JP2005302932A - チップの分離装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】粘着シートに貼り付けられた半導体等のチップを該粘着シートからピックアップするチップ分離装置において、チップが薄く破損し易い場合でも該チップに応力集中、傷及び割れを発生させることなく、しかも高速で該チップを剥離させて分離できるようにする。
【解決手段】粘着シート6をチップ5の貼付面6aの裏面6b側から吸着固定可能に構成された保持部2と、チップ5を粘着シート側から突上げ可能に構成され先端部3cに空気噴出孔3dが形成された突上げ軸3と、該突上げ軸に対して粘着シート及びチップを挟んで相対する位置に配設されると共にチップに接近又は離間する方向に移動可能に構成されチップを吸着可能な吸着面4aが形成されたチップ受け部4とを備えたことを特徴とする。
【選択図】 図6
【解決手段】粘着シート6をチップ5の貼付面6aの裏面6b側から吸着固定可能に構成された保持部2と、チップ5を粘着シート側から突上げ可能に構成され先端部3cに空気噴出孔3dが形成された突上げ軸3と、該突上げ軸に対して粘着シート及びチップを挟んで相対する位置に配設されると共にチップに接近又は離間する方向に移動可能に構成されチップを吸着可能な吸着面4aが形成されたチップ受け部4とを備えたことを特徴とする。
【選択図】 図6
Description
本発明は、粘着シートに貼り付けられた半導体等のチップを該粘着シートからピックアップするチップ分離装置に係り、特にチップを剥離させる際に圧縮空気を使用することで、チップが薄く破損し易い場合でも該チップに応力集中、傷及び割れを発生させることなく、しかも高速で該チップを剥離させて分離することができるチップの分離装置に関する。
半導体の製造工程において、ウェーハを粘着シート上に貼付し、該ウェーハに半導体素子を形成し、ダイシング装置によって該半導体素子を1つずつ切断分離してチップとした後、粘着シートを引き伸ばして各チップを互いに離間させておき、1つずつ剥離させて分離すること(ピックアップ)が行われる。
この際にチップを粘着シートから分離するための手段としては、従来から多くの方式があり、代表的なものが、先の尖った複数本のニードルで粘着シートの下側からチップを突き上げると共に、該チップの上側に位置するチップ受け部により吸着して粘着シートから剥離させて分離する方式である(特許文献1,2)。
しかしニードルの先端は直径が小さく尖っているため突上げ位置に応力集中が発生するという問題があり、特に近年携帯電話等の機器における実装密度の高まりから、チップの厚さが例えば20乃至50μmと薄くなってきているため、突上げの際にチップに傷が付いたり、更にはチップが割れてしまうおそれがあった。
またチップの分離に際し、特許文献1に開示されているダイボンディング装置では、突上げニードルが該突上げニードルの軸線方向やその直角方向に振動するように構成されている。同様にチップの分離に際して回転運動を伴うもの、揺動運動を伴うもの(特許文献3)等があるが、これらはチップを分離させるために種々の方向の動作を必要とするため、例えば突上げニードル等の駆動方向とチップの分離方向とが一致しているものよりも構造が複雑となり、チップの分離に要する時間も長くなるという問題があった。
突上げニードルを使用しないものとしては、チップが貼着されている部分の粘着シートを吸着動作のみで剥離させて分離させるものがある(特許文献4,5)。しかしこれらの場合吸着孔の端面部においてチップ面に応力集中が発生し、傷や割れの原因となっていた。
またこれらの場合、分離対象のチップと隣接するチップとが同一平面上にあるため、チップ受け部が大きいと分離対象のチップに隣接する周囲のチップに接触して該チップに傷や割れを生じさせる原因となるので、チップ受け部をチップの寸法よりも小さくしなければならなかった。
ところがチップ受け部がチップよりも小さいと、チップ受け部の吸着面からチップ端がはみ出す状態となり、このはみ出し部分とチップ受け部の端部との接触位置に応力集中が起き、傷や割れが発生してしまうことが多かった。
そして粘着シートを加熱してチップを分離させる構造の場合には、熱の影響で粘着のりがチップ裏面に残ってしまうという欠点があった(特許文献6)。
