JP2005272039A - 基板の搬送機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 描画装置10の描画テーブル30にローラ41〜48を設け、テーブル30の支持面30S上に多数の空気孔ARを規則的に形成する。そして、ローラ41、42とともにローラ43、44(あるいは45、46、または47、48)を支持面30S上に配置し、コンプレッサにより支持面30Sから圧縮されたエアを吹き出す。基板SWがコンベア70により運ばれる基板SWが浮いた状態で描画テーブル30に進入すると、ローラ42、44(46、48)の駆動により基板SWを搬送方向に沿って所定の位置まで移動させる。そして、空気孔ARを介して基板SWと支持面30S間を減圧させ、基板SWを支持面30Sへ搭載させる。
【選択図】 図1
Description
11 描画制御部
30 描画テーブル
30S 支持面
50 システムコントロール回路
41〜48 ローラ(案内部材)
73〜78 ローラ支持部
62、64、66 ゲージ測定部(位置検出手段)
70 コンベア(運搬部材)
92 ストップセンサ
93 ローラ駆動開始センサ
94 リワインドセンサ
95 電磁弁
96 真空ポンプ(搭載手段)
97 コンプレッサ(浮揚手段)
132A〜132D ステッピングモータ
140 エアシリンダ一体型スライダ(第2のスライダ)
144 エアシリンダ一体型スライダ(第1のスライダ、付勢手段)
210、310、410 リニアゲージ
SW 基板
AR 空気孔(浮揚手段、搭載手段)
AG1 エア溝(浮揚手段、搭載手段、第2の吹き出し領域)
AG2 エア溝(浮揚手段、搭載手段、第2の吹き出し領域)
AG3 エア溝(浮揚手段、搭載手段、第2の吹き出し領域)
AG4 エア溝(浮揚手段、搭載手段、第1の吹き出し領域)
S1 前縁面
S2、S3 側面
S4 後縁面
B 基板の幅
L 基板の長さ
M 搬送方向
AA、BB、CC 複数の幅ライン
Claims (36)
- 搬送されてくるパターン形成用基板を支持台の支持面へ載せる搬送機構であって、
前記支持面から所定の高さの位置を通って前記支持台へ進入してくる前記基板に対し、前記支持面から前記基板へ向けて気体を吹き付けることにより前記基板を前記支持面から浮かせた状態で保持する浮揚手段と、
前記基板を浮いた状態で基板両側面から付勢し、搬送方向に沿って所定位置まで案内する案内手段と、
前記基板と前記支持面との間の気体の流れを制御することにより、前記基板を浮いた状態から前記支持面へ載せる搭載手段と
を備えたことを特徴とする搬送機構。 - 前記案内手段が、
前記基板の両側面に沿って少なくとも1つずつ位置決めされた状態で配置され、前記基板の側面を付勢しながら搬送方向に沿った力を前記基板へ作用させる複数の弾性である案内部材を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送機構。 - 前記案内手段が、
進入してくる前記基板の幅に従って前記支持面上に配置され、前記基板の側面と接しながら回転する複数のローラと、
前記複数のローラのうち少なくともいずれか1つのローラを、駆動ローラとして回転させる駆動手段と、
前記駆動ローラの回転を制御するローラ制御手段と、
前記駆動ローラを前記基板の側面に向けて付勢させる付勢手段と
を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送機構。 - 前記複数のローラが、少なくとも4つのローラにより構成され、
前記基板の搬送方向を規定するように、前記基板の両側面それぞれに少なくとも2つずつローラが配置されることを特徴とする請求項3に記載の搬送機構。 - 前記4つのローラが、2対のローラとなってそれぞれ前記基板を挟んで向かい合うように配置され、前記2対のローラ間の搬送方向に沿った距離間隔が前記基板の長さに従って定められることを特徴とする請求項4に記載の搬送機構。
- 前記複数のローラのうち、2つのローラが一対の駆動ローラとして前記基板を挟んで向かい合うように配置されることを特徴とする請求項3に記載の搬送機構。
- 前記一対の駆動ローラが、前記支持面における前記基板の進入口付近に配置されることを特徴とする請求項6に記載の搬送機構。
- 前記付勢手段が、
前記複数のローラのうち少なくとも1つのローラを、付勢ローラとして前記基板の側面に向けてスライド移動させる第1のスライダを有し、
前記付勢ローラを前記基板の側面に向けてスライドさせて付勢することを特徴とする請求項3に記載の搬送機構。 - 前記案内手段が、
