JP2005227039A - 圧力センサ装置及びその製造方法 - Google Patents
圧力センサ装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005227039A JP2005227039A JP2004033936A JP2004033936A JP2005227039A JP 2005227039 A JP2005227039 A JP 2005227039A JP 2004033936 A JP2004033936 A JP 2004033936A JP 2004033936 A JP2004033936 A JP 2004033936A JP 2005227039 A JP2005227039 A JP 2005227039A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- pressure sensor
- electrode
- terminal
- sensor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】 圧力検出素子を有するセンサチップ20をケース10に配置し、センサチップ20に形成された電極22と、ケース10に形成された外部出力用の端子11とをフレキシブルプリント基板30により電気的に接続してなる圧力センサ装置100において、フレキシブルプリント基板30を、熱可塑性樹脂31と、当該熱可塑性樹脂31内に配置された配線部32と、電極22及び端子11に対応しつつ配線部32を底部として形成され、接合材料33の充填された複数のビアホール34とにより構成した。そして、電極22及び端子11をビアホール34内に配置した状態で加熱・加圧し、電極22及び端子11を接合材料33と接合させるとともに、各接合部を熱可塑性樹脂31により気密に封止した。
【選択図】 図1
Description
図1は、本実施の形態における圧力センサ装置を示し、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A断面における断面図である。尚、図1(a)においては、説明の都合上、一部透過させて(破線部分)図示している。また、図1(a),(b)においては、便宜上、センサチップを収納するケースのうち、下ケースのみを図示し、圧力導入孔を備える上ケースを省略して図示している。
次に、本発明の第2の実施形態を図4(a),(b)に基づいて説明する。図4(a),(b)は、本実施形態の圧力センサ装置100の特徴点を説明するための概略断面図であり、(a)は位置決め工程、(b)は加熱・加圧工程を示している。尚、図4においては、便宜上、ケース10は省略し、接合部のうち、センサチップ20の電極22側のみを図示している。
次に、本発明の第3の実施形態を図5に基づいて説明する。図5は、本実施形態の圧力センサ装置100の特徴点を説明するための概略断面図である。図5においては、便宜上、ケース10を省略し、センサチップ20とフレキシブルプリント基板30とを離間させて図示している。
次に、本発明の第4の実施形態を図6に基づいて説明する。図6は、本実施形態の圧力センサ装置100の特徴点を説明するための概略断面図である。図6においては、便宜上、ケース10を省略し、センサチップ20とフレキシブルプリント基板30とを離間させて図示している。
11・・・端子
20・・・センサチップ
21・・・基板
22・・・電極
30・・・フレキシブルプリント基板
31・・・熱可塑性樹脂
32・・・配線部
33・・・接合材料
34・・・ビアホール
100・・・圧力センサ装置
Claims (18)
- ケースと、
前記ケースに配置され、圧力検出素子を有するセンサチップと、
前記センサチップに形成された電極と、前記ケースに形成された外部出力用の端子を電気的に接続するフレキシブルプリント基板と、を備える圧力センサ装置において、
前記フレキシブルプリント基板は、熱可塑性樹脂と、当該熱可塑性樹脂内に配置された配線部と、前記電極及び前記端子に対応しつつ前記配線部を底部として形成され、接合材料の充填された複数のビアホールと、により構成され、
前記電極及び前記端子は、異なる前記ビアホール内に配置されつつ前記接合材料と接合し、各接合部が前記熱可塑性樹脂により封止されていることを特徴とする圧力センサ装置。 - 前記電極及び前記端子上に、前記接合材料よりも融点が高い金属からなるバンプが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ装置。
- 前記電極又は前記端子を含めた前記バンプの高さが前記ビアホールの深さと略等しいことを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ装置。
- 前記バンプは金からなることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の圧力センサ装置。
- 前記接合材料は2層からなり、下層として前記接合時に溶融しない第1接続金属を有し、上層として前記接合時に溶融する第2接続金属を有することを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載の圧力センサ装置。
- 前記第1接続金属は、前記配線部と同一の金属であることを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ装置。
- ケースと、
前記ケースに配置され、圧力検出素子を有するセンサチップと、
前記センサチップに形成された電極と、前記ケースに形成された外部出力用の端子を電気的に接続するフレキシブルプリント基板と、を備える圧力センサ装置において、
前記フレキシブルプリント基板は、熱可塑性樹脂と、当該熱可塑性樹脂内に配置された配線部と、前記電極及び前記端子に対応しつつ前記配線部を底部として形成された複数のビアホールと、により構成され、
前記電極及び前記端子は、異なる前記ビアホール内に配置されつつ前記配線部と接合し、各接合部が前記熱可塑性樹脂により封止されていることを特徴とする圧力センサ装置。 - 前記熱可塑性樹脂は、熱可塑性樹脂からなる樹脂フィルムを多層に積層してなり、層間に前記配線部を備えることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項に記載の圧力センサ装置。