本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされたものであって、その目的とするところは、粘着シートに貼り付けられているチップを突き上げ該粘着シートから剥離させて分離するチップの分離装置において、粘着シートをチップの貼付面の裏面側から吸着固定可能に構成された保持部と、チップを粘着シート側から突上げ可能に構成され先端部に空気噴出孔が形成された突上げ軸と、該突上げ軸に対して粘着シート及びチップを挟んで相対する位置に配設されると共にチップに接近又は離間する方向に移動可能に構成されチップを吸着可能な吸着面が形成されたチップ受け部とを備えることによって、厚さが例えば20乃至50μm程度の薄いチップでも、応力集中による傷や割れを発生させることなく粘着シートから剥離させ、分離できるようにすることである。
また他の目的は、チップの周囲において該チップの貼付面の裏面側から粘着シートを吸着固定可能に構成された保持部と、チップを裏面側から突上げ可能に構成されチップの貼着面積よりも狭い中心端面の周辺に斜面が形成されチップの方向に凸に形成された先端部を有し該先端部の斜面近傍に空気噴出孔が形成された突上げ軸と、該突上げ軸に対して粘着シート及びチップを挟んで相対する位置に配設されると共にチップに接近又は離間する方向に移動可能に構成されチップの面と同等以上の吸着面を有し該吸着面のうち中心端面に対向する位置及びチップの辺縁部に対向する位置に夫々吸着孔が形成されたチップ受け部とを備え、突上げ軸による突上げ、空気噴出孔からの圧縮空気の噴出及び辺縁部の吸引によりチップの剥離が起きるように構成することによって、チップのどの部分にも応力集中を生じさせずに容易にチップを分離できるようにすることであり、またこれによってチップの歩留まりを向上させることである。
更に他の目的は、上記構成により、夫々のチップの分離時間を短縮させ、高速で次々とチップを粘着シートから分離して行くことができるようにすることであり、またこれによってチップの分離工程における効率を高めて製造コストを低減させることができるようにすることである。
要するに本発明(請求項1)は、粘着シートに貼り付けられているチップを突き上げ該粘着シートから剥離させて分離するチップの分離装置において、前記粘着シートを前記チップの貼付面の裏面側から吸着固定可能に構成された保持部と、前記チップを前記粘着シート側から突上げ可能に構成され先端部に空気噴出孔が形成された突上げ軸と、該突上げ軸に対して前記粘着シート及び前記チップを挟んで相対する位置に配設されると共に前記チップに接近又は離間する方向に移動可能に構成され前記チップを吸着可能な吸着面が形成されたチップ受け部とを備えたことを特徴とするものである。
また本発明(請求項2)は、粘着シートに貼り付けられているチップを突き上げ該粘着シートから剥離させて分離するチップの分離装置において、前記チップの周囲において該チップの貼付面の裏面側から前記粘着シートを吸着固定可能に構成された保持部と、前記チップを前記裏面側から突上げ可能に構成され前記チップの貼着面積よりも狭い中心端面の周辺に斜面が形成され前記チップの方向に凸に形成された先端部を有し該先端部の前記斜面近傍に空気噴出孔が形成された突上げ軸と、該突上げ軸に対して前記粘着シート及び前記チップを挟んで相対する位置に配設されると共に前記チップに接近又は離間する方向に移動可能に構成され前記チップの面と同等以上の吸着面を有し該吸着面のうち前記中心端面に対向する位置及び前記チップの辺縁部に対向する位置に夫々吸着孔が形成されたチップ受け部とを備え、前記突上げ軸による突上げ、前記空気噴出孔からの圧縮空気の噴出及び前記辺縁部の吸引により前記チップの剥離が起きるように構成したことを特徴とするものである。
本発明は、上記のように粘着シートに貼り付けられているチップを突き上げ該粘着シートから剥離させて分離するチップの分離装置において、粘着シートをチップの貼付面の裏面側から吸着固定可能に構成された保持部と、チップを粘着シート側から突上げ可能に構成され先端部に空気噴出孔が形成された突上げ軸と、該突上げ軸に対して粘着シート及びチップを挟んで相対する位置に配設されると共にチップに接近又は離間する方向に移動可能に構成されチップを吸着可能な吸着面が形成されたチップ受け部とを備えたので、厚さが例えば20乃至50μm程度の薄いチップでも、応力集中による傷や割れを発生させることなく粘着シートから剥離させ、分離できる効果がある。
