JP2005321006A - 転がり軸受装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 クリープおよびフレッティングの発生を効果的に防止できる構造を備えた転がり軸受装置を提供すること。
【解決手段】 転がり軸受装置100は、外輪21の外周面に転動体25の幅と略同一間隔で軸方向に離間して形成された2つのOリング溝21bと、当該Oリング溝21bそれぞれに装着されたフッ素系ゴム製のOリング33と、転がり軸受装置100内に封入されたフッ素系増ちょう剤を含有するグリース31と、を備えている。2本のOリング33は、硬度がHs70であり、Oリング33の線径Dの20%〜40%のつぶし代dをもってハウジング35に装着される。
【選択図】 図1
【解決手段】 転がり軸受装置100は、外輪21の外周面に転動体25の幅と略同一間隔で軸方向に離間して形成された2つのOリング溝21bと、当該Oリング溝21bそれぞれに装着されたフッ素系ゴム製のOリング33と、転がり軸受装置100内に封入されたフッ素系増ちょう剤を含有するグリース31と、を備えている。2本のOリング33は、硬度がHs70であり、Oリング33の線径Dの20%〜40%のつぶし代dをもってハウジング35に装着される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、転がり軸受装置に関し、例えば、半導体設備に用いられるドライ真空ポンプのスクリュー軸等の支持に用いると好適な転がり軸受装置に関する。
半導体設備に用いられるドライ真空ポンプのスクリュー軸等を支持する転がり軸受装置は、極めて過酷な条件で使用されるため、2〜3年毎に交換される。転がり軸受装置の交換作業を容易に行なえるようにするために、内輪と軸との嵌合、および外輪とハウジングとの嵌合は、しめ代を持たない、いわゆる止まり嵌め或いはすきま嵌めにより為されている。
従って、荷重が負荷された状態で軸と共に内輪が回転すると、軸の回転に伴って生じる外輪のハウジングに対する相対回転、いわゆるクリープや、外輪とハウジング間の繰り返し微小滑りによる摩耗、いわゆるフレッティングが発生し易い。クリープ力等は、転がり軸受装置に負荷される荷重に比例して大きくなり、従って、クリープやフレッティング損傷は、荷重の大きさに比例して発生し易くなる。
このようなクリープやフレッティングを防止する技術としては、外輪にピンを植設し、そのピンをハウジングに設けた溝穴に係合させたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
図4に示されるように、転がり軸受装置(クリープ防止軸受)10は、外輪3と、内輪4と、転動体である複数の玉5と、玉5を転動自在に保持する保持器6と、シールド板7と、を備え、シールド板7により密封された軸受10内部にグリース8が封入されている。そして、外輪3の外周面に半径方向に明けられた穴3aにピン1を植設し、ハウジング2に形成した溝穴2aにピン1を係合させることにより、ハウジング2に対する外輪3の相対回転が防止される。
実開平3−78131号公報(第2図)
しかしながら、このようなピン1を有する転がり軸受装置10がドライ真空ポンプのスクリュー軸の支持等のように過酷な条件で使用されると、ピン1が損傷する可能性が高く、ピン1の破損によって転がり軸受装置10自体が大きな損傷を受けたり、転がり軸受装置10の近傍に配置された重要部品、例えばドライ真空ポンプのスクリュー軸やスクリュー等を破損する虞があり、転がり軸受装置10が組み込まれた機器(例えば、ドライ真空ポンプ)の機能が維持できなくなる可能性があった。
本発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、クリープおよびフレッティングの発生を効果的に防止できる構造を備えた転がり軸受装置を提供することにある。
前述した目的を達成するため、本発明に係る転がり軸受装置は、下記(1)および(2)を特徴としている。
(1)内輪軌道面が形成された外周面を有する内輪と、
外輪軌道面が形成された内周面を有する外輪と、
前記内輪軌道面と前記外輪軌道面との間で周方向に転動自在に配設された複数の転動体と、
前記転動体を挟むように前記内輪および前記外輪の一方に装着された一対の円環形状の密封装置と、
前記外輪の外周面に前記転動体の幅と略同一間隔で軸方向に離間して形成された2つのO(オー)リング溝と、
