JP2005308495A - 分光器及びそれを用いた測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光学体10、光入射スリット12が形成されたガラス部材11、及び接続フランジ20を用いて分光器1Aを構成する。また、接続フランジ20に、ガラス部材11が位置決めされて挿入される開口部21、及び開口部21を前後に挟む位置に開口部21に対して位置決めされて設けられた位置決めロッド25を設ける。この位置決めロッド25を用いることにより、分光器1Aを測定装置に適用する際に、分光器1Aと測定装置の他の構成要素とをパッシブアライメント方式によって容易かつ精度良く接続することが可能となる。
【選択図】 図1
Description
50…光学系、51、52…レンズ、55…光源、60…保持部材、61…支持台、62…接続板、63…位置決めホール、70…測定回路、71…配線。
Claims (7)
- 入射した対象光を分光するために用いられる分光部と、
前記分光部に対して所定位置に設けられ、前記対象光を前記分光部内へと入射させる光入射部と、
前記光入射部及び前記分光部を所定の他の部材に対して接続する際に用いられる接続部材と、
前記光入射部に対して位置決めされて設けられ、前記他の部材に対する前記光入射部の位置決めに用いられる位置決め手段と
を備えることを特徴とする分光器。 - 前記光入射部となる光入射スリットが所定の面上に形成された光入射部材を備えることを特徴とする請求項1記載の分光器。
- 前記接続部材は、前記光入射部に対する位置決めに用いられる第1位置決め部、及び前記位置決め手段となる第2位置決め部を有することを特徴とする請求項1または2記載の分光器。
- 前記光入射部となる光入射スリットが所定の面上に形成された光入射部材を備え、
前記接続部材は、前記光入射部材に対する位置決めに用いられる第1位置決め部、及び前記位置決め手段となる第2位置決め部を有するとともに、
前記第1位置決め部は、前記光入射部材が位置決めされて挿入される開口部を含むことを特徴とする請求項1記載の分光器。 - 前記位置決め手段は、前記光入射部に対して位置決めされて設けられた位置決め部材からなることを特徴とする請求項1または2記載の分光器。
- 前記位置決め手段は、前記光入射部材に対して位置決めされて取り付けられていることを特徴とする請求項2記載の分光器。
- 請求項1〜6のいずれか一項記載の分光器と、
前記対象光を前記分光器の前記光入射部へと導く光学系と、
前記分光器の前記接続部材に対して接続され、前記分光器及び前記光学系を位置決めされた状態で保持する保持部材と
を備えることを特徴とする測定装置。
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