またチップの周囲において該チップの貼付面の裏面側から粘着シートを吸着固定可能に構成された保持部と、チップを裏面側から突上げ可能に構成されチップの貼着面積よりも狭い中心端面の周辺に斜面が形成されチップの方向に凸に形成された先端部を有し該先端部の斜面近傍に空気噴出孔が形成された突上げ軸と、該突上げ軸に対して粘着シート及びチップを挟んで相対する位置に配設されると共にチップに接近又は離間する方向に移動可能に構成されチップの面と同等以上の吸着面を有し該吸着面のうち中心端面に対向する位置及びチップの辺縁部に対向する位置に夫々吸着孔が形成されたチップ受け部とを備え、突上げ軸による突上げ、空気噴出孔からの圧縮空気の噴出及び辺縁部の吸引によりチップの剥離が起きるように構成したので、チップのどの部分にも応力集中を生じさせずに容易にチップを分離できる効果があり、またこの結果チップの歩留まりを向上させることができるという効果が得られる。
更に上記構成により、夫々のチップの分離時間を短縮させ、高速で次々とチップを粘着シートから分離して行くことができる効果があり、またこの結果チップの分離工程における効率を高めて製造コストを低減させることができる効果が得られる。
以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。本発明に係るチップの分離装置1は、図1から図3において、保持部2と、突上げ軸3と、チップ受け部4とを備えている。
保持部2は、チップ5の周囲において該チップの貼付面6aの裏面6b側から粘着シート6を吸着固定可能に構成されたものであって、該粘着シート6を吸着するための吸着穴2aが上端面に、例えば円環形に形成されている。なお、吸着穴2aの形状は円環状に限られるものではなく、小径の吸着孔を円形、四角形等に配列するようにしてもよい。
突上げ軸3は、チップ5を裏面5b側から突上げ可能に構成され、チップ5の貼着面積よりも狭い中心端面3aの周辺に斜面3bが形成されチップ5の方向に凸に形成された先端部3cを有し、該先端部3cの斜面3b近傍に空気噴出孔3dが形成されたものであり、例えば保持部2内において上下方向、即ち粘着シート6の面方向と直角方向に移動可能に構成されている。
中心端面3aは、例えばチップ5の相似形となるような四角形に形成され、その四辺から夫々下るように斜面3bが形成されている。空気噴出孔3dは、例えば中心端面3aの四辺に沿って配列されている。なお空気噴出孔3dの配列はこれに限られるものではなく、中心端面3aにおける他の位置に設けてもよい。
チップ受け部4は、図2に示すように、突上げ軸3に対して粘着シート6及びチップ5を挟んで相対する位置に配設されると共に、チップ5に接近又は離間する方向に移動可能に構成され、チップ5の面と同等以上の吸着面4aを有し、該吸着面4aのうち中心端面3aに対向する位置及びチップ5の辺縁部5aに対向する位置に夫々吸着孔4b,4cが形成されたものであって、支持軸8の下端に例えば直方体に形成され、該支持軸8と共に上下動可能に構成されている。
吸着孔4bは、例えば十字形に形成されている。吸着孔4cは、例えば複数の小径孔の集合として形成され、チップ5が四角形である場合に合わせて、該辺縁部5aを吸着できるように四角形に配列して形成されている。
なお、吸着孔4bの形状や十字形に限られるものではない。同様に吸着孔4cも四角形に配列された小径孔の集合に限られるものではなく、チップ5の辺縁部5aを吸着して粘着シート6からの剥離を促すことができればどのような形状、配列であってもよい。
本発明は、上記のように構成されており、以下その作用について説明する。図1及び図3において、チップ5の分離前には粘着シート6の引伸ばしが行われ、隣接するチップ5間にある程度の隙間9が形成されている。
図4において、保持部2を粘着シート6に接近又は接触させ、保持部2の吸着穴2aから矢印A方向に空気を吸引すると、粘着シート6の裏面が該保持部2に吸着固定される。
続いて、図4及び図5に示すように、突上げ軸3を矢印U方向に上昇させて、先端部3cを粘着シート6のうち分離対象のチップ5が貼着されている部分の裏面6bに接触させ、そこから更に矢印U方向に突き上げると、粘着シート6が上に凸に引き伸ばされ、突上げ軸3の中心端面3a及び斜面3bに沿うように、粘着シート6にも平面6c及び斜面6dが形成される。
またこのときチップ受け部4は、矢印D方向に下降し、吸着面4aが突き上げられたチップ5に接近した状態となる。
ある程度厚みがあるチップの場合には、薄い場合よりも一般に弾性係数が大きいため、貼着面6aのうち辺縁部5aが貼着されている部分が斜面6dとなることにより、図7に示すように、平面6c及び斜面6dの境界を支点10とする剥離モーメントMが作用し、辺縁部5aから自然と剥離が始まる。
しかしチップ5の厚さが例えば20乃至50μm程度と薄い場合には弾性係数が小さいため、辺縁部5aは自然に剥離せず、弾性変形したまま粘着シート6の斜面6cに貼り付いた状態となることが多い。
