JP2005302998A - Euv光を用いた露光装置および露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プラズマ光源を用いたEUV露光装置において、当該プラズマ光源からの光線を所定の構造を有するブレーズ型回折格子で反射させることにより、当該光線のうちからEUV光をその他の不要光と分離して取り出すことが可能となり、不要な光線が露光装置の光学系に入射することを防止する。
【選択図】 図1
Description
2×d×cosθ=λ (1)
d×(cosβ−cosα)=m×λ (2)式
(2)式において、mは回折の次数であって整数値をとる。またブレーズ条件は(3)式で示され、(3)式の条件をほぼ満たす次数の回折強度が強くなる。
α−β=2×θ (3)式
Claims (10)
- プラズマ光源を用いたEUV露光装置において、当該プラズマ光源からの光束を導光する光路中にブレーズ型回折格子構造を有する光学素子を備え、当該光束からEUV光を空間的に分離して露光に用いることを特徴とするEUV露光装置。
- 前記ブレーズ型回折格子構造を有する光学素子の表面にはEUV光を回折して反射する多層膜ミラーが設けられていることを特徴とする請求項1に記載のEUV露光装置。
- 前記ブレーズ型回折格子構造を有する光学素子の表面には金、白金、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、のいずれかの金属、またはそのいずれかの合金からなる反射膜が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のEUV露光装置。
- 前記ブレーズ型回折格子構造を有する光学素子はブレーズ型回折格子構造の単位形状が曲率を有し、オプティカルインテグレータとして機能することを特徴とする請求項1乃至3記載のEUV露光装置。
- 前記ブレーズ型回折格子構造を有する光学素子は、ブレーズ型回折格子構造の単位形状に対し鏡面反射の方向にEUV光を射出し、EUV光以外の光線はブレーズ型回折格子構造の単位形状に対し鏡面反射とは異なる方向に射出することを特徴とする請求項1乃至4記載のEUV露光装置。
- 前記ブレーズ型回折格子構造を有する光学素子は、最も回折強度が高いEUV光の回折光の両側にEUV光以外の光線の回折光のうちの回折次数が0次及び1次の回折光が位置するように回折することを特徴とする請求項1乃至5記載のEUV露光装置。
- 前記ブレーズ型回折格子構造を有する光学素子により回折されたEUV光以外の光線を吸収する光線吸収部材を有することを特徴とする請求項1乃至6記載のEUV露光装置。
- 前記光線吸収部材は、冷却手段を有することを特徴とする請求項7に記載のEUV露光装置。
- 前記ブレーズ型回折格子構造を有する光学素子により回折されたEUV光以外の光線をEUV光とは別に導光する光学系を有することを特徴とする請求項1乃至6記載のEUV露光装置。
- 請求項1乃至9に記載のEUV露光装置を用いることを特徴とする半導体装置の露光方法。
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