前記第1のスライダを支持し、前記第1のスライダを前記基板の側面に向けてスライド移動させる第2のスライダを有することを特徴とする請求項8に記載の搬送機構。 - 前記複数のローラのうち少なくとも1つのローラを、昇降ローラとして、前記支持面下に退避可能となるように昇降させる昇降手段をさらに有することを特徴とする請求項3に記載の搬送機構。
- 前記昇降ローラを覆い、前記昇降ローラが降下している状態では前記支持面の一部を構成するカバー部材をさらに有することを特徴とする請求項10に記載の搬送機構。
- 前記案内手段が、
前記複数のローラのうち前記基板の一方の側面側に配置されるローラを、選択的配置ローラとして、前記基板の幅に応じて配置するローラ配置手段を有することを特徴とする請求項3に記載の搬送機構。 - 前記選択的配置ローラが、複数のローラにより構成され、
あらかじめ定められた複数の基板の幅に従って規定される複数の幅ラインそれぞれに前記複数のローラが割り当てられて配置され、
前記ローラ配置手段が、
前記選択的配置ローラを、前記支持面下に退避可能となるように昇降させる昇降手段と、
前記選択的配置ローラのうち、搬送されてくる基板の幅に応じたローラを選択的に上昇させるローラ選択手段と
を有することを特徴とする請求項12に記載の搬送機構。 - 前記付勢手段が、
前記選択的配置ローラを、付勢ローラとして前記基板の側面に向けてスライド移動させる第1のスライダを有し、
前記付勢ローラを前記基板の側面に向けてスライドさせて付勢することを特徴とする請求項13に記載の搬送機構。 - 前記案内手段が、
前記第1のスライダを支持し、前記第1のスライダを前記基板の側面に向けてスライド移動させる第2のスライダを有することを特徴とする請求項14に記載の搬送機構。 - 前記複数のローラ各々が、弾性であることを有することを特徴とする請求項3に記載の搬送機構。
- 搬送機構外部にあって、基板裏面を支持しながら略一定速度で前記基板を運ぶ運搬部材が前記支持台における基板進入口付近に配置され、
前記案内手段が、前記運搬部材における前記基板の移動速度より移動速度を上げて前記基板を搬送方向へ案内することを特徴とする請求項1に記載の搬送機構。 - 搬送機構外部にあって、基板裏面を支持しながら略一定速度で前記基板を運ぶ運搬部材が前記支持台における基板進入口付近に配置され、
前記案内手段が、
前記基板の両側面に沿って少なくとも1つずつ位置決めされた状態で配置され、前記基板の側面を付勢しながら搬送方向に沿った力を前記基板へ作用させる複数の弾性である案内部材を有し、
前記複数の案内部材が、前記運搬部材の支持台側端部からの距離が前記基板の長さを超えない位置に配置され、
前記案内手段が、前記基板の前縁面が前記複数の案内部材を通過後、前記複数の案内部材を基板側面へ付勢させ、力を作用させることを特徴とする請求項1に記載の搬送機構。 - 前記案内手段が、
進入してくる前記基板の幅に応じて前記支持面上に配置され、前記基板の側面と接しながら回転する複数のローラと、
前記複数のローラのうち少なくともいずれか1つのローラを、駆動ローラとして回転させる駆動手段と、
前記駆動ローラの回転を制御するローラ制御手段と、
前記駆動ローラを前記基板に向けて付勢させる付勢手段とを有し、
前記複数のローラのうち搬送方向に沿って最も前方にあるローラより前に配置され、前記基板の前縁面の通過を検出する駆動開始センサをさらに有し、
前記案内手段が、前記基板の前縁面の通過が検出されると前記駆動ローラを回転させ、
前記付勢手段が、前記基板の前縁面の通過が検出されると前記駆動ローラを付勢することを特徴とする請求項18に記載の搬送機構。 - 前記案内手段が、
前記基板全体が前記支持面上に移動した後、前記基板を搬送方向とは逆の方向へ移動させる逆方向移動手段と、
前記基板を逆方向へ所定量移動させた後、前記基板を所定位置で停止させる停止手段と
を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送機構。 - 前記逆方向移動手段が、前記基板の搬送方向に沿った基板長さに応じて、前記基板を逆方向へ移動開始させることを特徴とする請求項20に記載の搬送機構。
- 前記逆方向移動手段が、前記支持面の基板侵入口付近に配置され、搬送方向に沿った基板後縁面の通過を検出する第1のセンサを有し、
基板後縁面の通過が検出されると、前記基板を逆方向へ移動させることを特徴とする請求項20に記載の搬送機構。 - 前記停止手段が、前記支持面の前記第1のセンサ後方に配置され、搬送方向とは逆方向に前記基板が移動しているとき基板後縁面の通過を検出する第2のセンサを有し、
基板後縁面の通過が検出されると、前記基板を停止させることを特徴とする請求項22に記載の搬送機構。 - 前記案内手段が、
