JP2005317809A - 銅研磨用研磨布洗浄液およびそれを用いる洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 研磨布表面に付着する銅錯体などを除去することができ、かつ研磨布の洗浄前後でウエハの研磨速度にばらつきが生じることを防ぎ、均一な研磨が施されたウエハを連続して製造するのに有効な銅研磨用研磨布洗浄液およびそれを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】 チオ硫酸塩、硫酸塩などの、銅と接触して発熱する発熱性化合物を、研磨布に対して不活性な溶媒に溶解させて成る銅研磨用研磨布洗浄液を用いて、研磨布の洗浄を行なう。または、この銅研磨用研磨布洗浄液をドレッシング時にコンディショニング液6として用いて研磨布2を洗浄する。これによって、研磨布の表面温度を低下させることなく、研磨布表面から銅化合物などの付着物を除去することができ、研磨布の洗浄前後でウエハの研磨速度にばらつきが生じることを防ぐことができる。
【選択図】 図1
Description
銅と接触して発熱する発熱性化合物と、該発熱性化合物を溶解でき且つ研磨布に対して不活性な溶媒とを含むことを特徴とする銅研磨用研磨布洗浄液である。
また本発明は、硫酸塩が、硫酸アンモニウムであることを特徴とする。
また本発明は、pHが、2以上、7以下であることを特徴とする。
(実施例1)
純水にチオ硫酸アンモニウムを添加し、0.5mol/Lチオ硫酸アンモニウム水溶液である本発明の銅研磨用研磨布洗浄液を作製した。
チオ硫酸アンモニウムに代えて硫酸アンモニウムを使用する以外は、実施例1と同様にして、0.5mol/L硫酸アンモニウム水溶液である本発明の銅研磨用研磨布洗浄液を作製した。
比較例1の研磨布洗浄液として、研磨布洗浄液EPL8105(商品名、ロデール・ニッタ株式会社製)を用いた。
実施例1,2および比較例1の各研磨布洗浄液について、以下のようにして特性を評価した。
まず、以下のようにして研磨試験を行なった。
次いで、前述の研磨試験を再度行い、ウエハの研磨速度を測定した。
〔研磨速度〕
抵抗測定器(商品名:OmuiMap RS35C、PROMETRIX社製)を用い、銅膜上の5地点での膜除去量を測定し、それらの平均値を1分間平均除去量として算出し、研磨速度〔nm/分(Å/分)〕とした。
以上の測定結果を表1に示す。
2 研磨布(パッド)
3 ウエハ
4 加圧ヘッド
5 研磨用スラリー
6 コンディショニング液
7 ドレッサー
Claims (8)
- 銅研磨用研磨布の洗浄に用いる洗浄液であって、
銅と接触して発熱する発熱性化合物と、該発熱性化合物を溶解でき且つ研磨布に対して不活性な溶媒とを含むことを特徴とする銅研磨用研磨布洗浄液。 - 銅と接触して発熱する発熱性化合物の濃度が、0.01mol/L以上、10mol/L以下であることを特徴とする請求項1記載の銅研磨用研磨布洗浄液。
- 銅と接触して発熱する発熱性化合物が、チオ硫酸塩および硫酸塩のうちの少なくともいずれか1種であることを特徴とする請求項1または2記載の銅研磨用研磨布洗浄液。
- チオ硫酸塩が、チオ硫酸アンモニウムであることを特徴とする請求項3記載の銅研磨用研磨布洗浄液。
- 硫酸塩が、硫酸アンモニウムであることを特徴とする請求項3または4記載の銅研磨用研磨布洗浄液。
- pHが、2以上、7以下であることを特徴とする請求項1〜5のうちのいずれか1つに記載の銅研磨用研磨布洗浄液。
- 前記発熱性化合物を溶解でき且つ研磨布に対して不活性な溶媒が、水であることを特徴とする請求項1〜6のうちのいずれか1つに記載の銅研磨用研磨布洗浄液。
- 請求項1〜7のうちのいずれかに記載の銅研磨用研磨布洗浄液を用いて銅研磨用研磨布を洗浄することを特徴とする洗浄方法。
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