前記Oリング溝にそれぞれ装着されたフッ素系ゴム製のOリングと、
を備えた転がり軸受装置であって、
フッ素系増ちょう剤を含有するグリースが封入されていること。
(2)上記(1)の転がり軸受装置であって、前記Oリングは、その硬度がHs70であり、前記転がり軸受装置がハウジングへ装着される際に潰される前記Oリングのつぶし代が前記Oリングの線径の20%〜40%であること。
(1)内輪軌道面が形成された外周面を有する内輪と、
外輪軌道面が形成された内周面を有する外輪と、
前記内輪軌道面と前記外輪軌道面との間で周方向に転動自在に配設された複数の転動体と、
前記転動体を挟むように前記内輪および前記外輪の一方に装着された一対の円環形状の密封装置と、
前記外輪の外周面に前記転動体の幅と略同一間隔で軸方向に離間して形成された2つのO(オー)リング溝と、
前記Oリング溝にそれぞれ装着されたフッ素系ゴム製のOリングと、
を備えた転がり軸受装置であって、
フッ素系増ちょう剤を含有するグリースが封入されていること。
(2)上記(1)の転がり軸受装置であって、前記Oリングは、その硬度がHs70であり、前記転がり軸受装置がハウジングへ装着される際に潰される前記Oリングのつぶし代が前記Oリングの線径の20%〜40%であること。
上記(1)の転がり軸受装置によれば、外輪の外周面に転動体の幅と略同一間隔で軸方向に離間して形成された2つのOリング溝と、当該Oリング溝にそれぞれ装着されたフッ素系ゴム製のOリングと、を備えているので、転がり軸受装置は、Oリングが径方向に潰された状態でハウジングに圧入されて装着される。これにより、転がり軸受装置に作用するラジアル方向の振動運動が減衰され、クリープおよびフレッティングの発生が防止される。
また、上記(1)の転がり軸受装置によれば、Oリングをフッ素系素材のものとしたので、真空中に曝されてもOリングが劣化することはない。その上、フッ素系素材のOリングは反応性ガスとも反応せず、転がり軸受装置が反応性ガスを吸引する真空ポンプに用いられても、Oリングは劣化せずに安定して封止することができる。
また、上記(1)の転がり軸受装置によれば、2つのOリング溝は、転動体の幅と略同一間隔で軸方向に離間して形成されているので、Oリング溝を設けることにより外輪の肉厚が著しく薄くはならず、十分な強度が確保される。
また、上記(1)の転がり軸受装置によれば、転がり軸受装置内に封入されたグリースは、フッ素系増ちょう剤を含有するので、転がり軸受装置が真空ポンプに用いられて真空中に曝されても、グリースからのグリース成分の蒸発は極めて少なく、よってグリースの劣化やグリース成分の蒸発による環境汚染が防止される。
従って、上記(1)の転がり軸受装置は、ドライ真空ポンプのスクリュー軸の支持等のように過酷な使用条件においても、長期間性能が劣化することがないので安定して用いられる。よって、転がり軸受装置の長寿命化が図られ、転がり軸受装置が組み込まれる機器の信頼性を向上させることができる。
また、上記(2)の転がり軸受装置によれば、Oリングは、その硬度がHs70であり、転がり軸受装置がハウジングへ装着される際に潰されるOリングのつぶし代がOリングの線径の20%〜40%であるので、外輪に作用するクリープ力よりも大きな力で外輪がハウジングに保持され、クリープおよびフレッティングの発生が防止され、よって、転がり軸受装置の長寿命化が図られる。
また、上記(1)の転がり軸受装置によれば、Oリングをフッ素系素材のものとしたので、真空中に曝されてもOリングが劣化することはない。その上、フッ素系素材のOリングは反応性ガスとも反応せず、転がり軸受装置が反応性ガスを吸引する真空ポンプに用いられても、Oリングは劣化せずに安定して封止することができる。
また、上記(1)の転がり軸受装置によれば、2つのOリング溝は、転動体の幅と略同一間隔で軸方向に離間して形成されているので、Oリング溝を設けることにより外輪の肉厚が著しく薄くはならず、十分な強度が確保される。
また、上記(1)の転がり軸受装置によれば、転がり軸受装置内に封入されたグリースは、フッ素系増ちょう剤を含有するので、転がり軸受装置が真空ポンプに用いられて真空中に曝されても、グリースからのグリース成分の蒸発は極めて少なく、よってグリースの劣化やグリース成分の蒸発による環境汚染が防止される。
