼り付け、前記第2の保護テープを剥離する工程と、
前記第3の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体チップの第1主面と相対向する第2主面及び前記ダイシングによる切断面をプラズマエッチングする工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体ウエーハの第1主面に第1の保護テープを貼り付ける工程と、
前記第1の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面と相対向する第2主面を研磨して、前記半導体ウエーハの厚さを薄くする工程と、
前記半導体ウエーハの第2主面に第2の保護テープを貼り付け、前記第1の保護テープを剥離する工程と、
前記第2の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面からダイシングを行い、前記半導体ウエーハを複数の半導体チップに分離する工程と、
前記半導体チップの第1主面に第3の保護テープを貼り付け、前記第2の保護テープを剥離する工程と、
前記第3の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体チップの第1主面と相対向する第2主面及び前記ダイシングによる切断面をプラズマエッチングしてから、前記半導体チップの第2主面に金属膜を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体ウエーハの第1主面に保護テープを貼り付ける工程と、
前記保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面と相対向する第2主面を研磨して、前記半導体ウエーハの厚さを薄くする工程と、
前記保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第2主面からダイシングを行い、前記半導体ウエーハを複数の半導体チップに分離する工程と、
前記保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体チップの第1主面と相対向する第2主面及び前記ダイシングによる切断面をプラズマエッチングしてから、前記半導体チップの第2主面に金属膜を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体ウエーハの第1主面に第1の保護テープを貼り付ける工程と、
前記第1の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面と相対向する第2主面を研磨して、前記半導体ウエーハの厚さを薄くする工程と、
前記半導体ウエーハの第2主面に第2の保護テープを貼り付け、前記第1の保護テープを剥離する工程と、
前記第2の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体ウエーハの第1主面をエッチングして浅い溝を形成する工程と、
前記第2の保護テープを貼り付けた状態で、前記浅い溝の底面の中央部に、前記浅い溝よりも幅の狭いダイシングを行い、前記半導体ウエーハを複数の半導体チップに分離する工程と、
前記半導体チップの第1主面に第3の保護テープを貼り付け、前記第2の保護テープを剥離する工程と、
前記第3の保護テープを貼り付けた状態で、前記半導体チップの第1主面と相対向する第2主面及び前記ダイシングによる切断面をプラズマエッチングしてから、前記半導体チップの第2主面に金属膜を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記プラズマエッチングされた前記半導体チップの第2主面の面粗さRaは、0.05μm以上、0.4μm以下の範囲であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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