JP2005266075A - 感光性樹脂組成物とその利用 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によれば、(a)ポリアミド酸と(b)一般式(I)
【化1】
(但し、式中、R1 及びR2 は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を示し、R3 及びR4 は炭素数1〜4のアルキル基又はアルコキシル基を示し、R5 は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又はアルキル基の炭素数が1〜4であるカルボキシアルキル基を示す。)で表わされる1,4−ジヒドロピリジン誘導体と(c)一般式(II)
【化2】
(但し、式中、R1 は水素原子又はメチル基を示し、Rは炭素数2以上の炭化水素基を示す。)で表されるイミドアクリレート化合物とからなる感光性樹脂組成物が提供される。
【選択図】なし
Description
(a)ポリアミド酸と
(b)一般式(I)
で表わされる1,4−ジヒドロピリジン誘導体と
(c)一般式(II)
で表されるイミドアクリレート化合物とからなることを特徴とする感光性樹脂組成物が提供される。
で表される。
で表される。好ましくは、Rはアルキレン基であり、最も好ましくはエチレン基である。従って、このようなイミドアクリレート化合物の具体例として、例えば、n−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタルイミドを挙げることができる。
p−フェニレンジアミン5.88g、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル2.04g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン0.84gをN,N−ジメチルアセトアミド中、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物20.0gと室温で反応させてポリアミド酸の溶液を得た。このポリアミド酸の溶液に1−エチル−3,5−ジメトキシカルボニル−4−(2−ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン2.88gとn−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタルイミド5.76gを溶解させて、感光性樹脂組成物を均一な溶液として得た。
1−エチル−3,5−ジメトキシカルボニル−4−(2−ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジンに代えて、1−メチル−3,5−ジ(t−ブトキシカルボニル)−4−(2−ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジンを用いた以外は、実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物を均一な溶液として得、これを用いて、実施例1と同様にして、シリコーンウエハー上にポリイミド被膜からなる微細なパターンを得、解像性を求めた。結果を表1に示す。
p−フェニレンジアミン6.3gと1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン0.76gをN,N−ジメチルアセトアミド中、3,3’4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物10.8gと2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物10.9gと反応させて、ポリアミド酸の溶液を得た。
p−フェニレンジアミン5.88g、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル2.04g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン0.84gをN,N−ジメチルアセトアミド中、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物20.0gと室温で反応させてポリアミド酸の溶液を得た。1−エチル−3,5−ジメトキシカルボニル−4−(2−ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン2.88gをこの溶液に溶解させて、感光性樹脂組成物を均一な溶液として得た。
n−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタルイミドに代えて、重量平均分子量600のポリエチレングリコールを用いた以外は、実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物を均一な溶液として得、これを用いて、実施例1と同様にして、シリコーンウエハー上にポリイミド被膜からなる微細なパターンを得、解像性を求めた。結果を表1に示す。
Claims (3)
- 請求項1に記載の感光性樹脂組成物の被膜を形成し、これをフォトマスクを介して露光させた後、露光後加熱処理を行い、次いで、現像した後、加熱して、ポリアミド酸をイミド化することを特徴とするポリイミド被膜からなるパターンの形成方法。
- ポリイミド被膜の厚みが20μm以上である請求項1に記載のポリイミド被膜からなるパターンの形成方法。
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