従って、上記(1)の転がり軸受装置は、ドライ真空ポンプのスクリュー軸の支持等のように過酷な使用条件においても、長期間性能が劣化することがないので安定して用いられる。よって、転がり軸受装置の長寿命化が図られ、転がり軸受装置が組み込まれる機器の信頼性を向上させることができる。
また、上記(2)の転がり軸受装置によれば、Oリングは、その硬度がHs70であり、転がり軸受装置がハウジングへ装着される際に潰されるOリングのつぶし代がOリングの線径の20%〜40%であるので、外輪に作用するクリープ力よりも大きな力で外輪がハウジングに保持され、クリープおよびフレッティングの発生が防止され、よって、転がり軸受装置の長寿命化が図られる。
本発明の転がり軸受装置によれば、例えばドライ真空ポンプのスクリュー軸の支持等のような過酷な使用条件においても、クリープおよびフレッティングの発生が防止され、転がり軸受装置の寿命を長期化することができる。また、これによって、本発明の転がり軸受装置が組み込まれる機器の信頼性を向上させることができる。
以上、本発明について簡潔に説明した。更に、以下に説明される発明を実施するための最良の形態を添付の図面を参照して通読することにより、本発明の詳細は更に明確化されるであろう。
以下、本発明に係る好適な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
(第1実施形態)
図1は本発明の第1実施形態である転がり軸受装置の上半部の縦断面図である。図1に示されるように、本発明の転がり軸受装置100は、外輪21と、内輪23と、外輪21と内輪23との間で周方向に転動自在に配設された複数の転動体である玉25と、玉25を挟むように外輪21に装着された円環形状の密封装置であるシールド板27と、保持器29と、を備えた玉軸受装置である。
図1は本発明の第1実施形態である転がり軸受装置の上半部の縦断面図である。図1に示されるように、本発明の転がり軸受装置100は、外輪21と、内輪23と、外輪21と内輪23との間で周方向に転動自在に配設された複数の転動体である玉25と、玉25を挟むように外輪21に装着された円環形状の密封装置であるシールド板27と、保持器29と、を備えた玉軸受装置である。
外輪21の内周面には玉25の外輪軌道溝を画成する外輪軌道面21aが形成され、内輪23の外周面にも玉25の内輪軌道溝を画成する内輪軌道面23aが形成されている。外輪軌道面21aと内輪軌道面23aとの間には、保持器29により転動自在に保持された複数の玉25が配設される。玉25の両側に配置されたシールド板27は、転がり軸受装置100内に封入されたグリース31が転がり軸受装置100の外部へ漏れるのを防止する。
グリース31は、鉱油或いは合成油(ジエステル油、多価エステル油、合成炭化水素油、シリコン油、フッ素油、等)からなる基油に、耐熱性有機質増ちょう剤の一種であるフッ素系増ちょう剤、および必要に応じて各種の添加剤が添加された半固体状の潤滑剤である。
外輪21の外周面には、玉25の幅(径)と略同一間隔で軸方向に離間した2つのOリング溝21bが形成されている。それぞれのOリング溝21bには、フッ素系ゴムを素材とするOリング33が装着され、その一部はつぶし代dとして外輪21の外周面から突出する。Oリング33の硬度はHs70であり、つぶし代dはOリング33の線径Dの20%〜40%となっている。
このような転がり軸受装置100は、ハウジング35に形成されたハウジング穴35aに挿入されてハウジング35に装着される。ハウジング穴35aと外輪21との嵌合は、止まり嵌め、或いは隙間嵌めであり、外輪21のOリング溝21bに装着された硬度がHs70の2本のOリング33が、当該Oリング33の線径Dの20%〜40%のつぶし代dを潰された状態でハウジング穴35aに圧入される。
次に、本実施形態の作用を説明する。転がり軸受装置100が組み込まれた機器、例えばドライ真空ポンプ等の運転に伴って、転がり軸受装置100にはラジアル方向の振動が作用するが、ラジアル方向の振動運度は、2本のOリング33の弾性作用によって減衰される。この結果、外輪21の連れ回り、即ちクリープの発生が防止され、またフレッティングも阻止される。更に、転がり軸受装置100には、軸の熱膨張や機器の運転によりスラスト荷重が作用するが、該スラスト荷重も2本のOリング33の弾性作用によって吸収することができ、異常スラスト荷重による焼付きも防止される。
