JP2005243780A - ウエハ支持部材及びウエハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 室温のたわみ量が10mm以下であり、応力下で変形可能なシートと少なくとも一方の面にピール強度が20N/m以下であるウエハ固定部材を有することを特徴とするウエハ支持部材、及び該ウエハ支持部材とウエハを貼り合わせ後、ウエハに必要な加工を施した後、応力下で変形可能なシートを変形させることにより、ウエハを剥離することを特徴とするウエハの加工方法。
【選択図】 なし
Description
<1> 室温のたわみ量が10mm以下であり、応力下で変形可能なシートと少なくとも一方の面にピール強度が20N/m以下であるウエハ固定部材を有することを特徴とするウエハ支持部材。
<2> <1>に記載のウエハ支持部材とウエハを貼り合わせ後、ウエハに必要な加工を施した後、応力下で変形可能なシートを変形させることにより、ウエハを剥離することを特徴とするウエハの加工方法。
<3>室温のたわみ量が10mm以下であり軟化温度が40〜250℃であるプラスチックシートとウエハ固定用のウエハ固定部材からなり、プラスチックシートとウエハ支持部材とウエハを貼り合わせ後、ウエハに必要な加工を施した後、プラスチックシートの軟化温度以上に加熱し、応力下で変形することにより、ウエハを剥離することを特徴とする<2>に記載のウエハの加工方法。
実施例1
実施例2
この状態でウエハを50μmの厚さになるよう研磨した。次に図のようにポリプロピレン板に圧縮応力(20N)を加え、たわませた。ウエハはクラックが入ることなく剥離できた。ウエハの表面にはウエハ支持部材の転写は見られなかった。
実施例3
実施例4
比較例1
比較例2
ウエハは剥離せず、全面にクラックが入った。
Claims (3)
- 室温のたわみ量が10mm以下であり、応力下で変形可能なシートと少なくとも一方の面にピール強度が20N/m以下であるウエハ固定部材を有することを特徴とするウエハ支持部材。
- 請求項1記載のウエハ支持部材とウエハを貼り合わせ後、ウエハに必要な加工を施した後、応力下で変形可能なシートを変形させることにより、ウエハを剥離することを特徴とするウエハの加工方法。
- 室温のたわみ量が10mm以下であり軟化温度が40〜250℃であるプラスチックシートとウエハ固定用のウエハ固定部材からなり、プラスチックシートとウエハ支持部材とウエハを貼り合わせ後、ウエハに必要な加工を施した後、プラスチックシートの軟化温度以上に加熱し、応力下で変形することにより、ウエハを剥離することを特徴とする請求項2記載のウエハの加工方法。
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