- 圧力検出素子を有するセンサチップをケースに配置し、前記センサチップに形成された電極と前記ケースに形成された外部出力用の端子とを、フレキシブルプリント基板により電気的に接続してなる圧力センサ装置の製造方法であって、
熱可塑性樹脂内に配置された配線部を底部とし、前記電極及び前記端子に対応した所定位置に接合材料の充填された複数のビアホールを備えるフレキシブルプリント基板を準備する準備工程と、
前記フレキシブルプリント基板の前記ビアホール内に前記電極及び前記端子が配置されるように、前記センサチップ、前記ケース、及び前記フレキシブルプリント基板を位置決めする位置決め工程と、
位置決めされた状態で加熱・加圧することにより、前記電極及び前記端子が前記接合材料と接合されるとともに、前記熱可塑性樹脂が軟化されて各接合部を封止する加熱・加圧工程とを備えることを特徴とする圧力センサ装置の製造方法。 - 前記準備工程において、前記接合材料は前記ビアホールの上部開口面から底部方向に所定の間隙をもって充填されることを特徴とする請求項9に記載の圧力センサ装置の製造方法。
- 前記位置決め工程の前に、前記電極及び前記端子上に、前記接合材料よりも融点が高い金属を用いてバンプを形成する工程を備えることを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の圧力センサ装置の製造方法。
- 前記電極又は前記端子を含めた前記バンプの高さが、前記ビアホールの深さと略等しくなるように前記バンプを形成することを特徴とする請求項11に記載の圧力センサ装置の製造方法。
- 前記バンプは金からなることを特徴とする請求項11又は請求項12に記載の圧力センサ装置の製造方法。
- 前記準備工程において、前記ビアホール内に下層として前記加熱・加圧時に溶融しない第1接続金属、上層として前記加熱・加圧時に溶融する第2接続金属が充填されることを特徴とする請求項9〜13いずれか1項に記載の圧力センサ装置の製造方法。
- 前記第1接続金属は、前記配線部と同一の金属からなることを特徴とする請求項14に記載の圧力センサ装置の製造方法。
- 圧力検出素子を有するセンサチップをケースに配置し、前記センサチップに形成された電極と、前記ケースに形成された外部出力用の端子と、をフレキシブルプリント基板により電気的に接続してなる圧力センサ装置の製造方法であって、
熱可塑性樹脂内に配置された配線部を底部とし、前記電極及び前記端子に対応して形成された複数のビアホールを備えるフレキシブルプリント基板を準備する準備工程と、
前記フレキシブルプリント基板の前記ビアホール内に前記電極及び前記端子が配置されるように、前記センサチップ、前記ケース、及び前記フレキシブルプリント基板の位置決めがなされる位置決め工程と、
位置決めされた状態で加熱・加圧することにより、前記端子及び前記電極が溶融して前記配線部と接合されるとともに、前記熱可塑性樹脂が軟化されて各接合部を封止する加熱・加圧工程とを備えることを特徴とする圧力センサ装置の製造方法。 - 前記準備工程において、前記フレキシブルプリント基板は、片面上に配線部の形成された熱可塑性樹脂からなる樹脂フィルムを含む複数の樹脂フィルムを積層し、加熱・加圧することにより形成されることを特徴とする請求項9〜16いずれか1項に記載の圧力センサ装置の製造方法。
- 前記加熱・加圧工程において、前記センサチップが前記ケースに固定された状態で、前記ケースにおける前記センサチップが固定された面の裏面側から加熱・加圧を行うことを特徴とする請求項9〜17いずれか1項に記載の圧力センサ装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004033936A JP4225212B2 (ja) | 2004-02-10 | 2004-02-10 | 圧力センサ装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004033936A JP4225212B2 (ja) | 2004-02-10 | 2004-02-10 | 圧力センサ装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005227039A true JP2005227039A (ja) | 2005-08-25 |
JP4225212B2 JP4225212B2 (ja) | 2009-02-18 |
Family
ID=35001878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004033936A Expired - Fee Related JP4225212B2 (ja) | 2004-02-10 | 2004-02-10 | 圧力センサ装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4225212B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009081264A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Denso Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2010504528A (ja) * | 2006-09-19 | 2010-02-12 | ローズマウント エアロスペイス インコーポレイテッド | 耐熱式ソリッド・ステート圧力センサ |
US7762141B2 (en) | 2007-02-16 | 2010-07-27 | Denso Corporation | Pressure sensor and manufacturing method thereof |
KR101443220B1 (ko) | 2008-01-04 | 2014-09-22 | 삼성전자주식회사 | 접촉힘 센서 패키지, 이를 구비한 혈압 측정계, 및 상기접촉힘 센서 패키지 제조방법 |
KR101891484B1 (ko) | 2016-08-18 | 2018-08-24 | 주식회사 바른전자 | 접촉 저항 방식의 발 압력 센서 |