突上げ軸3による突上げ量を大きくすれば、剥離モーメントMは高まるが、チップ5が該剥離モーメントMに耐えられなくなる可能性がある。
そこで本発明では、図6及び図7に示すように、チップ5を突上げ軸3により該チップが破損しない程度に突き上げた状態で、突上げ軸3の空気噴出孔3dに矢印F方向に圧縮空気を供給すると共に、チップ受け部4の吸着孔4b,4cから矢印C方向に空気を吸引することとしている。
突上げ軸3の空気噴出孔3dに圧縮空気を供給すると、該空気噴出孔3dの部分の粘着シート6に風船状の膨らみ6eが形成され、チップ5が突き上げられる。またこのときチップ受け部4の吸着孔4bからの空気の吸引によりチップ5の中央が剥離方向に吸引され、吸着孔4cからの空気の吸引により粘着シート6における斜面6dに貼り付いている辺縁部5aが剥離方向に吸引される。
この圧縮空気によるチップ5の突上げ、チップ5の中央及び辺縁部5aに対する吸着及び剥離モーメントMにより、該辺縁部5aを剥離させることができ、また粘着シートの平面6cにおいてもチップ5を剥離させることができる。
このとき風船状の膨らみ6eを介してチップ5を突き上げているので、面で突き上げる状態となり、従来の先の尖ったニードルのように、点で突き上げることによる応力集中を生じさせることがない。これによってチップ5に傷や割れを生じさせることなく、粘着シート6から分離することが可能となる。
粘着シート6から剥離したチップ5は、図8に示すように、直ちにチップ受け部4に吸着される。この後、図9に示すように、チップ受け部4はチップ5を吸着したまま矢印U方向に移動し、突上げ軸3は矢印D方向に下降して、チップ5の分離が完了する。
なお、上記実施例においては、チップ5の辺縁部5aに対向する位置に吸着孔4cを設けて該吸着孔4cにより辺縁部5aを吸引することとしたが、突上げ軸3における圧縮空気を使用した突上げのみでチップ5を剥離させることができれば吸着孔4cを設けなくてもよい。
また逆に吸着孔4cにより辺縁部5aを吸引するだけでチップ5を剥離させることができれば、必ずしも圧縮空気を使用した突上げを行わなくてもよい。
1 チップの分離装置
2 保持部
2a 吸着穴
3 突上げ軸
3a 中心端面
3b 斜面
3c 先端部
3d 空気噴出孔
4 チップ受け部
4a 吸着面
4b 吸着孔
4c 吸着孔
5 チップ
5a 辺縁部
5b 裏面
6 粘着シート
6a 貼着面
6b 裏面
2 保持部
2a 吸着穴
3 突上げ軸
3a 中心端面
3b 斜面
3c 先端部
3d 空気噴出孔
4 チップ受け部
4a 吸着面
4b 吸着孔
4c 吸着孔
5 チップ
5a 辺縁部
5b 裏面
6 粘着シート
6a 貼着面
6b 裏面
Claims (2)
- 粘着シートに貼り付けられているチップを突き上げ該粘着シートから剥離させて分離するチップの分離装置において、前記粘着シートを前記チップの貼付面の裏面側から吸着固定可能に構成された保持部と、前記チップを前記粘着シート側から突上げ可能に構成され先端部に空気噴出孔が形成された突上げ軸と、該突上げ軸に対して前記粘着シート及び前記チップを挟んで相対する位置に配設されると共に前記チップに接近又は離間する方向に移動可能に構成され前記チップを吸着可能な吸着面が形成されたチップ受け部とを備えたことを特徴とするチップの分離装置。
- 粘着シートに貼り付けられているチップを突き上げ該粘着シートから剥離させて分離するチップの分離装置において、前記チップの周囲において該チップの貼付面の裏面側から前記粘着シートを吸着固定可能に構成された保持部と、前記チップを前記裏面側から突上げ可能に構成され前記チップの貼着面積よりも狭い中心端面の周辺に斜面が形成され前記チップの方向に凸に形成された先端部を有し該先端部の前記斜面近傍に空気噴出孔が形成された突上げ軸と、該突上げ軸に対して前記粘着シート及び前記チップを挟んで相対する位置に配設されると共に前記チップに接近又は離間する方向に移動可能に構成され前記チップの面と同等以上の吸着面を有し該吸着面のうち前記中心端面に対向する位置及び前記チップの辺縁部に対向する位置に夫々吸着孔が形成されたチップ受け部とを備え、前記突上げ軸による突上げ、前記空気噴出孔からの圧縮空気の噴出及び前記辺縁部の吸引により前記チップの剥離が起きるように構成したことを特徴とするチップの分離装置。
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---|---|---|---|
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