進入してくる前記基板の幅に応じて前記支持面上に配置され、前記基板の側面と接しながら回転する複数のローラと、
前記複数のローラのうち少なくともいずれか1つのローラを、駆動ローラとして回転させる駆動手段と、
前記駆動ローラの回転を制御するローラ制御手段と、
前記駆動ローラを前記基板に向けて付勢させる付勢手段とを有し、
前記逆方向移動手段が、前記駆動ローラを逆回転させることにより逆方向へ移動させ、
前記停止手段が、前記駆動ローラを停止させることにより前記基板を停止させることを特徴とする請求項20に記載の搬送機構。 - 前記浮揚手段が、
前記基板の侵入口付近で吹き出す第1の吹き出し領域と、前記基板の移動領域に従って気体を吹き出す第2の吹き出し領域とを規定し、
前記第1の吹き出し領域における吐出圧を、前記第2の吹き出し領域に比べて大きくすることを特徴とする請求項1に記載の搬送機構。 - 前記浮揚手段が、
前記支持面において、前記基板の移動する移動領域に従って形成される複数の孔と、
前記複数の孔の配列に従って前記支持面下に配設され、前記複数の孔から吹き出す気体を通す気体吹き出し管路と、
前記気体吹き出し管路へ気体を供給する気体供給手段と
を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送機構。 - 前記気体吹き出し管路が、
前記支持面下において基板進入入口に規定される第1の吹き出し管路と、
それ以外の基板の移動に従って規定される第2の吹き出し管路とを有し、
前記気体供給手段が、前記第1の吹き出し管路に対し、前記第2の吹き出し管路に比べて吐出圧の大きい気体を供給することを特徴とする請求項26に記載の搬送機構。 - 前記気体吹き出し管路が、複数の基板サイズに応じて、互いに連通しない複数の管路を有し、
前記気体供給手段が、進入してくる基板のサイズに応じた管路へのみ気体を供給することを特徴とする請求項26に記載の搬送機構。 - 前記搭載手段が、前記支持面と前記基板との間を減圧することにより、前記基板を前記支持面へ搭載することを特徴とする請求項1に記載の搬送機構。
- 前記搭載手段が、
前記支持面において、前記基板の移動する移動範囲に形成される複数の孔と、
前記複数の孔の配列に従い前記支持面下に配設され、前記複数の孔を介して前記支持面上にある気体を通す気体吸引管路と、
前記気体吸引管路を介して前記支持面上の気体を吸引する気体吸引手段と
を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送機構。 - 前記気体吸引管路が、複数の基板サイズに応じて、互いに連通しない複数の吸引管路を有し、
前記気体吸引手段が、基板サイズに応じた吸引管路から気体を吸引することを特徴とする請求項30に記載の搬送機構。 - 前記浮揚手段が、前記支持面に搭載された前記基板を浮揚させ、
前記案内手段が、前記基板を浮いた状態で基板両側面から付勢し、前記支持台の外部へ向けて案内することを特徴とする請求項1に記載の搬送機構。 - 前記案内手段が、
進入してくる前記基板の幅に応じて前記支持面上に配置され、前記基板の側面と接しながら回転する複数のローラと、
前記複数のローラのうち少なくともいずれか1つのローラを、駆動ローラとして回転させる駆動手段と、
前記駆動ローラの回転を制御するローラ制御手段と、
前記駆動ローラを前記基板に向けて付勢させる付勢手段と
を有することを特徴とする請求項32に記載の搬送機構。 - 請求項1に記載された搬送機構を備え、
前記支持台が描画テーブルであることを特徴とする描画装置。 - 搬送されてくるパターン形成用基板を支持台の支持面へ載せる搬送方法であって、
前記支持面から所定の高さの位置を通って前記支持台へ進入してくる前記基板に対し、前記支持面から前記基板へ向けて気体を吹き付けることにより前記基板を前記支持面から浮かせた状態で保持し、
前記基板を浮いた状態で基板両側面から付勢し、搬送方向に沿って所定位置まで案内し、
前記基板と前記支持面との間の気体の流れを制御することにより、前記基板を浮いた状態から前記支持面へ載せる
ことを特徴とする搬送方法。 - 支持台の支持面に搭載されたパターン形成用基板を支持台外部へ搬送する搬送機構であって、
前記支持面から前記基板へ向けて気体を吹き付けることにより前記基板を前記支持面から浮かせた状態で保持する浮揚手段と、
前記基板を浮いた状態で基板両側面から付勢し、前記支持台の外部へ向けて案内する案内手段と
を備えたことを特徴とする搬送機構。
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