ここで、Oリング33の硬度をHs70とし、つぶし代dをOリング33の線径Dの20%〜40%とした理由を説明する。Oリング33の硬度がHs70よりも大幅に大きいとOリング33の弾性力が不足してラジアル方向の振動運度やスラスト荷重を効率よく吸収できず、またOリング33の硬度がHs70よりも大幅に小さいとハウジング35に対する固定力が不足してクリープ発生の一因となるからである。また、図2に示されるように、つぶし代dと耐クリープ力Pとの間、そしてつぶし代dとゴム寿命LTとの間には相関関係があり、耐クリープ力Pはつぶし代dの大きさに比例して大きくなる。一方、ゴム寿命LTはつぶし代dに反比例して短くなる傾向がある。
つぶし代dをOリング33の線径Dの20%〜40%としたのは、Oリング33の硬度をHs70程度とした場合、つぶし代dが20%未満だと必要とする耐クリープ力Pが得られず、また、つぶし代dが40%よりも大きいとOリング33のゴム寿命LT(Oリング33が所定の硬度に劣化するまでの時間であり、無負荷状態のOリング33の劣化時間との比で示す。)が略80%以下となって使用可能時間が実用に耐えないからである。従って、耐クリープ力P、ゴム寿命LTの両者を満足させるつぶし代dとしてOリング33の線径Dの20%〜40%の範囲が適切な範囲として設定される。
Oリング33はフッ素系ゴムを素材として形成されているので、Oリング33が真空或いは反応性ガスに曝されてもOリング33が劣化することはない。従って、転がり軸受装置100がドライ真空ポンプ等に用いられても過酷な条件に十分耐えて長期間安定した性能を発揮する。また、グリース31はフッ素系増ちょう剤を含有するので、転がり軸受装置100が真空に曝されても、グリース31からのグリース成分の蒸発は極めて少なく、グリース31の劣化やグリース成分の蒸発による環境汚染が防止される。
また、Oリング溝21bを2本とし、その間隔を玉25の幅(径)と略同一間隔としたのは、3本以上のOリング溝21bを外輪21の幅内に形成するのは物理的に無理であり、また、Oリング溝21bを1本にすると1本のOリング33だけでは必要とする耐クリープ力Pを得難く、またOリング33の寿命を長寿命化し難いからである。Oリング溝21bを玉25の幅と略同一間隔で軸方向に離間させて2本設けることにより、外輪21の肉厚が確保されて十分な強度が確保され、外輪21、即ち転がり軸受装置100は安定してハウジング穴35a内に保持される。尚、Oリング溝21bの間隔が、外輪21の肉厚を薄くさせる箇所である外輪軌道溝の幅以上、換言すれば、外輪軌道面21aの幅以上であることがより好ましいことは言うまでもない。
転がり軸受装置100によれば、外輪21の外周面に転動体25の幅と略同一間隔で軸方向に離間して形成された2つのOリング溝21bと、当該Oリング溝21bそれぞれに装着されたフッ素系ゴム製のOリング33と、を有しているので、転がり軸受装置100はOリング33が径方向に潰された状態でハウジング35に圧入されて装着される。これにより、転がり軸受装置100に作用するラジアル方向の振動運動が減衰され、クリープおよびフレッティングの発生が防止される。また、Oリング33をフッ素系素材のものとしたので、真空中に曝されてもOリング33が劣化することはない。更に、フッ素系素材のOリング33は反応性ガスとも反応せず、転がり軸受装置100が、反応性ガスを吸引する真空ポンプに用いられても、Oリング33が劣化することなく、安定して封止される。また、2つのOリング溝21bが、転動体25の幅と略同一間隔で軸方向に離間して形成されているので、Oリング溝21bを設けることにより外輪21の肉厚が著しく薄くはならず、十分な強度が確保される。
また、転がり軸受装置100によれば、転がり軸受装置100内に封入されたグリース31は、フッ素系増ちょう剤を含有するので、真空ポンプに用いられて転がり軸受装置100が真空に曝されても、グリース31からのグリース成分の蒸発は極めて少なく、グリース31の劣化やグリース成分の蒸発による汚染が防止される。
更に、転がり軸受装置100によれば、Oリング33は、その硬度がHs70であり、つぶし代dがOリング33の線径Dの20%〜40%であるので、外輪21に作用するクリープ力Pよりも大きな力で外輪21がハウジング35に保持され、それによりクリープの発生が防止される。よって、Oリング33の寿命を長期化することができる。
従って、転がり軸受装置100は、ドライ真空ポンプのスクリュー軸の支持等のように過酷な使用条件においても、長期間性能が劣化することがないので安定して用いられる。よって、転がり軸受装置100の長寿命化が図られ、転がり軸受装置100が組み込まれる機器の信頼性を向上させることができる。
(第2実施形態)
次に、転がり軸受装置の第2実施形態(転がり軸受装置200)について図3を参照して説明する。図3は本発明の第2実施形態である転がり軸受装置の上半部の縦断面図である。
次に、転がり軸受装置の第2実施形態(転がり軸受装置200)について図3を参照して説明する。図3は本発明の第2実施形態である転がり軸受装置の上半部の縦断面図である。
図3に示されるように、転がり軸受装置200は、外輪51の径方向肉厚t1が内輪23の径方向肉厚t2と比較して厚く形成されており、それ以外は第1実施形態(転がり軸受装置100)と同様の構成となっている。尚、本発明の第1実施形態の転がり軸受装置100と同一部分には同一符号または相当符号を付して説明を簡略化または省略する。
図3に示されるように、転がり軸受装置200は、外輪51の径方向肉厚t1が内輪23の径方向肉厚t2と比較して厚く形成されているので、外輪51は高い剛性を有して変形し難く、クリープの減衰効果がより高められ、確実にクリープおよびフレッティングの発生が防止される。転がり軸受装置200の他の作用や効果については、第1実施形態に係る上記説明から容易に類推可能であるため説明を省略する。
転がり軸受装置200によれば、外輪51の径方向肉厚t1が内輪23の径方向肉厚t2と比較して厚く形成されているので剛性が高く、より高いクリープの減衰効果が得られ、クリープおよびフレッティングの発生が確実に防止される。またこれによって、転がり軸受装置200の長寿命化が図られ、転がり軸受装置200が組み込まれたドライ真空ポンプ等の機器の信頼性を向上させることができる。
尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。その他、前述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置箇所、等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
尚、前述した第1実施形態および第2実施形態では、転がり軸受装置として玉軸受装置を採用したが、本発明はこれに限定されず、ころ軸受等、他の形式の転がり軸受にも適用することができ、同様の効果を奏する。
100,200 転がり軸受装置
21、51 外輪
21a,51a 外輪軌道面
21b、51b Oリング溝
23 内輪
23a 内輪軌道面
25 玉(転動体)
27 シールド板(密封装置)
31 グリース
33 Oリング
d Oリングのつぶし代
D Oリングの線径
21、51 外輪
21a,51a 外輪軌道面
21b、51b Oリング溝
23 内輪
23a 内輪軌道面
25 玉(転動体)
27 シールド板(密封装置)
31 グリース
33 Oリング
d Oリングのつぶし代
D Oリングの線径
Claims (2)
- 内輪軌道面が形成された外周面を有する内輪と、
外輪軌道面が形成された内周面を有する外輪と、
前記内輪軌道面と前記外輪軌道面との間で周方向に転動自在に配設された複数の転動体と、
前記転動体を挟むように前記内輪および前記外輪の一方に装着された一対の円環形状の密封装置と、
前記外輪の外周面に前記転動体の幅と略同一間隔で軸方向に離間して形成された2つのOリング溝と、
前記Oリング溝にそれぞれ装着されたフッ素系ゴム製のOリングと、
を備えた転がり軸受装置であって、
フッ素系増ちょう剤を含有するグリースが封入されていることを特徴とする転がり軸受装置。 - 前記Oリングは、その硬度がHs70であり、前記転がり軸受装置がハウジングへ装着される際に潰される前記Oリングのつぶし代が前記Oリングの線径の20%〜40%であることを特徴とする請求項1に記載の転がり軸受装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004138368A JP2005321006A (ja) | 2004-05-07 | 2004-05-07 | 転がり軸受装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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