CN108847442A (zh) * | 2018-06-30 | 2018-11-20 | 山东昊润自动化技术有限公司 | 一种压力芯片封装方法 |
JP2019040173A (ja) * | 2017-08-25 | 2019-03-14 | 上海天馬微電子有限公司 | 表示パネルと表示装置 |
-
2004
- 2004-02-10 JP JP2004033936A patent/JP4225212B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010504528A (ja) * | 2006-09-19 | 2010-02-12 | ローズマウント エアロスペイス インコーポレイテッド | 耐熱式ソリッド・ステート圧力センサ |
US7762141B2 (en) | 2007-02-16 | 2010-07-27 | Denso Corporation | Pressure sensor and manufacturing method thereof |
JP2009081264A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Denso Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
KR101443220B1 (ko) | 2008-01-04 | 2014-09-22 | 삼성전자주식회사 | 접촉힘 센서 패키지, 이를 구비한 혈압 측정계, 및 상기접촉힘 센서 패키지 제조방법 |
KR101891484B1 (ko) | 2016-08-18 | 2018-08-24 | 주식회사 바른전자 | 접촉 저항 방식의 발 압력 센서 |
JP2019040173A (ja) * | 2017-08-25 | 2019-03-14 | 上海天馬微電子有限公司 | 表示パネルと表示装置 |
US10613670B2 (en) | 2017-08-25 | 2020-04-07 | Shanghai Tianma Micro-electronics Co., Ltd. | Display panel and display device |
CN108847442A (zh) * | 2018-06-30 | 2018-11-20 | 山东昊润自动化技术有限公司 | 一种压力芯片封装方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4225212B2 (ja) | 2009-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101193212B1 (ko) | 반도체 칩 내장 배선 기판 및 그 제조 방법 | |
JP5421863B2 (ja) | 半導体パッケージの製造方法 | |
JP2011222555A (ja) | 半導体チップ内蔵配線基板の製造方法 | |
JPH1051150A (ja) | ハイブリッドモジュールとその製造方法 | |
WO2006093129A1 (ja) | 機能素子実装モジュール及び機能素子実装モジュールの実装方法 | |
JP4225212B2 (ja) | 圧力センサ装置及びその製造方法 | |
KR19990069447A (ko) | 반도체 패키지와 그 제조방법 | |
JP2018506171A (ja) | 簡易に製造可能な電気部品及び電気部品の製造方法 | |
JP2870533B1 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP3702062B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JPH11135567A (ja) | 異方性導電膜、半導体装置の製造方法 | |
JPS62169433A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007281292A (ja) | 半導体デバイスの実装構造 | |
JP2002100710A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5193522B2 (ja) | 半導体素子収納用セラミックパッケージとその製造方法 | |
JP4379216B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2014086963A (ja) | パッケージおよびパッケージの製造方法 | |
CN216871982U (zh) | 光学封装件 | |
JP2000013029A (ja) | 高密度配線基板、その製造方法、及びそれを用いた電子装置 | |
JP2009081264A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2004221525A (ja) | Icパッケージ及びその製造方法 | |
JP2011066116A (ja) | 回路モジュールおよびその製造方法 | |
JP2000124401A (ja) | 半導体装置 | |
JP7015686B2 (ja) | 光デバイス及び光デバイスの製造方法 | |
JP4562950B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060327 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080418 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081104 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111205 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121205 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131205 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |